CN111981979A - 一种振镜激光拼接校准装置及拼接校准方法 - Google Patents

一种振镜激光拼接校准装置及拼接校准方法 Download PDF

Info

Publication number
CN111981979A
CN111981979A CN202010663102.7A CN202010663102A CN111981979A CN 111981979 A CN111981979 A CN 111981979A CN 202010663102 A CN202010663102 A CN 202010663102A CN 111981979 A CN111981979 A CN 111981979A
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser
galvanometer
laser position
splicing
position sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202010663102.7A
Other languages
English (en)
Inventor
杨东辉
朱洲
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Xian Bright Laser Technologies Co Ltd
Original Assignee
Xian Bright Laser Technologies Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Xian Bright Laser Technologies Co Ltd filed Critical Xian Bright Laser Technologies Co Ltd
Priority to CN202010663102.7A priority Critical patent/CN111981979A/zh
Publication of CN111981979A publication Critical patent/CN111981979A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/002Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

本发明公开了一种振镜激光拼接校准装置及拼接校准方法,包括分布在振镜下方激光位置传感器,还包括有数据采集卡、数据处理器,数据采集卡分别与数据处理器、多个激光位置传感器连接,数据处理器与振镜连接。机械机构简单,加工难度低;通过激光位置传感器测量侧振镜发出激光的的位置,通过集成小量程激光位置传感器,对坐标进行换算补偿,得到相对较大的测量量程;能快速的完成多振镜工作区域的拼接校准,并相对原有方法较少的废弃物的产生和光学系统的损害。

Description

一种振镜激光拼接校准装置及拼接校准方法
技术领域
本发明属于激光振镜扫描方法技术领域,涉及一种振镜激光拼接校准装置,还涉及上述装置的拼接校准方法。
背景技术
当多振镜激光进行协同工作时,需要对振镜激光的工作区域进行划分和拼接,振镜激光拼接的精度决定了零件质量的好坏,如在金属3D打印中,振镜激光拼接不准会导致零件在拼接区域错位,造成严重的生产事故。振镜激光拼接校准需要在激光的焦平面附近获得激光的实际位置,通过和理论位置对比,修改振镜参数,对振镜进行校准。
如何获得激光的实际位置,是振镜激光拼接校准的关键和难点。目前存在的多振镜激光拼接校正的方法是用激光在白纸上刻出十字标阵列,十字标的位置相当于振镜激光的实际位置,然后通过扫描仪或者影像测量仪测量取得十字标的位置,和理论位置对比,找出理论和实际位置的差值,修改振镜参数对振镜进行初步校准,重复上述步骤2-3次,可以较精准的完成激光振镜的校准。
上述方法进行多激光振镜校正时,激光打印十字光标时会产生白烟,长时间的操作会对激光系统造成污损;同时,测量步骤繁琐,无法直接取得激光的实际位置,需要进行多次迭代,耗时长,浪费人力,且不支持自动化。
发明内容
本发明的目的是提供一种振镜激光拼接校准装置,解决了现有技术中存在的无法直接取得激光的实际位置的问题。
本发明所采用的技术方案是,一种振镜激光拼接校准装置,包括分布在振镜下方激光位置传感器,还包括有数据采集卡、数据处理器,数据采集卡分别与数据处理器、激光位置传感器连接,数据处理器与振镜连接。
本发明的特点还在于:
激光位置传感器正上方设置有滤光片。
激光位置传感器通过第一支架固定。
滤光片通过第二支架固定在第一支架上方。
本发明所采用的另一技术方案是,一种振镜激光拼接校准方法,采用上述振镜激光拼接校准装置,其特征在于,具体包括以下步骤:
步骤1、激光位置传感器采集激光位置,并发送至数据采集卡;
步骤2、数据采集卡将激光位置模拟信号转换为数字信号;
步骤3、数据处理器对数字信号进行处理,得到激光实际位置,并将激光实际位置与激光理论位置对比后,对振镜参数进行修改,完成一个振镜校准。
步骤4、若为多个振镜时,以步骤3完成校准的振镜坐标系为基准,按照步骤1-3依次校准剩余振镜。
步骤3具体过程如下:
步骤3.1、将振镜对应激光位置传感器测量的激光位置(x,y)转换至总坐标中,得到激光实际位置(X1,Y1);
步骤3.2、将激光实际位置与激光理论位置(X',Y')对比后,得到振镜偏差量,根据振镜偏差量对振镜参数进行修改,完成振镜校准。
步骤3.1中:
通过坐标转换公式将每个激光位置传感器采集的激光位置(x,y)转换到总坐标系中,得到激光位置(x,y)在总坐标系中的位置(X,Y):
X=a+x*Cosθ (1);
Y=b+y*Cosθ (2);
上式中,(a,b)为每个激光位置传感器坐标系原点在总坐标系中的坐标,θ为每个激光位置传感器坐标系相对于总坐标系的偏转角度。
未加入滤光片时,激光位置传感器采集的激光位置(x,y)在总坐标系中的激光实际位置(X,Y)为激光实际位置(X1,Y1)。
激光位置传感器正上方设置有滤光片时,步骤1的激光位置是滤光片对激光进行衰减后得到的。
当加入滤光片后,通过折射误差消除公式消除滤光片带来的折射误差,得到激光实际位置(X1,Y1):
X1=X-ΔX=X-H(tanθ1-tan(arcsin(sinθ1/n))) (5);
Y1=Y-ΔY=Y-H(tanψ1-tan(arcsin(sinψ1/n))) (6);
上式中,θ1、ψ1分别为x、y方向的入射角,ΔX、ΔY分别为激光在x、y方向的折射误差,H为滤光片的高度。
本发明的有益效果是:
本发明一种振镜激光拼接校准装置,包括激光位置传感器,滤光片,数据采集卡,数据处理模块,机械机构简单,加工难度低。本发明一种振镜激光拼接校准方法,通过激光位置传感器测量侧振镜发出激光的的位置,通过集成小量程激光位置传感器,对坐标进行换算补偿,得到相对较大的测量量程;能快速的完成多振镜工作区域的拼接校准,并相对原有方法较少的废弃物的产生和光学系统的损害。
附图说明
图1是本发明一种振镜激光拼接校准装置的结构示意图;
图2是本发明一种振镜激光拼接校准装置中数据处理器的结构示意图;
图3是本发明一种振镜激光拼接校准装置中数据处理器另一种实施例的结构示意图;
图4是本发明一种振镜激光拼接校准方法中坐标转换的示意图;
图5是本发明一种振镜激光拼接校准方法中折射过程示意图;
图6是本发明一种振镜激光拼接校准方法中多个振镜拼接校准过程示意图。
图中,1.振镜,2.滤光片,3.激光位置传感器,4.数据采集卡,5.数据处理器,5-1.坐标转换模块,5-2.偏差消除模块,5-3.误差消除模块,6.底板,7.第一支架,8.第二支架。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明进行详细说明。
一种振镜激光拼接校准装置,如图1所示,用于对振镜1进行校验,包括分布在振镜1下方激光位置传感器3,还包括有数据采集卡4、数据处理器5,数据采集卡4与数据处理器5、激光位置传感器3连接,数据处理器5与振镜1连接。
如图2所示,数据处理器5包括:坐标转换模块5-1,用于将标定仪测量的激光位置(x,y)坐标原点在总坐标中位置(a,b)、激光位置相对于总坐标的偏转角θ,结合坐标转换公式将激光位置(x,y)转换至总坐标中,得到激光位置(x,y)在总坐标中的位置坐标(X,Y);
偏差消除模块5-2,用于将激光实际位置与激光理论位置(X',Y')对比后,得到振镜偏差量,根据振镜偏差量对振镜参数进行修改。坐标转换模块5-1与偏差消除模块5-2连接。
激光位置传感器3正上方设置有滤光片2。还包括有底板6,激光位置传感器3通过第一支架7固定在底板6上,滤光片2通过第二支架8固定在底板6上,第一支架7位于第二支架8下方。
当加入滤光片2后,如图3所示,数据处理器5还包括:误差消除模块5-3,用于在总坐标中位置(X,Y)中消除加入滤光片(2)后的折射误差,得到激光实际位置(X1,Y1)。坐标转换模块5-1依次与误差消除模块5-3、偏差消除模块5-2连接。
激光位置传感器3简称为PSD传感器,又名Position Sensitive Device、位置灵敏检测器、光电激光位置传感器,具有高灵敏度,高分辨率,响应速度快和配置电路简单等优点。
一种振镜激光拼接校准方法,采用上述拼接校准装置,具体步骤如下:
实施例1
步骤1、激光位置传感器3采集激光位置(x,y),并发送至数据采集卡4;
步骤2、数据采集卡4将激光位置传感器3发出的激光位置模拟信号转换为数字信号;
步骤3、数据处理器5对激光位置的数字信号进行转换和补偿,得到激光实际位置,并将激光实际位置与激光理论位置对比后,对振镜参数进行修改,完成一个振镜的校准;具体步骤(数据处理器5的处理过程)如下:
步骤3.1、将激光位置传感器3测量的振镜1发出激光位置(x,y)转换至总坐标中,得到激光在总坐标中的位置(X,Y),此时,激光位置传感器3采集的激光实际位置(x,y)在总坐标系中的位置(X,Y)为激光实际位置(X1,Y1)。
由于单个PSD传感器的测量面积远小于激光的工作面积,因此要能采集到远间隔的点,必须要多个PSD传感器集成使用,传感器的集成使用需转换PSD传感器坐标到总坐标中。
具体的,如图4所示,坐标2~6代表传感器的坐标,以传感器3为例,先用标定仪测量传感器坐标3的原点在总坐标中位置(a,b)、传感器坐标3相对于总坐标的偏转角θ,通过PSD传感器读取其在坐标3中的位置(x3,y3),数据处理器5通过坐标转换公式将每个激光位置传感器3采集的激光位置(x,y)转换到总坐标系中,坐标转换公式为:
X=a+x3*Cosθ (1);
Y=b+y3*Cosθ (2)。
步骤3.2、将激光实际位置与激光理论位置(X',Y')对比后,得到振镜偏差量,根据振镜偏差量对振镜参数进行修改,完成振镜校准。
具体的,已知振镜输出光束在总坐标中的位置(X',Y'),即理论位置,将理论位置(X',Y')与激光实际位置(X,Y)进行对比,得到振镜的偏差量:
ΔX'=X-X' (3);
ΔY'=Y-Y' (4);
根据上述偏差量对振镜参数进行修改,完成一个振镜校准。
步骤4、若为多个振镜时,数据处理器5与多个振镜1连接,并以上述校准后的振镜坐标系为基准,按照步骤1-3依次校准剩余振镜,如图6所示,上述步骤都可以集成到软件中完成,可以极大减少调试人员的工作量。
实施例2
由于激光的功率较高,PSD传感器直接测量会有损坏的风险,为了延长PSD传感器寿命,因此传感器和激光之间须加滤光片,对传感器进行保护,并吸收反射光、环境光,减少干扰。但加入滤光片,因为折射会带来光点的位置误差,如图5所示,必须通过补偿消除折射误差。
步骤1、滤光片2对振镜1射出的激光进行衰减;
步骤2、激光位置传感器3测量衰减后的激光位置,并发送至数据采集卡4;
步骤3、数据采集卡4将激光位置传感器3发出的激光位置模拟信号转换为数字信号;
步骤4、数据处理器5对激光位置的数字信号进行转换和补偿,得到激光实际位置,并将激光实际位置与激光理论位置对比后,对振镜参数进行修改,完成一个振镜的校准;
步骤4.1、如图4所示,以传感器3为例,先用标定仪测量传感器坐标3的原点在总坐标中位置(a,b)、传感器坐标3相对于总坐标的偏转角θ,通过PSD传感器读取其在坐标3中的位置(x3,y3),数据处理器5通过坐标转换公式将每个激光位置传感器3采集的激光位置(x,y)转换到总坐标系中,坐标转换公式为:
X=a+x3*Cosθ (1);
Y=b+y3*Cosθ (2)。
步骤4.2、通过折射误差消除公式消除滤光片2带来的折射误差,得到激光实际位置(X1,Y1):
X1=X-ΔX=X-H(tanθ1-tan(arcsin(sinθ1/n))) (5);
Y1=Y-ΔY=Y-H(tanψ1-tan(arcsin(sinψ1/n))) (6);
上式中,θ1、ψ1分别为x、y方向的入射角,ΔX、ΔY分别为激光在x、y方向的折射误差,H为滤光片的高度;
步骤4.3、将激光实际位置与激光理论位置(X',Y')对比后,得到振镜偏差量,根据振镜偏差量对振镜参数进行修改,完成振镜校准。
具体的,已知振镜输出光束在总坐标中的位置(X',Y'),即理论位置,将位置(X',Y')与激光实际位置(X1,Y1)进行对比,得到振镜的偏差量:
ΔX'=X1-X' (3);
ΔY'=Y1-Y' (4);根据上述偏差量对振镜参数进行修改,完成一个振镜校准。
步骤5、若为多个振镜时,数据处理器5与多个振镜1连接,并以上述校准后的振镜坐标系为基准,按照步骤1-4依次校准剩余振镜,如图6所示,上述步骤都可以集成到软件中完成,可以极大减少调试人员的工作量。
通过以上方式,本发明一种振镜激光拼接校准装置,包括激光位置传感器,滤光片,数据采集卡,数据处理模块,本发明的机械机构简单,加工难度低。本发明一种振镜激光拼接校准方法,通过激光位置传感器测量侧振镜发出激光的的位置,通过集成小量程激光位置传感器,对坐标进行换算补偿,得到相对较大的测量量程;本发明能快速的完成多振镜工作区域的拼接校准,并相对原有方法较少的废弃物的产生和光学系统的损害。

Claims (11)

1.一种振镜激光拼接校准装置,其特征在于,包括分布在振镜(1)下方的激光位置传感器(3),还包括有数据采集卡(4)、数据处理器(5),所述数据采集卡(4)分别与数据处理器(5)、激光位置传感器(3)连接,所述数据处理器(5)与振镜(1)连接。
2.根据权利要求1所述的一种振镜激光拼接校准装置,其特征在于,所述激光位置传感器(3)正上方设置有滤光片(2)。
3.根据权利要求2所述的一种振镜激光拼接校准装置,其特征在于,所述激光位置传感器(3)通过第一支架(7)固定。
4.根据权利要求3所述的一种振镜激光拼接校准装置,其特征在于,所述滤光片(2)通过第二支架(8)固定在第一支架(7)上方。
5.一种振镜激光拼接校准方法,采用如权利要求1所述的振镜激光拼接校准装置,其特征在于,具体包括以下步骤:
步骤1、所述激光位置传感器(3)采集激光位置,并发送至数据采集卡(4);
步骤2、所述数据采集卡(4)将激光位置模拟信号转换为数字信号;
步骤3、所述数据处理器(5)对数字信号进行处理,得到激光实际位置,并将所述激光实际位置与激光理论位置对比后,对振镜参数进行修改,完成一个振镜校准。
6.根据权利要求5所述的一种振镜激光拼接校准方法,其特征在于,还包括:
步骤4、若为多个振镜时,以步骤3完成校准的所述振镜坐标系为基准,按照步骤1-3依次校准剩余振镜。
7.根据权利要求5或6所述的一种振镜激光拼接校准方法,其特征在于,步骤3具体过程如下:
步骤3.1、将所述激光位置传感器(3)采集的振镜(1)发出的激光位置(x,y)转换至总坐标中,得到激光实际位置(X1,Y1);
步骤3.2、将所述激光实际位置与激光理论位置(X',Y')对比后,得到振镜偏差量,根据振镜偏差量对振镜参数进行修改,完成振镜校准。
8.根据权利要求7所述的一种振镜激光拼接校准方法,其特征在于,步骤3.1中:
通过坐标转换公式将每个所述激光位置传感器(3)采集的激光位置(x,y)转换到总坐标系中,得到所述激光位置(x,y)在总坐标系中的位置(X,Y):
X=a+x*Cosθ (1);
Y=b+y*Cosθ (2);
上式中,(a,b)为每个激光位置传感器(3)坐标系原点在总坐标系中的坐标,θ为每个激光位置传感器(3)坐标系相对于总坐标系的偏转角度。
9.根据权利要求8所述的一种振镜激光拼接校准方法,其特征在于,所述激光位置传感器(3)采集的激光位置(x,y)在总坐标系中的位置(X,Y)为激光实际位置(X1,Y1)。
10.根据权利要求8所述的一种振镜激光拼接校准方法,其特征在于,所述激光位置传感器(3)正上方设置有滤光片(2),步骤1所述的激光位置是滤光片(2)对激光进行衰减后得到的。
11.根据权利要求10所述的一种振镜激光拼接校准方法,其特征在于,通过折射误差消除公式消除滤光片(2)带来的折射误差,得到激光实际位置(X1,Y1):
X1=X-ΔX=X-H(tanθ1-tan(arcsin(sinθ1/n))) (5);
Y1=Y-ΔY=Y-H(tanψ1-tan(arcsin(sinψ1/n))) (6);
上式中,θ1、ψ1分别为x、y方向的入射角,ΔX、ΔY分别为激光在x、y方向的折射误差,H为滤光片的高度。
CN202010663102.7A 2020-07-10 2020-07-10 一种振镜激光拼接校准装置及拼接校准方法 Pending CN111981979A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010663102.7A CN111981979A (zh) 2020-07-10 2020-07-10 一种振镜激光拼接校准装置及拼接校准方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010663102.7A CN111981979A (zh) 2020-07-10 2020-07-10 一种振镜激光拼接校准装置及拼接校准方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN111981979A true CN111981979A (zh) 2020-11-24

Family

ID=73439056

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010663102.7A Pending CN111981979A (zh) 2020-07-10 2020-07-10 一种振镜激光拼接校准装置及拼接校准方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111981979A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114379081A (zh) * 2021-12-16 2022-04-22 华南理工大学 一种双激光双振镜同幅面校准平台及其校准方法
CN115446333A (zh) * 2022-08-03 2022-12-09 西安铂力特增材技术股份有限公司 振镜校准结构及激光校准方法

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101804521A (zh) * 2010-04-15 2010-08-18 中国电子科技集团公司第四十五研究所 振镜系统校正装置及其校正方法
CN103913294A (zh) * 2014-03-20 2014-07-09 西安交通大学 一种用于激光振镜系统的十字线增量标定方法
CN105945421A (zh) * 2016-06-15 2016-09-21 广州南沙3D打印创新研究院 三轴振镜校准系统及其校准方法
JP2017100564A (ja) * 2015-12-02 2017-06-08 トヨタ自動車株式会社 車両又は移動体のピラーの覗き窓
CN107255925A (zh) * 2017-06-15 2017-10-17 西安交通大学 一种振镜系统连续自适应的在线校正方法
CN107367376A (zh) * 2017-09-18 2017-11-21 镇江金海创科技有限公司 一种激光振镜校正系统以及激光振镜校正方法
CN107401977A (zh) * 2017-08-15 2017-11-28 合肥工业大学 高温双目立体视觉测量中考虑折射偏差的成像补偿方法
CN208206445U (zh) * 2018-05-28 2018-12-07 内蒙古工业大学 一种槽式聚光焦面的能流密度测量装置
CN109877319A (zh) * 2018-12-29 2019-06-14 西安铂力特增材技术股份有限公司 一种多振镜激光精度拼接校准方法
CN110681990A (zh) * 2019-09-18 2020-01-14 西安铂力特增材技术股份有限公司 一种振镜校正系统及其校正方法
CN110940490A (zh) * 2019-12-13 2020-03-31 湖南省鹰眼在线电子科技有限公司 一种激光加工设备的激光光斑扫描精度检测方法及装置

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101804521A (zh) * 2010-04-15 2010-08-18 中国电子科技集团公司第四十五研究所 振镜系统校正装置及其校正方法
CN103913294A (zh) * 2014-03-20 2014-07-09 西安交通大学 一种用于激光振镜系统的十字线增量标定方法
JP2017100564A (ja) * 2015-12-02 2017-06-08 トヨタ自動車株式会社 車両又は移動体のピラーの覗き窓
CN105945421A (zh) * 2016-06-15 2016-09-21 广州南沙3D打印创新研究院 三轴振镜校准系统及其校准方法
CN107255925A (zh) * 2017-06-15 2017-10-17 西安交通大学 一种振镜系统连续自适应的在线校正方法
CN107401977A (zh) * 2017-08-15 2017-11-28 合肥工业大学 高温双目立体视觉测量中考虑折射偏差的成像补偿方法
CN107367376A (zh) * 2017-09-18 2017-11-21 镇江金海创科技有限公司 一种激光振镜校正系统以及激光振镜校正方法
CN208206445U (zh) * 2018-05-28 2018-12-07 内蒙古工业大学 一种槽式聚光焦面的能流密度测量装置
CN109877319A (zh) * 2018-12-29 2019-06-14 西安铂力特增材技术股份有限公司 一种多振镜激光精度拼接校准方法
CN110681990A (zh) * 2019-09-18 2020-01-14 西安铂力特增材技术股份有限公司 一种振镜校正系统及其校正方法
CN110940490A (zh) * 2019-12-13 2020-03-31 湖南省鹰眼在线电子科技有限公司 一种激光加工设备的激光光斑扫描精度检测方法及装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
朱万彬: "滤光片对三角位移传感器测量误差的影响", 《光机电信息》 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114379081A (zh) * 2021-12-16 2022-04-22 华南理工大学 一种双激光双振镜同幅面校准平台及其校准方法
CN115446333A (zh) * 2022-08-03 2022-12-09 西安铂力特增材技术股份有限公司 振镜校准结构及激光校准方法
CN115446333B (zh) * 2022-08-03 2024-03-29 西安铂力特增材技术股份有限公司 振镜校准结构及激光校准方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN111505606B (zh) 多相机与激光雷达系统相对位姿检校方法及装置
CN107741198B (zh) 一种基于四轴光学扫描系统转台标定的方法
CN109341546B (zh) 一种点激光位移传感器在任意安装位姿下的光束标定方法
CN111055030A (zh) 一种光束指向稳定性监测与反馈装置及方法
JP2979431B2 (ja) レーザビームを偏向させるための制御装置を較正するための方法および装置
CN103157909B (zh) 激光加工误差校正方法及处理器
CN102519510B (zh) 位置敏感传感器的标定装置和标定方法
CN107036557B (zh) 一种二维测角系统和方法
CN111981979A (zh) 一种振镜激光拼接校准装置及拼接校准方法
CN103913294A (zh) 一种用于激光振镜系统的十字线增量标定方法
CN110715603A (zh) 一种机床工作台五自由度误差同时测量系统及方法
CN111457942B (zh) 一种平面定高标定装置
WO2018168757A1 (ja) 画像処理装置、システム、画像処理方法、物品の製造方法、プログラム
CN112485805A (zh) 一种激光三角位移传感器及其测量方法
CN114279325B (zh) 视觉测量模块测量坐标系空间位置关系标定系统及方法
CN111707450A (zh) 光学镜头焦平面与机械安装面位置关系检测装置及方法
JPS643050B2 (zh)
CN115891162A (zh) 一种振镜扫描场矫正装置
US9718146B2 (en) System and method for calibrating laser processing machines
CN106483778B (zh) 基于相对位置测量的对准系统、双工件台系统及测量系统
CN116592766A (zh) 一种基于激光与单目视觉融合的精密三维测量方法和装置
CN116652369A (zh) 激光加工控制方法、系统及装置
CN108662986A (zh) 一种自由曲面在线实时检测方法及装置
CN102346384B (zh) 将硅片调整至最佳焦平面的方法及其曝光装置
CN109003306B (zh) 一种车载摄像头的光轴偏转测量装置及方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20201124