CN112310789A - 一种基于超短脉冲激光器的防尘式水冷系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种基于超短脉冲激光器的防尘式水冷系统。本发明的目的是解决现有超短脉冲激光器存在激光器内部较大的温度变化易造成光束指向偏移、空气中大量悬浮的颗粒物极易进入激光器内部污染光学镜片和晶体，造成能量损失，使光学镜片烧坏的技术问题，提供一种基于超短脉冲激光器的防尘式水冷系统。该系统为超短脉冲激光器及其发热程度较大的各个元件底部，尤其是放大压缩水冷模块及放大压缩水冷模块内发热程度较大的各个元件底部，分别设置了水冷板或水冷座，结合循环水路的合理设置，起到充分水冷作用，使得超短脉冲激光器输出光保持良好的光束指向稳定性，还为光纤进线孔和出光孔处均设置了固定密封结构，以避免悬浮颗粒物进入激光器内部。

Description

一种基于超短脉冲激光器的防尘式水冷系统

技术领域

本发明涉及一种激光器水冷系统，具体涉及一种基于超短脉冲激光器的防尘式水冷系统。

背景技术

超短脉冲激光器是以脉冲方式工作的激光器，超短脉冲的脉宽(脉冲时间宽度)一般小于10^-12s，脉宽范围一般为几飞秒到几百飞秒，可以发射超快、超强的激光束，其在微细加工、医疗、微观物质探测等领域具有广阔的应用前景。

通常情况下，超短脉冲激光器需要连续工作几十个小时甚至上百个小时，故对稳定性要求非常高。由于激光器内部热源的发热功率接近300w，这意味着短时间内其温度会上升几十甚至上百摄氏度，温度的变化会使激光器内部固定光学器件的结构件和整体固定板发生形变，容易导致光束指向偏移。

此外，超短脉冲激光器的工作环境一般是工厂车间，环境较为恶劣，无法具备超净室的条件，而空气中大量悬浮的颗粒物极易进入激光器内部污染光学镜片和晶体，轻则造成能量损失，重则使光学镜片烧坏，严重影响超短脉冲激光器的正常工作。

发明内容

本发明的目的是解决现有超短脉冲激光器存在激光器内部较大的温度变化易造成光束指向偏移，空气中大量悬浮的颗粒物极易进入激光器内部污染光学镜片和晶体，造成能量损失，甚至使光学镜片烧坏的技术问题，提供一种基于超短脉冲激光器的防尘式水冷系统。

为解决上述技术问题，本发明提供的技术解决方案如下：

一种基于超短脉冲激光器的防尘式水冷系统，其特殊之处在于：包括水冷机，水冷底板，设置于水冷底板表面的第一四通接头集成、LD驱动水冷板、放大压缩水冷模块、电光水冷板、LD水冷板、第二四通接头集成，以及设置于水冷底板上方与水冷底板形成封闭空间的壳体；

所述水冷底板表面靠近第一四通接头集成一侧设有第一进水接头组件、靠近第二四通接头集成一侧设有第一出水接头组件，第一进水接头组件和第一出水接头组件位于水冷底板的同一对角线上，第一进水接头组件和第一出水接头组件通过设在水冷底板内部的流道相连通；

所述放大压缩水冷模块包括放大压缩水冷底板，设置于放大压缩水冷底板表面的第一三通接头集成、硅酸盐晶体水冷板、单晶光纤水冷座、光阑水冷座、体光栅水冷座、第二三通接头集成，沿放大压缩水冷底板边缘设置的一圈壁板，设置于壁板顶部的上盖；其中，放大压缩水冷底板、壁板和上盖共同形成封闭空间；

所述放大压缩水冷底板侧面靠近LD驱动水冷板处设有第二进水接头组件、靠近第一出水接头组件处设有第二出水接头组件；

所述壁板上开设有光纤进线孔和出光孔，光纤进线孔处设有光纤固定密封件，出光孔处设有窗口玻璃固定密封件，窗口玻璃固定密封件内设有窗口玻璃；

所述水冷机内的水流入第一四通接头集成后被分为三路；

第一路依次流经LD驱动水冷板、放大压缩水冷底板、电光水冷板、LD水冷板后，流入第二四通接头集成；

第二路流经第一进水接头组件、水冷底板内部的流道后，通过第一出水接头组件流入第二四通接头集成；

第三路经第二进水接头组件穿过所述壁板流入第一三通接头集成，在第一三通接头集成处被分为两路；一路依次流经硅酸盐晶体水冷板和单晶光纤水冷座后，流入第二三通接头集成；另一路依次流经光阑水冷座和体光栅水冷座后，流入第二三通接头集成，第二三通接头集成处的水经第二出水接头组件穿过所述壁板，流入第二四通接头集成；

第二四通接头集成处的水最终流回水冷机。

进一步地，为了提高光纤光纤进线孔处的密封性，所述光纤固定密封件包括前压板、后压板和橡胶垫圈；

所述后压板为一端带有凸缘的空心圆柱，后压板凸缘一端的中心处开设有橡胶垫圈槽；

所述橡胶垫圈设置于橡胶垫圈槽内，橡胶垫圈中心设有光纤接入孔，橡胶垫圈上开设有一个用于引入光纤的切口；

所述前压板中心开设有通孔，通孔直径小于橡胶垫圈外径，且通孔孔口处设有用于压紧橡胶垫圈的凸沿；

所述前压板与后压板的凸缘固连；

所述后压板固连于所述壁板上；

所述橡胶垫圈的耐受温度在100℃以上。

进一步地，为了提高出光孔处的密封性，所述窗口玻璃固定密封件为一端带有凸缘的空心圆柱，所述窗口玻璃嵌设于空心圆柱内且靠近凸缘端。

进一步地，为了提高放大压缩水冷模块的密封性，所述后压板的凸缘与所述壁板之间处设有第一密封圈，所述窗口玻璃固定密封件的凸缘与所述壁板之间设有第二密封圈，所述上盖与所述壁板之间设有第三密封圈，所述第一密封圈、第二密封圈和第三密封圈的耐受温度均在100℃以上。

进一步地，减小热量向水冷底板传导，所述水冷底板分别与第一四通接头集成、LD驱动水冷板、放大压缩水冷模块、电光水冷板、LD水冷板、第二四通接头集成之间，放大压缩水冷底板分别与第一三通接头集成、硅酸盐晶体水冷板、单晶光纤水冷座、光阑水冷座、体光栅水冷座、第二三通接头集成之间，水冷底板与放大压缩水冷底板之间，均设有隔热凸台。

进一步地，为了提高水冷效率，所述水冷底板和所述放大压缩水冷底板内的流道均为S形，直径均为6mm-12mm。

进一步地，为了减小整机体积，所述水冷底板的长×宽×高为(1010±100)mm×(570±50)mm×(35±5)mm。

进一步地，为了及时调整水冷机参数，所述水冷底板表面设有第一温湿度传感器、所述壁板上设有第二温湿度传感器，第二温湿度传感器的敏感端位于放大压缩水冷模块的封闭空间内，第一温湿度传感器和第二温湿度传感器的输出端连接设置在壳体外部的显示屏输入端。

进一步地，根据具体需要，所述前压板与后压板的固连，所述后压板与壁板的固连，可以为螺栓连接，或者胶连接。

进一步地，为了避免管路堵塞，所述水冷机和第二四通接头集成之间设有过滤器。

本发明相比现有技术具有的有益效果如下：

1、本发明提供的基于超短脉冲激光器的防尘式水冷系统，为超短脉冲激光器及其发热程度较大的各个元件底部，尤其是放大压缩水冷模块及放大压缩水冷模块内发热程度较大的各个元件底部，分别设置了水冷板或水冷座，结合循环水路的合理设置，将超短脉冲激光器内部产生的热量有效带走，起到充分水冷作用，保证激光器内部光学器件在恒温状态下工作，从而使超短脉冲激光器输出光保持良好的光束指向稳定性，避免超短脉冲激光器因内部温度变化较大造成光束指向偏移的问题。

2、本发明还为超短脉冲激光器放大压缩水冷模块上的光纤进线孔和出光孔处均设置了固定密封结构，以避免空气中大量悬浮的颗粒物进入激光器内部、造成镜片毁损或者功率损失等问题，保证超短脉冲激光器的正常工作，还可以防止损伤光纤。

3、放大压缩水冷底板、沿放大压缩水冷底板边缘设置的一圈壁板和上盖共同形成封闭空间，采用这种结构，空气流动速度慢，降低了器件通过自然对流导热的效率，最大程度地减小了热量的传导，避免了发热器件影响其他器件的工作性能。

4、后压板与壁板之间、窗口玻璃固定密封件与壁板之间、上盖与壁板之间均设有密封圈，进一步提高了放大压缩水冷模块的密封性。

5、各个发热器件的水冷座或水冷板底还设置了隔热凸台，可以减小热量向水冷底板传导，避免零件与水冷底板大面积接触，小的隔热凸台的既能降低加工成本，又能保证加工精度。

6、为通过循环水将热量充分带走，水冷底板和放大压缩水冷底板内的流道均为S形；各流道的直径均为6mm-12mm，该直径由加工工艺和散热量共同决定。

7、为了减小整机体积，提高空间利用率，水冷底板的长×宽×高采取(1010±100)mm×(570±50)mm×(35±5)mm。

8、通过在放大压缩水冷模块内部和水冷底板上安装温湿度传感器，保证激光器内部温湿度信息能及时反馈到壳体外部，形成反馈系统，以便及时调整水冷机参数，使整个水冷系统更合理地运行。

附图说明

图1为本发明实施例水路连接示意图；

图2为本发明实施例放大压缩水冷模块外部结构示意图；

图3为本发明实施例光纤固定密封件结构示意图；

图4为本发明实施例光纤固定密封件剖面图；

图5为本发明实施例窗口玻璃固定密封件剖面图；

图6为本发明实施例第一四通接头集成及其底部隔热凸台的结构示意图；

图7为本发明实施例水冷底板剖面图；

图8为本发明实施例放大压缩水冷底板剖面图；

附图标记说明：

1-水冷机、2-水冷底板、3-第一四通接头集成、4-LD驱动水冷板；

5-放大压缩水冷模块、501-放大压缩水冷底板、502-第一三通接头集成、503-硅酸盐晶体水冷板、504-单晶光纤水冷座、505-光阑水冷座、506-体光栅水冷座、507-第二三通接头集成、508-壁板、5081-光纤固定密封件、50811-前压板、508111-通孔、508112-凸沿、50812-后压板、508121-橡胶垫圈槽、50813-橡胶垫圈、508131-光纤接入孔、508132-切口、5082-窗口玻璃固定密封件、50821-窗口玻璃、5083-第一密封圈、5084-第二密封圈、509-上盖、5010-第二进水接头组件、5011-第二出水接头组件；

6-电光水冷板、7-LD水冷板、8-第二四通接头集成、9-第一进水接头组件、10-第一出水接头组件、11-隔热凸台、12-第一温湿度传感器、13-第二温湿度传感器。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步地说明。

为提高超短脉冲激光器的综合性能，防尘式水冷系统以光学原理为前提，以避免器件发热严重，保障激光器光束指向稳定为首要目标；以有效防尘，避免空气中大量悬浮的颗粒物进入激光器内部污染光学镜片和晶体为第二目标，以减小整机体积、提高空间利用率为第三目标，设计了一套防尘式水冷系统，可对超短脉冲激光器内的各个电子元器件以及各类驱动硬件进行水冷。

考虑到放大压缩水冷模块5作为短脉冲激光器的核心模块，内部有诸多光学器件，放大压缩水冷模块5的冷却效果是决定整个激光器冷却效果的关键因素，也就是说，为避免整个模块的结构受热发生形变，要考虑放大压缩水冷模块5内部若干发热器件散热问题。设计思路为：以发热程度较大的放大压缩水冷模块5的局部水冷为主，其余部分的整体水冷为辅。整体水冷的目的是保证激光器内部热量分布均匀，局部水冷的目的是防止发热严重的器件温度过高。即首先将主路接到水冷机1，再通过第一四通接头集成3将主路分为三个支路，分别连接不同的模块，包含放大压缩水冷模块5，水冷底板2，LD驱动水板冷等。这三个支路连接方式为并联，每个支路分别连接不同需要水冷的元件。

为了实现第一目标，基于超短脉冲激光器的防尘式水冷系统，包括水冷机1和水冷底板2，设置于水冷底板2表面的第一四通接头集成3、LD驱动水冷板4、放大压缩水冷模块5、电光水冷板6、LD水冷板7、第二四通接头集成8，以及设置于水冷底板2上方与水冷底板2形成封闭空间的壳体；所述水冷底板2表面靠近第一四通接头集成3一侧设有第一进水接头组件9、靠近第二四通接头集成8一侧设有第一出水接头组件10，第一进水接头组件9和第一出水接头组件10位于水冷底板2的同一对角线上，第一进水接头组件9和第一出水接头组件10通过设在水冷底板2内部的流道相连通；所述放大压缩水冷模块5包括放大压缩水冷底板501，设置于放大压缩水冷底板501表面的第一三通接头集成502、硅酸盐晶体水冷板503、单晶光纤水冷座504、光阑水冷座505、体光栅水冷座506、第二三通接头集成507，沿放大压缩水冷底板501边缘设置的一圈壁板508，设置于壁板508顶部的上盖509；其中，放大压缩水冷底板501、壁板508和上盖509共同形成封闭空间，采用这种结构，空气流动速度慢，降低器件通过自然对流导热的效率，最大程度地减小了热量的传导，避免了发热器件影响其他器件的工作性能。所述放大压缩水冷底板501侧面靠近LD驱动水冷板4处设有第二进水接头组件5010，如图2所示，靠近第一出水接头组件10处设有第二出水接头组件5011；所述壁板508上开设有两个光纤进线孔和四个出光孔，出光孔用来检测内部光束性能和获取所需光束。

为了实现第二目标，每个光纤进线孔处设有光纤固定密封件5081，每个出光孔处设有窗口玻璃固定密封件5082，窗口玻璃固定密封件5082内设有窗口玻璃50821，采用这种密封结构，可防止损伤光纤，防止灰尘进入放大压缩水冷模块5内部、造成镜片毁损或者功率损失等问题。

图1为水路连接示意图，如图中所示，所述水冷机1内的水流入第一四通接头集成3后被分为三路；第一路依次流经LD驱动水冷板4、放大压缩水冷底板501、电光水冷板6、LD水冷板7后，流入第二四通接头集成8；第二路流经第一进水接头组件9、水冷底板2内部的流道后，通过第一出水接头组件10流入第二四通接头集成8；第三路经第二进水接头组件5010穿过所述壁板508流入第一三通接头集成502，在第一三通接头集成502处被分为两路，一路依次流经硅酸盐晶体水冷板503和单晶光纤水冷座504后，流入第二三通接头集成507，另一路依次流经光阑水冷座505和体光栅水冷座506后，流入第二三通接头集成507，第二三通接头集成507处的水经第二出水接头组件5011穿过所述壁板508，流入第二四通接头集成8；第二四通接头集成8处的水经过滤器最终流回水冷机1。

如图3和图4所示，所述光纤固定密封件5081包括前压板50811、后压板50812和橡胶垫圈50813；所述后压板50812为一端带有凸缘的空心圆柱，后压板50812凸缘一端的中心处开设有橡胶垫圈槽508121；所述橡胶垫圈50813设置于橡胶垫圈槽508121内，橡胶垫圈50813中心设有光纤接入孔508131，橡胶垫圈50813上开设有一个用于引入光纤的切口508132；所述前压板50811中心开设有通孔508111，通孔508111直径小于橡胶垫圈50813外径，且通孔508111孔口处设有用于压紧橡胶垫圈50813的凸沿508112；所述前压板50811与后压板50812的凸缘固连；所述后压板50812固连于所述壁板508上；固连为螺栓连接或胶连接；所述橡胶垫圈50813的耐受温度在100℃以上，所述耐受温度在100℃以上的橡胶垫圈50813或密封圈的材质可以是氟橡胶或者硅橡胶。如图5所示，所述窗口玻璃固定密封件5082为一端带有凸缘的空心圆柱，所述窗口玻璃50821嵌设于空心圆柱内且靠近凸缘端。所述后压板50812的凸缘与所述壁板508之间处设有第一密封圈5083，所述窗口玻璃固定密封件5082的凸缘与所述壁板508之间设有第二密封圈5084，所述上盖509与所述壁板508之间设有第三密封圈，所述第一密封圈5083、第二密封圈5084和第三密封圈的耐受温度均在100℃以上。

所述水冷底板2分别与第一四通接头集成3、LD驱动水冷板4、放大压缩水冷模块5、电光水冷板6、LD水冷板7、第二四通接头集成8之间均，放大压缩水冷底板501分别与第一三通接头集成502、硅酸盐晶体水冷板503、单晶光纤水冷座504、光阑水冷座505、体光栅水冷座506、第二三通接头集成507之间，水冷底板2分别与放大压缩水冷底板501之间均设有隔热凸台11。图6为第一四通接头集成3及其底部隔热凸台11的结构示意图。由于在热传导中，两个物体接触面积越大，单位时间内传导的热量越多。所以，为减小热量向底板的传导，避免零件与底板大面积接触，各个发热器件的水冷用固定座还设置了隔热凸台11，小凸台的优点是既能减小加工成本又能保证加工精度。

图7和图8分别为水冷底板2和放大压缩水冷底板501的剖面图，从图中可以看出，所述水冷底板2和所述放大压缩水冷底板501内的流道均为S形，各流道的直径均为6mm-12mm，该直径由加工工艺和散热量共同决定，深径比较大，加工较为困难，所以采取两端加工的方式。以水冷底板2为例，所述水冷底板2内开设有N条相互平行的流道，每条流道的两端均与板外相通，靠近第一四通接头集成3一侧的流道为第一流道，靠近第二四通接头集成8一侧的流道为第N流道，第一流道的一个开口端通过圆形盲盖封闭，所述第一进水接头组件9靠近该开口端且与第一流道连通，第一流道的另一个开口端与第二流道邻侧的一个开口端通过U型槽连通，并通过U型盲盖封闭，…，第N-1流道的另一个开口端与第N流道邻侧的一个开口端通过U型槽连通，并通过U型盲盖封闭，第N流道的另一个开口端通过圆形盲盖封闭，所述第一出水接头组件10靠近该开口端且与第N流道连通，N条流道形成与第一进水接头组件9和第二进水接头组件5010连通的S形流道，相邻流道的间距为115±5mm。U型盲盖与U型槽之间设有第四密封圈，圆形盲盖与流道之间设有第五密封圈，第四密封圈和第五密封圈的耐受温度均在100℃以上。

为实现第三目标，所述水冷底板2的长×宽×高为(1010±100)mm×(570±50)mm×(35±5)mm。

所述水冷底板2表面设有第一温湿度传感器12、所述壁板508上设有第二温湿度传感器13，第二温湿度传感器13的敏感端位于放大压缩水冷模块5的封闭空间内，第一温湿度传感器12和第二温湿度传感器13的输出端连接设置在所述壳体外部的显示屏的输入端，第一温湿度传感器12和第二温湿度传感器13的敏感数据显示于显示屏处。通过在放大压缩水冷模块5内部和水冷底板2上安装温湿度传感器，保证激光器内部温湿度信息能及时反馈到外部形成反馈系统，通过该传感器可以及时调整水冷机1参数，使整个水冷系统更合理的运行。

各模块在水冷系统中的空间位置分布，在保证超短脉冲激光器的光学要求的前提下，空间利用合理。试验表明：该水冷系统满足大多数光学器件正常工作温度为23℃左右，温度波动在±5℃以内可正常工作的温度要求。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制，对于本领域的普通专业技术人员来说，可以对前述各实施例所记载的具体技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明所保护技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种基于超短脉冲激光器的防尘式水冷系统，其特征在于：包括水冷机(1)，水冷底板(2)，设置于水冷底板(2)表面的第一四通接头集成(3)、LD驱动水冷板(4)、放大压缩水冷模块(5)、电光水冷板(6)、LD水冷板(7)、第二四通接头集成(8)，以及设置于水冷底板(2)上方与水冷底板(2)形成封闭空间的壳体；

所述水冷底板(2)表面靠近第一四通接头集成(3)一侧设有第一进水接头组件(9)、靠近第二四通接头集成(8)一侧设有第一出水接头组件(10)，第一进水接头组件(9)和第一出水接头组件(10)位于水冷底板(2)的同一对角线上，第一进水接头组件(9)和第一出水接头组件(10)通过设在水冷底板(2)内部的流道相连通；

所述放大压缩水冷模块(5)包括放大压缩水冷底板(501)，设置于放大压缩水冷底板(501)表面的第一三通接头集成(502)、硅酸盐晶体水冷板(503)、单晶光纤水冷座(504)、光阑水冷座(505)、体光栅水冷座(506)、第二三通接头集成(507)，沿放大压缩水冷底板(501)边缘设置的一圈壁板(508)，设置于壁板(508)顶部的上盖(509)；其中，放大压缩水冷底板(501)、壁板(508)和上盖(509)共同形成封闭空间；

所述放大压缩水冷底板(501)侧面靠近LD驱动水冷板(4)处设有第二进水接头组件(5010)、靠近第一出水接头组件(10)处设有第二出水接头组件(5011)；

所述壁板(508)上开设有光纤进线孔和出光孔，光纤进线孔处设有光纤固定密封件(5081)，出光孔处设有窗口玻璃固定密封件(5082)，窗口玻璃固定密封件(5082)内设有窗口玻璃(50821)；

所述水冷机(1)内的水流入第一四通接头集成(3)后被分为三路；

第一路依次流经LD驱动水冷板(4)、放大压缩水冷底板(501)、电光水冷板(6)、LD水冷板(7)后，流入第二四通接头集成(8)；

第二路流经第一进水接头组件(9)、水冷底板(2)内部的流道后，通过第一出水接头组件(10)流入第二四通接头集成(8)；

第三路经第二进水接头组件(5010)穿过所述壁板(508)流入第一三通接头集成(502)，在第一三通接头集成(502)处被分为两路；一路依次流经硅酸盐晶体水冷板(503)和单晶光纤水冷座(504)后，流入第二三通接头集成(507)；另一路依次流经光阑水冷座(505)和体光栅水冷座(506)后，流入第二三通接头集成(507)，第二三通接头集成(507)处的水经第二出水接头组件(5011)穿过所述壁板(508)，流入第二四通接头集成(8)；

第二四通接头集成(8)处的水最终流回水冷机(1)。

2.根据权利要求1所述的基于超短脉冲激光器的防尘式水冷系统，其特征在于：所述光纤固定密封件(5081)包括前压板(50811)、后压板(50812)和橡胶垫圈(50813)；

所述后压板(50812)为一端带有凸缘的空心圆柱，后压板(50812)凸缘一端的中心处开设有橡胶垫圈槽(508121)；

所述橡胶垫圈(50813)设置于橡胶垫圈槽(508121)内，橡胶垫圈(50813)中心设有光纤接入孔(508131)，橡胶垫圈(50813)上开设有一个用于引入光纤的切口(508132)；

所述前压板(50811)中心开设有通孔(508111)，通孔(508111)直径小于橡胶垫圈(50813)外径，且通孔(508111)孔口处设有用于压紧橡胶垫圈(50813)的凸沿(508112)；

所述前压板(50811)与后压板(50812)的凸缘固连；

所述后压板(50812)固连于所述壁板(508)上；

所述橡胶垫圈(50813)的耐受温度在100℃以上。

3.根据权利要求2所述的基于超短脉冲激光器的防尘式水冷系统，其特征在于：所述窗口玻璃固定密封件(5082)为一端带有凸缘的空心圆柱，所述窗口玻璃(50821)嵌设于空心圆柱内且靠近凸缘端。

4.根据权利要求3所述的基于超短脉冲激光器的防尘式水冷系统，其特征在于：所述后压板(50812)的凸缘与所述壁板(508)之间处设有第一密封圈(5083)，所述窗口玻璃固定密封件(5082)的凸缘与所述壁板(508)之间设有第二密封圈(5084)，所述上盖(509)与所述壁板(508)之间设有第三密封圈，所述第一密封圈(5083)、第二密封圈(5084)和第三密封圈的耐受温度均在100℃以上。

5.根据权利要求1至4任一所述的基于超短脉冲激光器的防尘式水冷系统，其特征在于：所述水冷底板(2)分别与第一四通接头集成(3)、LD驱动水冷板(4)、放大压缩水冷模块(5)、电光水冷板(6)、LD水冷板(7)、第二四通接头集成(8)之间，放大压缩水冷底板(501)分别与第一三通接头集成(502)、硅酸盐晶体水冷板(503)、单晶光纤水冷座(504)、光阑水冷座(505)、体光栅水冷座(506)、第二三通接头集成(507)之间，水冷底板(2)与放大压缩水冷底板(501)之间，均设有隔热凸台(11)。

6.根据权利要求5所述的基于超短脉冲激光器的防尘式水冷系统，其特征在于：所述水冷底板(2)和所述放大压缩水冷底板(501)内的流道均为S形，直径均为6mm-12mm。

7.根据权利要求6所述的基于超短脉冲激光器的防尘式水冷系统，其特征在于：所述水冷底板(2)的长×宽×高为(1010±100)mm×(570±50)mm×(35±5)mm。

8.根据权利要求7所述的基于超短脉冲激光器的防尘式水冷系统，其特征在于：所述水冷底板(2)表面设有第一温湿度传感器(12)、所述壁板(508)上设有第二温湿度传感器(13)，第二温湿度传感器(13)的敏感端位于放大压缩水冷模块(5)的封闭空间内，第一温湿度传感器(12)和第二温湿度传感器(13)的输出端连接设置在壳体外部的显示屏输入端。

9.根据权利要求2所述的基于超短脉冲激光器的防尘式水冷系统，其特征在于：所述固连为螺栓连接或胶连接。

10.根据权利要求9所述的基于超短脉冲激光器的防尘式水冷系统，其特征在于：所述水冷机(1)和第二四通接头集成(8)之间设有过滤器。

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