CN112067190A - 一种风压测量柔性智能蒙皮及其制造方法与应用 - Google Patents
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Abstract
本发明属于压力传感器相关技术领域,其公开了一种风压测量柔性智能蒙皮及其制造方法与应用,柔性智能蒙皮包括自下而上设置的柔性衬底、底电极、离子薄膜、空腔层薄膜、顶电极及感压薄膜,底电极设置在柔性衬底上;空腔层薄膜开设有相连通的多个通孔及微流道,通孔相背的两端被覆盖而形成封闭的空腔;离子薄膜上形成有多个微凸起,对应的微凸起收容于空腔内;柔性智能蒙皮包括多个间隔设置的传感单元;通过预先调节空腔内部的参考压力,使得传感单元处于双电层离子电容的工作状态。本发明具有超高分辨率及超宽可定制量程,且对正负压都具有超高的分辨率和超宽的量程,并且正负压的测量范围可以实时调节。
Description
技术领域
本发明属于压力传感器相关技术领域,更具体地,涉及一种风压测量柔性智能蒙皮及其制造方法与应用。
背景技术
飞行器压力分布测量目的是测量各部件,如机翼、尾翼、机身、操纵面、外挂物等表面的压力分布,为飞行器及其各部件结构强度计算提供载荷,以及为飞行器及其各部件的性能,研究绕模型的流动特性提供数据。通过压力分布测量可以确定机翼上最小压力点位置、激波位置、气流是否分离,以及作用在模型上的升力、压差阻力和压力中心的位置等。因此,飞行器表面压力测量对研究飞行器的气动特性非常重要。
目前的风洞测试中,常规压力分布测量方法包括压力管线、压敏漆(PSP)压力传感器三种。压力管线的方法是在待测模型表面安置压力孔,然后通过管路系统外接至后端的压力扫描阀上,压力扫描阀内部有压力传感器,对连接的测点压力进行扫描式测量。另外,压力传感器也可以嵌入在压力孔中,或者贴在模型表面直接测量。目前压力传感器是基于成熟的硅基压阻式测量原理,量程、响应频率和温度补偿能够得到很好的保证,精度和压力分辨率(70~100Pa)仍然不能满足很多实验。上述的两种方法都需要在模型上打孔,一个测点对应一个压力孔,因此为了实现压力场的测量,往往需要铺设大量的压力孔,这破坏了模型的整体性,增加了模型的加工难度,且周期长。对于1.2m量级的跨超音速风洞,在模型表面上一般最多安置500个测压点,而在有些关键部位(如翼尖、翼面后缘、翼身结合处、外挂物挂架、腹鳍等)由于受结构的限制安置测压点也十分困难。压敏漆也是风洞中一种常用的测压方法,能够提供连续的压力场分布,但是需要布置相机,受限于风洞自身的结构,并且明显无法用于实际的飞行中。
柔性压力传感器的发展为风洞试验和飞行器提供了一种新的测量方式,得益于其优良的柔性,可以直接贴附在待测模型表面,无需打孔,因此更易于铺设测点,且不受打孔位置的限制。在试验中,不同的条件下,如风速和测点位置等,其表面压力经常差别较大。而量程和测量分辨率是衡量传感器的重要指标,但是二者通常是矛盾的关系,获得高压力分辨率和宽量程依然是亟待解决的问题。An等人研制了基于电容式的柔性风压传感器,量程±800Pa,灵敏度0.0018pF/Pa,压力分辨率5.5Pa,厚度3mm,主要由硅橡胶组成,在低速下(15m/s)验证了其可行性(An L,Lu T,Xu J,et al.Soft sensor for measuring windpressure.Int J Mech Sci,2018,141:386-392)。Francioso等人也开发了基于电容式的风压传感器,量程±1000Pa,传感器厚度1mm,直径16mm(Francioso L,De Pascali C,Siciliano P,et al.Aircraft distributed flow turbulence sensor network withembedded flow control actuators.In:2014 12th IEEE International Conference onEmbedded and Ubiquitous Computing.IEEE,2014.185-192)。但是从上述可以看出,目前柔性风压传感器仍然存在下述问题:
1.量程和灵敏度较低,主要用于低速的风洞试验;
2.厚度较大,基本在毫米级,安装不方便;
3.径向尺寸较大,同样在数毫米甚至十几毫米的量级,与常规的压力管线和压力传感器方式(孔径1~2mm)相比,空间分辨率低。
发明内容
针对现有技术的以上缺陷或改进需求,本发明提供了一种风压测量柔性智能蒙皮及其制造方法与应用,其具有超高分辨率及超宽可定制量程,且对正负压都具有超高的分辨率和超宽的量程,并且正负压的测量范围可以实时调节,满足风洞试验和飞行器从低速到高速下对测压范围和高压力分辨率的要求,通过大面积、阵列化的制备,良好的柔性使其可以直接贴附在模型表面,实现压力的全局测量,克服了常规压力测量需要大量测压孔的缺点。且所述柔性智能蒙皮的厚度薄,径向尺寸小,空间分辨率高,在风洞试验和飞行器压力测量领域具有非常重要的意义。
为实现上述目的,按照本发明的一个方面,提供了一种风压测量柔性智能蒙皮,所述柔性智能蒙皮包括自下而上设置的柔性衬底、底电极、离子薄膜、空腔层薄膜、顶电极及感压薄膜,所述底电极设置在所述柔性衬底上,所述顶电极设置在所述感压薄膜上,所述底电极的位置与所述顶电极的位置相对应;
所述空腔层薄膜开设有多个通孔及微流道,所述微流道与所述通孔相连通,所述感压薄膜及所述离子薄膜分别贴合在所述空腔层薄膜相背的两侧,且覆盖所述通孔相背的两端而形成封闭的空腔,多个所述空腔通过所述微流道相连通;所述离子薄膜上形成有多个微凸起,对应的微凸起收容于所述空腔内;
所述顶电极、对应的所述底电极、以及所述柔性衬底、所述离子薄膜、所述空腔层薄膜及所述感压薄膜对应于该顶电极的区域形成传感单元,所述柔性智能蒙皮包括多个间隔设置的传感单元;通过预先调节所述空腔内部的参考压力,使得所述传感单元处于双电层离子电容的工作状态。
进一步地,通过调节所述空腔内的参考压力来调节所述感压薄膜与所述离子薄膜之间的初始挤压程度,即调节所述传感单元在正压作用下和负压作用下的测量范围。
进一步地,所述柔性衬底的厚度为5~10μm;所述底电极的厚度为50~100nm;所述离子薄膜的厚度为20~30μm;所述空腔层薄膜的厚度为20~30μm;所述顶电极的厚度为50~100nm;所述感压薄膜的厚度为5~10μm。
进一步地,所述传感单元的布置密度为100个/cm2。
进一步地,所述微凸起为分级自填充微凸起。
按照本发明的另一个方面,提供了一种如上所述的风压测量柔性智能蒙皮的制造方法,所述制造方法主要包括以下步骤:
(1)制备具有分级自填充的微凸起的离子薄膜;
(2)在柔性衬底上制备底电极,并将所述离子薄膜与所述柔性衬底贴合在一起;
(3)对柔性薄膜进行切割以形成相互连通的通孔及微流道,由此得到空腔层薄膜,并将所述空腔层薄膜与所述离子薄膜对准贴合在一起;
(4)在感压薄膜上制备顶电极,并将所述顶电极与所述空腔薄膜的通孔对准后贴合在一起以形成封闭的空腔,由此得到所述柔性智能蒙皮。
进一步地,将离子液体浇筑在模具中,待室温固化后,从所述模具上剥离下来以得到具有微凸起的离子薄膜;所述模具有不同尺寸凹凸的粗糙表面。
本发明还提供了一种如上所述的风压测量柔性智能蒙皮在风洞测试中的应用。
进一步地,风洞测试时,所述柔性智能蒙皮贴合在待测模型的表面,待测模型开设有一个引线孔及气管孔,所述气管孔用于供气压管通过,所述气压管与所述微流道相连通,以通过所述气压管来调节所述空腔内的参考压力;所述引线孔用于供引线通过。
进一步地,所述柔性智能蒙皮连接于采集设备,所述采集设备设置在待测模型内,引线穿过所述引线孔后连接于所述采集设备。
总体而言,通过本发明所构思的以上技术方案与现有技术相比,本发明提供的风压测量柔性智能蒙皮及其制造方法与应用主要具有以下有益效果:
1.通过预先调节所述空腔内部的参考压力,使得所述传感单元处于双电层离子电容的工作状态,并采用具有分级自填充微结构的离子薄膜作为中间介电层一部分,使传感单元具有超高的压力分辨率和超宽的量程,满足从低速(几米每秒)到高速(超音速)的风洞试验和飞行器压力测量需求,且量程可以实时调节。
2.所述柔性智能蒙皮采用双电层离子电容的变化原理,在保证超高压力分辨率的前提下,可以减小传感单元的尺寸,有利于实现高密度的测点分布,如可以达到100个/cm2。
3.空腔内部预加参考压力,可以使得传感单元在正压和负压范围内都具有超高的压力分辨率,满足风压的测量特点;且精确调控参考压力的大小,进一步调节正负压的量程范围,适应不同的试验条件,如不同风速和测点位置。
4.柔性智能蒙皮具有很薄的厚度,表现出很好的柔性,可以很容易地共形于曲面,相对于常规压力管线的方法,无需大量打孔,几乎不破坏模型的结构,且测点分布不受打孔位置的限制。
5.多个所述空腔通过所述微流道相连通,如此一次性即可完成所有测点的现场标定,节省时间,减小测量误差,保证长期使用的可靠性。
6.待测模型开设有一个引线孔及气管孔,所述气管孔用于供气压管通过,所述气压管与所述微流道相连通,以通过所述气压管来调节所述空腔内的参考压力;所述引线孔用于供引线通过,即只需一个引线孔及一个气管孔即可实现压力场的测量,减少了打孔数量,不破坏待测模型的结构。
7.采集设备设置在待测模型内部,减小了寄生电容和电磁干扰,提高了测试精度。
附图说明
图1是本发明提供的风压测量柔性智能蒙皮的结构示意图;
图2是图1中的风压测量柔性智能蒙皮的传感单元的工作原理图;
图3是调节预加参考压力来定制传感单元的正负压测量范围的示意图;
图4是本发明提供的风压测量柔性智能蒙皮的制造方法的流程示意图;
图5是柔性智能蒙皮应用于风洞中飞机模型表面压力测量的示意图。
在所有附图中,相同的附图标记用来表示相同的元件或结构,其中:1-柔性衬底,2-底电极,3-离子薄膜,4-通孔,5-空腔层薄膜,6-顶电极,7-感压薄膜,8-制备模具,9-风洞试验飞机模型,10-气管孔,11-引线孔,12-柔性智能蒙皮,13-机翼上表面,14-气压管,15-机翼下表面,16-手压泵,17-上位机。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。此外,下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
请参阅图1、图2及图3,本发明提供的风压测量柔性智能蒙皮包括柔性衬底1、底电极2、离子薄膜3、空腔层薄膜5、顶电极6及感压薄膜7,所述底电极2设置在所述柔性衬底1面向所述离子薄膜3的表面上。所述顶电极6设置在所述感压薄膜7朝向所述空腔层薄膜5的表面上。所述柔性衬底1、所述离子薄膜3、所述空腔层薄膜5及所述感压薄膜7自下向上依次设置。所述顶电极6与所述底电极2之间形成平行板电容器,且所述顶电极6与所述底电极2之间形成介电层,中间介电层的变化引起电容的变化。其中,所述离子薄膜3的表面形成有多个间隔设置的微凸起。
所述空腔层薄膜5为镂空的薄膜,其开设有多个通孔及微流道,所述微流道将所述通孔相连通,所述通孔收容多个所述微凸起,由此所述顶电极6及所述离子薄膜3将所述通孔相背的两端覆盖而形成封闭的空腔,多个所述空腔通过所述微流道相连通。本实施方式中,多个所述通孔的位置与多个所述顶电极6的位置分别相对应,且同时与多个所述底电极2的位置相对应;所述通孔的横截面可以为圆形、方形或者其他形状。所述顶电极6、对应的底电极2、以及所述柔性衬底1、所述离子薄膜3、所述空腔层薄膜5及所述感压薄膜7对应于该顶电极6的区域形成传感单元,由此,所述柔性智能蒙皮包括多个间隔设置的传感单元,工作时,每个传感单元对应一个测点,各个传感单元之间通过所述空腔层薄膜5上的微流道连通在一起。
所述柔性衬底1的材料为聚酰亚胺薄膜、PET薄膜或者PC薄膜。所述底电极2的材料优选为金或者铜,所述离子薄膜3的材料为聚乙烯醇/磷酸液,所述空腔层薄膜5的材料为聚酰亚胺薄膜;所述顶电极6的材料为金或者铜;所述感压薄膜7的材料为聚酰亚胺薄膜、PET薄膜或者PC薄膜。
所述柔性衬底1的厚度优选为5~10μm,所述底电极2的厚度优选为50~100nm,所述离子薄膜3的厚度优选为20~30μm,所述空腔层薄膜5的厚度优选为20~30μm,所述顶电极6的厚度优选为50~100nm,所述感压薄膜7的厚度优选为5~10μm。
由于采用具有分级自填充微结构的离子薄膜3作为中间介电层,因此减小传感单元的尺寸,仍然可以保证超高的压力分辨率和超宽的量程,极大地提高了测点的空间分布密度;优选地,传感单元的直径为1mm~1.5mm,传感单元之间的中心距为2mm~3mm,测点密度可高达100个/cm2。
所述柔性智能蒙皮考虑到所贴附模型的曲率对所述传感单元标定曲线的影响,采用调节所述空腔参考压力的方式作为加载方式,通过互通的微流道一次性即可实现所有传感单元的现场标定。
通过预先调节所述空腔内部的参考压力,使所述感压薄膜7预压在所述离子薄膜3上,使得所述传感单元处于双电层离子电容的工作状态。
当所述传感单元受到正压作用时,所述感压薄膜7朝向所述离子薄膜3挠曲变形,所述顶电极6与所述底电极2之间的间距减小,导致所述顶电极6与所述底电极2之间的电容变大,此时所述传感单元的电容变化主要取决于所述空腔的变化,灵敏度和量程都较小。当所述正压力进一步增大,所述顶电极6与下方所述离子薄膜3的微凸起逐渐接触以形成双电层离子电容,此时所述传感单元的电容变化主要取决于所述顶电极6与所述微凸起的接触面积变化。而所述离子薄膜3表面的分级自填充的微凸起保证了所述顶电极6在与其接触、挤压、变形的过程中,面积变化很大,使得所述传感单元在此阶段具有超高的灵敏度(即超高的压力分辨率)和超宽的量程。
当所述传感单元在负压作用下,所述感压薄膜7朝远离所述柔性衬底1的方向挠曲变形,所述顶电极6与所述底电极2之间的间距增大,导致两者之间的电容减小,此时所述传感单元的电容变化同样主要取决于所述空腔的变化,灵敏度和量程都较小。而通过预先调节所述空腔内部的参考压力,使得所述顶电极6与所述离子薄膜3预先挤压在一起,所述传感单元在正压和负压作用范围内都处于双电层离子电容的变化阶段,均具有超高的灵敏度和超宽的量程。
其中,当所述感压薄膜7接触到中间的离子薄膜3,即沉积在所述感压薄膜7上的顶电极6与所述离子薄膜3的微凸起接触,所述离子薄膜3中的离子和所述顶电极6及所述底电极2中的电子相互吸引以形成双电层离子电容,当所述感压薄膜7继续挤压所述离子薄膜3,对应的所述微凸起倾倒、挤压、变形,与所述顶电极6的接触面积逐渐增大,因此在此阶段中,双电层离子电容的变化巨大,使得所述传感单元具有超高的灵敏度,即超高的压力分辨率。
预加的参考压力确定了所述感压薄膜7与所述离子薄膜3的初始挤压程度,即确定了所述传感单元的正压和负压的测量范围。其中,通过精确地调控所述参考压力的大小,根据测量的需求,如不同的风速、测点位置等来定制正负压的量程,进一步提高了传感单元对不同试验条件的适应性。本实施方式中,所述柔性智能蒙皮通过所述通孔4连接到气压管14,气压管14连接于手压泵16,以便通过所述手压泵16来调节所述柔性智能蒙皮内部的参考压力。
若待测负压范围大于待测正压范围,减小预加参考压力,传感单元的初始挤压程度更大,量程向负压范围偏移;若待测负压范围小于待测正压范围,增大预加参考压力,传感单元的初始挤压程度变小,量程向正压范围偏移;若待测负压范围与待测正压范围相当,则可把预加参考压力调到适当的值。
请参阅图4,本发明还提供了一种如上所述的风压测量柔性智能蒙皮的制造方法,所述制造方法主要包括以下步骤:
步骤一,将离子液体浇筑在模具中,待室温固化后,从所述模具上剥离下来以得到具有微凸起的离子薄膜。
步骤二,在柔性衬底上制备底电极,并将所述离子薄膜与所述柔性衬底贴合在一起。
步骤三,将柔性薄膜在切割机下裁切形成相互连通的通孔及微流道,以得到空腔薄膜,并将所述空腔薄膜与所述离子薄膜对准贴合在一起。
步骤四,在感压薄膜上制备顶电极,并将所述顶电极与所述空腔薄膜的通孔对准后贴合在一起以形成封闭的空腔,由此得到所述柔性智能蒙皮。
其中,所述离子薄膜3制备时所用的模具优选为不同尺度的凹凸不平的粗糙表面,例如砂纸,以此在所述离子薄膜3表面形成分级自填充结构。
以下以一个具体实施例来对本发明进行进一步的详细说明。
本实施例提供的风压测量柔性智能蒙皮的制造方法主要包括以下步骤:
S1,配备离子液体,将2g聚乙烯醇溶解在18g去离子水中,90℃加热搅拌直到聚乙烯醇完全溶解,待溶液冷却至室温后,加入1.65mL磷酸,搅拌均匀。最后,将该离子液体浇筑到准备好的砂纸8上,待室温下固化后,从砂纸上撕下来即可得到中间的离子薄膜。
S2,取厚度为6μm的聚酰亚胺薄膜,清洗烘干后,旋涂光刻胶,在热板上前烘,然后光刻机曝光,显影后,磁控溅射金电极,溅射功率60W,时间1min,在聚酰亚胺薄膜上沉积厚度50~100nm的金电极,去胶后得到底电极层,并将S1中得到的离子薄膜贴附在上面,其中底电极的直径为1mm~1.5mm,单元之间中心距为2mm~3mm。
S3,取厚度为30μm的聚酰亚胺薄膜,清洗烘干后,在切割机上按照设计好的图案裁切,得到互相连通的微流道。然后在其下表面涂抹环氧树脂胶,与下层的离子薄膜粘合在一起,待室温下固化即可。
S4,同步骤S2中的工艺,在6μm厚的聚酰亚胺薄膜上,沉积50~100nm厚的金电极,作为顶电极,并将其与步骤S3中的聚酰亚胺薄膜粘合在一起得到封闭的空腔,其中顶电极的直径为1mm~1.5mm,单元之间中心距为2mm~3mm。
本发明提供的风压测量柔性智能蒙皮应用于风洞测量中飞行器表面压力的测量,如图5所示。柔性智能蒙皮12贴附在机翼上表面13上,采用行列扫描的方式测量每个传感单元的电容。由于从处于风洞内部的传感器到风洞外的采集设备连接线较长,会产生寄生电容,并且很容易引入电磁干扰。因此选择将采集设备放置在机翼内部将前端的电容信号先转换成数字信号,然后再通过引线连接到后端的显示或者后处理设备,大大地降低了传输过程中的干扰。每个测点的行和列引线分别连接到一起,并通过所述机翼表面的引线孔11连接到位于机翼内部的采集设备。
所述采集设备包括相连接的多路复用器MUX、电容数字转换芯片CDC及主控单元(FPGA,Spartan6),所述多路复用器MUX用于按照给定的时钟频率选通不同的传感单元,然后连接到电容数字转换芯片(CDC),所述电容数字转换芯片(CDC)将检测到的前端的电容值转换为数字信号,并输入到主控单元(FPGA,Spartan6)。同时主控单元也控制CDC芯片和多路复用器的工作模式。最后通过千兆以太网连接到位于风洞外部的上位机17,以进一步处理,从而得到飞机模型表面的压力场分布。另外,为了调节传感单元空腔内部的压力,气压管14通过机翼表面的气管孔10连接到风洞外部的手压泵16。此外,从上述方案可以明显发现,相比于传统压力管线,一个测压孔对应一个测点,本发明的柔性压力传感蒙皮仅分别需要一个引线孔和一个气管孔即可实现压力场的测量。
本领域的技术人员容易理解,以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种风压测量柔性智能蒙皮,其特征在于:
所述柔性智能蒙皮包括自下而上设置的柔性衬底(1)、底电极(2)、离子薄膜(3)、空腔层薄膜(5)、顶电极(6)及感压薄膜(7),所述底电极(2)设置在所述柔性衬底(1)上,所述顶电极(6)设置在所述感压薄膜(7)上,所述底电极(2)的位置与所述顶电极(6)的位置相对应;
所述空腔层薄膜(5)开设有多个通孔及微流道,所述微流道与所述通孔相连通,所述感压薄膜(7)及所述离子薄膜(3)分别贴合在所述空腔层薄膜(5)相背的两侧,且覆盖所述通孔相背的两端而形成封闭的空腔,多个所述空腔通过所述微流道相连通;所述离子薄膜(3)上形成有多个微凸起,对应的微凸起收容于所述空腔内;
所述顶电极(6)、对应的所述底电极(2)、以及所述柔性衬底(1)、所述离子薄膜(3)、所述空腔层薄膜(5)及所述感压薄膜(7)对应于该顶电极(6)的区域形成传感单元,所述柔性智能蒙皮包括多个间隔设置的传感单元;通过预先调节所述空腔内部的参考压力,使得所述传感单元处于双电层离子电容的工作状态。
2.如权利要求1所述的风压测量柔性智能蒙皮,其特征在于:通过调节所述空腔内的参考压力来调节所述感压薄膜(7)与所述离子薄膜(3)之间的初始挤压程度,即调节所述传感单元在正压作用下和负压作用下的测量范围。
3.如权利要求1所述的风压测量柔性智能蒙皮,其特征在于:所述柔性衬底(1)的厚度为5~10μm;所述底电极(2)的厚度为50~100nm;所述离子薄膜(3)的厚度为20~30μm;所述空腔层薄膜(5)的厚度为20~30μm;所述顶电极(6)的厚度为50~100nm;所述感压薄膜(7)的厚度为5~10μm。
4.如权利要求1所述的风压测量柔性智能蒙皮,其特征在于:所述传感单元的布置密度为100个/cm2。
5.如权利要求1-4任一项所述的风压测量柔性智能蒙皮,其特征在于:所述微凸起为分级自填充微凸起。
6.一种如权利要求1-5任一项所述的风压测量柔性智能蒙皮的制造方法,其特征在于,所述制造方法包括以下步骤:
(1)制备具有分级自填充的微凸起的离子薄膜(3);
(2)在柔性衬底(1)上制备底电极(2),并将所述离子薄膜(3)与所述柔性衬底(1)贴合在一起;
(3)对柔性薄膜进行切割以形成相互连通的通孔及微流道,由此得到空腔层薄膜(5),并将所述空腔层薄膜(5)与所述离子薄膜(3)对准贴合在一起;
(4)在感压薄膜(7)上制备顶电极(6),并将所述顶电极(6)与所述空腔薄膜的通孔对准后贴合在一起以形成封闭的空腔,由此得到所述柔性智能蒙皮。
7.如权利要求6所述的风压测量柔性智能蒙皮的制造方法,其特征在于:将离子液体浇筑在模具中,待室温固化后,从所述模具上剥离下来以得到具有微凸起的离子薄膜(3);所述模具有不同尺寸凹凸的粗糙表面。
8.一种权利要求1-5任一项所述的风压测量柔性智能蒙皮在风洞测试中的应用。
9.如权利要求8所述的风压测量柔性智能蒙皮在风洞测试中的应用,其特征在于:风洞测试时,所述柔性智能蒙皮贴合在待测模型的表面,待测模型开设有一个引线孔(11)及气管孔(10),所述气管孔(10)用于供气压管(14)通过,所述气压管(14)与所述微流道相连通,以通过所述气压管(14)来调节所述空腔内的参考压力;所述引线孔(11)用于供引线通过。
10.如权利要求9所述的风压测量柔性智能蒙皮在风洞测试中的应用,其特征在于:所述柔性智能蒙皮连接于采集设备,所述采集设备设置在待测模型内,引线穿过所述引线孔(11)后连接于所述采集设备。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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ID=73661478
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202010809302.9A Pending CN112067190A (zh) | 2020-08-12 | 2020-08-12 | 一种风压测量柔性智能蒙皮及其制造方法与应用 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN112067190A (zh) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
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- 2020-08-12 CN CN202010809302.9A patent/CN112067190A/zh active Pending
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