CN112405351B - 一种复合结合剂砂轮修整装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种复合结合剂砂轮修整装置及方法，包括有高精度转台和控制系统，高精度转台两侧的上方分别设置有电火花修整模块和超声修整模块，电火花模块包括Z1直线电机、X1轴直线电机、脉冲电源、电极电机、电极、第一光栅尺和第一激光测位仪。本发明首先由脉冲电源对复合结合剂砂轮进行高温放电、碳化，但复合结合剂中的陶瓷材料、耐磨无机填料熔点高、碳化粘连，经电加工后碳化残渣粘连不易抛除；随后运用超声方式的空化现象对复合结合剂砂轮块端面的碳化粘连层进行抛除，随后再进行进一步电加工修整，电加工为非接触加工。本发明解决了复合结合剂砂轮因加工产生的砂轮掉块，产生内裂纹、加工发热破坏内部结构的问题。

Description

一种复合结合剂砂轮修整装置及方法

技术领域

本发明涉及砂轮修整技术领域，尤其涉及一种复合结合剂砂轮修整装置及方法。

背景技术

目前，超硬砂轮是以金刚石、CBN做为主要介质的修整工具，在工业中发挥着至关重要的作用。主要分为：树脂结合剂、陶瓷结合剂、金属结合剂及电镀砂轮等。每种结合剂有着特有的属性，其中，结合金属结合剂砂轮具有高强度、成形性好、耐磨性好、工作寿命长、耐高温、导热性好，但自锐性差、保持力不高、难修整、易烧工件；陶瓷结合剂有着磨削效率高、自锐性好、耐高温，但结合剂本身强度低、结合剂与金刚石界面结合强度低等特点。随着工业的日益发展，在运用超硬砂轮的过程中，发现传统结合剂的砂轮不能够满足实际工业对加工工件的效率、粗糙度、TTV等的要求。因此，近几年，相关技术人员结合陶瓷结合剂和金属结合剂的优点，研制出了一系列陶瓷、金属复合结合剂的砂轮，在一定程度上有着陶瓷结合剂自锐性高、磨削效率高、磨削精度高的特点，同时又保持了金属结合剂高强度、高硬度、高韧性、对金刚石把持力高、耐磨性高、寿命长的特点。复合结合剂在蓝宝石晶圆、硅晶圆、碳化硅晶圆、砷化镓晶圆、锗晶圆等材料的加工方面展现了优良的特性。

金属结合剂主要采用电火花加工、EILD、超声等修整加工方式；陶瓷结合剂砂轮主要采用传统磨削的方式。复合结合剂主要采用铜锡等金属粉及高温陶瓷、耐磨无机填料等低温烧结而成，微观状态主要呈现金属和陶瓷嵌套三维网格，有着硬脆、疏松、孔隙大等特点。经试验研究，采用电加工等方式进行加工时，表面因存在耐高温、耐磨陶瓷出现蜂窝状粘连物，后续无法进行排除，无法进一步加工；若采用磨削方式加工，易将硬脆、疏松的砂轮块撞裂或产生内裂纹等缺陷，同时加工效率低下。因此，需要开发一种针对复合结合剂砂轮无损、高效的修整加工方式。

发明内容

本发明的目的是提供一种复合结合剂砂轮修整装置及方法，能够实现蓝宝石、硅片、碳化硅、砷化镓、锗晶圆等用复合结合剂砂轮的修整，解决了复合结合剂砂轮因硬脆、疏松等特点产生的加工效率低、易造成砂轮掉块，产生内裂纹、加工发热破坏内部结构的问题。

本发明采用的技术方案为：

一种复合结合剂砂轮修整装置，包括有高精度转台和控制系统，所述的高精度转台两侧的上方分别设置有电火花修整模块和超声修整模块，所述的电火花模块包括Z1直线电机、X1轴直线电机、脉冲电源、电极电机、电极、用于测量Z1直线电机实际位置的第一光栅尺和用于测量待加工件实时高度的第一激光测位仪，电极通过电极电机固定设置在Z1直线电机的输出轴上，Z1直线电机固定设置在X1轴直线电机的输出轴上，所述的脉冲电源的正极与电极相连，负极与待加工件连接；

所述的超声修整模块包括Z2直线电机、X2轴直线电机、超声波发生器、超声波振头、用于测量Z2直线电机实际位置的第二光栅尺和用于测量待加工件实时高度的第二激光测位仪；所述的超声波振头固定在Z2直线电机的输出轴上，Z2直线电机固定设置在X2轴直线电机的输出轴上，超声波发生器的输出端连接超声波振头输入端；

所述的第一激光测位仪、第二激光测位仪、第一光栅尺、第二光栅尺的输出端分别连接控制系统的输入端，控制系统的输出端分别控制连接Z1直线电机、X1轴直线电机、脉冲电源、电极电机、Z2直线电机、X2轴直线电机、超声波发生器和高精度转台的控制输入端。

所述的高精度转台下方设置有动力电机，用于带动高精度转台转动，且所述的高精度转台下面还设置有油箱和油泵，油泵的出口与软管的一端连接，软管的另一端设置在电极和工件之间。

还包括有高压空气清洁装置，所述的高压空气清洁装置包括高压空气过滤器喷嘴组和气压调节阀，喷嘴组分别设置在电极和超声振头及砂轮齿部，主要用于对电极、超声振头和砂轮端面的清洁。

一种基于复合结合剂砂轮修整装置的修整方法，包括如下步骤：

步骤A：采用千分尺测量砂轮块高度，确认加工余量X；

步骤B：分别对电火花修整模具和超声修正模块进行对刀调整，并记录当前砂轮块的位置；

步骤C：操作人员通过控制系统对电火花加工系统的加工余量和电极转速、Z1轴进给速率进行设置；对超声修整模块进行加工余量及超声波加工参数、Z2轴进给速率进行设置；

步骤D：启动系统进行加工，砂轮块端面首先进行电火花加工，经电火花加工后，砂轮块在高精度转台的带动下进行旋转，旋转砂轮块到超声修整模块的正下方，启动超声修整模块对砂轮块进行超声振动加工；

在加工过程中，所述的第一光栅尺和第二光栅尺分别对Z1轴电机和Z2轴电机进行Z轴上实际位置的实时测量和反馈，且第一光栅尺和第二光栅尺的测量值和控制系统初始设定的Z轴加工量进行比较，控制系统进行分析计算，实时发送控制信号到Z1轴电机和Z2轴电机，进而修订Z轴的加工余量，完成系统闭环控制；

同时，第一激光位移仪实时测量经过电火花加工加工后的砂轮块的高度，做为Z1轴加工余量的修订，以补偿电极损耗；第二激光位移仪实时测量经超声波修正后的砂轮块的高度，做为Z2轴加工余量的修整；

步骤E：在加工过程中，观察经电火花和超声修整的表面状态，根据状态进行电火花参数及超声波参数的调整，当第一、第二激光位移仪测量的当前砂轮块的高度与设定值一致时，完成修整加工工作。

所述步骤D中的电火花加工具体包括如下步骤：砂轮块首先在电火花加工系统的作用下，Z1轴进给，电极和砂轮块端面接近并放电，砂轮块表面导电物质被碳化、气化抛除，形成一层非导电物质，非导电物质会阻碍电极的进一步放电，此时高精度旋转台旋转到相邻的顺次对其它区域进行顺次加工，当控制系统根据高精度转台的转动数据判断砂轮块的第一区域在高精度旋转台的作用下旋转到超声修正模块的工作区域时，控制系统发送控制信号启动超声修正模块。

所述步骤D中的超声振动加工具体包括如下步骤：超声修正模块接收到启动信号后，进行如下动作：Z2轴进给，该砂轮块与超声振头产生超声空化现象，表面的非导电层通过超声空化作用被抛除，从而露出砂轮本色；随着砂轮块旋转至电极处，进行进一步的电火花加工。

所述步骤E具体包括如下步骤：操作人员观察砂轮块的表面状态，若发现砂轮块表面残渣未抛出掉，则对超声修整模块的超声波发生器进行功率提高，以保证经电火花加工后的残渣及时抛出；若观察到经电火花修整后砂轮块端面未出现蜂窝状粘连物，或表面未明显碳化去除，则调整电加工模块的电流或脉宽，以改善电火花加工状态，保证砂轮块内部一定高度的金属完全抛出，并形成蜂窝状粘连物，以保证后续超声修整加工。

本发明通过采用电火花修剔除金属结构和超声波振动的空化现象剔除陶瓷等其他残渣的复合修整方式进行剔除，其中首先由脉冲电源对复合结合剂砂轮进行高温放电、碳化，但复合结合剂中的陶瓷材料、耐磨无机填料熔点高、碳化粘连，经电加工后碳化残渣粘连不易抛除；随后运用超声方式的空化现象对复合结合剂砂轮块端面的碳化粘连层进行抛除，随后再进行进一步电加工修整，电加工为非接触加工，避免加工中对材质的磕碰掉块、电加工为局部高温、超声的空化现象只在电极和工件的间隙中产生，对工件其他部分不产生影响，加工采用与火花油作为介质，发热量少，且随火花油带走。实现了复合结合剂的复合闭环高效修整。本发明实现复合结合剂砂轮的高效无损修整加工，解决了复合结合剂砂轮因加工产生的砂轮掉块，产生内裂纹、加工发热破坏内部结构的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明的闭环控制流程图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1所示，本发明包括有高精度转台5和控制系统，所述的高精度转台5两侧的上方分别设置有电火花修整模块4和超声修整模块12，所述的电火花模块4包括Z1直线电机9、X1轴直线电机8、脉冲电源24、电极电机10、电极14、用于测量Z1直线电机9实际位置的第一光栅尺和用于测量待加工件实时高度的第一激光测位仪6，电极14通过电极电机10固定设置在Z1直线电机9的输出轴上，Z1直线电机9固定设置在X1轴直线电机8的输出轴上，所述的脉冲电源24的正极与电极14相连，负极与待加工件15连接；所述的控制系统可采用PLC。

复合修整系统主要采用双主轴的方式，超声修整模块7包括Z2直线电机11、X2轴直线电机12、超声波发生器1、超声波振头17、用于测量Z2直线电机11实际位置的第二光栅尺和用于测量待加工件15实时高度的第二激光测位仪13；所述的超声波振头17固定在Z2直线电机11的输出轴上，Z2直线电机11固定设置在X2轴直线电机12的输出轴上，超声波发生器1的输出端连接超声波振头17输入端；

所述的第一激光测位仪6、第二激光测位仪3、第一光栅尺、第二光栅尺的输出端分别连接控制系统的输入端，控制系统的输出端分别控制连接Z1直线电机9、X1轴直线电机8、脉冲电源24、电极电机10、Z2直线电机11、X2轴直线电机12、超声波发生器1和高精度转台5的控制输入端。

所述的高精度转台5下方设置有动力电机16，用于带动高精度转台5转动，且所述的高精度转台5下面还设置有油箱2和油泵，油泵的出口与软管的一端连接，软管的另一端设置在电火花模块的电极14与待加工件15之间，电火花油做电火花的加工介质。

还包括有高压空气清洁装置，所述的高压空气清洁装置包括高压空气过滤器喷嘴组和气压调节阀，喷嘴组分别设置在电极和超声振头及砂轮齿部，主要用于对电极、超声振头和砂轮端面的清洁，由于高压清洁装置是采用纯净的高压气体对目标进行吹扫从而达到清洁的目的，所以在此不在赘述其具体的原理和结构关系，图中由于视角问题，也并未示出其具体的位置关系，可以根据实际的需求进行适当的设置。

进一步的，一种复合结合剂砂轮修整装置及方法，包括如下步骤：

步骤A：采用千分尺测量砂轮块高度，确认加工余量X；

步骤B：将砂轮放置于高精度转台上：首先操作电火花加工系统，采用电火花电极“碰边”对刀的方式，将电极接近砂轮块端面，待发出“滴滴”声响时，系统记录该点Z1的位置，

然后高精度转台旋转一定的角度，再进行对刀，经过多次对刀，系统计算出砂轮最高的点作为电火花系统的加工位置；

其次，操作超声修整模块，同样采用超声振头进行对刀，多次测量，确定最高点为超声修整模块的加工位置；

最后，激光测位仪进行侧位并记录；

步骤C：对电火花加工系统的加工余量和电加工参数（AP、on、off、servo、gap等）及电极转速、Z1轴进给速率等进行设置；对超声修整模块进行加工余量及超声波加工参数（频率、振幅等）、Z2轴进给速率等进行设置。

步骤D：系统启动进行加工，砂轮端面首先进行电火花加工，经电火花加工后，工件在高精度转台的带动下进行旋转，砂轮块首先在电火花加工系统的作用下，Z1轴进给，电极和砂轮块端面接近并放电，砂轮块表面导电物质被碳化、气化抛除，形成一层非导电物质阻碍进一步放电；

其次，随着工件旋转，在超声修整模块的作用下，Z2轴进给，该砂轮块与超声振头产生超声空化现象，表面的非导电层通过超声空化作用被抛除，露出砂轮本色；随着砂轮块旋转至电极处，进行进一步的电火花加工；

在加工过程中，电火花加工系统和超声修整模块中的第一、第二光栅尺进行Z轴实际位置的实时测量和反馈，光栅尺的值和系统给定Z轴加工量进行比较，计算机系统进行分析计算，修订Z轴的加工余量，完成系统闭环控制；

同时，第一激光位移仪实时测量经电加工加工后的工件高度，做为Z1轴加工余量的修订，以补偿电极损耗；第二激光位移仪实施测量经超声波修正后的工件高度，做为Z2轴加工余量的修整。

步骤E：在加工过程中，观察经电火花和超声修整的表面状态，根据状态进行电火花参数及超声波参数的调整，以达到最优的加工质量和效率。

待程序结束后，测量复合结合剂砂轮的砂轮高度，完成修整加工工作。

本发明分析复合结合剂的微观组织及组成的特点，针对其内部存在金属及高温陶瓷、耐磨无机填料及微观呈现金属和陶瓷嵌套三维网格，组织表现出硬脆、疏松、孔隙大的特点。需采取一种低应力或无应力的加工方式，同时还需满足高效剔除砂轮块组织的修整方式。借鉴金属结合剂和陶瓷结合剂的修整工艺，专利采用电火花修剔除金属结构和超声波振动的空化现象剔除陶瓷残渣的复合修整方式。

脉冲电源对复合结合剂砂轮进行高温放电、碳化，但复合结合剂中的陶瓷材料、耐磨无机填料熔点高、碳化粘连，经电加工后碳化残渣粘连不易抛除；随后运用超声方式的空化现象对复合结合剂砂轮块端面的碳化粘连层进行抛除，随后再进行进一步电加工修整，电加工为非接触加工，避免加工中对材质的磕碰掉块、电加工为局部高温、超声的空化现象只在电极和工件的间隙中产生，对工件其他部分不产生影响，加工采用与火花油作为介质，发热量少，且随火花油带走。实现了复合结合剂的复合闭环高效修整。

复合修整系统主要采用双主轴的方式，电火花模块主要有：Z1直线电机、X1轴直线电机、脉冲电源、电极电极、电极、激光测位仪等组成；超声模块主要有：Z2直线电机、X2轴直线电机、超声波发生器、超声波振头、激光测位仪等组成；其他还有工件用高精度转台及电机、控制系统、油箱、冷却装置、油泵等附属机构（如图1）。

专利采用电火花进行全闭环修整方式对砂轮端面进行除修，经电加工修整后的表面存在以碳、耐磨无机物、陶瓷等熔融状态杂质附着，电火花无法将杂质去除，随后采用超声波振动的空化现象进行杂质的去除。两种加工方式均采用无损伤加工方式，对复合结合剂砂轮块本身无损伤，同时分步骤去除，提供了一种高效、高质量的修整方式。

双闭环+辅助修整控制系统。电火花闭环控制系统+超声波闭环控制系统；辅助修整：激光位移测量检测实际高度和设定值比较并反馈到计算机，通过计算机计算工件的实际余量和设定加工量对比并修整电火花和超声波的加工余量。

本发明主要采用非接触的电火花加工方式，电极和工件通过极间电压作用，直接将工件电蚀抛出，加工过程中不对工件产生任何机械力；在加工中，因工件内部存在一些不易被电蚀抛出的物质，专利采用超声振动的方式，将不易抛出的物质通过超声振动抛出。

主要采用非接触式加工方式实现复合结合剂砂轮因硬脆、疏松等特点产生的加工效率低、易造成砂轮掉块，产生内裂纹、加工发热破坏内部结构的问题。

如图2所示，本发明通过电火花系统中的Z轴位置和和工件端面的第一激光位移仪（实际测量经电加工后工件的高度H1）做为电火花控制系统的信号；超声振动系统中的Z轴位置和第二激光位移仪（实际测量经超声振动加工后工件的高度H2）做为超声振动系统的控制信号；同时两个系统的控制信号也进行交互计算，分别构成闭环控制信号，且将交互计算后的信号反馈的凹两个系统中并进行系统数据交互、联动，最终实现工件的端面位置加工。

通过电火花和超声振动复合，是利用电火花非接触加工方式和超声振动非接触去除方式，首先采用电火花非接触方式将复合材料中的金属等材料电蚀气化，后采用超声振动振头和工件端面的空化现象将未能电蚀掉的陶瓷残渣等物质抛除掉。两种加工方式相互迭代，最终采用两种非接触方式解决了将具有硬脆、疏松、易产生内裂纹特征的复合结合剂砂轮加工问题。

在本发明的描述中，需要说明的是，对于方位词，如有术语“ 中心”，“ 横向”、“ 纵向”、“ 长度”、“ 宽度”、“ 厚度”、“ 上”、“ 下”、“ 前”、“ 后”、“ 左”、“ 右”、 竖直”、“ 水平”、“ 顶”、“ 底”、“ 内”、“ 外”、“ 顺时针”、“ 逆时针”等指示方位和位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于叙述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定方位构造和操作，不能理解为限制本发明的具体保护范围。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书中的术语“ 第一”、“ 第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。此外，术语“ 包括”和“ 具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行较详细的说明，但本发明不限于这里所述的特定实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等有效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (7)

1.一种复合结合剂砂轮修整装置，其特征在于：包括有高精度转台和控制系统，所述的高精度转台两侧的上方分别设置有电火花修整模块和超声修整模块，所述的电火花修整模块包括Z1轴直线电机、X1轴直线电机、脉冲电源、电极电机、电极、用于测量Z1轴直线电机实际位置的第一光栅尺和用于测量砂轮块实时高度的第一激光测位仪，电极通过电极电机固定设置在Z1轴直线电机的输出轴上，Z1轴直线电机固定设置在X1轴直线电机的输出轴上，所述的脉冲电源的正极与电极相连，负极与砂轮块连接；

所述的超声修整模块包括Z2轴直线电机、X2轴直线电机、超声波发生器、超声波振头、用于测量Z2轴直线电机实际位置的第二光栅尺和用于测量砂轮块实时高度的第二激光测位仪；所述的超声波振头固定在Z2直线电机的输出轴上，Z2轴直线电机固定设置在X2轴直线电机的输出轴上，超声波发生器的输出端连接超声波振头输入端；

所述的第一激光测位仪、第二激光测位仪、第一光栅尺、第二光栅尺的输出端分别连接控制系统的输入端，控制系统的输出端分别控制连接Z1轴直线电机、X1轴直线电机、脉冲电源、电极电机、Z2轴直线电机、X2轴直线电机、超声波发生器和高精度转台的控制输入端。

2.根据权利要求1所述的复合结合剂砂轮修整装置，其特征在于：所述的高精度转台下方设置有动力电机，用于带动高精度转台转动，且所述的高精度转台下面还设置有油箱和油泵，油泵的出口与软管的一端连接，软管的另一端设置在电极和工件之间。

3.根据权利要求1所述的复合结合剂砂轮修整装置，其特征在于：还包括有高压空气清洁装置，所述的高压空气清洁装置包括高压空气过滤器喷嘴组和气压调节阀，喷嘴组分别设置在电极和超声波振头及砂轮齿部，用于对电极、超声波振头和砂轮端面的清洁。

4.一种基于权利要求1所述的复合结合剂砂轮修整装置的修整方法，其特征在于：包括如下步骤：

步骤A：采用千分尺测量砂轮块高度，确认加工余量X；

步骤B：分别对电火花修整模块和超声修整模块进行对刀调整，并记录当前砂轮块的位置；

步骤C：操作人员通过控制系统对电火花修整模块的加工余量和电极转速、Z1轴进给速率进行设置；对超声修整模块进行加工余量及超声波加工参数、Z2轴进给速率设置；

步骤D：启动控制系统进行加工，砂轮块端面首先进行电火花加工，经电火花加工后，砂轮块在高精度转台的带动下进行旋转，旋转砂轮块到超声修整模块的正下方，启动超声修整模块对砂轮块进行超声振动加工；

在加工过程中，所述的第一光栅尺和第二光栅尺分别对Z1轴直线电机和Z2轴直线电机进行Z轴上实际位置的实时测量和反馈，且第一光栅尺和第二光栅尺的测量值和控制系统初始设定的Z轴加工量进行比较，控制系统进行分析计算，实时发送控制信号到Z1轴直线电机和Z2轴直线电机，进而修订Z轴的加工余量，完成系统闭环控制；

同时，第一激光测位仪实时测量经过电火花加工后的砂轮块的高度，作为Z1轴加工余量的修订，以补偿电极损耗；第二激光测位仪实时测量经超声波修正后的砂轮块的高度，作为Z2轴加工余量的修整；

步骤E：在加工过程中，观察经电火花和超声修整的表面状态，根据状态进行电火花参数及超声波参数的调整，当第一、第二激光测位仪测量的当前砂轮块的高度与设定值一致时，完成修整加工工作。

5.根据权利要求4所述的复合结合剂砂轮修整装置的修整方法，其特征在于：所述步骤D中的电火花加工具体包括如下步骤：砂轮块首先在电火花修整模块的作用下，Z1轴进给，电极和砂轮块端面接近并放电，砂轮块表面导电物质被碳化、气化抛除，形成一层非导电物质，非导电物质会阻碍电极的进一步放电，此时高精度转台旋转到相邻的顺次对其它区域进行顺次加工，当控制系统根据高精度转台的转动数据判断砂轮块的第一区域在高精度转台的作用下旋转到超声修整模块的工作区域时，控制系统发送控制信号启动超声修整模块。

6.根据权利要求4所述的复合结合剂砂轮修整装置的修整方法，其特征在于：所述步骤D中的超声振动加工具体包括如下步骤：超声修整模块接收到启动信号后，进行如下动作：Z2轴进给，该砂轮块与超声波振头产生超声空化现象，表面的非导电层通过超声空化作用被抛除，从而露出砂轮块本色；随着砂轮块旋转至电极处，进行进一步的电火花加工。

7.根据权利要求4所述的复合结合剂砂轮修整装置的修整方法，其特征在于：所述步骤E具体包括如下步骤：操作人员观察砂轮块的表面状态，若发现砂轮块表面残渣未抛出掉，则对超声修整模块的超声波发生器进行功率提高，以保证经电火花加工后的残渣及时抛出；若观察到经电火花修整后砂轮块端面未出现蜂窝状粘连物，或表面未明显碳化去除，则调整电加工模块的电流或脉宽，以改善电火花加工状态，保证砂轮块内部一定高度的金属完全抛出，并形成蜂窝状粘连物，以保证后续超声修整加工。

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