CN112525492B - 一种用于偏振成像的分辨率板 - Google Patents

一种用于偏振成像的分辨率板 Download PDF

Info

Publication number
CN112525492B
CN112525492B CN202011222263.9A CN202011222263A CN112525492B CN 112525492 B CN112525492 B CN 112525492B CN 202011222263 A CN202011222263 A CN 202011222263A CN 112525492 B CN112525492 B CN 112525492B
Authority
CN
China
Prior art keywords
resolution
polarization
measuring
polarization imaging
imaging system
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202011222263.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112525492A (zh
Inventor
王炜
张永奇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Xian Technological University
Original Assignee
Xian Technological University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Xian Technological University filed Critical Xian Technological University
Priority to CN202011222263.9A priority Critical patent/CN112525492B/zh
Publication of CN112525492A publication Critical patent/CN112525492A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112525492B publication Critical patent/CN112525492B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02Testing optical properties
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02Testing optical properties
    • G01M11/0207Details of measuring devices

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Polarising Elements (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明涉及偏振成像领域,特别涉及一种用于偏振成像的分辨率板。以克服传统分辨率板无法选择接收偏振成像系统各种偏振态的光的缺点。本发明采用的技术方案包括透明基板,所述透明基板上镀制有带有分辨率图案的低反射率铬膜,透明基板上分割为四个区域,包括用于测量偏振状态的斯托克斯参数S0的完整镀制低反射率铬膜的区域,还包括镀制用于测量偏振状态的斯托克斯参数S1、S2和S3的图案区域。

Description

一种用于偏振成像的分辨率板
技术领域
本发明涉及偏振成像领域,特别涉及一种用于偏振成像的分辨率板。
背景技术
分辨率测试板,作为测试成像目标以及测量成像系统的分辨率的重要光学器件,在光学领域得到了广泛的应用,已成为业界关注的焦点。分辨率测试板包含确定线宽和间距的参考线图样,可放在与成像物体相同的平面。通过识别最大不可分辨线集确定给定系统的分辨能力。
随着偏振成像技术的发展,偏振成像系统在天文观测、医疗、遥感、军事等领域得到了广泛应用。要想测量偏振成像系统的分辨率,传统的分辨率测试板有其局限性。传统分辨率板包括透明基板,所述透明基板上镀制有分辨率图案,由于传统分辨板上不包含有任何偏振器件,因此无法选择接收偏振成像系统各种偏振态的光。也就无法直接用于测量偏振成像的分辨率。
发明内容
有鉴于此,本发明的目的在于提供一种用于偏振成像的分辨率板,以克服传统分辨率板无法选择接收偏振成像系统各种偏振态的光的缺点。
为了达到本发明的目的,本发明要提供的技术方案如下:一种用于偏振成像的分辨率板,包括透明基板,所述透明基板上镀制有带有分辨率图案的低反射率铬膜,透明基板上分割为四个区域,包括用于测量偏振状态的斯托克斯参数S0的完整镀制低反射率铬膜的区域,还包括镀制用于测量偏振状态的斯托克斯参数S1、S2和S3的图案区域。
优选的,上述分辨率基板上叠置水平线偏振片并将两者粘接在一起,用于测量偏振状态的斯托克斯参数S1的偏振成像系统的分辨率。
优选的,上述分辨率基板上叠置45°线偏振片并将两者粘接在一起,用于测量偏振状态的斯托克斯参数S2的偏振成像系统的分辨率。
优选的,上述分辨率基板上顺序叠置四分之一波片和45°线偏振片并将三者粘接在一起,用于测量偏振状态的斯托克斯参数S3的偏振成像系统的分辨率。
与现有技术相比,本发明的优点是:
1、由于透明基板上增加了水平线偏振片、45°线偏振片或四分之一波片,所以分辨板可以选择接收偏振成像系统的S1、S2和S3的偏振态的光,因此分辨率板可以直接用于测量偏振成像系统的分辨率;
2、两种或者多种组合的分辨率板可以简单同时获取到同一成像物体的不同偏振状态,这大大降低了检测偏振成像系统分辨率的难度,同时提高了测量速度;
3、本发明提供的分辨率板可以用于天文观测、医疗、遥感、军事等多领域的偏振成像系统。
附图说明
图1用于测量S0偏振态系统分辨率的分辨率板示意图;
图2a用于测量S1偏振态系统分辨率的分辨率板示意图主视图;
图2b是图2a的剖视图;
图3a用于测量S2偏振态系统分辨率的分辨率板示意图主视图;
图3b是图3a的剖视图;
图4a用于测量S3偏振态系统分辨率的分辨率板示意图主视图;
图4b是图4a的剖视图;
图5是用于同时测量四种偏振态系统分辨率的分辨率板示意图。
具体实施方式:
下面将结合附图和实施例对本发明进行详细地描述。
一种用于偏振成像的分辨率板,包括透明基板,所述透明基板上镀制有带有分辨率图案的低反射率铬膜,透明基板上分割为四个区域,包括用于测量偏振状态的斯托克斯参数S0的完整镀制低反射率铬膜的区域,还包括镀制用于测量偏振状态的斯托克斯参数S1、S2和S3的图案区域。所述分辨率基板上叠置水平线偏振片并将两者粘接在一起,用于测量偏振状态的斯托克斯参数S1的偏振成像系统的分辨率。所述分辨率基板上叠置45°线偏振片并将两者粘接在一起,用于测量偏振状态的斯托克斯参数S2的偏振成像系统的分辨率。所述述分辨率基板上顺序叠置四分之一波片和45°线偏振片并将三者粘接在一起,用于测量偏振状态的斯托克斯参数S3的偏振成像系统的分辨率。
参考图1,本发明的目的在于提供一种用于偏振成像系统分辨率板,在透明基板上镀制有带有分辨率图案的低反射率铬膜,图中的黑色区域为镀低反射率铬膜区域,图中留出透明的图案为新型分辨率测试板的分辨率图案,用于测量S0偏振态的偏振成像系统的分辨率。参考图2,将图1所述的分辨率板的分辨率图案处与水平线偏振片粘接在一起,用于测量S1偏振态的偏振成像系统的分辨率。参考图3,将图1所述的分辨率板的分辨率图案处与45°线偏振片粘接在一起,用于测量S2偏振态的偏振成像系统的分辨率。参考图4,将图1所述的分辨率板的分辨率图案处与45°线偏振片以及四分之一波片粘接在一起,用于测量S3偏振态的偏振成像系统的分辨率。
参考图5,将一块基板分为四部分,每部分都在透明基板上镀低反射率铬膜,留出透明的图案为分辨率测试板的分辨率图案,第一部分镀上分辨率图案;第二部分在镀上分辨率图案之后在分辨率图案一侧粘接水平线偏振片;第三部分在镀上分辨率图案之后在分辨率图案一侧粘接45°线偏振片;第四部分在镀上分辨率图案之后在分辨率图案一侧粘接45°线偏振片以及四分之一波片。用于同时测量偏振成像系统四种偏振态的分辨率。

Claims (1)

1.一种用于偏振成像的分辨率板,包括透明基板,所述透明基板上镀制有带有分辨率图案的低反射率铬膜,透明基板上分割为四个区域,包括用于测量偏振状态的斯托克斯参数S0的完整镀制低反射率铬膜的区域,还包括镀制用于测量偏振状态的斯托克斯参数S1、S2和S3的图案区域;
分辨率基板上叠置水平线偏振片并将两者粘接在一起,用于测量偏振状态的斯托克斯参数S1的偏振成像系统的分辨率;
所述分辨率基板上叠置45°线偏振片并将两者粘接在一起,用于测量偏振状态的斯托克斯参数S2的偏振成像系统的分辨率;
所述分辨率基板上顺序叠置四分之一波片和45°线偏振片并将三者粘接在一起,用于测量偏振状态的斯托克斯参数S3的偏振成像系统的分辨率。
CN202011222263.9A 2020-11-05 2020-11-05 一种用于偏振成像的分辨率板 Active CN112525492B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011222263.9A CN112525492B (zh) 2020-11-05 2020-11-05 一种用于偏振成像的分辨率板

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011222263.9A CN112525492B (zh) 2020-11-05 2020-11-05 一种用于偏振成像的分辨率板

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112525492A CN112525492A (zh) 2021-03-19
CN112525492B true CN112525492B (zh) 2022-12-27

Family

ID=74980641

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202011222263.9A Active CN112525492B (zh) 2020-11-05 2020-11-05 一种用于偏振成像的分辨率板

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112525492B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7128228B2 (ja) 2014-06-27 2022-08-30 日東電工株式会社 長尺状の偏光フィルム積層体

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006323328A (ja) * 2004-09-17 2006-11-30 Hitachi Maxell Ltd マイクロレンズアレイ及びマイクロレンズアレイの製造方法並びに当該マイクロレンズアレイを搭載した液晶表示装置
CN103703395A (zh) * 2011-05-26 2014-04-02 日东电工株式会社 带粘合剂层的偏振片及图像显示装置
CN104034426A (zh) * 2014-06-11 2014-09-10 中国科学技术大学 一种基于像素偏振片阵列的实时偏振态和相位测量方法
CN104216135A (zh) * 2014-09-05 2014-12-17 西北工业大学 一种获取全偏振参数的微偏振片阵列、制备方法及其应用
CN106019451A (zh) * 2016-07-17 2016-10-12 苏州大学 基于表面等离子基元的全斯托克斯矢量偏振器及其制备方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006323328A (ja) * 2004-09-17 2006-11-30 Hitachi Maxell Ltd マイクロレンズアレイ及びマイクロレンズアレイの製造方法並びに当該マイクロレンズアレイを搭載した液晶表示装置
CN103703395A (zh) * 2011-05-26 2014-04-02 日东电工株式会社 带粘合剂层的偏振片及图像显示装置
CN104034426A (zh) * 2014-06-11 2014-09-10 中国科学技术大学 一种基于像素偏振片阵列的实时偏振态和相位测量方法
CN104216135A (zh) * 2014-09-05 2014-12-17 西北工业大学 一种获取全偏振参数的微偏振片阵列、制备方法及其应用
CN106019451A (zh) * 2016-07-17 2016-10-12 苏州大学 基于表面等离子基元的全斯托克斯矢量偏振器及其制备方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
偏振光栅微阵列制备与特性研究;陈星;《中国优秀博硕士学位论文全文数据库(硕士)基础科学辑》;20200115(第01期);第2.1节、第4章 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN112525492A (zh) 2021-03-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9429856B1 (en) Detectable overlay targets with strong definition of center locations
CN112525492B (zh) 一种用于偏振成像的分辨率板
CN105675186B (zh) 基于动态光弹性系统的应力测量方法
CN102998309B (zh) 一种多层印刷电路板对位检测方法
CN104870933A (zh) 用于测量多层半导体结构的层的厚度变化的方法
JP2019139239A (ja) 光軸を有する光学フィルム、並びにそれを処理するシステム及び方法
CN115451820A (zh) 三通道偏振信息采集系统
CN105352707A (zh) 星敏感器光学系统倍率色差测试设备及测试方法
US20200264459A1 (en) Detecting device and detecting method and detecting equipment therefor
CN107192353A (zh) 台阶仪及探针检测装置
TWI619933B (zh) 光學材料應力量測方法及其系統
CN104848803A (zh) 一种检测物体表面轮廓的方法和系统
KR960011413A (ko) 표시화소의 광량측정방법 및 표시화면의 검사방법 및 검사장치
CN209416986U (zh) 相控阵与双晶探头组合对火车车轮的超声波探伤装置
JP5991226B2 (ja) 偏光解消効果を評価するための偏光解析装置
CN207515908U (zh) 一种多光路自定标偏振探测装置及系统
CN221037285U (zh) 一种用于双面抛光晶圆测量干涉仪的映射校准装置
TWI426286B (zh) 基板電性的量測設備
Wang et al. Design of an optical probe for testing surface roughness and micro-displacement
CN110243286A (zh) 一种背钻偏移检测装置及图像获取装置
JPH06201950A (ja) 光コネクタのコア偏心測定方法、および、これにより測定された光コネクタ
CN110009668A (zh) 多通道相移干涉图的配准方法、装置和成像方法、系统
TWI432843B (zh) Backlight module with light guide and display
CN115597487B (zh) 一种用于测量印刷电路板层间偏移量的测量方法
Zhou et al. Research of 3D spatial localizing system based on PSD sensor

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant