CN112492471B - 一种基于微流控和表面声波技术的声学阀装置 - Google Patents
一种基于微流控和表面声波技术的声学阀装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN112492471B CN112492471B CN202011407489.6A CN202011407489A CN112492471B CN 112492471 B CN112492471 B CN 112492471B CN 202011407489 A CN202011407489 A CN 202011407489A CN 112492471 B CN112492471 B CN 112492471B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- transducer
- micro
- sound field
- channel
- flow channel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 40
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000005381 potential energy Methods 0.000 description 2
- 229910001285 shape-memory alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000004113 cell culture Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000007877 drug screening Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000009545 invasion Effects 0.000 description 1
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 1
- 239000004005 microsphere Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000007962 solid dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K15/00—Acoustics not otherwise provided for
- G10K15/04—Sound-producing devices
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R3/00—Circuits for transducers, loudspeakers or microphones
Abstract
一种基于微流控和表面声波技术的声学阀装置,包括压电基底,压电基底上表面附着有换能器组,压电基底上表面键合有微流道,换能器组和微流道配合,液滴在微流道内流动,换能器组生成声场,作为虚拟阀门控制微流道内的离散相,实现微流道的启闭;通过控制换能器组控制声场,进而控制微流道内液滴的前进路线;换能器组为聚焦式表面声波叉指换能器,换能器组由一号换能器和二号换能器组成,一号换能器和二号换能器分别开启或关闭,构造出不同的声场;微流道包括主流道,主流道出口端和三条分支流道连接;本发明使用聚焦型表面声波对液滴进行操纵,对离散相具有选择性的特点,与芯片兼容性好,具有反应时间短、可重复使用、阀启闭可控等优点。
Description
技术领域
本发明属于微流控芯片与表面声波技术领域,具体涉及一种基于微流控和表面声波技术的声学阀装置。
背景技术
随着微流控芯片技术的不断发展,微流控芯片在满足提供微纳且洁净的实验环境的同时,也在丰富不同材料、不同性质样品的微纳操纵方式。液滴微流控旨在通过不相容的多相流体构造离散微液滴,作为微流控中的重要组成部分,液滴微流控已经成为了生物、化学、医疗、材料制备应用中的重要实验平台,尤其在细胞培养、化学合成、药物筛选等方面发展尤为迅速。随着微流控应用需求的提升,对于粒子、液滴等的微纳操纵方法也逐渐丰富且成熟,微流道内阀的形式也多种多样。
微阀作为微流控芯片的关键执行部件,对流道内流体及漂浮物起到控制限流作用,实现流道的启闭机流向的切换,它在微流控系统中的作用,像二极管在集成电路中的作用一样,是最重要的部件之一。目前的微阀主要有电磁微阀、机械式微阀、气动微阀、压电微阀、热驱动微阀、形状记忆合金微阀、相变微阀、液体注入式微阀等。
微阀与驱动泵共同组成了微流控系统的控制部分,但是与驱动泵不同,微阀更需要与微流控芯片有很好匹配与集成。由此,不同形式、不同应用的微流控芯片,需要不同种类的微阀来发挥作用。不同的微阀拥有各自的特点,电磁微阀利用磁铁实现启闭流道,机械式微阀则是利用挤压、扭转等动作实现启闭,二者是应用较广的微阀。压电微阀利用压电材料驱动阀的启闭,气动微阀利用气压驱动阀芯启闭,都具有较为优良的灵敏度特性和响应时间;而热驱动微阀与形状记忆合金微阀则因为需要改变温度来缓慢启闭流道,所以控制性能较差。相变微阀与液体注入式微阀适用于特定的生物医学实验中,其中液体注入式微阀原理简单易行。
比较传统的微阀解决方法大多依赖于比较成熟的伺服电机、电磁铁等设备,而大多为柔性结构的微流控芯片流道采用的多为挤压、扭转等机械式阀控方式;而相变阀通常使用比如加热或降温来溶解或固化流道内阻碍物来实现流道启闭,或使用高聚物的固化来阻隔流道。但是这些相变阀通常无法摆脱响应速度慢等劣势。
表面声波作为微流控系统中十分重要的微纳操纵实现方法之一,不需要特定流道结构就能实现流道内流体或粒子的操纵,且过程快速、可控、无伤害。表面声波微流控技术利用流道内不同物质间的声学特性的不同,通过在流道内构造高频的声学势能梯度场或势能阱来对样品进行驱动、排列、富集等操作,由此也被视为声镊的一种形式。
上述的现有技术,大多采用阻隔流道的方法来实现微流道内阀的功能,完全阻隔整个流道而不具有选择性;传统且常用的机械式、电磁、气动微阀虽然依靠不同的动力源,但是基本都是依靠机械式运动、挤压、扭转等实现流道启闭,其他种类微阀则有反应时间长、普适性差等弊端。
发明内容
为了克服上述现有技术的缺点,本发明的目的在于提供一种基于微流控和表面声波技术的声学阀装置,对连续相分散相具有选择性的特点,与芯片兼容性好,具有反应时间短、可重复使用、阀启闭可控等优点。
为了达到上述目的,本发明采取的技术方案为:
一种基于微流控和表面声波技术的声学阀装置,包括压电基底1,压电基底1上表面附着有换能器组2,压电基底1上表面键合有微流道3,换能器组2和微流道3配合;液滴5在微流道3内流动,换能器组2生成声场4,作为虚拟阀门控制微流道3内的离散相,实现微流道3的启闭;通过控制换能器组2控制声场4,并进而控制微流道3内的液滴5的前进路线。
所述的换能器组2为聚焦式表面声波叉指换能器,换能器组2由一号换能器2-1和二号换能器2-2组成,一号换能器2-1和二号换能器2-2分别开启或关闭,能够分别开启或关闭一号声场4-1和二号声场4-2;一号换能器2-1和二号换能器2-2同时开启时,构造出由一号声场4-1和二号声场4-2耦合形成的三号声场4-3。
所述的微流道3包括主流道3-1,主流道3-1入口端和液滴生成流道3-2连接,主流道3-1出口端和三条分支流道连接,且一号换能器2-1和二号换能器2-2位于主流道3-1出口端的上下两侧;三条分支流道为一号分支流道3-3、二号分支流道3-4、三号分支流道3-5,其中一号分支流道3-3位于主流道3-1出口端前斜上方,二号分支流道3-4位于主流道3-1出口端正前方,三号分支流道3-5位于主流道3-1出口端前斜下方,一号换能器2-1、二号换能器2-2分别指向三号分支流道3-5、一号分支流道3-3。
一种基于微流控和表面声波技术的声学阀装置的使用方法,包括:液滴5在主流道3-1内前进,前往三条分支流道,换能器组2控制液滴5进入相应的分支流道;当一号换能器2-1和二号换能器2-2都不通电时,没有声场,液滴5会直线前进,进入二号分支流道3-4;当一号换能器2-1通电而二号换能器2-2不通电时,只有一号换能器2-1前方产生一号声场4-1,液滴5会被一号声场4-1阻挡,并继而沿一号声场4-1前往三号分支流道3-5;当一号换能器2-1不通电而二号换能器2-2通电时,只有二号换能器2-2前方产生二号声场4-2,液滴5会沿二号声场4-2前往一号分支流道3-3;当一号换能器2-1和二号换能器2-2都通电时,一号声场4-1和二号声场4-2会耦合形成三号声场4-3,液滴5会被捕获在三号声场4-3前,无法前进;当再次关闭一号换能器2-1和二号换能器2-2时,液滴5会被释放。
本发明的有益效果为:
由于本发明采用的换能器组2是聚焦式表面声波叉指换能器,相比一般的声表面波微流控器件,它不仅能操控粒子、微球等固态分散相,还能对液滴5等液态分散相进行操纵,并且具有反应时间短、可重复使用、阀启闭可控等优点。
由于本发明采用的换能器组2所构造的声学阀是声学虚拟微流控阀门,不具有任何实体,所以具有与芯片兼容性好,对被操纵目标侵害低的特点。
由于本发明采用的换能器组2的一号换能器2-1和二号换能器2-2可以独立控制,并且响应时间十分短,使得一号声场4-1、二号声场4-2、三号声场4-3的转换时间较短,基本可以实现对每个液滴5进行单独的精准控制。
附图说明
图1为本发明实施例的结构示意图。
图2为本发明实施例换能器组2和微流道3的示意图。
图3为本发明实施例只开启一号换能器2-1的示意图。
图4为本发明实施例只开启二号换能器2-2的示意图。
图5为本发明实施例同时开启一号换能器2-1、二号换能器2-2的示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做详细描述。
参照图1,一种基于微流控和表面声波技术的声学阀装置,包括压电基底1,压电基底1上表面附着有换能器组2,压电基底1上表面键合有微流道3,换能器组2和微流道3配合,液滴5在微流道3内流动,换能器组2生成声场4,作为虚拟阀门控制微流道3内的离散相,实现微流道3的启闭;通过控制换能器组2控制声场4,并进而控制微流道3内液滴5的前进路线。
参照图2、图3、图4和图5,所述的换能器组2为聚焦式表面声波叉指换能器,换能器组2由一号换能器2-1和二号换能器2-2组成,一号换能器2-1和二号换能器2-2分别开启或关闭,能够分别开启或关闭一号声场4-1和二号声场4-2;一号换能器2-1和二号换能器2-2同时开启时,构造出由一号声场4-1和二号声场4-2耦合形成的三号声场4-3。
所述的微流道3包括主流道3-1,主流道3-1入口端和液滴生成流道3-2连接,主流道3-1出口端和三条分支流道连接,且一号换能器2-1和二号换能器2-2位于主流道3-1出口端的上下两侧;三条分支流道为一号分支流道3-3、二号分支流道3-4、三号分支流道3-5,其中一号分支流道3-3位于主流道3-1出口端前斜上方,二号分支流道3-4位于主流道3-1出口端正前方,三号分支流道3-5位于主流道3-1出口端前斜下方,一号换能器2-1、二号换能器2-2分别指向三号分支流道3-5、一号分支流道3-3。
参照图1,一种基于微流控和表面声波技术的声学阀装置的使用方法,包括:液滴5在主流道3-1内前进,前往三条分支流道,换能器组2控制液滴5进入相应的分支流道;参照图2,当一号换能器2-1和二号换能器2-2都不通电时,没有声场,液滴5会直线前进,进入二号分支流道3-4;参照图3,当一号换能器2-1通电而二号换能器2-2不通电时,只有一号换能器2-1前方产生一号声场4-1,液滴5会被一号声场4-1阻挡,并继而沿一号声场4-1前往三号分支流道3-5;参照图4,当一号换能器2-1不通电而二号换能器2-2通电时,只有二号换能器2-2前方产生二号声场4-2,液滴5会沿二号声场4-2前往一号分支流道3-3;参照图5,当一号换能器2-1和二号换能器2-2都通电时,一号声场4-1和二号声场4-2会耦合形成三号声场4-3,液滴5会被捕获在三号声场4-3前,无法前进;当再次关闭一号换能器2-1和二号换能器2-2时,液滴5会被释放。
Claims (1)
1.一种基于微流控和表面声波技术的声学阀装置,其特征在于:包括压电基底(1),压电基底(1)上表面附着有换能器组(2),压电基底(1)上表面键合有微流道(3),换能器组(2)和微流道(3)配合,液滴(5)在微流道(3)内流动,换能器组(2)生成声场(4),作为虚拟阀门控制微流道(3)内的离散相,实现微流道(3)的启闭;通过控制换能器组(2)控制声场(4),并进而控制微流道(3)内液滴(5)的前进路线;
所述的换能器组(2)为聚焦式表面声波叉指换能器,换能器组(2)由一号换能器(2-1)和二号换能器(2-2)组成,一号换能器(2-1)和二号换能器(2-2)分别开启或关闭,能够分别开启或关闭一号声场(4-1)和二号声场(4-2);一号换能器(2-1)和二号换能器(2-2)同时开启时,构造出由一号声场(4-1)和二号声场(4-2)耦合形成的三号声场(4-3);
所述的微流道(3)包括主流道(3-1),主流道(3-1)入口端和液滴生成流道(3-2)连接,主流道(3-1)出口端和三条分支流道连接,且一号换能器(2-1)和二号换能器(2-2)位于主流道(3-1)出口端的上下两侧;三条分支流道为一号分支流道(3-3)、二号分支流道(3-4)、三号分支流道(3-5),其中一号分支流道(3-3)位于主流道(3-1)出口端前斜上方,二号分支流道(3-4)位于主流道(3-1)出口端正前方,三号分支流道(3-5)位于主流道(3-1)出口端前斜下方,一号换能器(2-1)、二号换能器(2-2)分别指向三号分支流道(3-5)、一号分支流道(3-3);
一种基于微流控和表面声波技术的声学阀装置的使用方法,包括:液滴(5)在主流道(3-1)内前进,前往三条分支流道,换能器组(2)控制液滴(5)进入相应的分支流道;当一号换能器(2-1)和二号换能器(2-2)都不通电时,没有声场,液滴(5)会直线前进,进入二号分支流道(3-4);当一号换能器(2-1)通电而二号换能器(2-2)不通电时,只有一号换能器(2-1)前方产生一号声场(4-1),液滴(5)会被一号声场(4-1)阻挡,并继而沿一号声场(4-1)前往三号分支流道(3-5);当一号换能器(2-1)不通电而二号换能器(2-2)通电时,只有二号换能器(2-2)前方产生二号声场(4-2),液滴(5)会沿二号声场(4-2)前往一号分支流道(3-3);当一号换能器(2-1)和二号换能器(2-2)都通电时,一号声场(4-1)和二号声场(4-2)会耦合形成三号声场(4-3),液滴(5)会被捕获在三号声场(4-3)前,无法前进;当再次关闭一号换能器(2-1)和二号换能器(2-2)时,液滴(5)会被释放。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202011407489.6A CN112492471B (zh) | 2020-12-04 | 2020-12-04 | 一种基于微流控和表面声波技术的声学阀装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202011407489.6A CN112492471B (zh) | 2020-12-04 | 2020-12-04 | 一种基于微流控和表面声波技术的声学阀装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN112492471A CN112492471A (zh) | 2021-03-12 |
CN112492471B true CN112492471B (zh) | 2021-10-19 |
Family
ID=74939476
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202011407489.6A Active CN112492471B (zh) | 2020-12-04 | 2020-12-04 | 一种基于微流控和表面声波技术的声学阀装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN112492471B (zh) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107262172A (zh) * | 2017-08-03 | 2017-10-20 | 江苏大学 | 一种润滑油微粒分离装置的设计及制作方法 |
CN109482121A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-03-19 | 苏州纳葛诺斯生物科技有限公司 | 基于声表面波的微纳米粒子高效反应微流控芯片 |
CN110624427A (zh) * | 2019-10-28 | 2019-12-31 | 西安交通大学 | 一种基于表面声波微流控的气泡生成装置及方法 |
CN109012769B (zh) * | 2018-07-11 | 2020-01-21 | 西安交通大学 | 一种基于表面声波的微流控液滴生成装置及方法 |
CN110314715B (zh) * | 2019-07-17 | 2020-07-10 | 西安交通大学 | 基于聚焦式表面声波和微液滴技术的粒子富集微流控芯片 |
CN111659478A (zh) * | 2020-06-16 | 2020-09-15 | 南京大学 | 一种用于微粒子分离的超声表面驻波微流控芯片和应用 |
CN111701627A (zh) * | 2020-06-20 | 2020-09-25 | 西安交通大学 | 一种基于声表面波微流控的核壳液滴快速生成装置及方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108823065A (zh) * | 2018-07-05 | 2018-11-16 | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 | 基于间歇式倾斜声表面波的微颗粒分选装置 |
CN109433285A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-03-08 | 苏州纳葛诺斯生物科技有限公司 | 基于声表面波的微纳米粒子微流控芯片 |
-
2020
- 2020-12-04 CN CN202011407489.6A patent/CN112492471B/zh active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107262172A (zh) * | 2017-08-03 | 2017-10-20 | 江苏大学 | 一种润滑油微粒分离装置的设计及制作方法 |
CN109012769B (zh) * | 2018-07-11 | 2020-01-21 | 西安交通大学 | 一种基于表面声波的微流控液滴生成装置及方法 |
CN109482121A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-03-19 | 苏州纳葛诺斯生物科技有限公司 | 基于声表面波的微纳米粒子高效反应微流控芯片 |
CN110314715B (zh) * | 2019-07-17 | 2020-07-10 | 西安交通大学 | 基于聚焦式表面声波和微液滴技术的粒子富集微流控芯片 |
CN110624427A (zh) * | 2019-10-28 | 2019-12-31 | 西安交通大学 | 一种基于表面声波微流控的气泡生成装置及方法 |
CN111659478A (zh) * | 2020-06-16 | 2020-09-15 | 南京大学 | 一种用于微粒子分离的超声表面驻波微流控芯片和应用 |
CN111701627A (zh) * | 2020-06-20 | 2020-09-25 | 西安交通大学 | 一种基于声表面波微流控的核壳液滴快速生成装置及方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN112492471A (zh) | 2021-03-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Zhang et al. | Micropumps, microvalves, and micromixers within PCR microfluidic chips: Advances and trends | |
KR101776358B1 (ko) | 유체 네트워크 내의 유체 흐름의 발생 | |
US6916113B2 (en) | Devices and methods for fluid mixing | |
US20160318015A1 (en) | Microfluidic systems and networks | |
CN103335154B (zh) | 一种集成于微流控芯片上的电磁微阀 | |
CN205824328U (zh) | 一种微流控芯片及应用于微流控芯片的磁性塞体微阀门 | |
US9073054B2 (en) | Fluid-controlling device for microchip and use thereof | |
CN110237873B (zh) | 一种基于声表面波的用于粒子分离的无鞘流微流控芯片 | |
US20070128082A1 (en) | Microflow coverage ratio control device | |
CN102678526A (zh) | 多级扩散微流管道的行波式无阀压电微泵 | |
Qin et al. | Acoustic valves in microfluidic channels for droplet manipulation | |
Wu et al. | Modular microfluidics for life sciences | |
CN112492471B (zh) | 一种基于微流控和表面声波技术的声学阀装置 | |
CN103100451A (zh) | 一种基于微流控芯片的温度响应微泵及其制备方法 | |
CN113797985A (zh) | 一种基于声泳和振荡流效应的微纳生物颗粒富集与分离装置 | |
CN206592627U (zh) | 一种集成于微流控芯片的电磁微阀 | |
CN214288265U (zh) | 一种高效单双乳液分离分裂微流控集成芯片 | |
CN206315807U (zh) | 一种声表面波控制开启和关闭的微阀 | |
CN110343611B (zh) | 一种微流控芯片 | |
CN109647557B (zh) | 基于诱导电荷电渗微旋涡的直接颗粒分离芯片及其应用和分离方法 | |
CN103062497A (zh) | 一种基于微流控芯片的智能微阀及其制备方法 | |
CN103055975A (zh) | 一种温度响应的微流体自驱动微流控芯片及其制备方法 | |
CN103055977A (zh) | 一种电响应的微流体自驱动微流控芯片及其制备方法 | |
CN106732836A (zh) | 一种声表面波控制开启和关闭的微阀及其控制方法 | |
CN103041881A (zh) | 一种pH响应的微流体自驱动微流控芯片及其制备方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |