CN112611691A - 一种光刻胶颗粒度测试装置 - Google Patents
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Abstract
本发明适用于光刻胶测试技术领域，提供了一种光刻胶颗粒度测试装置，包括，取样管路，与光刻胶生产线连接用于输入待测光刻胶；与所述取样管路连接的用于测试所述待测光刻胶颗粒度的颗粒仪；所述取样管路与所述颗粒仪进样管路之间设有用于缓冲进入所述颗粒仪待测试光刻胶流量波动的缓冲管路，所述缓冲管路的直径均大于所述取样管路和所述进样管路的直径；所述颗粒仪的出口端还设有用于调节所述颗粒仪中待测光刻胶流量参数的流量计。本实施例的光刻胶颗粒度测试装置，通过缓冲管路有效减缓了采用泵推动物料时的流量波动，同时通过出口端的流量计来规范颗粒仪的检测流量，稳定了测试流量并提高了测试精度。
Description
技术领域
本发明属于光刻胶技术领域，尤其涉及一种光刻胶颗粒度测试装置。
背景技术
颗粒度是先进光刻胶产品在生产时的关键指标，反映了光刻胶的洁净度，一般需要管控0.15微米精度的颗粒。光刻胶在大规模生产要求颗粒度在不同批次下能保持稳定。低的颗粒度能保证芯片不会在制造过程中被光刻胶沾污，减少缺陷的产生，提高芯片的良率和电路性能。能否在规模化生产时稳定地实现颗粒度控制是先进光刻胶产品产业化成功与否的关键之一。
光刻胶产品的颗粒度控制离不开专业的分析设备。在芯片厂主要使用表面颗粒仪(SP2、SP5、SP7)对涂胶后的晶圆进行颗粒扫描，而一般的光刻胶企业不具备表面颗粒仪。通常光刻胶产品中颗粒度分析仪器主要是日本理音公司提供。该款设备提供在线和离线两种测试模式。其中离线模式是通过取样式测试，无法满足生产测试需求。因此，主要的测试手段是在线测试时。根据颗粒仪的技术参数，通常需要规定待测光刻胶样品的流量是5-10mL/min左右。而在光刻胶液体在管道内流动时，由于管道压力差，会产生细小的气泡。这些小气泡在通过液体颗粒仪后，会导致仪器报错，影响测试结果。同时，使用泵进行物料输送时，管道内光刻胶的流速也存在波动。不稳定的流速，使仪器的测试流量不稳定，导致测试数据不稳。
此外，颗粒仪在使用时，必须使用产品进行润洗仪器的测试管路。由于颗粒仪内部管路在存放时会产生颗粒物。因此在实际生产测试时，会使用昂贵的光刻胶对测试管路进行润洗，通常需要润洗1-2小时左右，耗费产品2-5kg，这样就大大延长了生产时间，同时清洗成本大大增加。因此，需要开发一种光刻胶颗粒度测试清洗装置，能够快速、准确的测定光刻胶产品的颗粒度。
发明内容
本发明实施例提供一种光刻胶颗粒度测试装置，旨在解决现有光刻胶测试管路因为压力差而存在气泡且流量不稳定造成的测试数据不精准的问题。
本发明实施例是这样实现的，提供一种光刻胶颗粒度测试装置，包括：
取样管路，与光刻胶生产线连接用于输入待测光刻胶；
与所述取样管路连接的用于测试所述待测光刻胶颗粒度的颗粒仪；
所述取样管路与所述颗粒仪进样管路之间设有用于缓冲进入所述颗粒仪待测试光刻胶流量波动的缓冲管路，所述缓冲管路的直径均大于所述取样管路和所述进样管路的直径；
所述颗粒仪的出口端还设有用于调节所述颗粒仪中待测光刻胶流量参数的流量计。
更进一步地，所述缓冲管路的上方设有排气孔，用于排出管路内的气泡避免进入所述颗粒仪。
更进一步地，所述取样管路与所述缓冲管路之间设有用于分流进入所述缓冲管路待测光刻胶的回流管路。
更进一步地，所述回流管路上还设有用于调节进入所述缓冲管路的待测光刻胶流量的调节阀门。
更进一步地，所述回流管路的末端设有用于存放多余待测光刻胶的去储罐。
更进一步地，所述流量计的出口端还设有用于回收经过测试待测光刻胶的去废液罐。
更进一步地，所述颗粒仪的进口端还设有用于清洗所述光刻胶颗粒度测试装置的清洗装置。
更进一步地，所述清洗装置包括：清洗液储罐、与清洗液储罐连接的清洗泵、以及与所述清洗泵连接的过滤器，所述过滤器连接有清洗液回流管路和用于冲洗所述光刻胶颗粒度测试装置的冲洗管路，所述清洗液回流管路连接所述清洗液储罐，所述冲洗管路连接所述进样管路。
更进一步地，所述过滤器出口管路上设有储液罐阀门，以控制所述清洗装置处于内循环清洗模式或冲洗所述光刻胶颗粒度测试装置的冲洗模式。
更进一步地，所述冲洗管路上还设有颗粒仪清洗阀门，以用于开启或关闭冲洗模式。
本发明实施例的光刻胶颗粒度测试装置，通过在取样管路与颗粒仪进样管路之间设置缓冲管路，以用来缓冲进入颗粒仪待测光刻胶的流量波动；并通过颗粒仪出口端的流量计来调节待测试光刻胶的流量参数。本实施例的光刻胶颗粒度测试装置，通过缓冲管路有效减缓了采用泵推动物料时的流量波动，同时通过出口端的流量计来规范颗粒仪的检测流量，稳定了测试流量并提高了测试精度。
附图说明
图1是本发明提供的光刻胶颗粒度测试装置实施例一的结构示意图；
图2是本发明提供的光刻胶颗粒度测试装置实施例三的结构示意图；
图3是本发明提供的光刻胶颗粒度测试装置实施例四的结构示意图。
附图标号说明：
10、取样管路；20、进样管路；30、缓冲管路；31、排气孔；40、颗粒仪；50、流量计；60、去废液罐；
70、回流管辂；71、调节阀；72、去储罐；
80、清洗装置；81、清洗液储罐；82、清洗泵；83、过滤器；84、清洗液回流管路；85、冲洗管路。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
现有光刻胶测试主要是在线测试，根据颗粒仪的技术参数，通常需要规定待测光刻胶样品的流量是5-10mL/min左右。而在使用泵进行物料输送时，管道内光刻胶的流速也存在波动。不稳定的流速，使仪器的测试流量不稳定，导致测试数据不稳。
本发明提供一种光刻胶颗粒度测试装置，通过在取样管路与颗粒仪进样管路之间设置缓冲管路，以用来缓冲进入颗粒仪待测试光刻胶的流量波动；并通过颗粒仪出口端的流量计来调节待测试光刻胶的流量参数。本实施例的光刻胶颗粒度测试装置，通过缓冲管路有效减缓了采用泵推动物料时的流量波动，同时通过出口端的流量计来规范颗粒仪的检测流量，稳定了测试流量并提高了测试精度。
实施例一
如图1所示，本发明提供一种光刻胶颗粒度测试装置，包括，取样管路10，与光刻胶生产线连接用于输入待测光刻胶；与取样管路10连接的用于测试待测光刻胶颗粒度的颗粒仪40；取样管路10与颗粒仪进样管路20之间设有用于缓冲进入颗粒仪40待测试光刻胶流量波动的缓冲管路30，缓冲管路30的直径均大于取样管路10和进样管路20的直径；颗粒仪40的出口端还设有用于调节颗粒仪40中待测光刻胶流量参数的流量计50。
在本实施例中，流量计50的出口端还设有用于回收经过测试的待测光刻胶的去废液罐60。在线测试光刻胶颗粒度时，一般使用泵来输送物料，光刻胶输送装置与取样管路10连接。缓冲管路30设置在取样管路10和进样管路20之间，并且缓冲管路20的直径均大于取样管路10和进样管路20，以有效缓冲泵推动光刻胶的流量波动。
进一步地，颗粒仪40的出口端设有流量计50，因为光刻胶产品本身的特殊性，不能将流量计50设置在颗粒仪40的进口端，处在进口端时，流量计50在调节流量时会影响待测光刻胶的颗粒度，造成测试数据不准确。因此，将流量计50设置在颗粒仪40的出口端以调节颗粒仪40内待测光刻胶的流量参数，进一步使颗粒仪40内的待测光刻胶流量达到10mL/min左右，满足测试流量需求。
本实施例的光刻胶颗粒度测试装置，通过在取样管路10与进样管路20之间设置缓冲管路30，以用来缓冲进入颗粒仪40待测试光刻胶流量波动；并通过颗粒仪40出口端的流量计50来调节待测试光刻胶的流量参数。本实施例的光刻胶颗粒度测试装置，通过缓冲管路30有效减缓了采用泵推动物料时的流量波动，同时通过出口端的流量计50来规范颗粒仪的检测流量，稳定了测试流量并提高了测试精度。
实施例二
如图1所示，在实施例一的基础上，本实施例中缓冲管路30的上方设有排气孔31，用于排出进入管路内的气泡，避免进入颗粒仪40。
由于待测光刻胶液体在管道内流动时，由于管道压力差，会产生细小的气泡。这些小气泡在通过颗粒仪40后，会导致仪器报错，影响测试结果，因此需要对测试管道进行排空操作。
本实施例的光刻胶测试装置通过在缓冲管路30的上方设置排气孔31，当管路内有气泡时，通过排气孔31排出，避免气泡进入颗粒仪40，影响测试结果，进一步提高测试精度。
实施例三
参照图2，在实施例一或二的基础上，在本实施例中，取样管路10与缓冲管路30之间设有用于分流进入缓冲管路待测光刻胶的回流管路70。回流管路70上还设有用于调节进入缓冲管路的待测光刻胶流量的调节阀门71。
进一步地，回流管路70的末端连接有用于存放多余待测光刻胶的去储罐72。
在本实施例中，使待测光刻胶通过取样管路10流入颗粒仪40。观察出口端流量计50的读数，进一步调节前端的调节阀门71的气压，控制进入缓冲管路30的待测光刻胶流量，使其流量保持稳定。接着打开颗粒仪40，待机器稳定后开始测试。而多余的待测光刻胶通过回流管路70流至去储罐72中。
本实施例的光刻胶颗粒度测试装置解决了在大流量光刻胶生产线测试时，缓冲管路30无法抵消流量冲击的问题。本实施例通过增加光刻胶回收管路，解决了不同流量下光刻胶颗粒度测试时，因气泡或流量不稳导致仪器容易报错的问题；并将多余的待测光刻胶通过回收管路进行回收，减少分析损耗；同时也大大缩短了光刻胶产品生产时颗粒度检测的时间，提升了数据可靠性。
实施例四
参照图3，在上述实施例一的基础上，颗粒仪40的进口端还连接有用于清洗光刻胶颗粒度测试装置的清洗装置80。
进一步地，清洗装置80包括：清洗装置80包括：清洗液储罐81、与清洗液储罐81连接的清洗泵82、以及与清洗泵82连接的过滤器83，过滤器83连接有清洗液回流管路84和用于冲洗光刻胶颗粒度测试装置的冲洗管路85，清洗液回流管路84连接清洗液储罐81，冲洗管路85连接进样管路20。
进一步地，过滤器83的出口管路上设有储液罐阀门，以控制清洗装置处于内循环清洗模式或冲洗光刻胶颗粒度测试装置的冲洗模式。
进一步地，冲洗管路85上还设有颗粒仪清洗阀门，以用于开启或关闭冲洗模式。
在本实施例中，在测试光刻胶颗粒度之前需要对测试管路进行清洗，以提高颗粒仪的测试精度。本实施例采用清洗液对光刻胶颗粒度测试装置进行清洗。首先调节清洗液储罐阀门至内循环清洗模式，开启清洗液储罐81的循环泵82，使清洗液储罐81内的清洗液经过循环泵82、过滤器83后经过清洗液回流管路84返回至清洗液储罐81，以对循环泵82以及过滤器83还有内部管路进行清洗。循环一定时间后，一般设置为4小时以上，内循环清洗模式结束。可以理解的是根据实际需要还可设置其他的清洗时间。
然后调节清洗液储罐阀门至冲洗模式，并开启颗粒仪清洗阀门，清洗液储液罐81内的清洗液通过循环泵82、过滤器83后通过冲洗管路85进入光刻胶颗粒度测试装置进行冲洗。在冲洗过程中，颗粒仪40处于开启模式，直至颗粒仪40显示测试颗粒度合格，表明光刻胶颗粒度测试装置已清洗干净。
本实施例的清洗装置，利用清洗液对清洗装置进行内循环清洗，内循环清洗完成后对光刻胶颗粒度测试装置进行冲洗，通过颗粒仪40检测测试装置是否清洗干净，相对于现有的使用昂贵的光刻胶来清洗测试装置，本实施例的清洗装置大大降低了成本，并且通过颗粒仪40来检测清洗结果，进一步提高了测试精度。
本发明的光刻胶颗粒度测试装置，通过在取样管路10与颗粒仪进样管路20之间设置缓冲管路30，以用来缓冲进入颗粒仪待测光刻胶流量波动；并通过颗粒仪出口端的流量计50来调节待测试光刻胶的流量参数。本实施例的光刻胶颗粒度测试装置，通过缓冲管路30有效减缓了采用泵推动物料时的流量波动，同时通过出口端的流量计50来规范颗粒仪的检测流量，稳定了测试流量并提高了测试精度。通过在缓冲管路30的上方设置排气孔31，当管路内有气泡时，通过排气孔31排出，避免气泡进入颗粒仪40，影响测试结果。通过增加光刻胶回收管路70，解决了不同流量下光刻胶颗粒度测试时，因气泡或流量不稳导致颗粒仪40容易报错的问题，并对多余的待测光刻胶通过回收管路70进行回收，减少分析损耗；同时也大大缩短了光刻胶产品生产时颗粒度检测的时间，提升了数据可靠性。另外，通过在进样管路20上增加清洗装置，利用清洗液对清洗装置进行内循环清洗，并对光刻胶颗粒度测试装置进行冲洗，在冲洗过程中，颗粒仪处于开启模式，已检测是否清洗合格，相对现有的利用昂贵的光刻胶对测试管路进行清洗，一方面降低了清洗成本，另一方面提高了测试的精度。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，包括：
取样管路，与光刻胶生产线连接用于输入待测光刻胶；
与所述取样管路连接的用于测试所述待测光刻胶颗粒度的颗粒仪；
所述取样管路与所述颗粒仪进样管路之间设有用于缓冲进入所述颗粒仪待测试光刻胶流量波动的缓冲管路，所述缓冲管路的直径均大于所述取样管路和所述进样管路的直径；
所述颗粒仪的出口端还设有用于调节所述颗粒仪中待测光刻胶流量参数的流量计。
2.如权利要求1所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，
所述缓冲管路的上方设有排气孔，用于排出管路内的气泡避免进入所述颗粒仪。
3.如权利要求1或2所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，
所述取样管路与所述缓冲管路之间设有用于分流进入所述缓冲管路待测光刻胶的回流管路。
4.如权利要求3所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，
所述回流管路上还设有用于调节进入所述缓冲管路的待测光刻胶流量的调节阀门。
5.如权利要求3所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，
所述回流管路的末端设有用于存放多余待测光刻胶的去储罐。
6.如权利要求1所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，
所述流量计的出口端还设有用于回收经过测试待测光刻胶的去废液罐。
7.如权利要求1所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，
所述颗粒仪的进口端还设有用于清洗所述光刻胶颗粒度测试装置的清洗装置。
8.如权利要求7所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，
所述清洗装置包括：清洗液储罐、与清洗液储罐连接的清洗泵、以及与所述清洗泵连接的过滤器，所述过滤器连接有清洗液回流管路和用于冲洗所述光刻胶颗粒度测试装置的冲洗管路，所述清洗液回流管路连接所述清洗液储罐，所述冲洗管路连接所述进样管路。
9.如权利要求8所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，
所述过滤器出口管路上设有储液罐阀门，以控制所述清洗装置处于内循环清洗模式或冲洗所述光刻胶颗粒度测试装置的冲洗模式。
10.如权利要求8所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，
所述冲洗管路上还设有颗粒仪清洗阀门，以用于开启或关闭冲洗模式。
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Cited By (1)
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2020
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Cited By (2)
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