CN112626490A - 一种mts工艺进气流量自动控制方法及设备 - Google Patents

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Abstract

本申请公开了一种MTS工艺进气流量自动控制方法及设备，MTS流量测量只需要利用MTS储罐外的电子称、温度测量只需要利用MTS储罐内的热电偶，避免了MTS的强腐蚀性对于流量计的损坏，降低了器件成本，无需频繁维护，并且能够实施的调节MTS流量，提高了MTS工艺稳定度。方法包括：控制器通过预设MTS流量设置模温机的预设模温机温度；控制器通过热电偶检测到MTS储罐内的当前MTS温度，使得MTS储罐内的液态MTS挥发成为气态MTS，并通过过载气体将气态MTS带出；控制器通过电子称检测得到当前MTS流量；控制器计算当前MTS流量与预设MTS流量的偏差值；控制器根据偏差值对模温机的预设模温机温度进行调节，从而调节MTS储罐内的MTS温度，使得调节后的MTS流量等于预设MTS流量。

Description

一种MTS工艺进气流量自动控制方法及设备
技术领域
本发明涉及工业领域，特别是涉及一种MTS工艺进气流量自动控制方法及设备。
背景技术
在碳化硅沉积过程中，甲基三氯硅烷(MTS)为源气，MTS的流量做为关键的工艺因素，直接影响工艺效果和产品的成败，而MTS作为强腐蚀性及强挥发性的液体，使用传统的各类流量计将致其直接损坏或者寿命极短，而且流量计作为贵重器件不适合经常更换。
因此，传统的碳化硅沉积过程中MTS工艺进气流量控制系统，由于MTS的强腐蚀性使得各类流量计较容易损坏，导致器件成本较高，需要频繁维护，不具备实时调节的MTS流量的功能，使得工艺稳定度较差。
发明内容
本发明的目的是提供了一种MTS工艺进气流量自动控制方法及设备，MTS流量测量只需要利用MTS储罐外的电子称、温度测量只需要利用MTS储罐内的热电偶，避免了MTS的强腐蚀性对于流量计的损坏，降低了器件成本，无需频繁维护，并且能够实施的调节MTS流量，提高了MTS工艺稳定度。
本发明第一方面提供一种MTS工艺进气流量自动控制方法，应用于碳化硅沉积系统的MTS工艺进气流量自动控制设备，MTS工艺进气流量自动控制设备包括MTS储罐、电子称、热电偶、模温机及控制器，方法包括：
控制器通过预设MTS流量设置模温机的预设模温机温度；
控制器通过热电偶检测到MTS储罐内的当前MTS温度，使得MTS储罐内的液态MTS挥发成为气态MTS，并通过过载气体将气态MTS带出；
控制器通过电子称检测得到当前MTS流量；
控制器计算当前MTS流量与预设MTS流量的偏差值；
控制器根据偏差值对模温机的预设模温机温度进行调节，从而调节MTS储罐内的MTS温度，使得调节后的MTS流量等于预设MTS流量。
进一步的，MTS储罐包括MTS加注口、MTS出口及过载气体加注口，当MTS加注口没有加注液态MTS时，
控制器通过电子称检测得到当前MTS流量，包括：
控制器获取过载气体加注口的过载气体流量；
控制器通过电子称计算得到MTS储罐在单位时间内的质量变化，得到第一流量；
控制器将第一流量减去过载气体流量得到当前MTS流量。
进一步的，MTS储罐包括MTS加注口、MTS出口及过载气体加注口，当MTS加注口有加注液态MTS时，
控制器通过电子称检测得到当前MTS流量，包括：
控制器获取过载气体加注口的过载气体流量；
控制器获取MTS加注口的液态MTS流量；
控制器通过电子称计算得到MTS储罐在单位时间内的质量变化，得到第二流量；
控制器将第二流量减去过载气体流量及液态MTS流量得到当前MTS流量。
进一步的，控制器根据偏差值对模温机的预设模温机温度进行调节，从而调节MTS储罐内的MTS温度，包括：
控制器根据偏差值，确定MTS储罐内的当前MTS温度的待调整MTS温度；
控制器根据待调整MTS温度，确定模温机的预设模温机温度的待调整模温机温度；
控制器将模温机的温度调整为待调整模温机温度，从而将MTS储罐内的MTS温度调整为待调整MTS温度，使得调节后的MTS流量等于预设MTS流量。
进一步的，控制器根据偏差值对模温机的预设模温机温度进行调节，从而调节MTS储罐内的MTS温度，包括：
控制器根据偏差值，确定MTS储罐内的当前MTS温度的待调整MTS温度；
控制器获取MTS加注口加注的液态MTS的液态MTS温度；
控制器综合液态MTS温度、当前MTS温度及待调整MTS温度，确定模温机的预设模温机温度的待调整模温机温度；
控制器将模温机的温度调整为待调整模温机温度，从而将MTS储罐内的MTS温度调整为待调整MTS温度，使得调节后的MTS流量等于预设MTS流量。
本发明第二方面提供一种MTS工艺进气流量自动控制设备，应用于碳化硅沉积系统，设备包括：
MTS储罐、电子称、热电偶、模温机及控制器；
MTS储罐用于存储液态MTS，电子称用于对MTS储罐称重，热电偶用于检测MTS储罐内的MTS温度，模温机用于为MTS储罐提供热量；
控制器，用于通过预设MTS流量设置模温机的预设模温机温度；
控制器，还用于通过热电偶检测到MTS储罐内的当前MTS温度，使得MTS储罐内的液态MTS挥发成为气态MTS，并通过过载气体将气态MTS带出；
控制器，还用于通过电子称检测得到当前MTS流量；
控制器，还用于计算当前MTS流量与预设MTS流量的偏差值；
控制器，还用于根据偏差值对模温机的预设模温机温度进行调节，从而调节MTS储罐内的MTS温度，使得调节后的MTS流量等于预设MTS流量。
进一步的，MTS储罐包括：
MTS加注口、MTS出口及过载气体加注口，
控制器，还用于当MTS加注口没有加注液态MTS时，获取过载气体加注口的过载气体流量；
控制器，还用于通过电子称计算得到MTS储罐在单位时间内的质量变化，得到第一流量；
控制器，还用于将第一流量减去过载气体流量得到当前MTS流量。
进一步的，MTS储罐包括：
MTS加注口、MTS出口及过载气体加注口，
控制器，还用于当MTS加注口有加注液态MTS时，通过电子称检测得到当前MTS流量，包括：
控制器，还用于获取过载气体加注口的过载气体流量；
控制器，还用于获取MTS加注口的液态MTS流量；
控制器，还用于通过电子称计算得到MTS储罐在单位时间内的质量变化，得到第二流量；
控制器，还用于将第二流量减去过载气体流量及液态MTS流量得到当前MTS流量。
进一步的，
控制器，还用于根据偏差值，确定MTS储罐内的当前MTS温度的待调整MTS温度；
控制器，还用于根据待调整MTS温度，确定模温机的预设模温机温度的待调整模温机温度；
控制器，还用于将模温机的温度调整为待调整模温机温度，从而将MTS储罐内的MTS温度调整为待调整MTS温度，使得调节后的MTS流量等于预设MTS流量。
进一步的，
控制器，还用于根据偏差值，确定MTS储罐内的当前MTS温度的待调整MTS温度；
控制器，还用于获取MTS加注口加注的液态MTS的液态MTS温度；
控制器，还用于综合液态MTS温度、当前MTS温度及待调整MTS温度，确定模温机的预设模温机温度的待调整模温机温度；
控制器，还用于将模温机的温度调整为待调整模温机温度，从而将MTS储罐内的MTS温度调整为待调整MTS温度，使得调节后的MTS流量等于预设MTS流量。
由此可见，本发明中MTS工艺进气流量自动控制方法的控制器通过预设MTS流量设置模温机的预设模温机温度，通过热电偶检测到MTS储罐内的当前MTS温度，使得MTS储罐内的液态MTS挥发成为气态MTS，并通过过载气体将气态MTS带出，通过电子称检测得到当前MTS流量，计算当前MTS流量与预设MTS流量的偏差值，根据偏差值对模温机的预设模温机温度进行调节，从而调节MTS储罐内的MTS温度，使得调节后的MTS流量等于预设MTS流量。与现有技术相比，只需要通过电子称就能测量当前MTS流量，并且通过计算当前MTS流量与预设MTS流量的偏差值，对模温机的预设模温机温度进行调节，从而调节MTS储罐内的MTS温度，调节后MTS温度能够使得液态MTS的挥发发生变化，从而使得调节后的MTS流量能够等于预设MTS流量，MTS流量测量只需要利用MTS储罐外的电子称、温度测量只需要利用MTS储罐内的热电偶，避免了MTS的强腐蚀性对于流量计的损坏，降低了器件成本，无需频繁维护，并且能够实施的调节MTS流量，提高了MTS工艺稳定度。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明提供的MTS工艺进气流量自动控制设备的一个实施例的结构示意图；
图2为本发明提供的MTS工艺进气流量自动控制方法的一个实施例的流程示意图。
具体实施方式
本发明提供一种MTS工艺进气流量自动控制方法及设备，MTS流量测量只需要利用MTS储罐外的电子称、温度测量只需要利用MTS储罐内的热电偶，避免了MTS的强腐蚀性对于流量计的损坏，降低了器件成本，无需频繁维护，并且能够实施的调节MTS流量，提高了MTS工艺稳定度。
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
需要说明，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
另外，在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
另外，本发明各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。
请参考图1，本发明实施例提供一种应用于碳化硅沉积系统的MTS工艺进气流量自动控制设备，包括：
MTS储罐101、电子称102、热电偶103、模温机104及控制器105；
MTS储罐101用于存储液态MTS，电子称102用于对MTS储罐101称重，热电偶103用于检测MTS储罐101内的MTS温度，模温机104用于为MTS储罐101提供热量；
控制器105，用于通过预设MTS流量设置模温机的预设模温机温度；
控制器105，还用于通过热电偶103检测到MTS储罐内的当前MTS温度，使得MTS储罐101内的液态MTS挥发成为气态MTS，并通过过载气体将气态MTS带出；
控制器105，还用于通过电子称102检测得到当前MTS流量；
控制器105，还用于计算当前MTS流量与预设MTS流量的偏差值；
控制器105，还用于根据偏差值对模温机104的预设模温机温度进行调节，从而调节MTS储罐101内的MTS温度，使得调节后的MTS流量等于预设MTS流量。
本发明实施例中，MTS储罐101用于存储液态MTS，电子称102用于对MTS储罐101称重，热电偶103用于检测MTS储罐101内的MTS温度，模温机104用于为MTS储罐101提供热量，控制器105通过预设MTS流量设置模温机的预设模温机温度，通过热电偶103检测到MTS储罐内的当前MTS温度，使得MTS储罐内的液态MTS挥发成为气态MTS，并通过过载气体将气态MTS带出，通过电子称102检测得到当前MTS流量，计算当前MTS流量与预设MTS流量的偏差值，根据偏差值对模温机104的预设模温机温度进行调节，从而调节MTS储罐101内的MTS温度，使得调节后的MTS流量等于预设MTS流量。与现有技术相比，只需要通过电子称102就能测量当前MTS流量，并且通过计算当前MTS流量与预设MTS流量的偏差值，对模温机104的预设模温机温度进行调节，从而调节MTS储罐内的MTS温度，调节后MTS温度能够使得液态MTS的挥发发生变化，从而使得调节后的MTS流量能够等于预设MTS流量，MTS流量测量只需要利用MTS储罐101外的电子称102、温度测量只需要利用MTS储罐内的热电偶103，避免了MTS的强腐蚀性对于流量计的损坏，降低了器件成本，无需频繁维护，并且能够实施的调节MTS流量，提高了MTS工艺稳定度。
可选的，结合图1所示的实施例，本发明的一些实施例中，MTS储罐包括：
MTS加注口、MTS出口及过载气体加注口，
控制器105，还用于当MTS加注口没有加注液态MTS时，获取过载气体加注口的过载气体流量；
控制器105，还用于通过电子称102计算得到MTS储罐101在单位时间内的质量变化，得到第一流量；
控制器，还用于将第一流量减去过载气体流量得到当前MTS流量。
本发明实施例中，当MTS加注口没有加注液态MTS时，MTS储罐101单位时间内的质量变化，还需要考虑到过载气体加注口加注的过载气体，而过载气体流量可以通过质量流量计检测得到，通过电子称102计算得到MTS储罐101在单位时间内的质量变化，得到第一流量，将第一流量减去过载气体流量，得到的就是挥发的MTS在单位时间内被过载气体从MTS出口带走的量，记为当前MTS流量。
可选的，结合图1所示的实施例，本发明的一些实施例中，MTS储罐包括：
MTS加注口、MTS出口及过载气体加注口，
控制器105，还用于当MTS加注口有加注液态MTS时，通过电子称检测得到当前MTS流量，包括：
控制器105，还用于获取过载气体加注口的过载气体流量；
控制器105，还用于获取MTS加注口的液态MTS流量；
控制器105，还用于通过电子称102计算得到MTS储罐101在单位时间内的质量变化，得到第二流量；
控制器，还用于将第二流量减去过载气体流量及液态MTS流量得到当前MTS流量。
本发明实施例中，当MTS加注口有加注液态MTS时，MTS储罐101单位时间内的质量变化，还需要考虑到过载气体加注口加注的过载气体，以及MTS加注口新加注的液态MTS，过载气体流量可以通过质量流量计检测得到，获取MTS加注口的液态MTS流量，电子称102计算得到MTS储罐101在单位时间内的质量变化，得到第二流量，将第二流量减去过载气体流量及液态MTS流量得到当前MTS流量。
可选的，结合图1所示的实施例，本发明的一些实施例中，当MTS加注口没有加注液态MTS时，
控制器105，还用于根据偏差值，确定MTS储罐101内的当前MTS温度的待调整MTS温度；
控制器105，还用于根据待调整MTS温度，确定模温机104的预设模温机温度的待调整模温机温度；
控制器105，还用于将模温机104的温度调整为待调整模温机温度，从而将MTS储罐101内的MTS温度调整为待调整MTS温度，使得调节后的MTS流量等于预设MTS流量。
本发明实施例中，控制器105根据偏差值就能确定需要调整的流量，即将当前MTS流量调整为预设MTS流量，而按照MTS储罐101内的MTS温度和MTS挥发特性，只需要调节MTS储罐101内的MTS温度就能控制MTS的挥发速度，从而得到待调整MTS温度，而MTS储罐101内的MTS温度是由模温机104的温度进行调节的，那么根据待调整MTS温度，确定模温机104的预设模温机温度的待调整模温机温度，控制器105将模温机104的温度调整为待调整模温机温度，从而将MTS储罐101内的MTS温度调整为待调整MTS温度，使得调节后的MTS流量等于预设MTS流量。
可选的，结合图1所示的实施例，本发明的一些实施例中，当MTS加注口有加注液态MTS时，
控制器105，还用于根据偏差值，确定MTS储罐101内的当前MTS温度的待调整MTS温度；
控制器105，还用于获取MTS加注口加注的液态MTS的液态MTS温度；
控制器105，还用于综合液态MTS温度、当前MTS温度及待调整MTS温度，确定模温机104的预设模温机温度的待调整模温机温度；
控制器105，还用于将模温机104的温度调整为待调整模温机温度，从而将MTS储罐内的MTS温度调整为待调整MTS温度，使得调节后的MTS流量等于预设MTS流量。
本发明实施例中，控制器105根据偏差值就能确定需要调整的流量，即将当前MTS流量调整为预设MTS流量，而按照MTS储罐101内的MTS温度和MTS挥发特性，只需要调节MTS储罐101内的MTS温度就能控制MTS的挥发速度，从而得到待调整MTS温度。因为MTS加注口有加注液态MTS，那么加注的新的液态MTS，如果温度和MTS储罐101已有的液态MTS的温度不相同时，会产生温度中和的影响，那么还需要知道MTS加注口加注的液态MTS的液态MTS温度，只需要知道加注的液态MTS的流量，就能知道单位时间内加注的液态MTS质量，从而综合液态MTS温度、当前MTS温度及待调整MTS温度，确定模温机104的预设模温机温度的待调整模温机温度，控制器105将模温机104的温度调整为待调整模温机温度，从而将MTS储罐内的MTS温度调整为待调整MTS温度，使得调节后的MTS流量等于预设MTS流量。
如图2所示，本发明实施例提供一种MTS工艺进气流量自动控制方法，包括：
201、控制器通过预设MTS流量设置模温机的预设模温机温度；
202、控制器通过热电偶检测到MTS储罐内的当前MTS温度，使得MTS储罐内的液态MTS挥发成为气态MTS，并通过过载气体将气态MTS带出；
203、控制器通过电子称检测得到当前MTS流量；
204、控制器计算当前MTS流量与预设MTS流量的偏差值；
205、控制器根据偏差值对模温机的预设模温机温度进行调节，从而调节MTS储罐内的MTS温度，使得调节后的MTS流量等于预设MTS流量。
本发明实施例中，控制器通过预设MTS流量设置模温机的预设模温机温度，通过热电偶检测到MTS储罐内的当前MTS温度，使得MTS储罐内的液态MTS挥发成为气态MTS，并通过过载气体将气态MTS带出，通过电子称检测得到当前MTS流量，计算当前MTS流量与预设MTS流量的偏差值，根据偏差值对模温机的预设模温机温度进行调节，从而调节MTS储罐内的MTS温度，使得调节后的MTS流量等于预设MTS流量。与现有技术相比，只需要通过电子称就能测量当前MTS流量，并且通过计算当前MTS流量与预设MTS流量的偏差值，对模温机的预设模温机温度进行调节，从而调节MTS储罐内的MTS温度，调节后MTS温度能够使得液态MTS的挥发发生变化，从而使得调节后的MTS流量能够等于预设MTS流量，MTS流量测量只需要利用MTS储罐外的电子称、温度测量只需要利用MTS储罐内的热电偶，避免了MTS的强腐蚀性对于流量计的损坏，降低了器件成本，无需频繁维护，并且能够实施的调节MTS流量，提高了MTS工艺稳定度。
可选的，结合图2所示的实施例，本发明的一些实施例中，MTS储罐包括MTS加注口、MTS出口及过载气体加注口，当MTS加注口没有加注液态MTS时，
控制器通过电子称检测得到当前MTS流量，包括：
控制器获取过载气体加注口的过载气体流量；
控制器通过电子称计算得到MTS储罐在单位时间内的质量变化，得到第一流量；
控制器将第一流量减去过载气体流量得到当前MTS流量。
本发明实施例中，当MTS加注口没有加注液态MTS时，MTS储罐单位时间内的质量变化，还需要考虑到过载气体加注口加注的过载气体，而过载气体流量可以通过质量流量计检测得到，通过电子称计算得到MTS储罐在单位时间内的质量变化，得到第一流量，将第一流量减去过载气体流量，得到的就是挥发的MTS在单位时间内被过载气体从MTS出口带走的量，记为当前MTS流量。
可选的，结合图2所示的实施例，本发明的一些实施例中，MTS储罐包括MTS加注口、MTS出口及过载气体加注口，当MTS加注口有加注液态MTS时，
控制器通过电子称检测得到当前MTS流量，包括：
控制器获取过载气体加注口的过载气体流量；
控制器获取MTS加注口的液态MTS流量；
控制器通过电子称计算得到MTS储罐在单位时间内的质量变化，得到第二流量；
控制器将第二流量减去过载气体流量及液态MTS流量得到当前MTS流量。
本发明实施例中，当MTS加注口有加注液态MTS时，MTS储罐单位时间内的质量变化，还需要考虑到过载气体加注口加注的过载气体，以及MTS加注口新加注的液态MTS，过载气体流量可以通过质量流量计检测得到，获取MTS加注口的液态MTS流量，电子称计算得到MTS储罐在单位时间内的质量变化，得到第二流量，将第二流量减去过载气体流量及液态MTS流量得到当前MTS流量。
可选的，结合图2所示的实施例，本发明的一些实施例中，，控制器根据偏差值对模温机的预设模温机温度进行调节，从而调节MTS储罐内的MTS温度，包括：
控制器根据偏差值，确定MTS储罐内的当前MTS温度的待调整MTS温度；
控制器根据待调整MTS温度，确定模温机的预设模温机温度的待调整模温机温度；
控制器将模温机的温度调整为待调整模温机温度，从而将MTS储罐内的MTS温度调整为待调整MTS温度，使得调节后的MTS流量等于预设MTS流量。
本发明实施例中，控制器根据偏差值就能确定需要调整的流量，即将当前MTS流量调整为预设MTS流量，而按照MTS储罐内的MTS温度和MTS挥发特性，只需要调节MTS储罐内的MTS温度就能控制MTS的挥发速度，从而得到待调整MTS温度，而MTS储罐内的MTS温度是由模温机的温度进行调节的，那么根据待调整MTS温度，确定模温机的预设模温机温度的待调整模温机温度，控制器将模温机的温度调整为待调整模温机温度，从而将MTS储罐内的MTS温度调整为待调整MTS温度，使得调节后的MTS流量等于预设MTS流量。
可选的，结合图2所示的实施例，本发明的一些实施例中，控制器根据偏差值对模温机的预设模温机温度进行调节，从而调节MTS储罐内的MTS温度，包括：
控制器根据偏差值，确定MTS储罐内的当前MTS温度的待调整MTS温度；
控制器获取MTS加注口加注的液态MTS的液态MTS温度；
控制器综合液态MTS温度、当前MTS温度及待调整MTS温度，确定模温机的预设模温机温度的待调整模温机温度；
控制器将模温机的温度调整为待调整模温机温度，从而将MTS储罐内的MTS温度调整为待调整MTS温度，使得调节后的MTS流量等于预设MTS流量。
本发明实施例中，控制器根据偏差值就能确定需要调整的流量，即将当前MTS流量调整为预设MTS流量，而按照MTS储罐内的MTS温度和MTS挥发特性，只需要调节MTS储罐内的MTS温度就能控制MTS的挥发速度，从而得到待调整MTS温度。因为MTS加注口有加注液态MTS，那么加注的新的液态MTS，如果温度和MTS储罐已有的液态MTS的温度不相同时，会产生温度中和的影响，那么还需要知道MTS加注口加注的液态MTS的液态MTS温度，只需要知道加注的液态MTS的流量，就能知道单位时间内加注的液态MTS质量，从而综合液态MTS温度、当前MTS温度及待调整MTS温度，确定模温机的预设模温机温度的待调整模温机温度，控制器将模温机的温度调整为待调整模温机温度，从而将MTS储罐内的MTS温度调整为待调整MTS温度，使得调节后的MTS流量等于预设MTS流量。
本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。
还需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其他实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种MTS工艺进气流量自动控制方法，其特征在于，应用于碳化硅沉积系统的MTS工艺进气流量自动控制设备，所述MTS工艺进气流量自动控制设备包括MTS储罐、电子称、热电偶、模温机及控制器，所述方法包括：
所述控制器通过预设MTS流量设置所述模温机的预设模温机温度；
所述控制器通过所述热电偶检测到所述MTS储罐内的当前MTS温度，使得所述MTS储罐内的液态MTS挥发成为气态MTS，并通过过载气体将所述气态MTS带出；
所述控制器通过所述电子称检测得到当前MTS流量；
所述控制器计算所述当前MTS流量与所述预设MTS流量的偏差值；
所述控制器根据所述偏差值对所述模温机的预设模温机温度进行调节，从而调节所述MTS储罐内的MTS温度，使得调节后的MTS流量等于所述预设MTS流量。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述MTS储罐包括MTS加注口、MTS出口及过载气体加注口，当所述MTS加注口没有加注液态MTS时，
所述控制器通过所述电子称检测得到当前MTS流量，包括：
所述控制器获取所述过载气体加注口的过载气体流量；
所述控制器通过所述电子称计算得到所述MTS储罐在单位时间内的质量变化，得到第一流量；
所述控制器将所述第一流量减去所述过载气体流量得到当前MTS流量。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述MTS储罐包括MTS加注口、MTS出口及过载气体加注口，当所述MTS加注口有加注液态MTS时，
所述控制器通过所述电子称检测得到当前MTS流量，包括：
所述控制器获取所述过载气体加注口的过载气体流量；
所述控制器获取所述MTS加注口的液态MTS流量；
所述控制器通过所述电子称计算得到所述MTS储罐在单位时间内的质量变化，得到第二流量；
所述控制器将所述第二流量减去所述过载气体流量及所述液态MTS流量得到当前MTS流量。
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述控制器根据所述偏差值对所述模温机的预设模温机温度进行调节，从而调节所述MTS储罐内的MTS温度，包括：
所述控制器根据所述偏差值，确定所述MTS储罐内的当前MTS温度的待调整MTS温度；
所述控制器根据所述待调整MTS温度，确定所述模温机的预设模温机温度的待调整模温机温度；
所述控制器将所述模温机的温度调整为待调整模温机温度，从而将所述MTS储罐内的MTS温度调整为待调整MTS温度，使得调节后的MTS流量等于所述预设MTS流量。
5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述控制器根据所述偏差值对所述模温机的预设模温机温度进行调节，从而调节所述MTS储罐内的MTS温度，包括：
所述控制器根据所述偏差值，确定所述MTS储罐内的当前MTS温度的待调整MTS温度；
所述控制器获取所述所述MTS加注口加注的液态MTS的液态MTS温度；
所述控制器综合所述液态MTS温度、所述当前MTS温度及所述待调整MTS温度，确定所述模温机的预设模温机温度的待调整模温机温度；
所述控制器将所述模温机的温度调整为待调整模温机温度，从而将所述MTS储罐内的MTS温度调整为待调整MTS温度，使得调节后的MTS流量等于所述预设MTS流量。
6.一种MTS工艺进气流量自动控制设备，其特征在于，应用于碳化硅沉积系统，所述设备包括：
MTS储罐、电子称、热电偶、模温机及控制器；
所述MTS储罐用于存储液态MTS，所述电子称用于对所述MTS储罐称重，所述热电偶用于检测所述MTS储罐内的MTS温度，所述模温机用于为所述MTS储罐提供热量；
所述控制器，用于通过预设MTS流量设置所述模温机的预设模温机温度；
所述控制器，还用于通过所述热电偶检测到所述MTS储罐内的当前MTS温度，使得所述MTS储罐内的液态MTS挥发成为气态MTS，并通过过载气体将所述气态MTS带出；
所述控制器，还用于通过所述电子称检测得到当前MTS流量；
所述控制器，还用于计算所述当前MTS流量与所述预设MTS流量的偏差值；
所述控制器，还用于根据所述偏差值对所述模温机的预设模温机温度进行调节，从而调节所述MTS储罐内的MTS温度，使得调节后的MTS流量等于所述预设MTS流量。
7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述MTS储罐包括：
MTS加注口、MTS出口及过载气体加注口，
所述控制器，还用于当所述MTS加注口没有加注液态MTS时，获取所述过载气体加注口的过载气体流量；
所述控制器，还用于通过所述电子称计算得到所述MTS储罐在单位时间内的质量变化，得到第一流量；
所述控制器，还用于将所述第一流量减去所述过载气体流量得到当前MTS流量。
8.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述MTS储罐包括：
MTS加注口、MTS出口及过载气体加注口，
所述控制器，还用于当所述MTS加注口有加注液态MTS时，通过所述电子称检测得到当前MTS流量，包括：
所述控制器，还用于获取所述过载气体加注口的过载气体流量；
所述控制器，还用于获取所述MTS加注口的液态MTS流量；
所述控制器，还用于通过所述电子称计算得到所述MTS储罐在单位时间内的质量变化，得到第二流量；
所述控制器，还用于将所述第二流量减去所述过载气体流量及所述液态MTS流量得到当前MTS流量。
9.根据权利要求7所述的设备，其特征在于，
所述控制器，还用于根据所述偏差值，确定所述MTS储罐内的当前MTS温度的待调整MTS温度；
所述控制器，还用于根据所述待调整MTS温度，确定所述模温机的预设模温机温度的待调整模温机温度；
所述控制器，还用于将所述模温机的温度调整为待调整模温机温度，从而将所述MTS储罐内的MTS温度调整为待调整MTS温度，使得调节后的MTS流量等于所述预设MTS流量。
10.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，
所述控制器，还用于根据所述偏差值，确定所述MTS储罐内的当前MTS温度的待调整MTS温度；
所述控制器，还用于获取所述所述MTS加注口加注的液态MTS的液态MTS温度；
所述控制器，还用于综合所述液态MTS温度、所述当前MTS温度及所述待调整MTS温度，确定所述模温机的预设模温机温度的待调整模温机温度；
所述控制器，还用于将所述模温机的温度调整为待调整模温机温度，从而将所述MTS储罐内的MTS温度调整为待调整MTS温度，使得调节后的MTS流量等于所述预设MTS流量。
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