CN111981973A - 一种扫频光源的快速扫频oct系统 - Google Patents

一种扫频光源的快速扫频oct系统 Download PDF

Info

Publication number
CN111981973A
CN111981973A CN202011008961.9A CN202011008961A CN111981973A CN 111981973 A CN111981973 A CN 111981973A CN 202011008961 A CN202011008961 A CN 202011008961A CN 111981973 A CN111981973 A CN 111981973A
Authority
CN
China
Prior art keywords
optical fiber
light
fiber coupler
swept
laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202011008961.9A
Other languages
English (en)
Inventor
秦玉伟
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Weinan Teachers College
Weinan Normal University
Original Assignee
Weinan Teachers College
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Weinan Teachers College filed Critical Weinan Teachers College
Priority to CN202011008961.9A priority Critical patent/CN111981973A/zh
Publication of CN111981973A publication Critical patent/CN111981973A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/0209—Low-coherence interferometers
    • G01B9/02091—Tomographic interferometers, e.g. based on optical coherence
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/2441—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using interferometry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
    • G01N21/45—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length using interferometric methods; using Schlieren methods

Landscapes

  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明属于光电检测技术领域，涉及一种扫频光源的快速扫频OCT系统，包括：扫频激光器；第一光纤耦合器，用于将光波信号分成参考光和样品光，其一端与扫频激光器光纤连接，另一端与第三光纤耦合器光纤连接。参考光经第一透镜准直变成平行光，入射到第二透镜上进行聚焦后，耦合进第三光纤耦合器；样品光经第三透镜准直变成平行光，入射到扫描振镜上转换光路，反射出的光经第四透镜聚焦后投射到待测样品上进行光束扫描，扫描振镜经数据采集电路一与计算机电连接；平衡探测器，其输入端与第三光纤耦合器光纤连接，输出端经数据采集电路二与计算机电连接。本发明消除了激光器的机械扫描过程中产生的机械惯性，提高了系统的稳定性和扫描速度。

Description

一种扫频光源的快速扫频OCT系统
技术领域
本发明属于光电检测技术领域，具体涉及一种扫频光源的快速扫频OCT系统。
背景技术
光学相干层析成像技术(Optical coherence tomography，OCT)是一种非侵入、非接触的光学层析成像技术，具有极高的分辨率。扫频OCT技术属于第三代的OCT技术，其灵敏度和信噪比明显优于传统的OCT技术；并且扫频OCT技术的深度信息获取过程不需要轴向机械扫描，因而能够显著提高OCT系统的成像速度，增强系统的稳定性。扫频OCT系统通过扫频激光器的快速波长扫描，并使用点探测器对波长的干涉信号进行强度探测，最后通过对干涉光谱信号的傅里叶获取物体的微观结构信息，得到待测样品的层析图像。系统的轴向扫描速度取决于扫频激光器的波长扫描速度，因此能够极大的提高系统的成像速度。扫频OCT具有比谱域OCT和时域OCT更高的快速成像能力，又具有时域OCT的点探测优势，可以提供更大的探测深度和更高的灵敏度。
在实际使用中，要获得实时高分辨率的二维层析图像和三维表面形貌图像，需要扫频激光器具有快速波长扫描和宽频谱特性，但是，该要求在现有OCT系统中还不能得到满足。
发明内容
有鉴于此，本发明提供了一种扫频光源的快速扫频OCT系统，以便解决上述提到的技术问题。
本发明的技术方案是：
一种扫频光源的快速扫频OCT系统，包括：
扫频激光器，用于提供光波信号；
第一光纤耦合器，用于将光波信号分成参考光和样品光，其一端与扫频激光器光纤连接，另一端与第三光纤耦合器光纤连接；
所述参考光经第一透镜准直变成平行光，入射到第二透镜上进行聚焦后，耦合进第三光纤耦合器；
所述样品光经第三透镜准直变成平行光，入射到扫描振镜上转换光路，反射出的光经第四透镜聚焦后投射到待测样品上进行光束扫描，所述扫描振镜经数据采集电路一与计算机电连接。
平衡探测器，其输入端与第三光纤耦合器光纤连接，其输出端经数据采集电路二与计算机电连接。
优选的，所述扫频激光器包括：
依次顺序光纤连接、用于实现光波的单方向传输隔离的第一单模光纤、偏振控制器、光纤放大器、第二光纤耦合器、第二单模光纤、偏振敏感隔离器和频谱延迟线；
色散补偿光纤，一端与第二光纤耦合器的其中一端光纤连接，另一端与第二偏振控制器光纤连接，所述第二偏振控制器与所述第一光纤耦合器光纤连接。
优选的，第一光纤耦合器的分光比为80:20。
优选的，第三光纤耦合器的分光比为50:50。
优选的，所述数据采集电路一和数据采集电路二分别是数据采集卡。
优选的，所述光纤放大器是掺铒光纤放大器。
本发明提供的一种扫频光源的快速扫频OCT系统，基于一种可实现快速扫频的具有宽频谱特性和主动锁模技术的7.5MHz，1550nm扫频激光器，该快速宽带扫频激光器，能够实现10dB波长扫描范围95nm，线性带宽范围76nm，扫描频率为7.5MHz的扫描。本发明利用单光栅结构的频谱延迟线(SDL)实现对扫频激光器的色散补偿以及波长扫描范围可调，并使用高色散系数的色散补偿光纤(DCF)进行时间拉伸，能够实现快速的高分辨率成像，且能够有效提高系统探测深度，其有益效果有：
1、利用本发明扫频光学相干层析成像(OCT)系统的轴向分辨率，极大的提高成像速度和成像质量；
2、利用本发明能够实现深层探测，非常适合应用于微器件和微结构的无损检测方面；
3、利用本发明能够显著减少色散补偿过程中光栅对激光器谐振腔光的衍射次数，降低多次衍射引起的光功率损耗，有效提高色散补偿效率，实现了扫频激光器高功率输出，同时，减少了入射光和输出光之间的偏移，减少了光路调节，提高了系统稳定性；
4、本发明兼具快速波长扫描和宽频谱特性，有效消除了激光器的机械扫描过程中产生的机械惯性，提高了系统的稳定性和扫描速度，实用性强，值得推广。
附图说明
图1为本发明的整体结构；
图2为本发明的频谱延迟线(SDL)色散补偿结构。
附图标记：
1、光纤放大器(optical fiber amplifier，OFA)；2、第一偏振控制器(polarization controller，PC)；3、第一单模光纤(single mode fiber，SMF)；4、频谱延迟线(spectral Delay line，SDL)；41、光栅；42、聚焦透镜；43、反射镜；5、偏振敏感隔离器(polarization sensitive isolator，PISO)；6、第二单模光纤(single mode fiber，SMF)；7、第二光纤耦合器(Coupler)；8、色散补偿光纤(Dispersion Compensation Fiber，DCF)；9、第二偏振控制器(polarization controller，PC)；10、第一光纤耦合器(Coupler)；11、第一透镜；12、第二透镜；13、第三光纤耦合器(Coupler)；14、平衡探测器；15、第三透镜；16、第四透镜；17、待测样品；18、数据采集卡；19、计算机；20、扫描振镜。
具体实施方式
本发明提供了一种扫频光源的快速扫频OCT系统，下面结合图1到图2的结构示意图，对本发明进行说明。
实施例1
如图1所示，本发明提供的一种扫频光源的快速扫频OCT系统，包括以下结构：
扫频激光器，为一种1550nm波段的光纤型快速扫频激光器，工作的中心波长1550nm，用于实现线性扫描带宽范围76nm，扫描频率为7.5MHz的扫描。
扫频激光器结构如图1所示，包括依次顺序光纤连接、用于实现光波的单方向传输隔离的第一单模光纤3、偏振控制器2、光纤放大器1、第二光纤耦合器7、第二单模光纤6、偏振敏感隔离器5和频谱延迟线4。色散补偿光纤8，一端与第二光纤耦合器7的其中一端光纤连接，另一端与第二偏振控制器9光纤连接，所述第二偏振控制器9与所述第一光纤耦合器10光纤连接。
其中，光纤放大器1是掺铒光纤放大器OFA，其用于实现光放大，掺铒光纤Erbium-doped fiber用于获取工作介质。
其中，偏振敏感隔离器5实现自锁模，确保主动锁模掺铒光纤环形腔激光器处于单向运转，实现光波的单方向传输隔离。
其中，第二光纤耦合器7的分光比为50:50，用于将光脉冲从激光器谐振腔导出。
其中，第二偏振控制器9用于控制光波的偏振态，实现锁模，得到宽频输出的光波，并得到大的光功率输出。
具体的，扫频激光器内部的结构按实现的功能分：谐振腔色散补偿部分和波长扫描部分。
(1)谐振腔色散补偿部分的结构及工作原理描述如下：
光纤放大器1、第二光纤耦合器7、第二单模光纤6、偏振敏感隔离器5、频谱延迟线4、第一单模光纤3和偏振控制器2构成的环形为激光器谐振腔，激光器谐振腔内部的频谱延迟线4用于实现谐振腔色散补偿。
本发明的扫频激光器使用基于单光栅结构的频谱延迟线4实现谐振腔色散补偿，如图2所示的结构，单个光栅41、单个聚焦透镜42和单个反射镜43组成2-f系统。
其中，如图2所示，光栅41是近红外反射式衍射光栅DG，聚焦透镜42是凸透镜三L3，凸透镜三L3是消色差透镜，反射镜43是平面反射镜M。
近红外反射式衍射光栅DG和平面反射镜M均放置于凸透镜三L3的焦平面处，平面反射镜M倾斜放置，倾斜角度为θ，近红外反射式衍射光栅DG倾斜设置，倾斜角度为θg。
平面反射镜M和凸透镜三L3分别固定在支架上，使得两者之间的位置相对固定，支架的下方设置有方便支架移动的导向装置，导向装置固定在激光器的箱体上，当支架沿着导向装置移动时，平面反射镜M和凸透镜三L3能够实现同步位移。
其中，导向装置包括固定在支架下方的螺母座，螺母座套装在丝杆上，丝杆的一端通过轴承架设在支座上，另一端与电机的输出轴连接，电机固定在激光器的箱体上，激光器的箱体上还固定有块体，块体上表面开设有滑槽，螺母座的下端卡装在滑槽内且螺母座能沿着滑槽移动。
启动电机，可以带动丝杆同步转动，从而使得螺母座同步的带动支架沿着滑槽移动，从而实现平面反射镜M和凸透镜三L3的同步移动，改变近红外反射式衍射光栅DG与凸透镜三L3之间的距离，通过改变近红外反射式衍射光栅DG与凸透镜三L3之间的距离，改变谐振腔色散值，实现扫频激光器的带宽范围可调。
作为另一种实施方式，还可以直接将平面反射镜M和凸透镜三L3分别固定在微位移平台上，平面反射镜M和凸透镜三L3两者之间的位置相对固定，微位移平台固定在激光器的箱体上。
微位移平台移动带动平面反射镜M和凸透镜三L3的同步移动，改变近红外反射式衍射光栅DG与凸透镜三L3之间的距离，通过改变近红外反射式衍射光栅DG与凸透镜三L3之间的距离，改变谐振腔色散值，实现扫频激光器的带宽范围可调。
激光器谐振腔内来自于凸透镜一L1的焦点处的光纤出射光束经过凸透镜一L1准直后，平行入射到近红外反射式衍射光栅DG发生衍射。衍射光线经凸透镜三L3聚焦后，不同波长的扇形衍射光束被聚焦到凸透镜三L3焦平面处的平面反射镜M发生反射。反射光束经凸透镜三L3重新聚焦于近红外反射式衍射光栅DG，发生第二次衍射，衍射光经凸透镜二L2重新耦合进入激光器谐振腔。
由于近红外反射式衍射光栅DG和平面反射镜M均放置于凸透镜三L3的焦平面处，且平面反射镜M的倾斜角度θ较小，因此，经近红外反射式衍射光栅DG二次衍射的出射光束重新会合后，与入射光线保持近似平行出射。
与传统的光栅对双衍射光栅结构的4-f色散补偿系统不同的是，单光栅的2-f结构的色散补偿系统中，入射光仅两次通过近红外反射式衍射光栅DG衍射，有效减少了光束分离和光波的散射损耗，提高了激光器的光功率输出。该频谱延迟线产生的群速度色散(GVD)表示为：
Figure BDA0002696931700000061
其中，GVD是频谱延迟线产生的群速度色散，m为衍射级数，p为衍射光栅间距，θg为近红外反射式衍射光栅DG的法线和凸透镜三L3的光轴夹角,θ为平面反射镜M的倾斜角,Δz表示近红外反射式衍射光栅DG和凸透镜三L3之间的距离，f为凸透镜三L3的焦距，k0为波数。
因此，在保持平面反射镜M和近红外反射式衍射光栅DG的倾角不变的情况下，通过平面反射镜M和凸透镜三L3发生同步位移，来改变近红外反射式衍射光栅DG和凸透镜三L3之间的距离Δz，产生频谱延迟，就能够实现色散补偿。
本发明使用单光栅的频谱延迟线构成的色散可调补偿系统，与传统利用光栅对进行色散补偿的方法不同的是，该激光器色散补偿部分仅使用单个光栅，光在激光器谐振腔经过两次光栅衍射，就能实现色散补偿。该方法能够显著减少色散补偿过程中光栅对激光器谐振腔光的衍射次数，降低多次衍射引起的光功率损耗，有效提高色散补偿效率，实现了扫频激光器高功率输出。同时，减少了入射光和输出光之间的偏移，减少了光路调节，提高了系统稳定性。
该扫频激光器色散补偿方法还能够减小激光器体积、降低生产成本、易于集成。该扫频激光器能够实现宽光谱范围的快速扫频输出，可用于扫频光学相干层析成像OCT系统光源，能显著提高系统的轴向分辨率，极大的提高成像速度和成像质量。
(2)波长扫描部分的结构及工作原理描述如下：
波长扫描部分在激光器谐振腔的第二光纤耦合器7的另一输出端，使用大色散系数、具有逆向补偿特性的色散补偿光纤8对激光器输出脉冲进行时延，实现光谱扫描。
激光器输出的宽带、时域空间的窄脉冲光波经过色散补偿光纤8后，每一个波长成分都经过时延，使得时域空间的窄脉冲光波得到展宽。使用色散补偿光纤8能够减小光纤激光器的体积，并降低激光器成本。光谱成分的每一个光脉冲信号经过时域的变换，在色散补偿光纤8经过群速度色散。
1550nm的扫频激光器利用时间拉伸time-stretch技术实现快速波长扫描，激光器产生的宽带的窄脉冲光波经过色散补偿光纤8后产生群速度色散Group VelocityDispersion，GVD，每个波长分量都经历一个依赖于波长的特征群延迟，宽带的窄脉冲被展宽，光波的频谱信息映射到时域中。
扫频激光器部分的工作原理是：
光纤放大器1内的频谱延迟线4产生光波，经第二光纤耦合器7的一个输出端连接到第二单模光纤6，并经偏振敏感隔离器5，确保主动锁模掺铒光纤环形腔激光器处于单向运转，实现光波的单方向传输隔离。
经频谱延迟线4对激光器谐振腔进行色散补偿，经第一单模光纤3和分光比50:50的第一偏振控制器2返回到光纤放大器1实现光放大，最终由第二光纤耦合器7将光脉冲从激光器谐振腔导出，经大色散系数、具有逆向补偿特性的色散补偿光纤8对激光器输出脉冲进行时延，实现光谱扫描。
第一偏振控制器2用于控制光波的偏振态，实现锁模，得到宽频输出的光波，光波经第二偏振控制器9后进入干涉仪光路。
该扫频激光器采用主动锁模方式APM，配合偏振敏感隔离器5、第二光纤耦合器7、第一偏振控制器2、频谱延迟线4等组件，将经由光纤放大器1产生的光波，输出成稳定的中心波长为1550nm的扫频激光输出。
该设计的扫频激光器为光纤型扫频激光器，结构紧凑，易集成，实现紧凑型扫频激光器，降低成本。
本发明的激光器输出的窄脉冲光波利用时间拉伸技术实现激光器的快速波长扫描，该技术属于被动波长扫描技术，由具有高散射系数的色散补偿光纤8完成。激光器产生的宽带的窄脉冲光波经过色散补偿光纤后产生群速度色散，每个波长分量都经历一个依赖于波长的特征群延迟，脉冲被展宽，将光波的光谱信息映射到时域中，实现扫频激光器时域空间的快速波长扫描。与传统技术相比，该技术兼具快速波长扫描和宽频谱特性，有效消除了激光器的机械扫描过程中产生的机械惯性，提高了系统的稳定性和扫描速度，又不牺牲调谐范围、瞬时线宽和输出光功率，同时减小了激光器的体积，降低生产成本，有利于紧凑型激光器集成。
扫频OCT的系统的干涉仪部分的光路结构如图1所示：
扫频激光器发出的光波经分光比为80:20的第一光纤耦合器10分成样品光和参考光路两部分：
样品光经光纤后，出射光束经第三透镜15进行准直，出射到扫描振镜20上，经第四透镜16聚焦在待测样品17上进行光束扫描；
参考光经第一透镜11准直，并经第二透镜12聚焦后耦合进第三光纤耦合器13。
第一光纤耦合器10的另一个端口的光束经第三光纤耦合器13与参考光重新耦合后发生干涉，得到含待测样品结构信息的干涉光谱信号，经过平衡探测器14转化为电信号，经信号处理模块的数据采集卡18采集，并由计算机19进行处理，实现图像重构。
该扫频OCT系统采用平衡探测器14，能够消除干涉信号的大部分的直流项，因而减少了OCT图像中的直流噪音。由于干涉频谱中含待测样品的深度信息，因此，对干涉频谱信号进行傅里叶逆变换处理，并消除掉OCT图像中的镜像、自相关等干扰噪声，得到待测样品的深度信息，将散射势赋灰度值后，利用软件进行图像重构，就能够重建待测样品的层析图像。
参考臂光路采用了双透镜的空间光路结构，第一透镜11和第二透镜12平行放置，实现光线共轴。参考臂的光纤出射光经第一透镜11准直后的出射平行光束被第二透镜12聚焦后重新耦合进入光纤，通过调整第一透镜11和第二透镜12的间距实现参考臂光程的调节，实现参考臂光程和待测样品臂光程的匹配，达到样品光和参考光干涉的目的。
该结构消除了传统OCT系统干涉仪中参考臂的参考镜，有效减少了光路损耗，提高了系统稳定性，利于参考臂光路调节，并且减少了参考镜反射光对扫频激光器的干扰，提高了系统的信噪比。
以上公开的仅为本发明的较佳具体实施例，但是，本发明实施例并非局限于此，任何本领域技术人员能思之的变化都应落入本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种扫频光源的快速扫频OCT系统，其特征在于，包括：
扫频激光器，用于提供光波信号；
第一光纤耦合器(10)，用于将光波信号分成参考光和样品光，其一端与扫频激光器光纤连接，另一端与第三光纤耦合器(13)光纤连接；
所述参考光经第一透镜(11)准直变成平行光，入射到第二透镜(12)上进行聚焦后，耦合进第三光纤耦合器(13)；
所述样品光经第三透镜(15)准直变成平行光，入射到扫描振镜(20)上转换光路，反射出的光经第四透镜(16)聚焦后投射到待测样品(17)上进行光束扫描，所述扫描振镜(20)经数据采集电路一与计算机(19)电连接；
平衡探测器(14)，其输入端与第三光纤耦合器(13)电连接，其输出端经数据采集电路二与计算机(19)电连接。
2.根据权利要求1所述的一种扫频光源的快速扫频OCT系统，其特征在于，所述扫频激光器包括：
依次顺序光纤连接、用于实现光波的单方向传输隔离的第一单模光纤(3)、偏振控制器(2)、光纤放大器(1)、第二光纤耦合器(7)、第二单模光纤(6)、偏振敏感隔离器(5)和频谱延迟线(4)；
色散补偿光纤(8)，一端与第二光纤耦合器(7)的其中一端光纤连接，另一端与第二偏振控制器(9)光纤连接，所述第二偏振控制器(9)与所述第一光纤耦合器(10)光纤连接。
3.根据权利要求1所述的一种扫频光源的快速扫频OCT系统，其特征在于，第一光纤耦合器(10)的分光比为80:20。
4.根据权利要求1所述的一种扫频光源的快速扫频OCT系统，其特征在于，第三光纤耦合器(13)的分光比为50:50。
5.根据权利要求1所述的一种扫频光源的快速扫频OCT系统，其特征在于，所述数据采集电路一和数据采集电路二分别是数据采集卡(18)。
6.根据权利要求2所述的一种扫频光源的快速扫频OCT系统，其特征在于，所述光纤放大器(1)是掺铒光纤放大器。
CN202011008961.9A 2020-09-23 2020-09-23 一种扫频光源的快速扫频oct系统 Pending CN111981973A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011008961.9A CN111981973A (zh) 2020-09-23 2020-09-23 一种扫频光源的快速扫频oct系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011008961.9A CN111981973A (zh) 2020-09-23 2020-09-23 一种扫频光源的快速扫频oct系统

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN111981973A true CN111981973A (zh) 2020-11-24

Family

ID=73450065

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202011008961.9A Pending CN111981973A (zh) 2020-09-23 2020-09-23 一种扫频光源的快速扫频oct系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111981973A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115381381A (zh) * 2022-10-26 2022-11-25 北京航空航天大学 内窥镜装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115381381A (zh) * 2022-10-26 2022-11-25 北京航空航天大学 内窥镜装置
CN115381381B (zh) * 2022-10-26 2023-03-03 北京航空航天大学 内窥镜装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9791261B2 (en) Optical coherence tomography laser with integrated clock
EP1948024B1 (en) Swept source oct apparatus
US6282011B1 (en) Grating based phase control optical delay line
US6654127B2 (en) Optical delay line
CN101297750B (zh) 一种复谱频域光学相干层析成像方法以及系统
Knuettel et al. Stationary low-coherence light-imaging and spectroscopy using a CCD camera
US5491552A (en) Optical interferometer employing mutually coherent light source and an array detector for imaging in strongly scattered media
CN101617935B (zh) Oct中基于时空分光的宽光谱高分辨探测方法及系统
CN101884524B (zh) 基于自适应光学技术的宽视场光学相干层析仪
CN108572161B (zh) 基于分波阵面干涉仪的光学相干层析成像装置
CA2289598C (en) Grating based phase control optical delay line
CN106323907A (zh) 一种光纤耦合太赫兹时域光谱测试系统
CN210036591U (zh) 一种基于频域oct技术的三维彩色动态成像装置
CN110631512B (zh) 基于多纵模自混合效应的双正交平面镜外入射型角度传感测量装置及方法
CN112945130B (zh) 同时获得深度和表面信息的超快显微成像系统
CN111981973A (zh) 一种扫频光源的快速扫频oct系统
CN113791036A (zh) 基于迈克尔逊干涉仪的高速谱域光学相干层析成像系统
CN212363082U (zh) 一种扫频光源的快速扫频oct系统
CN201026206Y (zh) 一种基于光学扫描延迟线的谱域oct成像装置
CN113432527B (zh) 基于马赫曾德尔干涉仪的高速谱域光学相干层析成像系统
KR101261694B1 (ko) 가간섭 특성을 이용한 3차원 측정장치 및 그 측정방법
CN112731345B (zh) 具有主动光学防抖功能的抗振型面阵扫频测距/厚的装置和方法
CN114279999A (zh) 一种去锁相太赫兹时域光谱系统
CN201481402U (zh) 一种oct中基于时空分光的宽光谱高分辨探测系统
CN116712031A (zh) 一种基于位移式光谱细分的光学相干断层成像系统

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination