CN112344864A - 激光厚度和长度同步测量仪的精度校验方法、装置 - Google Patents

激光厚度和长度同步测量仪的精度校验方法、装置 Download PDF

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CN112344864A CN202011218226.0A CN202011218226A CN112344864A CN 112344864 A CN112344864 A CN 112344864A CN 202011218226 A CN202011218226 A CN 202011218226A CN 112344864 A CN112344864 A CN 112344864A
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Abstract

本发明提供一种激光厚度和长度同步测量仪的精度校验方法、装置，测量仪包括：测量传感器、夹具、多张厚度和长度不同的标准量块，夹具安装在激光厚度和长度同步测量仪长度量程的两端或一端用以固定标准量块；方法包括：自动扫描标准量块，以实现标准量块的厚度和长度的同步量值读取；依据MSA量具分析的偏倚、重复性、再现性、线性和稳定性规则自动计算标准并给出检验结果。该方法使复杂而繁琐的精度校验工作可以自动快速的按照MSA评测标准和方法完成，保证计量精度检验一致性和标准性，可以完全杜绝人为非系统误差，同时保证自动校验过程在产线实施可以无差别快速进行，进而使激光厚度和长度同步测量仪的精度检验和使用得到关键性进步。

Description

激光厚度和长度同步测量仪的精度校验方法、装置
技术领域
本发明涉及测量技术领域，具体涉及一种激光厚度和长度同步测量仪的精度校验方法、激光厚度和长度同步测量仪的精度校验装置。
背景技术
激光厚度和长度同步测量仪是一种无辐射危害、高精度的板/带/箔材料生产线自动尺寸(长度和厚度)测量和质量监控仪器。近一二十年在世界范围应用发展迅速，已成为高精度尺寸测量仪器的一个大门类。
目前，激光厚度和长度同步测量仪的精度的校验方法没有同时涵盖厚度和长度标准量块，也没有自动方式设计，目前激光厚度和长度同步测量仪精度校验存在的技术缺陷和不足如下：
激光厚度和长度同步测量仪在做精度校验过程使用人工测量检验，手法繁杂且人为误差因素影响。实际操作中往往采用某一项易于操作的检验测试结果代替量具精度指标使用，笼统使用易于检验的重复性测试精度指标代替精度定义，使得激光在线测厚仪计量精度的科学评判依据和标准不能统一，测量精度缺少置信，导致生产线正常使用时存在测量值偏离风险。同时人工的检验手法效率低，费时费力不能快速开展和完成，产线使用有非常大限制和不便。
发明内容
本发明为解决上述技术问题，提供了一种激光厚度和长度同步测量仪的精度校验方法，该方法使复杂而繁琐的精度校验工作可以自动快速的按照 MSA(MeasurementSystems Analysis，测量系统分析)评测标准和方法完成，保证计量精度检验一致性和标准性，可以完全杜绝人为非系统误差，同时保证自动校验过程在产线实施可以无差别快速进行，进而使激光厚度和长度同步测量仪的精度检验和使用得到关键性进步。
本发明还提供了一种激光厚度和长度同步测量仪的精度校验装置。
本发明采用的技术方案如下：
本发明第一方面实施例提出了一种激光厚度和长度同步测量仪的精度校验方法，所述激光厚度和长度同步测量仪包括：测量传感器、夹具、多张厚度和长度不同的标准量块，所述夹具安装在激光厚度和长度同步测量仪长度量程的两端或一端用以固定所述标准量块；所述方法包括以下步骤：自动扫描所述标准量块，以实现所述标准量块的厚度和长度的同步量值读取；依据 MSA量具分析的偏倚、重复性、再现性、线性和稳定性规则自动计算标准并给出检验结果。
本发明上述提出的激光厚度和长度同步测量仪的精度校验方法，还具有如下附加技术特征：
根据本发明的一个实施例，依据MSA量具分析的偏倚和线性规则自动计算标准给出检验结果，包括：基于激光厚度和长度同步测量仪MSA检验自动运行程序，通过所述测量传感器依次测量所述多张标准量块的厚度和长度；将所述测量传感器测量的所述多张标准量块的厚度和长度和所述多张标准量块的计量厚度和计量长度，自动导入MSA量具分析方程，以自动计算标准并给出检验结果。
根据本发明的一个实施例，将所述测量传感器测量的所述多张标准量块的厚度和长度和所述多张标准量块的计量厚度和计量长度，自动导入MSA量具分析方程，以自动计算标准并给出检验结果，包括：分别计算所述测量传感器测量的所述多张标准量块的厚度和所述长度的拟合回归方程；根据所述合回归方程分别获取所述厚度和所述长度的常量和斜率，以获取所述厚度和所述长度的拟合回归方程；根据所述拟合回归方程计算得出标准误差S和拟合优度R-sq。
根据本发明的一个实施例，依据MSA量具分析的重复性和再现性规则自动计算标准给出检验结果，包括：基于激光厚度和长度同步测量仪MSA检验自动运行程序，通过所述测量传感器自动测量安装在测量域内的静止被测材料样片的厚度和长度，其中，将所述测量域均分若干个分区；将所述厚度和长度进行交叉量具重复性和再现性分析研究，并自动生成并保存检验结果。
根据本发明的一个实施例，将所述厚度和长度进行交叉量具重复性和再现性分析研究，包括：根据所述厚度和长度获取包含交互作用的双因子方差分析表；根据所述双因子方差分析表判断交互作用P值是否小于预设值；如果所述P值小于所述预设值，则计算生成不包含交互作用的双因子方差分析表；通过所述双因子方差分析表计算量具重复性和再现性方差分量和量具评估。
本发明第二方面实施例提出了一种激光厚度和长度同步测量仪的精度校验装置，所述激光厚度和长度同步测量仪包括：测量传感器、夹具、多张厚度和长度不同的标准量块，所述夹具安装在激光厚度和长度同步测量仪长度量程的两端或一端用以固定所述标准量块；所述装置包括：扫描模块，所述扫描模块用于自动扫描所述标准量块，以实现所述标准量块的厚度和长度的同步量值读取；分析模块，所述分析模块用于依据MSA量具分析的偏倚、重复性、再现性、线性和稳定性规则自动计算标准并给出检验结果。
本发明上述提出的激光厚度和长度同步测量仪的精度校验装置，还具有如下附加技术特征：
根据本发明的一个实施例，所述分析模块具体用于：基于激光厚度和长度同步测量仪MSA检验自动运行程序，通过所述测量传感器依次测量所述多张标准量块的厚度和长度；将所述测量传感器测量的所述多张标准量块的厚度和长度和所述多张标准量块的计量厚度和计量长度，自动导入MSA量具分析方程，以自动计算标准并给出检验结果。
根据本发明的一个实施例，所述分析模块进一步用于：分别计算所述测量传感器测量的所述多张标准量块的厚度和所述长度的拟合回归方程；根据所述合回归方程分别获取所述厚度和所述长度的常量和斜率，以获取所述厚度和所述长度的拟合回归方程；根据所述拟合回归方程计算得出标准误差S 和拟合优度R-sq。
根据本发明的一个实施例，所述分析模块具体用于：基于激光厚度和长度同步测量仪MSA检验自动运行程序，通过所述测量传感器自动测量安装在测量域内的静止被测材料样片的厚度和长度，其中，将所述测量域均分若干个分区；将所述厚度和长度进行交叉量具重复性和再现性分析研究，并自动生成并保存检验结果。
根据本发明的一个实施例，所述分析模块进一步用于：根据所述厚度和长度获取包含交互作用的双因子方差分析表；根据所述双因子方差分析表判断交互作用P值是否小于预设值；如果所述P值小于所述预设值，则计算生成不包含交互作用的双因子方差分析表；通过所述双因子方差分析表计算量具重复性和再现性方差分量和量具评估。
发明的有益效果：
本发明使复杂而繁琐的精度校验工作可以自动快速的按照MSA评测标准和方法完成，保证计量精度检验一致性和标准性，可以完全杜绝人为非系统误差，同时保证自动校验过程在产线实施可以无差别快速进行，进而使激光厚度和长度同步测量仪的精度检验和使用得到关键性进步。。
附图说明
图1是根据本发明一个实施例的激光厚度和长度同步测量仪的精度校验方法的流程图；
图2是根据本发明一个实施例的激光厚度和长度同步测量仪的机械结构示意图；
图3是根据本发明一个实施例的激光厚度和长度同步测量仪的夹具的机械结构示意图；
图4是根据本发明另一个实施例的激光厚度和长度同步测量仪的精度校验方法的流程图；
图5是根据本发明又一个实施例的激光厚度和长度同步测量仪的精度校验方法的流程图；
图6a-6d是根据本发明一个实施例的双因子方差分析表的示意图；
图7a-7b是根据本发明一个实施例的通过对应方差分析表计算量具重复性和再现性方差分量的示意图；
图8是根据本发明一个实施例的激光厚度和长度同步测量仪的精度校验装置的方框示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
下面是结合附图来描述本发明实施例提出的激光厚度和长度同步测量仪的精度校验方法、激光厚度和长度同步测量仪的精度校验装置。
图1是根据本发明一个实施例的激光厚度和长度同步测量仪的精度校验方法的流程图。其中，如图2所示，激光厚度和长度同步测量仪包括：测量传感器1、夹具2、多张厚度和长度不同的标准量块3、过辊4，其中，夹具2 安装在激光厚度和长度同步测量仪长度量程的两端或一端用以固定标准量块 3。如图2-3所示，夹具2可以包括：标定装置201、测量面202、清扫气吹装置203、支架一204、支架二205、角度微调螺栓206、微型水平仪207和固定旋转轴208。标准量块3一般不少于4张，标准量块3同时具备厚度和长度(宽度)计量准值。
如图1所示，激光厚度和长度同步测量仪的精度校验方法包括以下步骤：
S1，自动扫描标准量块，以实现标准量块的厚度和长度的同步量值读取。
S2，依据MSA量具分析的偏倚、重复性、再现性、线性和稳定性规则自动计算标准并给出检验结果。
具体的，如图2-3所示，本发明的激光厚度和长度同步测量仪中设置夹具 2，以固定标准量块，提高测量精度。夹具的具体机械结构可参见图3，图3中上部分的图为夹具的正视图，下部图为俯视图。该夹具具备微型水平仪，可以人工调标准量块与测厚仪测量平面一致，且该夹具具备清扫气吹装置，可以在开始自动检验过程前自动清洁标准量块表面。激光厚度和长度同步测量仪通常是采用单轴运动梁臂安装上下两只激光位移传感器和两只激光色差传感器，检测平面被测材料表面上下位移差得到厚度和材料边线特征得到材料长度，这样在材料运动条件下同步测量材料厚度和长度。厚度尺寸精度分辨可以达到0.1微米级，长度尺寸精度分辨可以达到0.01毫米级。
基于上述的激光厚度和长度同步测量仪，提出一种全自动MSA校验运行和检验程序，实现激光厚度和长度同步测量仪自动运行精度检验过程、自动采集检验测量数据、自动完成MSA分析所需统计计算、自动生成精度评测结果报告，实现“一键式”操作完成测厚仪厚度精度和尺寸精度检验并给出量具 MSA评测结果报告。仪器在软件控制下自动扫描测量夹具安装的标准量块，实现厚度和长度双尺寸的同步量值读取，并依据MSA量具分析的偏倚(Bias)、重复性(Repeatability)、再现性(Reproducibility)、线性(Linearity)和稳定性(Stability)规则自动计算标准给出检验输出(结果)。由此，使复杂而繁琐的精度校验工作可以自动快速的按照MSA评测标准和方法完成，保证计量精度检验一致性和标准性，可以完全杜绝人为非系统误差，同时保证自动校验过程在产线实施可以无差别快速进行，进而使激光厚度和长度同步测量仪的精度检验和使用得到关键性进步。
根据本发明的一个实施例，如图4所示，依据MSA量具分析的偏倚和线性规则自动计算标准给出检验结果，可以包括：
S201，基于激光厚度和长度同步测量仪MSA检验自动运行程序，通过测量传感器依次测量多张标准量块的厚度和长度。
其中，通过测量传感器测量每个张标准量块的厚度和长度时可进行多次测量。
S202，将测量传感器测量的多张标准量块的厚度和长度和多张标准量块的计量厚度和计量长度，自动导入MSA量具分析方程，以自动计算标准并给出检验结果。
进一步地，根据本发明的一个实施例，将测量传感器测量的多张标准量块的厚度和长度和多张标准量块的计量厚度和计量长度，自动导入MSA量具分析方程，以自动计算标准并给出检验结果，包括：
分别计算测量传感器测量的多张标准量块的厚度和长度的拟合回归方程；根据合回归方程分别获取厚度和长度的常量和斜率，以获取厚度和长度的拟合回归方程；根据拟合回归方程计算得出标准误差S和拟合优度R-sq。
具体的，以厚度为例，长度计算公式相同，通过以下公式获取拟合回归方程(回归想)的斜率a和常量(截距)b：
Figure BDA0002761144420000071
Figure BDA0002761144420000072
其中，a为斜率，b为常量(截距)，Xi为标准量块厚度i的参考值，
Figure BDA0002761144420000073
为所有标准量块厚度的平均参考值，yij为第i个标准量块的第j个测量厚度的偏倚，g为标准量块的张数，mi为第i个标准量块的仿行数，
Figure BDA0002761144420000074
为整体标准量块厚度偏倚均值。
通过以下公式得出标准误差S和拟合优度R-sq：
Figure BDA0002761144420000081
Figure BDA0002761144420000082
Figure BDA0002761144420000083
其中，Xi为标准量块厚度i的参考值，yij为第i个标准量块的第j个测量厚度的偏倚，g为标准量块的张数，mi为第i个标准量块的仿行数。
Figure BDA0002761144420000084
其中，yi为第i个标准量块的拟合响应，g为标准量块的张数，mi为第i 个标准量块的仿行数，
Figure BDA0002761144420000085
为整体标准量块厚度偏倚均值，yij为第i个标准量块的第j个测量厚度的偏倚。
根据本发明的一个实施例，如图5所示，依据MSA量具分析的重复性和再现性规则自动计算标准给出检验结果，包括：
S203，基于激光厚度和长度同步测量仪MSA检验自动运行程序，通过测量传感器自动测量安装在测量域内的静止被测材料样片的厚度和长度，其中，将测量域均分若干个分区。
S204，将厚度和长度进行交叉量具重复性和再现性分析研究，并自动生成并保存检验结果。
具体的，针对厚度，系统自动扫描设定次数，并将扫描厚度测量域均分若干个分区(可设定)代表若干产品；针对长度，系统自动根据被测物不同区域，不同区域获得若干尺寸数据，不同区域代表不同产品；将扫描得到的厚度和尺寸数据进行交叉量具重复性和再现性分析研究；自动生成并保存检验结果和评测报告。
进一步而言，将厚度和长度进行交叉量具重复性和再现性分析研究，包括：根据厚度和长度获取包含交互作用的双因子方差分析表；根据双因子方差分析表判断交互作用P值是否小于预设值；如果P值小于预设值，则计算生成不包含交互作用的双因子方差分析表；通过双因子方差分析表计算量具重复性和再现性方差分量和量具评估。其中，预设值可以根据实际情况进行预设，例如0.05。
具体的，如图6a-6d所示，双因子方差分析表包括：平方和(SS)、自由度(DF)、均方(MS)和F，具体参见附图所示，本发明中不再进行赘述。
通过对应方差分析表计算量具GR&R(重复性和再现性)方差分量可参照图7a-7b所示，本发明中不再进行赘述。
综上所述，根据本发明实施例的激光厚度和长度同步测量仪的精度校验方法，自动扫描标准量块，以实现标准量块的厚度和长度的同步量值读取；依据MSA量具分析的偏倚、重复性、再现性、线性和稳定性规则自动计算标准并给出检验结果。该方法使复杂而繁琐的精度校验工作可以自动快速的按照MSA评测标准和方法完成，保证计量精度检验一致性和标准性，可以完全杜绝人为非系统误差，同时保证自动校验过程在产线实施可以无差别快速进行，进而使激光厚度和长度同步测量仪的精度检验和使用得到关键性进步。
与上述的激光厚度和长度同步测量仪的精度校验方法相对应，本发明还提出一种激光厚度和长度同步测量仪的精度校验装置。由于本发明的装置实施例与上述的方法实施例相对应，对于装置实施例中未披露的细节可参照上述的方法实施例，本发明中不再进行赘述。
图8是根据本发明一个实施例的激光厚度和长度同步测量仪的精度校验装置的方框示意图。其中，如图2所示，激光厚度和长度同步测量仪包括：测量传感器1、夹具2、多张厚度和长度不同的标准量块3、过辊4，其中，夹具2安装在激光厚度和长度同步测量仪长度量程的两端或一端用以固定标准量块3。如图2-3所示，夹具2可以包括：标定装置201、测量面202、清扫气吹装置203、支架一204、支架二205、角度微调螺栓206、微型水平仪 207和固定旋转轴208。标准量块3一般不少于4张，标准量块3同时具备厚度和长度(宽度)计量准值。
如图8所示，该装置包括：扫描模块1和分析模块2。其中，扫描模块1 用于自动扫描标准量块，以实现标准量块的厚度和长度的同步量值读取；分析模块2用于依据MSA量具分析的偏倚、重复性、再现性、线性和稳定性规则自动计算标准并给出检验结果。
根据本发明的一个实施例，分析模块2具体用于：基于激光厚度和长度同步测量仪MSA检验自动运行程序，通过测量传感器依次测量多张标准量块的厚度和长度；将测量传感器测量的多张标准量块的厚度和长度和多张标准量块的计量厚度和计量长度，自动导入MSA量具分析方程，以自动计算标准并给出检验结果。
根据本发明的一个实施例，分析模块2进一步用于：分别计算测量传感器测量的多张标准量块的厚度和长度的拟合回归方程；根据合回归方程分别获取厚度和长度的常量和斜率，以获取厚度和长度的拟合回归方程；根据拟合回归方程计算得出标准误差S和拟合优度R-sq。
根据本发明的一个实施例，分析模块2具体用于：基于激光厚度和长度同步测量仪MSA检验自动运行程序，通过测量传感器自动测量安装在测量域内的静止被测材料样片的厚度和长度，其中，将测量域均分若干个分区；将厚度和长度进行交叉量具重复性和再现性分析研究，并自动生成并保存检验结果。
根据本发明的一个实施例，分析模块2进一步用于：根据厚度和长度获取包含交互作用的双因子方差分析表；根据双因子方差分析表判断交互作用P 值是否小于预设值；如果P值小于预设值，则计算生成不包含交互作用的双因子方差分析表；通过双因子方差分析表计算量具重复性和再现性方差分量和量具评估。
综上所述，根据本发明的一个实施例，通过扫描模块自动扫描标准量块，以实现标准量块的厚度和长度的同步量值读取，分析模块依据MSA量具分析的偏倚、重复性、再现性、线性和稳定性规则自动计算标准并给出检验结果。该装置使复杂而繁琐的精度校验工作可以自动快速的按照MSA评测标准和方法完成，保证计量精度检验一致性和标准性，可以完全杜绝人为非系统误差，同时保证自动校验过程在产线实施可以无差别快速进行，进而使激光厚度和长度同步测量仪的精度检验和使用得到关键性进步。
在本发明的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必针对相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种激光厚度和长度同步测量仪的精度校验方法，其特征在于，所述激光厚度和长度同步测量仪包括：测量传感器、夹具、多张厚度和长度不同的标准量块，所述夹具安装在激光厚度和长度同步测量仪长度量程的两端或一端用以固定所述标准量块；所述方法包括以下步骤：
自动扫描所述标准量块，以实现所述标准量块的厚度和长度的同步量值读取；
依据MSA量具分析的偏倚、重复性、再现性、线性和稳定性规则自动计算标准并给出检验结果。
2.根据权利要求1所述的激光厚度和长度同步测量仪的精度校验方法，其特征在于，依据MSA量具分析的偏倚和线性规则自动计算标准给出检验结果，包括：
基于激光厚度和长度同步测量仪MSA检验自动运行程序，通过所述测量传感器依次测量所述多张标准量块的厚度和长度；
将所述测量传感器测量的所述多张标准量块的厚度和长度和所述多张标准量块的计量厚度和计量长度，自动导入MSA量具分析方程，以自动计算标准并给出检验结果。
3.根据权利要求2所述的激光厚度和长度同步测量仪的精度校验方法，其特征在于，将所述测量传感器测量的所述多张标准量块的厚度和长度和所述多张标准量块的计量厚度和计量长度，自动导入MSA量具分析方程，以自动计算标准并给出检验结果，包括：
分别计算所述测量传感器测量的所述多张标准量块的厚度和所述长度的拟合回归方程；
根据所述合回归方程分别获取所述厚度和所述长度的常量和斜率，以获取所述厚度和所述长度的拟合回归方程；
根据所述拟合回归方程计算得出标准误差S和拟合优度R-sq。
4.根据权利要求1所述的激光厚度和长度同步测量仪的精度校验方法，其特征在于，依据MSA量具分析的重复性和再现性规则自动计算标准给出检验结果，包括：
基于激光厚度和长度同步测量仪MSA检验自动运行程序，通过所述测量传感器自动测量安装在测量域内的静止被测材料样片的厚度和长度，其中，将所述测量域均分若干个分区；
将所述厚度和长度进行交叉量具重复性和再现性分析研究，并自动生成并保存检验结果。
5.根据权利要求4所述的激光厚度和长度同步测量仪的精度校验方法，其特征在于，将所述厚度和长度进行交叉量具重复性和再现性分析研究，包括：
根据所述厚度和长度获取包含交互作用的双因子方差分析表；
根据所述双因子方差分析表判断交互作用P值是否小于预设值；
如果所述P值小于所述预设值，则计算生成不包含交互作用的双因子方差分析表；
通过所述双因子方差分析表计算量具重复性和再现性方差分量和量具评估。
6.一种激光厚度和长度同步测量仪的精度校验装置，其特征在于，所述激光厚度和长度同步测量仪包括：测量传感器、夹具、多张厚度和长度不同的标准量块，所述夹具安装在激光厚度和长度同步测量仪长度量程的两端或一端用以固定所述标准量块；所述装置包括：
扫描模块，所述扫描模块用于自动扫描所述标准量块，以实现所述标准量块的厚度和长度的同步量值读取；
分析模块，所述分析模块用于依据MSA量具分析的偏倚、重复性、再现性、线性和稳定性规则自动计算标准并给出检验结果。
7.根据权利要求6所述的激光厚度和长度同步测量仪的精度校验装置，其特征在于，所述分析模块具体用于：
基于激光厚度和长度同步测量仪MSA检验自动运行程序，通过所述测量传感器依次测量所述多张标准量块的厚度和长度；
将所述测量传感器测量的所述多张标准量块的厚度和长度和所述多张标准量块的计量厚度和计量长度，自动导入MSA量具分析方程，以自动计算标准并给出检验结果。
8.根据权利要求7所述的激光厚度和长度同步测量仪的精度校验装置，其特征在于，所述分析模块进一步用于：
分别计算所述测量传感器测量的所述多张标准量块的厚度和所述长度的拟合回归方程；
根据所述合回归方程分别获取所述厚度和所述长度的常量和斜率，以获取所述厚度和所述长度的拟合回归方程；
根据所述拟合回归方程计算得出标准误差S和拟合优度R-sq。
9.根据权利要求7所述的激光厚度和长度同步测量仪的精度校验装置，其特征在于，所述分析模块具体用于：
基于激光厚度和长度同步测量仪MSA检验自动运行程序，通过所述测量传感器自动测量安装在测量域内的静止被测材料样片的厚度和长度，其中，将所述测量域均分若干个分区；
将所述厚度和长度进行交叉量具重复性和再现性分析研究，并自动生成并保存检验结果。
10.根据权利要求9所述的激光厚度和长度同步测量仪的精度校验装置，其特征在于，所述分析模块进一步用于：
根据所述厚度和长度获取包含交互作用的双因子方差分析表；
根据所述双因子方差分析表判断交互作用P值是否小于预设值；
如果所述P值小于所述预设值，则计算生成不包含交互作用的双因子方差分析表；
通过所述双因子方差分析表计算量具重复性和再现性方差分量和量具评估。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113311145A (zh) * 2021-05-28 2021-08-27 中航复合材料有限责任公司 一种预浸料树脂含量测量系统分析方法和装置
CN114812470A (zh) * 2022-03-31 2022-07-29 宿迁市计量测试所 一种薄膜在线测厚仪计量校准方法

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006349416A (ja) * 2005-06-14 2006-12-28 Mitsutoyo Corp 表面性状測定機
CN101105389A (zh) * 2007-05-30 2008-01-16 中国人民解放军第二炮兵装备研究院第四研究所 高精度非接触三维面型测量装置
CN201819670U (zh) * 2010-09-28 2011-05-04 苏州瑞智测控设备有限公司 激光测距装置
CN102798345A (zh) * 2012-09-12 2012-11-28 沈阳飞机工业（集团）有限公司 激光二维样板测量仪校准用量块架
US20130103174A1 (en) * 2011-04-15 2013-04-25 Cummins Intellectual Property, Inc. Measurement systems analysis system and method
CN203908460U (zh) * 2014-05-29 2014-10-29 常山正丽机电有限公司 一种大尺寸内外径精密测量表架
CN105091812A (zh) * 2015-08-20 2015-11-25 宁波敏实汽车零部件技术研发有限公司 一种柔性化电子检具
CN110044274A (zh) * 2019-05-23 2019-07-23 咸阳陶瓷研究设计院有限公司 一种智能化陶瓷石材板尺寸变形综合测试仪及测试方法
CN110378542A (zh) * 2018-04-12 2019-10-25 南京理工大学 选配过程中零部件测量数据统计特性分析方法
CN110672019A (zh) * 2019-05-15 2020-01-10 常州铂美思自动化系统有限公司 一种用于激光在线测厚仪的全自动msa量具及其检验方法
CN111678477A (zh) * 2020-06-20 2020-09-18 贵阳航发精密铸造有限公司 一种涡轮工作叶片最终检验自动检测测量方法

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006349416A (ja) * 2005-06-14 2006-12-28 Mitsutoyo Corp 表面性状測定機
CN101105389A (zh) * 2007-05-30 2008-01-16 中国人民解放军第二炮兵装备研究院第四研究所 高精度非接触三维面型测量装置
CN201819670U (zh) * 2010-09-28 2011-05-04 苏州瑞智测控设备有限公司 激光测距装置
US20130103174A1 (en) * 2011-04-15 2013-04-25 Cummins Intellectual Property, Inc. Measurement systems analysis system and method
CN102798345A (zh) * 2012-09-12 2012-11-28 沈阳飞机工业（集团）有限公司 激光二维样板测量仪校准用量块架
CN203908460U (zh) * 2014-05-29 2014-10-29 常山正丽机电有限公司 一种大尺寸内外径精密测量表架
CN105091812A (zh) * 2015-08-20 2015-11-25 宁波敏实汽车零部件技术研发有限公司 一种柔性化电子检具
CN110378542A (zh) * 2018-04-12 2019-10-25 南京理工大学 选配过程中零部件测量数据统计特性分析方法
CN110672019A (zh) * 2019-05-15 2020-01-10 常州铂美思自动化系统有限公司 一种用于激光在线测厚仪的全自动msa量具及其检验方法
CN110044274A (zh) * 2019-05-23 2019-07-23 咸阳陶瓷研究设计院有限公司 一种智能化陶瓷石材板尺寸变形综合测试仪及测试方法
CN111678477A (zh) * 2020-06-20 2020-09-18 贵阳航发精密铸造有限公司 一种涡轮工作叶片最终检验自动检测测量方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113311145A (zh) * 2021-05-28 2021-08-27 中航复合材料有限责任公司 一种预浸料树脂含量测量系统分析方法和装置
CN114812470A (zh) * 2022-03-31 2022-07-29 宿迁市计量测试所 一种薄膜在线测厚仪计量校准方法

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