CN112710258B - 一种镜面平面度检测控制方法和装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及平面度检测技术领域，具体涉及一种镜面平面度检测控制方法和装置。该方法包括：调整平面镜的镜面的镜面方向至目标方向；控制激光干涉仪以初始方向为出光方向，沿镜面测量点序列移动，以获取各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像；根据各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像，获得镜面的平整度检测结果。本发明在平面镜的镜面平面度检测中，考虑到平面镜在空间姿态下，自身重力以及安装位置的限位作用有可能会导致镜面存在微小变形，从而影响平面镜的平面精度，因此在测试中增加了平面镜的空间姿态的平面度检测，从而提高了镜面平面度的检测精度。

Description

一种镜面平面度检测控制方法和装置

技术领域

本发明涉及平面度检测技术领域，具体涉及一种镜面平面度检测控制方法和装置。

背景技术

在激光测距、光电纠偏控制等应用场景中，需要使用高精度的平面镜来作为反射镜反射测试光，使光电探测器获取时间、光强等检测信号，从而完成相应的光电检测。因此，这种特种平面镜在出厂时需要进行高精度的平面镜检测。

在工业在线仪器中，冷轧处理线中设置了对带钢进行纠偏的EPC(Edge PositoinControl，光电纠偏控制器)系统，以实现带钢的边缘检测，这就要求EPC系统中的反射镜要超过带钢的一半宽度。而带钢的特征宽度通常在100mm至800mm不等，因此EPC系统中需要使用到大尺寸的特种平面镜。

常规的平面镜平面度检测方案通常将被测反射镜水平放置或竖直放置，然后使用激光干涉仪以垂直镜面的方向采集镜面干涉图案，最后通过对镜面干涉图案的分析，获得反射镜的平面度检测结果。

但是，大尺寸的特种平面镜在通过常规平面镜平面度检测方案后，在实际应用中还是存在一定的测量误差，无法完全满足高精度应用场景的要求。

因此，如何提高镜面平面度的检测精度，是目前亟需解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种镜面平面度检测控制方法和装置，以提高镜面平面度的检测精度。

本发明实施例提供了以下方案：

第一方面，本发明实施例提供一种镜面平面度检测控制方法，所述方法包括：

调整平面镜的镜面的镜面方向至目标方向；其中，所述目标方向不平行于水平方向，且不平行于竖直方向；

控制激光干涉仪以初始方向为出光方向，沿镜面测量点序列移动，以获取各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像；

根据所述各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像，获得所述镜面的平整度检测结果。

在一种可能的实施例中，所述控制激光干涉仪以初始方向为出光方向，沿镜面测量点序列移动，以获取各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像，包括：

步骤i，控制所述激光干涉仪移动至所述镜面测量点序列中的目标镜面测量点；

步骤ii，获取所述激光干涉仪的当前干涉图像；

步骤iii，判断所述当前干涉图像是否为所述激光干涉仪在所述目标镜面测量点干涉条纹数量最少的干涉图像；

步骤iv，若不是，则调整所述激光干涉仪的当前出光方向，并返回步骤ii；

步骤v，若是，则根据所述激光干涉仪的当前出光方向与所述初始出光方向，计算所述目标镜面测量点的调整角度，并将所述当前干涉图像作为所述目标镜面测量点的区域干涉图像。

在一种可能的实施例中，所述控制激光干涉仪以初始方向为出光方向，沿镜面测量点序列移动，以获取各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像之前，所述方法还包括：

以完全覆盖所述镜面对应面积为目的，排列设定数量的检测区域；其中，所述检测区域的面积不超过所述激光干涉仪的单次最大检测区域的面积；

将所述所述设定数量的检测区域的中心点位置作为镜面测量点，以遍历所有镜面测量点为目的，获得所述镜面测量点序列。

在一种可能的实施例中，所述检测区域为正方形区域，且所述正方形区域的面积不超过所述单次最大检测区域的最大内接正方形的面积。

第二方面，本发明实施例提供一种镜面平面度检测控制装置，所述装置包括：

第一控制模块，用于调整平面镜的镜面的镜面方向至目标方向；其中，所述目标方向不平行于水平方向，且不平行于竖直方向；

第二控制模块，用于控制激光干涉仪以初始方向为出光方向，沿镜面测量点序列移动，以获取各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像；

第一获取模块，用于根据所述各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像，获得所述镜面的平整度检测结果。

在一种可能的实施例中，所述第二控制模块，包括：

第三控制模块，用于控制所述激光干涉仪移动至所述镜面测量点序列中的目标镜面测量点；

第二获取模块，用于获取所述激光干涉仪的当前干涉图像；

第一判断模块，用于判断所述当前干涉图像的干涉条纹数量是否与标准干涉图像的干涉条纹数量相同；

第四控制模块，用于在所述当前干涉图像不为所述激光干涉仪在所述目标镜面测量点干涉条纹数量最少的干涉图像时，调整所述激光干涉仪的当前出光方向，并返回所述第二获取模块操作；

第三获取模块，用于在所述当前干涉图像为所述激光干涉仪在所述目标镜面测量点干涉条纹数量最少的干涉图像时，根据所述激光干涉仪的当前出光方向与所述初始出光方向，计算所述目标镜面测量点的调整角度，并将所述当前干涉图像作为所述目标镜面测量点的区域干涉图像。

在一种可能的实施例中，所述装置还包括：

第五控制模块，用于在所述第二控制模块工作之前，以完全覆盖所述镜面对应面积为目的，排列设定数量的检测区域；其中，所述检测区域的面积不超过所述激光干涉仪的单次最大检测区域的面积；

第四获取模块，用于将所述所述设定数量的检测区域的中心点位置作为镜面测量点，以遍历所有镜面测量点为目的，获得所述镜面测量点序列。

在一种可能的实施例中，所述检测区域为正方形区域，且所述正方形区域的面积不超过所述单次最大检测区域的最大内接正方形的面积。

第三方面，本发明实施例提供一种镜面平面度检测控制设备，包括：

存储器，用于存储计算机程序；

处理器，用于执行所述计算机程序以实现第一方面中任一所述的镜面平面度检测控制方法的步骤。

第四方面，本发明实施例提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时以实现第一方面中任一所述的镜面平面度检测控制方法的步骤。

本发明与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：

本发明首先平面镜的镜面调整为非水平和非竖直的空间姿态，然后控制激光干涉仪沿镜面测量点序列移动，获取各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像，并以此获得平面镜的镜面的平整度检测结果。

本发明在平面镜的镜面平面度检测中，考虑到平面镜在空间姿态下，自身重力以及安装位置的限位作用有可能会导致镜面存在微小变形，从而影响平面镜的平面精度，因此在测试中增加了平面镜的空间姿态的平面度检测，从而提高了镜面平面度的检测精度。

附图说明

为了更清楚地说明本说明书实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本说明书的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的一种镜面平面度检测控制方法的流程图；

图2是本发明实施例提供的一种平面镜姿态调整装置的结构示意图；

图3是本发明实施例提供的一种机械手臂的结构示意图；

图4是一种常规的镜面测量点序列的示意图；

图5是本发明实施例提供的一种激光干涉仪的单次最大检测区域的示意图；

图6是本发明实施例提供的一种镜面测量点序列的示意图；

图7是本发明实施例提供的包含有机械手臂和4平面镜姿态调整装置的镜面平面度检测系统的结构示意图；

图8是本发明实施例提供的一种镜面平面度检测控制装置的结构示意图。

附图标记：1为平面镜姿态调整装置，11为精密减速机，12为C型工作台，13为精密滚珠丝杠，14为直线导轨，2为机械手臂，3为激光干涉仪。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本发明实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明实施例保护的范围。

本发明的发明人在分析应用了大尺寸平面镜(单块面积超过0.2m²)的激光光路测量仪器在实际应用中的测量数据与理论计算数据存在偏差的原因时，发现有可能是因为激光光路测量仪器的特种平面反射镜的平面度精度不够，从而引起了理论与实测之间的偏差。但将激光光路测量仪器中的平面镜拆下重新进行平面度检测时，发现检测结果仍然显示平面镜的精度完全符合要求。

在此基础上，本发明的发明人敏锐地注意到，激光光路测量仪器中的平面镜有时候会根据现场环境，不以竖直方向或水平方向这种检测姿态安装在产线上，而在这种空间姿态下，由于平面镜的尺寸较大，其镜面会在重力以及限位组件的作用下产生形变，从而使原本经过平面度检测的符合出厂精度要求的平面镜的平面度发生变化，不符合应用场景的需求。

本发明希望通过以下方案，来解决常规平面镜平面度检测方案的检测精度不够高的缺陷。

请参阅图1，图1为本发明实施例提供的一种镜面平面度检测控制方法的流程图，包括步骤11至步骤13。

步骤11，调整平面镜的镜面的镜面方向至目标方向；其中，所述目标方向不平行于水平方向，且不平行于竖直方向。

具体的，镜面的镜面方向为镜面与水平面的夹角，还可以是镜面的法向量与水平面的夹角，用来表征镜面的空间姿态。本步骤中，目标方向不平行于水平方向，且不平行于竖直方向，用来模拟出平面镜空间姿态下的现场状态，以准确确定出其在实际应用中的性能。

本实施例采用自动化的平面镜姿态调整装置来承担本步骤的执行操作。如图2所示为本实施例提供的一种平面镜姿态调整装置的结构示意图，其在机架上设有高精度伺服电机和精密减速机，以驱动带有圆锥滚子轴副结构的C型工作台完成平面镜的精密回转，精密滚珠丝杆驱动内置磁栅尺的直线导轨实现C型工作台整体升降精密定位功能，从而满足调整平面镜空间姿态的所有要求。

步骤12，控制激光干涉仪以初始方向为出光方向，沿镜面测量点序列移动，以获取各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像。

具体的，激光干涉仪在工作之前，需要使用标准镜面来进行标定，然后需要将激光干涉仪的出光方向调整至垂直与镜面的某一基准位的初始出光方向。

本步骤中的镜面测量点序列中包含有一个或多个镜面测量点，每个镜面测量点可以是具体的位置坐标，这样整个镜面测量点序列就构成了激光粒度仪的测量路径，激光粒度仪依次到达镜面测量点序列的镜面测量点，完成每个镜面测量点处的测量工作，获取各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像。

由于本步骤是采用干涉法来检测镜面平面度，因此在每个镜面测量点处需要对激光干涉仪的出光方向作微小变化，以使激光干涉仪的出射光完全垂直与镜面测量点位置处的镜面，镜面测量点的调整角度指的就是每个镜面测量点处对激光干涉仪的出光方向作出的微小变化量。

本实施例采用自动化的机械手臂来承担本步骤的执行操作。如图3所示为本实施例提供的一种机械手臂的结构示意图，该机械手臂具有多个机械关节结构，能够根据控制指令进行六轴联动，能够给予激光干涉仪六个自由度的空间位置调整。

在实际应用中，由于激光干涉仪的检测区域通常是圆形的(典型的尺寸是φ150mm)，而平面镜通常是矩形的(典型的尺寸是600mm×430mm)，如图4所示为一种常规的镜面测量点序列的示意图，如果采用这种检测区域相切的方式生成检测路径，则会导致局部区域漏检，需要补充检测，这样就造成总的检测次数较多且检测状态(面积)也不相同，从而使得扫描路径规划的不规则，导致后续数据处理难度加大。

这里，本发明还给出了一种镜面测量点序列的生成方案，具体包括：

步骤21，以完全覆盖所述镜面对应面积为目的，排列设定数量的检测区域。

其中，所述检测区域的面积不超过所述激光干涉仪的单次最大检测区域的面积。

具体的，设定数量即为在进行平面度检测时激光干涉仪的最终检测次数，检测区域则是激光干涉仪的单次最大检测区域部分或所有区域，本步骤以通过将设定数量的检测区域进行排列组合，使所有的检测区域组成的区域能够完全覆盖镜面对应面积。而所有的检测区域组成的区域中，可以存在不同检测区域部分重叠的情况。

本实施例中，检测区域可以为正方形区域，该正方形区域的面积不超过激光干涉仪的单次最大检测区域的最大内接正方形的面积，这样每个检测区域依次相邻不重叠排列，在进行图像拼接时，只处理各个检测区域获得的图像，最大程度减少检测区域重叠、检测次数过多的问题。。

步骤22，将所述所述设定数量的检测区域的中心点位置作为镜面测量点，以遍历所有镜面测量点为目的，获得所述镜面测量点序列。

具体的，每个检测区域的中心点位置就是激光干涉仪的实际测量位置，而镜面测量点序列则是激光干涉仪的测量顺序，以此实现了整个镜面的检测。

如图5所示为本实施例提供的一种激光干涉仪的单次最大检测区域的示意图，其最大内接正方形的尺寸为106.1mm×106.1mm，本次使用100mm×100mm的正方形作为检测区域，这样共将使用30个检测区域来覆盖600mm×430mm的镜面，其中部分的检测区域重合，重合的部分通过软件计算读取出最合适的结果。如图6所示为本实施例提供的一种镜面测量点序列的示意图。

步骤13，根据所述各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像，获得所述镜面的平整度检测结果。

具体的，镜面测量点的调整角度能够表征出镜面测量点对应平面区域的整体平面朝向，区域干涉图像中的条纹数量、条纹宽度、条纹间隔和条纹倾斜角度等条纹光斑的几何特征能够表征出镜面测量点对应平面区域的平面细节分布，通过图像的拼接拟合处理，从而能够获得整个镜面的平整度检测结果。

在一种可能的实施例中，本发明还提供了一种获取各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像的方案，具体包括：

步骤31，控制所述激光干涉仪移动至所述镜面测量点序列中的目标镜面测量点。

步骤32，获取所述激光干涉仪的当前干涉图像。

步骤33，判断所述当前干涉图像是否为所述激光干涉仪在所述目标镜面测量点干涉条纹数量最少的干涉图像。

具体的，整个判断过程需要沿设定方向对激光干涉仪的出光方向进行微调，获得多个连续的条纹数量依次递减的干涉图像，当再次改变激光干涉仪的出光方向时，发现改变后的干涉图像的条纹数量增加，那么则将改变前的激光干涉仪采集的干涉图像作为激光干涉仪在目标镜面测量点干涉条纹数量最少的干涉图像。

步骤34，若不是，则调整所述激光干涉仪的当前出光方向，并返回步骤32。

步骤35，若是，则根据所述激光干涉仪的当前出光方向与所述初始出光方向，计算所述目标镜面测量点的调整角度，并将所述当前干涉图像作为所述目标镜面测量点的区域干涉图像。

具体的，本步骤之后，需要将镜面测量点序列中的下一个镜面测量点更新为目标镜面测量点，然后控制激光干涉仪移动至更新后的目标镜面测量点重新进行步骤31至步骤35的操作。

在实际应用中，可以为机械手臂配备多个平面镜姿态调整装置，以提高实际应用时的检测效率，如图7所示为本实施例提供的包含有机械手臂和4平面镜姿态调整装置的镜面平面度检测系统的结构示意图。

上述实施例可以应用在以工控机作为主控单元的控制端中，机械手臂、平面镜姿态调整装置、激光干涉仪系统均通过交换机以TCP协议建立通讯连接，从而实现上述实施例的控制、执行过程。

基于与方法同样的发明构思，本发明实施例还提供了一种镜面平面度检测控制装置，如图8所示为该装置实施例的结构示意图，所述装置包括：

第一控制模块41，用于调整平面镜的镜面的镜面方向至目标方向；其中，所述目标方向不平行于水平方向，且不平行于竖直方向；

第二控制模块42，用于控制激光干涉仪以初始方向为出光方向，沿镜面测量点序列移动，以获取各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像；

第一获取模块43，用于根据所述各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像，获得所述镜面的平整度检测结果。

在一种可能的实施例中，所述第二控制模块，包括：

第三控制模块，用于控制所述激光干涉仪移动至所述镜面测量点序列中的目标镜面测量点；

第二获取模块，用于获取所述激光干涉仪的当前干涉图像；

第一判断模块，用于判断所述当前干涉图像的干涉条纹数量是否与标准干涉图像的干涉条纹数量相同；

第四控制模块，用于在所述当前干涉图像不为所述激光干涉仪在所述目标镜面测量点干涉条纹数量最少的干涉图像时，调整所述激光干涉仪的当前出光方向，并返回所述第二获取模块操作；

第三获取模块，用于在所述当前干涉图像为所述激光干涉仪在所述目标镜面测量点干涉条纹数量最少的干涉图像时，根据所述激光干涉仪的当前出光方向与所述初始出光方向，计算所述目标镜面测量点的调整角度，并将所述当前干涉图像作为所述目标镜面测量点的区域干涉图像。

在一种可能的实施例中，所述装置还包括：

第五控制模块，用于在所述第二控制模块工作之前，以完全覆盖所述镜面对应面积为目的，排列设定数量的检测区域；其中，所述检测区域的面积不超过所述激光干涉仪的单次最大检测区域的面积；

第四获取模块，用于将所述所述设定数量的检测区域的中心点位置作为镜面测量点，以遍历所有镜面测量点为目的，获得所述镜面测量点序列。

在一种可能的实施例中，所述检测区域为正方形区域，且所述正方形区域的面积不超过所述单次最大检测区域的最大内接正方形的面积。

基于与前述实施例中同样的发明构思，本发明实施例还提供一种镜面平面度检测控制设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现前文任一所述方法的步骤。

基于与前述实施例中同样的发明构思，本发明实施例还提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现前文任一所述方法的步骤。

本发明实施例中提供的技术方案，至少具有如下技术效果或优点：

本发明实施例首先平面镜的镜面调整为非水平和非竖直的空间姿态，然后控制激光干涉仪沿镜面测量点序列移动，获取各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像，并以此获得平面镜的镜面的平整度检测结果。

本发明实施例在平面镜的镜面平面度检测中，考虑到平面镜在空间姿态下，自身重力以及安装位置的限位作用有可能会导致镜面存在微小变形，从而影响平面镜的平面精度，因此在测试中增加了平面镜的空间姿态的平面度检测，从而提高了镜面平面度的检测精度。

本发明是参照根据本发明实施例的方法、装置(模块、系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式计算机或者其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。

这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。

这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上，使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。

尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包括这些改动和变型在内。

Claims (8)

1.一种镜面平面度检测控制方法，其特征在于，所述方法包括：

调整平面镜的镜面方向至目标方向；其中，所述目标方向不平行于水平方向，且不平行于竖直方向；

控制激光干涉仪以初始方向为出光方向，沿镜面测量点序列移动，以获取各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像；

根据所述各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像，获得所述镜面的平整度检测结果；

所述控制激光干涉仪以初始方向为出光方向，沿镜面测量点序列移动，以获取各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像，包括：

步骤i，控制所述激光干涉仪移动至所述镜面测量点序列中的目标镜面测量点；

步骤ii，获取所述激光干涉仪的当前干涉图像；

步骤iii，判断所述当前干涉图像是否为所述激光干涉仪在所述目标镜面测量点干涉条纹数量最少的干涉图像；

步骤iv，若不是，则调整所述激光干涉仪的当前出光方向，并返回步骤ii；

步骤v，若是，则根据所述激光干涉仪的当前出光方向与初始出光方向，计算所述目标镜面测量点的调整角度，并将所述当前干涉图像作为所述目标镜面测量点的区域干涉图像。

2.根据权利要求1所述的镜面平面度检测控制方法，其特征在于，所述控制激光干涉仪以初始方向为出光方向，沿镜面测量点序列移动，以获取各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像之前，所述方法还包括：

以完全覆盖所述镜面对应面积为目的，排列设定数量的检测区域；其中，所述检测区域的面积不超过所述激光干涉仪的单次最大检测区域的面积；

将所述设定数量的检测区域的中心点位置作为镜面测量点，以遍历所有镜面测量点为目的，获得所述镜面测量点序列。

3.根据权利要求2所述的镜面平面度检测控制方法，其特征在于，所述检测区域为正方形区域，且所述正方形区域的面积不超过所述单次最大检测区域的最大内接正方形的面积。

4.一种镜面平面度检测控制装置，其特征在于，所述装置包括：

第一控制模块，用于调整平面镜的镜面方向至目标方向；其中，所述目标方向不平行于水平方向，且不平行于竖直方向；

第二控制模块，用于控制激光干涉仪以初始方向为出光方向，沿镜面测量点序列移动，以获取各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像；

第一获取模块，用于根据所述各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像，获得所述镜面的平整度检测结果；

所述第二控制模块，包括：

第三控制模块，用于控制所述激光干涉仪移动至所述镜面测量点序列中的目标镜面测量点；

第二获取模块，用于获取所述激光干涉仪的当前干涉图像；

第一判断模块，用于判断所述当前干涉图像是否为所述激光干涉仪在所述目标镜面测量点干涉条纹数量最少的干涉图像；

第四控制模块，用于在所述当前干涉图像不为所述激光干涉仪在所述目标镜面测量点干涉条纹数量最少的干涉图像时，调整所述激光干涉仪的当前出光方向，并返回所述第二获取模块操作；

第三获取模块，用于在所述当前干涉图像为所述激光干涉仪在所述目标镜面测量点干涉条纹数量最少的干涉图像时，根据所述激光干涉仪的当前出光方向与初始出光方向，计算所述目标镜面测量点的调整角度，并将所述当前干涉图像作为所述目标镜面测量点的区域干涉图像。

5.根据权利要求4所述的镜面平面度检测控制装置，其特征在于，所述装置还包括：

第五控制模块，用于在所述第二控制模块工作之前，以完全覆盖所述镜面对应面积为目的，排列设定数量的检测区域；其中，所述检测区域的面积不超过所述激光干涉仪的单次最大检测区域的面积；

第四获取模块，用于将所述设定数量的检测区域的中心点位置作为镜面测量点，以遍历所有镜面测量点为目的，获得所述镜面测量点序列。

6.根据权利要求5所述的镜面平面度检测控制装置，其特征在于，所述检测区域为正方形区域，且所述正方形区域的面积不超过所述单次最大检测区域的最大内接正方形的面积。

7.一种镜面平面度检测控制设备，其特征在于，包括：

存储器，用于存储计算机程序；

处理器，用于执行所述计算机程序以实现权利要求1至3任一所述的方法的步骤。

8.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时以实现权利要求1至3任一所述的方法的步骤。

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