CN112197727A - 位置测量装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于测量两个物体在进给方向上和在另外的自由度上的相对位置的位置测量装置。为此，承载本体（1）具有至少三个在进给方向上延伸的表面（O1、O2、O3），这些表面中的每一个承载第一测量刻度（T11‑T13）和第二测量刻度（T21‑T23）。第一测量刻度（T11‑T13）和第二测量刻度（T21‑T23）分别具有刻度线的序列，其中第一测量刻度（T11‑T13）的刻度线相对于第二测量刻度（T21‑T23）的刻度线倾斜。为了扫描测量刻度（T11‑T13、T21‑T23），设置有多个扫描单元（A11‑A13、A21‑A23），其相对于测量刻度（T11‑T13、T21‑T26）如此布置，从而产生共同的热中性点（P）。

Description

位置测量装置

技术领域

本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分的特征的位置测量装置。

背景技术

WO 2017/080612 A1公开了一种位置测量装置，其用于测量两个能够相对于彼此运动的物体在进给方向上和在另外的自由度上的相对位置。该位置测量装置包括一个在进给方向上纵向延伸的棱柱形的承载本体，该棱柱形的承载本体具有多个表面，这些表面分别承载一个测量刻度，以及该位置测量装置包括一个可相对于其运动的、具有多个用于扫描测量刻度的扫描单元的扫描构件组。

如在WO 2017/080612 A1中所说明的那样，这种位置测量装置用于测量坐标测量机中的误差。由此检测到的测量值可以用于校正坐标测量机的误差和校准坐标测量机。

发明内容

本发明的任务在于，提出一种位置测量装置，利用该位置测量装置可以实现在承载测量刻度的承载本体的纵向方向上以及在其它自由度上的精确的位置测量。

根据本发明，该任务通过具有权利要求1的特征的位置测量装置来解决。

位置测量装置设计用于测量两个能够相对于彼此运动的物体在进给方向和其它自由度上的相对位置。位置测量装置包括一个在进给方向上纵向延伸的具有测量刻度的承载本体和一个相对于其可运动的具有多个用于扫描测量刻度的扫描单元的扫描构件组。

承载本体具有多个在进给方向上延伸的表面。这些表面位于不同的平面中。优选地，承载本体的承载测量刻度的表面如此布置，即能够在所有六个自由度上确定扫描构件组相对于承载本体的位置。为此，承载本体的形成表面的平面优选在空间上如此布置，从而在它们之间得到多个沿进给方向延伸的交线。

这些表面中的至少三个分别承载一个第一测量刻度和一个第二测量刻度，其中第一测量刻度和第二测量刻度分别具有刻度线的序列，并且第一测量刻度的刻度线相对于第二测量刻度的刻度线倾斜。倾斜意味着，第一测量刻度的刻度线与第二测量刻度的刻度线不同地定向或取向。因此，表面中的一个的第一测量刻度和第二测量刻度适合于测定面内自由度，其中基准平面是承载本体的相应表面。

用于在扫描位置处扫描相应的测量刻度的扫描单元中的至少一个配属于第一测量刻度中的每个和第二测量刻度中的每个，其中这两个扫描单元如此布置并且这两个测量刻度的刻度线如此相对于彼此倾斜，使得垂直平面通过分别配属于表面之一的两个扫描单元的扫描位置在测量刻度的相应的刻度线的方向上具有共同的相交轴线，并且这样得到的三根相交轴线延伸穿过共同的点。

该共同的点对于所有的扫描单元来说是热中性点。

刻度线可以沿着其走向具有相同的宽度以及也可以构造为不中断的。但刻度线也可以沿着其走向中断或者也可以被宽度调制，例如以公知的方式用于谐波滤波。

因此，一个与相应的表面垂直的平面一方面通过配属于相应的测量刻度的扫描单元的扫描位置延伸，另一方面在该测量刻度的刻度线的方向上定向。平面在刻度线方向上的走向可等同于垂直于相应的测量刻度的灵敏度矢量的走向的方向。测量刻度的灵敏度矢量在此给出如下运动方向，在该运动方向上从中推导出的测量信号在每个经过的单位长度上最快地变化。与之相应地，平面在这样的方向上延伸，在该方向上，从中推导出的测量信号在每个经过的单位长度上最小地改变，即与位置相关的调制最小。

利用本发明提高位置测量装置的测量精度并且避免或者至少降低可能使位置测量失真的、由温度引起的影响。

本发明的有利的实施方案由在从属权利要求中所列举的措施得出。

承载本体的承载测量刻度的表面、测量刻度以及扫描单元优选如此布置和构造，使得扫描构件组相对于承载本体的位置可以在所有六个自由度上得到确定。

承载本体尤其是棱柱体，其中，限定该棱柱体的基面是多边形，并且至少三个表面是棱柱体的外周面。

替代地，承载本体可以是U形型材，其中，承载测量刻度的表面可以是U形型材的内表面和/或外表面。

对于特定的应用情况可以有利的是，测量刻度和扫描单元如此构造和布置，使得共同的热中性点位于承载本体的横截面中心。

有利地，表面的第一测量刻度和第二测量刻度分别彼此相邻地沿着垂直于进给方向的方向布置。

替代地，第一测量刻度和第二测量刻度也可以相互重叠地布置，其中，这种交叉的测量刻度也称为交叉格栅。

有利的是，第一测量刻度的刻度线相对于进给方向偏离0°地倾斜，并且第二测量刻度的刻度线相对于进给方向同样偏离0°地倾斜。在此，第一测量刻度的刻度线和第二测量刻度的刻度线在数值上相对于进给方向倾斜相同的角度。

当测量刻度被设计成可光学扫描时，获得一种特别高分辨率的位置测量装置。

测量刻度可以是增量刻度，其中为了建立绝对基准可以向增量刻度中分别集成一个参考标记结构。替代地，测量刻度也可以是绝对刻度，尤其是构造为伪随机码。

在优化热输入方面有利的是，相同数量的扫描单元配属于承载本体的在进给方向上延伸的表面中的每个表面。

附图说明

借助于下面对本发明的可能的设计方案的描述结合附图来阐述本发明的其他细节和优点。其中示出：

图1示出了根据本发明设计的位置测量装置的透视图，该位置测量装置具有承载本体和扫描构件组；

图2示出了在扫描构件组的区域中穿过根据图1的位置测量装置的横截面；

图3示出了扫描构件组的两个扫描单元与承载本体的表面的测量刻度的配属关系；

图4示出了扫描构件组的所有扫描单元与承载本体的表面的测量刻度的配属关系；

图5示出了具有配属于其的扫描单元的测量刻度的一种替代的设计方案；

图6示出了呈绝对刻度形式的测量刻度的设计方案，其带有配属于其的扫描单元；

图7示出了根据本发明的位置测量装置的第二实施例；

图8示出了具有配属于它的扫描构件组的一种可能的设计方案的根据图7的承载本体的横截面；并且

图9示出了根据本发明的位置测量装置的第三实施例。

具体实施方式

图1至4示出了根据本发明设计的位置测量装置的第一实施例。该位置测量装置用于测量两个可相对于彼此运动的物体在进给方向X上和在另外的自由度Y、Z、RX、RY、RZ中的相对位置。在此，三个自由度X、Y、Z是线性的自由度并且自由度RX、RY、RZ是围绕相应的线性轴线X、Y、Z的旋转的自由度。进给方向X在此是主测量方向，并且另外的自由度Y、Z、RX、RY、RZ是在相应的位置X处可利用位置测量装置测量的偏差。

位置测量装置包括一个在进给方向X上纵向延伸的承载本体1，它可以固定在有待测量的物体之一上。为此，在所述承载本体1与有待测量的物体之间布置有如下固定元件，所述固定元件在图1中仅仅示意性地示出。特别有利的是，固定元件设计用于将承载本体1在进给方向X上的唯一一个位置上刚性地固定在待测量的物体上，并且在进给方向X上的一个或其它位置上相对于待测量的物体可纵向移动地支承。由此补偿在待测量的物体和承载本体1之间的由温度引起的长度变化，而不会向承载本体1上施加不允许的强制力。这种纵向可移动的支承可以以已知的方式例如借助于固体本体铰接件来实现。

根据本发明，承载本体1具有至少三个在进给方向X上延伸的表面O1、O2、O3。优选地，承载本体1构造为棱柱体，其基面形成闭合的多边形并且其外周面构成至少三个平坦的表面O1、O2、O3。闭合的多边形在最简单的情况下是三角形。

在所示出的实施例中，多边形形成等边四边形，从而承载本体1是具有四个平坦的表面O1、O2、O3、O4的平行六面体形，所述表面具有在图2中示出的横截面。

根据本发明，承载本体1的表面O1、O2、O3、O4中的至少三个分别承载第一测量刻度T11、T12、T13和第二测量刻度T21、T22、T23。第一测量刻度T11、T12、T13和第二测量刻度T11、T12、T13分别具有一个刻度线的序列，其中第一测量刻度T11、T12、T13的刻度线和第二测量刻度T21、T22、T23的刻度线分别相对于彼此倾斜，也就是说相互围成一个偏离0°的角度。

测量刻度T11至T13和T21至T23可以设计为可光学、磁性、电感或电容扫描的。测量刻度T11至T13和T21至T23的刻度线可以直接引入到表面O1至O3中或者施加在表面O1至O3上，例如借助于在可磁性扫描的测量刻度中的磁化或者通过在可光学扫描的测量刻度T11至T13和T21至T23中的激光烧蚀。两个配属于表面O1-O3的测量刻度可以替代地施加在额外的承载件上，该承载件然后例如通过粘接或通过粘合（Ansprengen）固定在承载本体1的表面O1、O2、O3上。在后一种情况下有利的是，承载本体1和测量刻度的承载件由具有相同的线性热膨胀系数的材料制成。

如果期望特别高精度的位置测量，则测量刻度T11至T13和T21至T23被设计成可光学扫描的。在此，刻度线的序列优选由反射和非反射区域的序列组成。

位置测量装置此外包括相对于承载本体1可运动的扫描构件组2以用于扫描测量刻度T11至T13和T21至T23。扫描构件组2包括多个扫描单元A11至A13和A21至A23以及共同的支架3，扫描单元A11至A13和A21至A23固定在该支架上。

特别有利的是，第一测量刻度T11、T12、T13的刻度线分别相对于进给方向X倾斜地布置，即相对于进给方向X偏离0°地倾斜，以及第二测量刻度T21、T22、T23的刻度线分别同样相对于进给方向X倾斜地布置，即相对于进给方向X同样偏离0°地倾斜。这具有的优点是，在沿进给方向X运动时，每个扫描单元A11到A13和A21到A23都沿相应的灵敏度矢量的一个方向分量运动，并且因此生成经调制的、取决于位置的扫描信号。这能够实现所有扫描信号的实时补偿。在图3和图4中，扫描单元A11到A13和A21到A23的灵敏度矢量在相应的扫描单元A11到A13和A21到A23处用小箭头表示。

以有利的方式，扫描单元A11至A13和A21至A23如此构造，使得它们在扫描配属于其的测量刻度T11至T13和T21至T23时生成多个相应正弦形的且彼此相移的周期性的扫描信号，尤其是彼此相移90°的扫描信号。

根据图3和4还详细阐述测量刻度T11至T13和T21至T23的以及配属于它们的扫描单元A11至A13和A21至A23的一种可能的根据本发明的布置和设计方案。

在该设计方案中，表面O1承载第一测量刻度T11和第二测量刻度T21。第一测量刻度T11的刻度线相对于进给方向X倾斜，例如倾斜+45°。第二测量刻度T21的刻度线相对于第一测量刻度T11的刻度线倾斜，并且以有利的方式也相对于进给方向X倾斜，例如倾斜-45°。如果第一测量刻度T11的刻度线以及第二测量刻度T21的刻度线在数值上相对于进给方向X倾斜相同的角度，则得到特别的优点，即对于在扫描时产生的扫描信号得到相同的位置变化。

表面O2承载第一测量刻度T12和第二测量刻度T22。第一测量刻度T12的刻度线相对于进给方向X倾斜，例如倾斜+45°。第二测量刻度T22的刻度线相对于第一测量刻度T12的刻度线以及以有利的方式也相对于进给方向X倾斜，例如倾斜-45°。

表面O3承载第一测量刻度T13和第二测量刻度T23。第一测量刻度T13的刻度线相对于进给方向X倾斜，例如倾斜+45°。第二测量刻度T23的刻度线相对于第一测量刻度T13的刻度线倾斜，并且以有利的方式也相对于进给方向X倾斜，例如倾斜-45°。

用于在扫描位置处进行扫描的至少一个扫描单元A11、A12、A13以及A21、A22、A23配属于第一测量刻度T11、T12、T13中的每个和第二测量刻度T21、T22、T23中的每个。扫描位置是相应的扫描单元A11到A13和A21到A23的位置测量的基准点。在图3和图4中，扫描位置在每个黑色示出的扫描单元A11至A13和A21至A23内以亮点象征性地示出。

下面借助于图3以两个扫描单元A11和A21为例，详细解释各两个扫描单元A11、A21以及A12、A22以及A13、A23与表面O1、O2、O3之一的各两个测量刻度T11、T21以及T12、T22以及T13、T23的配属关系。

如果将第一平面E11穿过扫描单元A11的扫描位置垂直于表面O1设置在第一测量刻度T11的刻度线的方向上，以及将第二平面E21穿过扫描单元A21的扫描位置垂直于表面O1设置在第二测量刻度T21的刻度线的方向上，那么在这两个平面E11、E21之间产生一个共同的相交轴线S1。该相交轴线S1针对配属于表面O1的扫描单元A11、A21形成热中性轴线。在支架3并因此扫描构件组2从该热中性轴线S1出发均匀膨胀时，扫描单元A11、A21只在刻度线的方向上运动，即垂直于相应的扫描单元A11、A21的灵敏度矢量并且垂直于表面O1运动。因此，承载本体1和支架3的由温度引起的膨胀不会导致测量误差。

在图4中示出所有扫描单元A11至A13和A21至A23与测量刻度T11至T13和T21至T23的配属关系。根据借助图3所阐述的扫描单元A11和A21与测量刻度T11、T21的配属关系，扫描单元A12、A22配属于表面O2的测量刻度T12、T22，从而由两个平面E12、E22得到相交轴线S2。相应地，扫描单元A13、A23也配属于表面O3的测量刻度T13、T23，从而由两个平面E13、E23得到相交轴线S3。

在该第一实施例中，根据本发明至少六个扫描单元A11到A13和A21到A23如此布置并且六个测量刻度T11到T13和T12到T23的刻度线如此定向，使得所得到的三根相交轴线S1、S2、S3延伸穿过共同的点P。对于整个位置测量组件而言，该点P是热中性点（热中心）。在支架3并因此扫描构件组2从该热中性点P出发均匀膨胀时，扫描单元A11至A13和A21至A23仅在相应的刻度线的方向上运动，即垂直于相应的测量刻度T11至T13和T12至T23的灵敏度矢量以及垂直于相应的表面O1、O2、O3运动。因此，由温度引起的膨胀仅仅引起在包含刻度线并且垂直于相应的表面O1、O2、O3延伸的平面中的移位。因此，承载本体1和支架3的由温度引起的膨胀不会导致测量误差。位置测量装置相对于均匀的温度变化是不变的，由此通过改变环境温度使测量误差最小化。

两个分别布置在表面O1、O2、O3之一上的测量刻度T11至T13和T21至T23的刻度线根据本发明相对于彼此倾斜，也就是围成一个偏离0°的角度。在上述实施例中，它们例如分别围成90°的相对角度。

图5示出了一种替代的设计方案。在此，虽然第一测量刻度T15的刻度线相对于第二测量刻度T25的刻度线倾斜一个偏离0°的角度，例如相对于彼此倾斜90°，但测量刻度T15的刻度线相对于进给方向X倾斜90°，并且测量刻度T25的刻度线平行于进给方向X延伸。在该示例中，得到两个垂直于表面O1延伸的平面E15和E25，它们在相交轴线S5上相交。

测量刻度T11、T12、T13、T15、T21、T22、T23、T25的刻度线可以周期性地布置，从而它们形成一个增量刻度，如在迄今为止的示例中所示的那样。

以未示出的方式，增量刻度可以补充有用于形成绝对位置的参考标记，尤其是参考标记或参考标识可以集成到增量刻度中。

替代地也可以使用测量刻度T16、T26，它们的刻度线非周期地布置并且因此形成绝对的测量刻度T16、T26。在图6中示出了一个示例。扫描单元A16配属于测量刻度T16并且扫描单元A26配属于测量刻度T26。扫描单元A16、A26能够是行传感器。在此同样适用的是，绝对测量刻度T16的刻度线相对于绝对测量刻度T26的刻度线倾斜。垂直于表面O1的第一平面E16沿测量刻度T16的刻度线的方向延伸穿过扫描单元A16的扫描位置地与垂直于表面O1的第二平面E26沿测量刻度T26的刻度线的方向延伸穿过扫描单元A26的扫描位置地相交并因此形成一根相交轴线S6。

借助于图7和8来解释根据本发明的位置测量装置的另一种可能的设计方案。基本结构对应于已经借助图1至图4解释的示例，因此在此仅更详细地解释补充部分，并且对于相一致的部分采用来自图1至图4的标记和附图标记。

该位置测量装置相对于第一实施例的扩展之处在于，扫描单元A14、A24也配属于承载本体1的表面O4。因此，在该有利的设计方案中，相同数量的扫描单元A11至A14、A21至A24配属于承载本体1的沿进给方向X延伸的表面O1、O2、O3、O4中的每一个。因为扫描单元A11至A14、A21至A24具有电的结构元件，所以这些电的结构元件形成热源。通过使得相同数量的扫描单元A11至A14、A21至A24分别配属于表面O1、O2、O3、O4中的每个，确保到承载本体1以及到支架3上的对称的热输入。

附加的扫描单元A14、A24可以用于生成用于检测六个自由度的冗余信息。为此，承载本体1也可以在表面O4上承载一个或多个测量刻度，例如也可以承载第一测量刻度T14和与之倾斜的第二测量刻度T24。

特别有利地，在此也使得倾斜测量刻度T14、T24的刻度线如此相对于彼此倾斜并且如此布置所属的扫描单元A14、A24，使得以下条件成立：

如果将第一平面E14穿过扫描单元A14的扫描位置垂直于表面O4设置在第一测量刻度T14的刻度线的方向上，以及将第二平面E24穿过扫描单元A24的扫描位置垂直于表面O4设置在第二测量刻度T24的刻度线的方向上，则在这两个平面E14、E24之间得到一根共同的相交轴线S4，其中该相交轴线S4同样延伸穿过点P。

在至此阐述的实施例中，如此选择测量刻度T11至T14、T21至T24的刻度线的相对于彼此倾斜和扫描单元A11至A14、A21至A24的布置，使得共同的热中性点P位于承载本体1的横截面中心。

利用刻度线的参数倾斜度或者选择灵敏度矢量以及扫描单元A11至A14、A21至A24的参数布置可以根据需要选择共同的热中性点P的位置。借助于图9对此解释一个示例。

承载本体1和布置在其上的测量刻度T11至T14、T21至T24相应于图7的实施例，参考该实施例。

为了在承载本体1之外形成共同的热中性点P，测量刻度T11至T14、T21至T24和配属于测量刻度T11至T14、T21至T24的扫描单元A11至A14、A21至A24根据如下标准来构造或布置：

如果将第一平面E11穿过扫描单元A11的扫描位置垂直于表面O1设置在第一测量刻度T11的刻度线的方向上，以及将第二平面E21穿过扫描单元A21的扫描位置垂直于表面O1设置在第二测量刻度T21的刻度线的方向上，那么在这两个平面E11、E21之间得到一根共同的相交轴线S1。该相交轴线S1针对配属于表面O1的扫描单元A11、A12形成热中性轴线。

如果将第一平面E12穿过扫描单元A12的扫描位置垂直于表面O2设置在第一测量刻度T12的刻度线的方向上，以及将第二平面E22穿过扫描单元A22的扫描位置垂直于表面O2设置在第二测量刻度T22的刻度线的方向上，那么在这两个平面E12、E22之间得到一根共同的相交轴线S2。该相交轴线S2针对配属于表面O2的扫描单元A12、A22形成热中性轴线。

如果将第一平面E13穿过扫描单元A13的扫描位置垂直于表面O3设置在第一测量刻度T13的刻度线的方向上，以及将第二平面E23穿过扫描单元A23的扫描位置垂直于表面O3设置在第二测量刻度T23的刻度线的方向上，则在这两个平面E13、E23之间得到一根共同的相交轴线S3。该相交轴线S3针对配属于表面O3的扫描单元A13、A23形成热中性轴线。

根据本发明，现在如此选择该布置，使得三根相交轴线S1、S2、S3在共同的点P处相交。

为了优化的热输入，在该示例中位置测量装置还补充有另外的扫描单元A14、A24，它们根据以下规则布置：

如果将第一平面E14穿过扫描单元A14的扫描位置垂直于表面O4设置在第一测量刻度T14的刻度线的方向上，以及将第二平面E24穿过扫描单元A24的扫描位置垂直于表面O4设置在第二测量刻度T24的刻度线的方向上，则在这两个平面E14、E24之间得到一根共同的相交轴线S4。现在特别有利的是，该相交轴线S4同样延伸穿过点P。

如从上述示例中可以看出的那样，可以自由选择点P的空间位置。该点P是热中性点，也称为热中心或热固定点，待测量的自由度与该点相关。点P例如可以在将支架3与待测量的物体连接的位置处进行选择，或者将点P放置在坐标测量机或机床的工具中心点中。

根据本发明构造的位置测量装置可以用于检测坐标测量机或机床的引导误差。在此，位置测量装置可以配属于坐标测量机或机床的引导装置。但是，根据本发明构造的位置测量装置本身也可以作为机器引导装置起作用，因此承载本体例如可以实施为坐标测量机的顶尖座套筒（Pinole）。如果测量刻度集成到承载本体的表面中，尤其是通过用激光束局部地处理表面来制造，则承载测量刻度的承载本体用作引导元件是有利的。在此，测量刻度的区域也可以用作引导面，尤其是当引导装置构造成空气支承结构时。

尤其在机床中使用根据本发明构造的位置测量装置时，可以有利的是，将承载本体1以及扫描构件组2安置在壳体中。在此，如在所谓的封装的位置测量系统中已知的那样，壳体可以通过沿进给方向X延伸的密封件覆盖，用于扫描构件组2的带动件贯穿所述密封件。

Claims (15)

1.一种用于测量两个能够相对于彼此运动的物体在进给方向（X）上和在另外的自由度（Y、Z、RX、RY、RZ）上的相对位置的位置测量装置，该位置测量装置具有一个在所述进给方向（X）上纵向延伸的、带有测量刻度（T11-T26）的承载本体（1）并且具有一个能够相对于其运动的、带有多个用于对所述测量刻度（T11-T26）进行扫描的扫描单元（A11-A26）的扫描构件组（2），其特征在于，

所述承载本体（1）的至少三个表面（O1-O4）分别承载第一测量刻度（T11-T16）和第二测量刻度（T21-T26），其中，所述第一测量刻度（T11-T16）和所述第二测量刻度（T21-T26）分别具有刻度线的序列，并且所述第一测量刻度（T11-T16）的刻度线相对于所述第二测量刻度（T21-T26）的刻度线倾斜；用于在扫描位置处扫描相应的测量刻度（T11-T26）的扫描单元（A11-A26）中的至少一个配属于所述第一测量刻度（T11-T16）中的每个和所述第二测量刻度（T21-T26）中的每个，其中，这两个扫描单元（A11-A26）如此布置且这两个测量刻度（T11-T26）的刻度线如此相对于彼此倾斜，使得垂直平面在测量刻度（T11-T26）的相应的刻度线的方向上通过分别配属于所述表面（O1-O4）之一的两个扫描单元（A11-A26）的扫描位置具有共同的相交轴线（S1-S6），并且如此得到的三根相交轴线（S1-S6）延伸穿过共同的点（P）。

2.根据权利要求1所述的位置测量装置，其中，所述承载本体（1）的至少三个表面（O1-O4）和所述测量刻度（T21-T26）和所述扫描单元（A11-A26）如此布置和构造，使得所述扫描构件组（2）相对于所述承载本体（1）的位置能够在六个自由度（X、Y、Z、RX、RY、RZ）中确定。

3.根据权利要求1所述的位置测量装置，其中，所述承载本体（1）是棱柱体，并且至少三个表面（O1-O4）是棱柱体的外周面。

4.根据权利要求3所述的位置测量装置，其中，所述承载本体（1）是平行六面体。

5.根据前述权利要求中任一项所述的位置测量装置，其中，所述共同的点（P）位于所述承载本体（1）的横截面中心。

6.根据前述权利要求中任一项所述的位置测量装置，其中，所述表面（O1-O4）的第一测量刻度（T11-T16）和第二测量刻度（T21-T26）分别彼此相邻地沿着垂直于进给方向（X）的方向布置。

7.根据前述权利要求中任一项所述的位置测量装置，其中，第一测量刻度（T11-T14、T16）的刻度线相对于进给方向（X）偏离0°地倾斜，并且第二测量刻度（T21-T24、T26）的刻度线相对于进给方向（X）同样偏离0°地倾斜。

8.根据权利要求7所述的位置测量装置，其中，所述第一测量刻度（T11-T14、T16）的刻度线和所述第二测量刻度（T21-T24、T26）的刻度线在数值上相对于进给方向（X）倾斜相同的角度。

9.根据权利要求8所述的位置测量装置，其中，所述第一测量刻度（T11-T14、T16）的刻度线相对于进给方向（X）倾斜+45°，并且所述第二测量刻度（T21-T24、T26）的刻度线相对于进给方向（X）倾斜-45°。

10.根据前述权利要求1至7中任一项所述的位置测量装置，其中，所述第一测量刻度（T15）的刻度线相对于进给方向（X）倾斜90°。

11.根据前述权利要求中任一项所述的位置测量装置，其中，所述测量刻度（T11-T26）被构造为能够光学扫描的。

12.根据前述权利要求中任一项所述的位置测量装置，其中，所述测量刻度（T11-T15、T22-T25）是增量刻度。

13.根据权利要求11所述的位置测量装置，其中，所述测量刻度（T11-T15、T22-T25）、即增量刻度被分别集成到一个参考标记结构中。

14.根据前述权利要求1至11中任一项所述的位置测量装置，其中，所述测量刻度（T16、T26）是绝对刻度。

15.根据前述权利要求中任一项所述的位置测量装置，其中相同数量的扫描单元（A11-A26）配属于所述承载本体（1）的沿进给方向（X）延伸的表面（O1-O4）中的每一个。

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