CN112467505B - 一种三路相干合成激光器 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种三路相干合成激光器，包括三个激光单元，其中，激光增益介质A、全反镜M1、全反镜M4、全反镜M5、45°角全反镜M6、45°角平面镜M7、45°角平面镜M8构成第一激光单元；激光增益介质B、全反镜M2、全反镜M4、全反镜M5、45°角全反镜M6、45°角平面镜M7、45°角平面镜M8构成第二激光单元；激光增益介质C、全反镜M3、全反镜M4、全反镜M5、45°角全反镜M6、45°角平面镜M7、45°角平面镜M8构成第三激光单元；本发明的一种三路相干合成激光器，具有结构简单、方便调节、方便扩容、合成效率高、稳定性好的特点，易于广泛地商业化应用于照明、工业加工及国防等领域。
Description
技术领域
本发明涉及相干合成激光器技术领域，尤其是一种三路相干合成激光器。
背景技术
高功率、高亮度、高质量的高能激光系统是人们一直努力追求的目标。在高能激光系统的研发过程中，人们发现光学元件的损伤阈值、材料的热效应等因素会限制激光的输出功率以及导致光束质量下降，为了提高激光器的输出功率水平以及缓解单台激光器工作过程中产生的热，科研人员使用相干合成的技术手段来提高激光系统的输出功率水平，且众多研究成果表明：利用相干合成技术能够有效地缓解单个激光介质随着泵浦功率的提高而产生的热效应，在获得高功率、高亮度的同时能够保持较好的光束质量。
相干合成技术是将若干束性质相同的光束经过相位控制后，在空间交叠的区域产生相干叠加合成一束光进行输出，这就使得远场光斑信息发生变化以及光强会重新排布。在激光科学领域，光束的相干合成技术已经成为激光器的功率和亮度可扩展的重要手段。近年来，众多相干合成方案陆续被提出，比较典型的有全光纤结构、多芯光纤结构以及MOPA结构，其中，全光纤结构以及多芯光纤结构两种结构常用于光纤激光器中，MOPA结构的相干合成需要复杂的相位探测和校正系统，结构复杂，价格昂贵。
发明内容
为了克服上述现有技术中的缺陷，本发明提供了一种三路相干合成激光器，具有结构简单、方便调节、方便扩容、合成效率高，以及不容易受到外界因素影响的特点。
为实现上述目的，本发明采用以下技术方案，包括：
一种三路相干合成激光器，包括：激光增益介质A、激光增益介质B、激光增益介质C；全反镜M1、全反镜M2、全反镜M3、全反镜M4、全反镜M5、45°角全反镜M6、45°角平面镜M7、45°角平面镜M8；
其中，
激光增益介质A、全反镜M1、全反镜M4、全反镜M5、45°角全反镜M6、45°角平面镜M7、45°角平面镜M8构成第一激光单元；
激光增益介质B、全反镜M2、全反镜M4、全反镜M5、45°角全反镜M6、45°角平面镜M7、45°角平面镜M8构成第二激光单元；
激光增益介质C、全反镜M3、全反镜M4、全反镜M5、45°角全反镜M6、45°角平面镜M7、45°角平面镜M8构成第三激光单元；
全反镜M3、激光增益介质C、45°角全反镜M6依次设置在第一光路L1上，且在第一光路L1上保持齐平；
全反镜M2、激光增益介质B、45°角平面镜M7、全反镜M4依次设置在第二光路L2上，且在第二光路L2上保持齐平；
全反镜M1、激光增益介质A、45°角平面镜M8、全反镜M5依次设置在第三光路L3上，且在第三光路L3上保持齐平；
45°角全反镜M6、45°角平面镜M7、45°角平面镜M8依次设置在第四光路L4上，且在第四光路L4上保持齐平；
第一光路L1、第二光路L2、第三光路L3之间互为平行，且第四光路L4与第一光路L1、第二光路L2、第三光路L3之间均为垂直。
所述45°角平面镜M7的一侧面涂有透过率为t1的膜层，45°角平面镜M7的另一侧面涂有增透膜层；所述45°角平面镜M8的一侧面涂有透过率为t2的膜层，45°角平面镜M8的另一侧面涂有增透膜层。
全反镜M3的全反射面朝向45°角全反镜M6的全反射面，且全反镜M3的全反射面与45°角全反镜M6的全反射面之间的夹角为45°；
全反镜M2的全反射面朝向45°角平面镜M7的涂有透过率为t1的膜层的一侧面，且全反镜M2的全反射面与45°角平面镜M7的涂有透过率为t1的膜层的一侧面之间的夹角为45°；45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面朝向全反镜M4的全反射面，且45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面与全反镜M4的全反射面之间的夹角为45°；
全反镜M1的全反射面朝向45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面，且全反镜M1的全反射面与45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面之间的夹角为45°；45°角平面镜M8的涂有透过率为t2的膜层的一侧面朝向全反镜M5的全反射面，且45°角平面镜M8的涂有透过率为t2的膜层的一侧面与全反镜M5的全反射面之间的夹角为45°；
45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面朝向45°角全反镜M6的全反射面，且45°角全反镜M6与45°角平面镜M7平行放置，即45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面与45°角全反镜M6的全反射面之间相互平行；45°角平面镜M7的涂有透过率为t1的膜层的一侧面朝向45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面，且45°角平面镜M7与45°角平面镜M8垂直放置，即45°角平面镜M7的涂有透过率为t1的膜层的一侧面与45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面之间相互垂直。
全反镜M3的全反射面朝向45°角全反镜M6的全反射面，且全反镜M3的全反射面与45°角全反镜M6的全反射面之间的夹角为45°；
全反镜M2的全反射面朝向45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面，且全反镜M2的全反射面与45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面之间的夹角为45°；45°角平面镜M7的涂有透过率为t1的膜层的一侧面朝向全反镜M4的全反射面，且45°角平面镜M7的涂有透过率为t1的膜层的一侧面与全反镜M4的全反射面之间的夹角为45°；
全反镜M1的全反射面朝向45°角平面镜M8的涂有透过率为t2的膜层的一侧面，且全反镜M1的全反射面与45°角平面镜M8的涂有透过率为t2的膜层的一侧面之间的夹角为45°；45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面朝向全反镜M5的全反射面，且45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面与全反镜M5的全反射面之间的夹角为45°；
45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面朝向45°角全反镜M6的全反射面，且45°角全反镜M6与45°角平面镜M7垂直放置，即45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面与45°角全反镜M6的全反射面之间相互垂直；45°角平面镜M7的涂有透过率为t1的膜层的一侧面朝向45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面，且45°角平面镜M7与45°角平面镜M8垂直放置，即45°角平面镜M7的涂有透过率为t1的膜层的一侧面与45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面之间相互垂直。
所述45°角平面镜M7的一侧面涂有透过率为50％的膜层，即t1＝50％；所述45°角平面镜M8的一侧面涂有透过率为25％的膜层，即t2＝25％。
第一激光单元、第二激光单元、第三激光单元中均还包括有聚光腔和激励源；且第一激光单元、第二激光单元、第三激光单元的工作参数均相同；所述工作参数是指：激光单元中的激光增益介质的长度和直径、激光单元中的聚光腔的材质和尺寸、激光单元中的激励源的种类和泵浦功率。
激光增益介质A、激光增益介质B、激光增益介质C的种类相同，为固体增益介质或光纤增益介质。
一种三路相干合成激光器，还包括激光水冷系统；所述激光水冷系统用于向激光器提供恒温冷却水，激光水冷系统通过管路分别与各个激光单元中的聚光腔相连接。
一种三路相干合成激光器，还包括激光电源；所述激光电源用于向激光器提供泵浦能量，激光电源分别对第一激光单元、第二激光单元、第三激光单元提供泵浦能量，且三个激光单元中的激光电源保持同步工作。
本发明的优点在于：
(1)本发明最终的输出能量大于三台激光器独立运行时的输出能量之和，提高了激光系统的输出功率和亮度，合成效率高，稳定性好。
(2)本发明基于迈克尔逊激光腔结构设计，具有合成效率高、调节方便、技术相对简单、结构方便扩容的优点。
(3)本发明易于广泛地商业化应用于照明、工业加工及国防等领域。
(4)本发明不需要复杂的相位控制系统和调节系统，便能够实现各个单元激光器即各个激光单元之间的相位锁定。
附图说明
图1为本发明的一种三路相干合成激光器具体实施例一的基本结构示意图。
图2为本发明的一种三路相干合成激光器具体实施例二的基本结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明的一种三路相干合成激光器，包括：激光增益介质A、激光增益介质B、激光增益介质C；全反镜M1、全反镜M2、全反镜M3、全反镜M4、全反镜M5、45°角全反镜M6、45°角平面镜M7、45°角平面镜M8。
其中，
激光增益介质A、全反镜M1、全反镜M4、全反镜M5、45°角全反镜M6、45°角平面镜M7、45°角平面镜M8构成第一激光单元；
激光增益介质B、全反镜M2、全反镜M4、全反镜M5、45°角全反镜M6、45°角平面镜M7、45°角平面镜M8构成第二激光单元；
激光增益介质C、全反镜M3、全反镜M4、全反镜M5、45°角全反镜M6、45°角平面镜M7、45°角平面镜M8构成第三激光单元。
全反镜M4、全反镜M5、45°角全反镜M6、45°角平面镜M7、45°角平面镜M8分别参与构成第一激光单元、第二激光单元、第三激光单元。
第一激光单元、第二激光单元、第三激光单元中均还包括有聚光腔和激励源；激光单元是由谐振腔反射镜，以及位于谐振腔反射镜之间的激光增益介质、聚光腔、激励源构成的。
全反镜M3、激光增益介质C、45°角全反镜M6依次设置在第一光路L1上，且在第一光路L1上保持齐平；
全反镜M2、激光增益介质B、45°角平面镜M7、全反镜M4依次设置在第二光路L2上，且在第二光路L2上保持齐平；
全反镜M1、激光增益介质A、45°角平面镜M8、全反镜M5依次设置在第三光路L3上，且在第三光路L3上保持齐平；
45°角全反镜M6、45°角平面镜M7、45°角平面镜M8依次设置在第四光路L4上，且在第四光路L4上保持齐平。
第一光路L1、第二光路L2、第三光路L3之间互为平行，且第四光路L4与第一光路L1、第二光路L2、第三光路L3之间均为垂直。
所述45°角平面镜M7的一侧面涂有透过率为50％的膜层，45°角平面镜M7的另一侧面涂有增透膜层；所述45°角平面镜M8的一侧面涂有透过率为25％的膜层，45°角平面镜M8的另一侧面涂有增透膜层。
第一激光单元、第二激光单元、第三激光单元的工作参数均相同，所述工作参数包括激光单元中激光工作物质的长度和直径、激光单元中聚光腔的材质和尺寸、激光单元中激励源的种类和泵浦功率。
激光增益介质A、激光增益介质B、激光增益介质C的种类相同，为固体增益介质或光纤增益介质。
第一激光单元输出激光的能量，分别进入第一激光单元中参与第一激光单元的振荡，进入第二激光单元中参与第二激光单元的振荡，进入第三激光单元中参与第三激光单元的振荡，且在45°角平面镜M8处参与相干合成。
第二激光单元输出激光的能量，分别进入第一激光单元中参与第一激光单元的振荡，进入第二激光单元中参与第二激光单元的振荡，进入第三激光单元中参与第三激光单元的振荡，且在45°角平面镜M8处参与相干合成。
第三激光单元输出激光的能量，分别进入第一激光单元中参与第一激光单元的振荡，进入第二激光单元中参与第二激光单元的振荡，进入第三激光单元中参与第三激光单元的振荡，且在45°角平面镜M8处参与相干合成。
本发明的三路相干合成激光器最终的输出能量通过45°角平面镜M8输出，且三路相干合成激光器最终的输出能量大于三台激光器独立运行时的输出能量之和。
本发明的三路相干合成激光器基于迈克尔逊激光腔结构，迈克尔逊腔结构的相干合成方案具有合成效率高、调节方便、技术相对简单、结构方便扩容等优点。
本发明的一种三路相干合成激光器，还包括：激光水冷系统、激光电源。其中，所述激光水冷系统用于向激光器提供恒温冷却水，激光水冷系统通过管路分别与各个激光单元中的聚光腔相连接。所述激光电源用于向激光器提供泵浦能量，激光电源分别对第一激光单元、第二激光单元、第三激光单元提供泵浦能量，且三个激光单元中的激光电源保持同步工作。
本发明中，关于谐振腔反射镜的放置包括以下两种方式：
实施例一，由图1所示：
全反镜M3、激光增益介质C、45°角全反镜M6依次设置在第一光路L1上，且在第一光路L1上保持齐平；45°角全反镜M6与该第一光路L1之间的夹角为45°；全反镜M3的全反射面朝向45°角全反镜M6的全反射面，且全反镜M3的全反射面与45°角全反镜M6的全反射面之间的夹角为45°。
全反镜M2、激光增益介质B、45°角平面镜M7、全反镜M4依次设置在第二光路L2上，且在第二光路L2上保持齐平；45°角平面镜M7与该第二光路L2之间的夹角为45°；全反镜M2的全反射面朝向45°角平面镜M7的涂有透过率为50％的膜层的一侧面，且全反镜M2的全反射面与45°角平面镜M7的涂有透过率为50％的膜层的一侧面之间的夹角为45°；45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面朝向全反镜M4的全反射面，且45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面与全反镜M4的全反射面之间的夹角为45°。
全反镜M1、激光增益介质A、45°角平面镜M8、全反镜M5依次设置在第三光路L3上，且在第三光路L3上保持齐平；45°角平面镜M8与该第二光路L2之间的夹角为45°；全反镜M1的全反射面朝向45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面，且全反镜M1的全反射面与45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面之间的夹角为45°；45°角平面镜M8的涂有透过率为25％的膜层的一侧面朝向全反镜M5的全反射面，且45°角平面镜M8的涂有透过率为25％的膜层的一侧面与全反镜M5的全反射面之间的夹角为45°。
45°角全反镜M6、45°角平面镜M7、45°角平面镜M8依次设置在第四光路L4上，且在第四光路L4上保持齐平；45°角全反镜M6、45°角平面镜M7、45°角平面镜M8与该第四光路L4之间的夹角均为45°；45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面朝向45°角全反镜M6的全反射面，且45°角全反镜M6与45°角平面镜M7平行放置，即45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面与45°角全反镜M6的全反射面之间相互平行；45°角平面镜M7的涂有透过率为50％的膜层的一侧面朝向45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面，且45°角平面镜M7与45°角平面镜M8垂直放置，即45°角平面镜M7的涂有透过率为50％的膜层的一侧面与45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面之间相互垂直。
实施例二，由图2所示，
全反镜M3、激光增益介质C、45°角全反镜M6依次设置在第一光路L1上，且在第一光路L1上保持齐平；45°角全反镜M6与该第一光路L1之间的夹角为45°；全反镜M3的全反射面朝向45°角全反镜M6的全反射面，且全反镜M3的全反射面与45°角全反镜M6的全反射面之间的夹角为45°。
全反镜M2、激光增益介质B、45°角平面镜M7、全反镜M4依次设置在第二光路L2上，且在第二光路L2上保持齐平；45°角平面镜M7与该第二光路L2之间的夹角为45°；全反镜M2的全反射面朝向45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面，且全反镜M2的全反射面与45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面之间的夹角为45°；45°角平面镜M7的涂有透过率为50％的膜层的一侧面朝向全反镜M4的全反射面，且45°角平面镜M7的涂有透过率为50％的膜层的一侧面与全反镜M4的全反射面之间的夹角为45°。
全反镜M1、激光增益介质A、45°角平面镜M8、全反镜M5依次设置在第三光路L3上，且在第三光路L3上保持齐平；45°角平面镜M8与该第三光路L3之间的夹角为45°；全反镜M1的全反射面朝向45°角平面镜M8的涂有透过率为25％的膜层的一侧面，且全反镜M1的全反射面与45°角平面镜M8的涂有透过率为25％的膜层的一侧面之间的夹角为45°；45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面朝向全反镜M5的全反射面，且45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面与全反镜M5的全反射面之间的夹角为45°。
45°角全反镜M6、45°角平面镜M7、45°角平面镜M8依次设置在第四光路L4上，且在第四光路L4上保持齐平；45°角全反镜M6、45°角平面镜M7、45°角平面镜M8与该第四光路L4之间的夹角均为45°；45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面朝向45°角全反镜M6的全反射面，且45°角全反镜M6与45°角平面镜M7垂直放置，即45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面与45°角全反镜M6的全反射面之间相互垂直；45°角平面镜M7的涂有透过率为50％的膜层的一侧面朝向45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面，且45°角平面镜M7与45°角平面镜M8垂直放置，即45°角平面镜M7的涂有透过率为50％的膜层的一侧面与45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面之间相互垂直。
以上仅为本发明创造的较佳实施例而已，并不用以限制本发明创造，凡在本发明创造的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明创造的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种三路相干合成激光器，其特征在于，包括：激光增益介质A、激光增益介质B、激光增益介质C；全反镜M1、全反镜M2、全反镜M3、全反镜M4、全反镜M5、45°角全反镜M6、45°角平面镜M7、45°角平面镜M8；
其中，
激光增益介质A、全反镜M1、全反镜M4、全反镜M5、45°角全反镜M6、45°角平面镜M7、45°角平面镜M8构成第一激光单元；
激光增益介质B、全反镜M2、全反镜M4、全反镜M5、45°角全反镜M6、45°角平面镜M7、45°角平面镜M8构成第二激光单元；
激光增益介质C、全反镜M3、全反镜M4、全反镜M5、45°角全反镜M6、45°角平面镜M7、45°角平面镜M8构成第三激光单元；
全反镜M3、激光增益介质C、45°角全反镜M6依次设置在第一光路L1上，且在第一光路L1上保持齐平；
全反镜M2、激光增益介质B、45°角平面镜M7、全反镜M4依次设置在第二光路L2上，且在第二光路L2上保持齐平；
全反镜M1、激光增益介质A、45°角平面镜M8、全反镜M5依次设置在第三光路L3上，且在第三光路L3上保持齐平；
45°角全反镜M6、45°角平面镜M7、45°角平面镜M8依次设置在第四光路L4上，且在第四光路L4上保持齐平；
第一光路L1、第二光路L2、第三光路L3之间互为平行，且第四光路L4与第一光路L1、第二光路L2、第三光路L3之间均为垂直；
所述45°角平面镜M7的一侧面涂有透过率为t1的膜层，45°角平面镜M7的另一侧面涂有增透膜层；所述45°角平面镜M8的一侧面涂有透过率为t2的膜层，45°角平面镜M8的另一侧面涂有增透膜层；
全反镜M3的全反射面朝向45°角全反镜M6的全反射面，且全反镜M3的全反射面与45°角全反镜M6的全反射面之间的夹角为45°；
全反镜M2的全反射面朝向45°角平面镜M7的涂有透过率为t1的膜层的一侧面，且全反镜M2的全反射面与45°角平面镜M7的涂有透过率为t1的膜层的一侧面之间的夹角为45°；45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面朝向全反镜M4的全反射面，且45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面与全反镜M4的全反射面之间的夹角为45°；
全反镜M1的全反射面朝向45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面，且全反镜M1的全反射面与45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面之间的夹角为45°；45°角平面镜M8的涂有透过率为t2的膜层的一侧面朝向全反镜M5的全反射面，且45°角平面镜M8的涂有透过率为t2的膜层的一侧面与全反镜M5的全反射面之间的夹角为45°；
45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面朝向45°角全反镜M6的全反射面，且45°角全反镜M6与45°角平面镜M7平行放置，即45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面与45°角全反镜M6的全反射面之间相互平行；45°角平面镜M7的涂有透过率为t1的膜层的一侧面朝向45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面，且45°角平面镜M7与45°角平面镜M8垂直放置，即45°角平面镜M7的涂有透过率为t1的膜层的一侧面与45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面之间相互垂直。
2.根据权利要求1所述的一种三路相干合成激光器，其特征在于，或者，
全反镜M3的全反射面朝向45°角全反镜M6的全反射面，且全反镜M3的全反射面与45°角全反镜M6的全反射面之间的夹角为45°；
全反镜M2的全反射面朝向45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面，且全反镜M2的全反射面与45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面之间的夹角为45°；45°角平面镜M7的涂有透过率为t1的膜层的一侧面朝向全反镜M4的全反射面，且45°角平面镜M7的涂有透过率为t1的膜层的一侧面与全反镜M4的全反射面之间的夹角为45°；
全反镜M1的全反射面朝向45°角平面镜M8的涂有透过率为t2的膜层的一侧面，且全反镜M1的全反射面与45°角平面镜M8的涂有透过率为t2的膜层的一侧面之间的夹角为45°；45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面朝向全反镜M5的全反射面，且45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面与全反镜M5的全反射面之间的夹角为45°；
45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面朝向45°角全反镜M6的全反射面，且45°角全反镜M6与45°角平面镜M7垂直放置，即45°角平面镜M7的涂有增透膜层的一侧面与45°角全反镜M6的全反射面之间相互垂直；45°角平面镜M7的涂有透过率为t1的膜层的一侧面朝向45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面，且45°角平面镜M7与45°角平面镜M8垂直放置，即45°角平面镜M7的涂有透过率为t1的膜层的一侧面与45°角平面镜M8的涂有增透膜层的一侧面之间相互垂直。
3.根据权利要求1-2中任意一项所述的一种三路相干合成激光器，其特征在于，所述45°角平面镜M7的一侧面涂有透过率为50％的膜层，即t1＝50％；所述45°角平面镜M8的一侧面涂有透过率为25％的膜层，即t2＝25％。
4.根据权利要求1所述的一种三路相干合成激光器，其特征在于，第一激光单元、第二激光单元、第三激光单元中均还包括有聚光腔和激励源；且第一激光单元、第二激光单元、第三激光单元的工作参数均相同；所述工作参数是指：激光单元中的激光增益介质的长度和直径、激光单元中的聚光腔的材质和尺寸、激光单元中的激励源的种类和泵浦功率。
5.根据权利要求1所述的一种三路相干合成激光器，其特征在于，激光增益介质A、激光增益介质B、激光增益介质C的种类相同，为固体增益介质或光纤增益介质。
6.根据权利要求1所述的一种三路相干合成激光器，其特征在于，还包括激光水冷系统；所述激光水冷系统用于向激光器提供恒温冷却水，激光水冷系统通过管路分别与各个激光单元中的聚光腔相连接。
7.根据权利要求1所述的一种三路相干合成激光器，其特征在于，还包括激光电源；所述激光电源用于向激光器提供泵浦能量，激光电源分别对第一激光单元、第二激光单元、第三激光单元提供泵浦能量，且三个激光单元中的激光电源保持同步工作。
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