CN111856235B - 真空紫外光电倍增管测试装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种真空紫外光电倍增管测试装置，包括真空系统、测试夹具、光源系统、数据采集和控制系统以及计算机系统。真空系统为测试提供真空度要求。真空紫外光电倍增管安装于测试夹具内，并整体置于真空腔内。光源系统，用于提供真空紫外光电倍增管的测试光源，产生紫外光源并照射到位于真空腔内的紫外光电倍增管的阴极面上；数据采集和控制系统，控制系统的测试参数及测试配置，并读取系统测试数据值，传至计算机系统，分析处理数据。本发明通过相对测试，测试真空紫外光电倍增管暗电流、阴极辐射灵敏度、量子效率、阳极辐射灵敏度、增益参数，完善真空紫外光电倍增管性能测试与评估系统。
Description
技术领域
本发明涉紫外光电倍增管技术领域，具体而言涉及一种真空紫外光电倍增管测试装置与方法。
背景技术
真空紫外由于被氧分子吸收因而只能应用于真空环境，波长范围为50nm-200nm(VUV波段)，由于技术上的困难，长期以来这一波段的研究和应用被人们所忽视。
近年来，随着近代科学技术的发展，真空紫外辐射的研究日益受到人们的重视，并在空间物理、大气物理等离子体物理、固体物理、光化学、生物学以及医学等各领域得到广泛应用。例如，VUV波段的几个重要光谱与电离层电子密度及其他相关参数有着密切联系，通过对其强度分布进行探测，可以研究电离层的结构及其变化过程，因而VUV波段是研究电离层物理现象的重要波段。
目前尚无标定真空紫外的测试条件，但对真空紫外波段光电倍增管的需求却日益增加，因此如何更精确、更完整的评估真空紫外光电倍增管至关重要。
发明内容
本发明目的在于提供一种真空紫外光电倍增管测试装置，包括真空系统、测试夹具、光源系统、数据采集和控制系统以及计算机系统，其中：
真空系统包括一真空腔、真空泵，真空泵与真空腔连通，通过真空泵进行真空环境达成，为测试提供真空度要求；
真空紫外光电倍增管安装于测试夹具内，并整体置于真空腔内，所述测试夹具，用于固定真空紫外光电倍增管，并提供真空紫外光电倍增管的电压加载电极和信号引出电极；
光源系统，用于提供真空紫外光电倍增管的测试光源，产生紫外光源并照射到位于真空腔内的紫外光电倍增管的阴极面上；
数据采集和控制系统安装于真空腔外，测试夹具通过高压连接线和信号连接线连接到真空腔室外面的数据采集和控制系统，再通过数据线与计算机系统连接；所述数据采集和控制系统，控制整个系统的测试参数及测试配置，并读取系统测试数据值，传至计算机系统，分析处理数据；
其中，所述光源系统包括依次设置的氘灯、真空紫外单色仪、遮光挡板和汇聚组件，氘灯被设置用于发出120nm-400nm波段的光，照射到真空紫外单色仪，并且氘灯功率在30W以上；真空紫外单色仪围绕一单凹面全息光栅像差校正IV型而构建并且出入口狭缝端口的位置固定的，按照经典球面光栅装置的罗兰圆旋转；从真空紫外单色仪出射的光经过汇聚组件进行汇聚后照射到紫外光电倍增管的阴极面上；
所述遮光挡板被设置用于对真空紫外单色仪出射的光形成遮挡或者允许通过状态，以分别测试紫外光电倍增管的光电流和暗电流；
真空紫外单色仪分辨率要求达到0.1nm,并可以通过计算机串口控制真空紫外单色仪的波长变化及光栅大小，从而测试不同波长下的阴极性能和增益性能；
所述真空紫外单色仪被设置成通过计算机系统真空紫外单色仪的波长变化及光栅大小，从而测试不同波长下的真空紫外光电倍增管阴极性能和增益性能。
优选地，所述测试夹具具有一可围绕其中心轴旋转的旋转台和安装于旋转台上的均匀分布的多个工装夹具，待测试的真空紫外光电倍增管固定在工装夹具内，并与对应的四个引脚连接，分别接到分压器上。
优选地，所述分压器包括三个形成串联的第一电容、第二电容和第三电容，其容值分别为1000pF，在第一电容与第二电容之间并联了第一电阻，阻值为1兆欧，在第二电容与第三电容之间并联第二电阻，阻值为10兆欧，在第三电容的两端并联第三电阻，阻值为1兆欧。
优选地，所述真空系统还包括针孔阀，安装在真空腔的腔室侧面，通过调节针孔阀以控制真空腔室的真空度稳定在10-3Pa～10-6Pa；
其中，多个真空阀安装在真空腔室的侧面，高压连接线和信号连接线分别通过侧面的真空阀将真空紫外光电倍增管的相应电极连接到真空腔室外面的数据采集和控制系统；真空紫外单色仪通过左端的真空阀连接真空腔，保证真空紫外单色仪的光源出射后完全进入到真空腔内；右端的真空阀用于连接真空泵，保持真空腔内的真空度。
优选地，数据采集和控制系统包括高压电源和微电流计，高压电源用于提供测试高压，微电流计用于紫外光电倍增管光电流、暗电流参数。
优选地，所述计算机系统被设置成按照下述方式分析测试真空紫外光电倍增管的性能：
(1)使用200nm-300n的日盲紫外波段的标准管进行相对测试
根据标准光源的相对辐射强度辐射功率曲线，纵坐标为相对强度系数，真空波段λZ的辐射强度为ΦZ，可见光波段λK的辐射强度为ΦK，λK>200nm，故相对强度系数的计算公式为：
阴极辐射灵敏度的计算公式为:
其中，IZ为光入射后测得的光电流，单位为uA；IZd为加上挡板后测得的暗电流，单位为uA；ΦK为可见光波段的辐射强度，单位为W；Sz为阴极辐射灵敏度，单位为mA/W；
量子效率(QE)表示阴极面发射的光电子数与入射光子数的比值，辐射灵敏度与量子效率的计算公式为：
其中h＝6.626276×10-34Js；c＝2.997294×108ms-1；e＝1.602189×10-19C
由此，开启挡板，保持光源出射条件不变，使用紫外光电倍增管接收光源辐射，在阴极面与聚焦电极之间加载100V电压，使阴极输出电流达到饱和状态，调节波长到对应可见光的波长，测量紫外光电倍增管输出光电流Ik；
关闭挡板，测量紫外光电倍增管的输出暗电流Ikd，，得到可见光波段下的辐射通量ΦK；
使用同样的测试方法，开始自动扫描测试100nm-200nm波段的阴极辐射灵敏度和量子效率；
测试完一只紫外光电倍增管，自动旋转测试台，测试下一只紫外光电倍增管；
(2)二次电子发射系数δ是倍增极间电压E的函数，使用下式表示：
δ＝a·Ek…………………………(3)
其中，a为常数，k由电极的结构和材料决定，取值在0.7-0.8；
从光阴极面发射的光电流Ik，入射到第一倍增极，发射出二次电子流Id1，此时对于第一倍增极的二次发射系数δ1用下式表示：
该电流从第一倍增极到第二倍增极，直到第n倍增极连续倍增；第二倍增极以后n级的二次电子发射系数δn可用下式表示：
其中，阳极电流由下式得到：
Ip＝Ik·α·δ1·δ2····δn…………………………(6)
其中，α·δ1·δ2····δn均为电流增益，即：
G＝α·δ1·δ2····δn…………………………(7)
设定α＝1，则可得到下述修正：
其中，IA为阳极输出的光电流，单位为uA；IAd为加上挡板后测得的阳极暗电流，单位为uA；IZ为阴极输出的光电流，单位为uA；IZd为加上挡板后测得的阴极暗电流，单位为uA；
在测试过程中，按上述阴极辐射灵敏度的测试方法测试紫外光电倍增管阴极输出光电流IZ和暗电流IZd，再在高压电压上接上分压器，对整个真空紫外光电倍增管施加电压，以获得紫外光电倍增管阳极输出光电流IA和暗电流IAd，确定紫外光电倍增管的增益。
本发明与现有技术相比，其显著优点是：
1)本发明可实现自主评估100nm-200nm的真空紫外光电倍增管。目前计量院无法计量真空紫外光电倍增管，故无法准确评估紫外光电倍增的性能，而且可测试真空紫外光电倍增管的单位稀少，因此紫外光电倍增管的研发受到较大阻力，本发明通过相对测试合理解决这一问题，可测试真空紫外光电倍增管暗电流、阴极辐射灵敏度、量子效率、阳极辐射灵敏度、增益等，完善了真空紫外光电倍增管性能测试与评估系统；
2)本发明采用旋转台控制待测光电倍增管，相对手动更换的方式，设备自动化程度更高，更加准确测试光电倍增管参数，提高测试精度；其次利用旋转台即工装夹具可以批量测试紫外光电倍增管，有效的提高了测试效率；
3)本发明改进了目前相对量子效率的测试方法，利用光源的光谱特性，计算真空波段的量子效率，减少了相对测试中存在的误差，更加准确地评估紫外光电倍增管的性能。
应当理解，前述构思以及在下面更加详细地描述的额外构思的所有组合只要在这样的构思不相互矛盾的情况下都可以被视为本公开的发明主题的一部分。另外，所要求保护的主题的所有组合都被视为本公开的发明主题的一部分。
结合附图从下面的描述中可以更加全面地理解本发明教导的前述和其他方面、实施例和特征。本发明的其他附加方面例如示例性实施方式的特征和/或有益效果将在下面的描述中显见，或通过根据本发明教导的具体实施方式的实践中得知。
附图说明
附图不意在按比例绘制。在附图中，在各个图中示出的每个相同或近似相同的组成部分可以用相同的标号表示。为了清晰起见，在每个图中，并非每个组成部分均被标记。现在，将通过例子并参考附图来描述本发明的各个方面的实施例，其中：
图1是本发明的真空紫外光电倍增管测试装置的整体示意图。
图2是本发明的标准光源强度曲线示意图。
图3是本发明的分压器示意图。
图4是本发明的工装夹具的示意图。
具体实施方式
为了更了解本发明的技术内容，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。
在本公开中参照附图来描述本发明的各方面，附图中示出了许多说明的实施例。本公开的实施例不必定意在包括本发明的所有方面。应当理解，上面介绍的多种构思和实施例，以及下面更加详细地描述的那些构思和实施方式可以以很多方式中任意一种来实施，这是因为本发明所公开的构思和实施例并不限于任何实施方式。另外，本发明公开的一些方面可以单独使用，或者与本发明公开的其他方面的任何适当组合来使用。
结合图1-图4所示的实施例的真空紫外光电倍增管测试装置，包括真空系统、测试夹具、光源系统、数据采集和控制系统以及计算机系统。
真空系统包括一真空腔、真空泵，真空泵与真空腔连通，通过真空泵进行真空环境达成，为测试提供真空度要求。
真空紫外光电倍增管安装于测试夹具内，并整体置于真空腔内，所述测试夹具，用于固定真空紫外光电倍增管，并提供真空紫外光电倍增管的电压加载电极和信号引出电极。
光源系统，用于提供真空紫外光电倍增管的测试光源，产生紫外光源并照射到位于真空腔内的紫外光电倍增管的阴极面上。
数据采集和控制系统安装于真空腔外，测试夹具通过高压连接线和信号连接线连接到真空腔室外面的数据采集和控制系统，再通过数据线与计算机系统连接；所述数据采集和控制系统，控制整个系统的测试参数及测试配置，并读取系统测试数据值，传至计算机系统，分析处理数据。
其中，所述光源系统包括依次设置的氘灯、真空紫外单色仪、遮光挡板和汇聚组件。
氘灯被设置用于发出120nm-400nm波段的光，照射到真空紫外单色仪。
氘灯功率在30W以上，有效保证最后到达紫外光电倍增管阴极面的光强度。
真空紫外单色仪围绕一单凹面全息光栅像差校正IV型而构建并且出入口狭缝端口的位置固定的，按照经典球面光栅装置的罗兰圆旋转，以极大地减少了散光，获得了很好的光源输出量和光谱纯度。
从真空紫外单色仪出射的光，经过汇聚组件进行汇聚后照射到紫外光电倍增管的阴极面上。如所示，汇聚组件包括一个或者多个透镜组合进行光源汇聚。
遮光挡板，被设置用于对真空紫外单色仪出射的光形成遮挡或者允许通过状态，以分别测试紫外光电倍增管的光电流和暗电流。
真空紫外单色仪分辨率要求达到0.1nm,并可以通过计算机串口控制真空紫外单色仪的波长变化及光栅大小，从而测试不同波长下的阴极性能和增益性能。
所述真空紫外单色仪被设置成通过计算机系统真空紫外单色仪的波长变化及光栅大小，从而测试不同波长下的真空紫外光电倍增管阴极性能和增益性能。
优选地，如图1所示，测试夹具具有一可围绕其中心轴旋转的旋转台和安装于旋转台上的均匀分布的多个工装夹具，待测试的真空紫外光电倍增管固定在工装夹具内，并与对应的四个引脚分别为K、M1、M2、A连接，分别接到分压器上。
可选的实施例中，使用单片机控制旋转台的转动，可以一批测试多个紫外光电倍增管的数据，提高自动化程度，提高效率。
结合图3所示，分压器包括三个形成串联的第一电容、第二电容和第三电容，其容值分别为1000pF，在第一电容与第二电容之间并联了第一电阻，阻值为1兆欧，在第二电容与第三电容之间并联第二电阻，阻值为10兆欧，在第三电容的两端并联第三电阻，阻值为1兆欧。
优选地，真空系统还包括针孔阀，安装在真空腔的腔室侧面，通过调节针孔阀以控制真空腔室的真空度稳定在10-3Pa～10-6Pa。
多个真空阀安装在真空腔室的侧面，高压连接线和信号连接线分别通过侧面的真空阀将真空紫外光电倍增管的相应电极连接到真空腔室外面的数据采集和控制系统；真空紫外单色仪通过左端的真空阀连接真空腔，保证真空紫外单色仪的光源出射后完全进入到真空腔内；右端的真空阀用于连接真空泵，保持真空腔内的真空度。
数据采集和控制系统包括高压电源和微电流计，高压电源用于提供测试高压，微电流计用于紫外光电倍增管光电流、暗电流参数。
阳极和阴极电流通过工控机输出到测量模块，测量模块计算得到真空紫外光电倍增管的静态性能。
计算机系统分析测试真空紫外光电倍增管的性能的过程如下：
氘灯的光通过汇聚后入射到紫外真空单色仪，计算机系统控制紫外真空单色仪进行单色光扫描，将单色光传至光电倍增管的光阴极面；
高压模块提供真空紫外光电倍增管的高压，通过数据采集和控制系统对光电流、暗电流进行采集、放大，然后通过信号处理器的输出传输到工控机中的数据采集卡，根据各个不同的波长值下的光电流值获得光电阴极的光谱响应曲线，并计算量子效率和积分灵敏度；
通过分压器对光电倍增管整管进行负高压分压，同样方式测试阳极输出电流，从而获取增益信性能。
本发明的测试装置可以测试不同尺寸的光电倍增管、多个数量的光电倍增管，不同尺寸的光倍增管需要配备不同尺寸的工装夹具即可。
测试系统的具体测试过程：
第一步：校准前，使用污染检验片对真空腔进行污染检测，确认腔内无污染物后方可进行校准步骤；
第二步：将氘灯、真空紫外单色仪、汇聚组件、紫外光电倍增管安装在真空腔内，用激光器进行光路调整，使其中心位置位于同一主光轴上；
第三步：关闭真空腔门，监视腔内激光器对准状态，如未对准需开腔门，重新进行光路调整；打开旋转台控制系统，控制旋转台的转动，保证多个紫外光电倍增管均可和其他设备在同一主光轴上；
第四步：开启抽真空系统，同时确认各仪器工作正常，保证真空腔达到稳定气压，腔内气压应小于6*10-3Pa，实时监测腔内真空度，确保腔内真空度满足要求；
第五步：打开光源，预热至少20min，使光源光辐射稳定度达到要求；通过高压电源为加多个被测光电增管及其他设备供电，避免高压放电现象；
第六步：进行硬件初始化及参数设置，按照系统设定的测量的波长范围和波长间隔进行测量；
第七步：给光电倍增管不同电极供电，测试紫外微通道板型光电倍增管的辐射灵敏度与量子效率参数，以及真空紫外光电倍增管的增益。
测试的原理和具体控制过程如下：
光电倍增管的光阴极面把入射光子转换成光电子。其转换效率(阴极灵敏度)因入射光的波长而异，把阴极灵敏度与入射光波长的关系称为光谱灵敏度特性，一般光谱灵敏度特性用辐射灵敏度和量子效率来表示。
阴极辐射灵敏度Sz是光照射时光阴极面的发射电流与某一波长入射光的辐射功率之比。
由于真空紫外目前真空紫外波段无标准管，因此先采用现有日盲紫外波段的标准管(200nm-300nm)相对测试。
(1)使用200nm-300n的日盲紫外波段的标准管进行相对测试
根据标准光源的相对辐射强度辐射功率曲线，如图2所示为标准光源的相对辐射强度(辐射功率)曲线，纵坐标为相对强度系数，真空波段λZ的辐射强度为ΦZ，可见光波段λK的辐射强度为ΦK，λK>200nm，故相对强度系数的计算公式为：
阴极辐射灵敏度的计算公式为:
其中，IZ为光入射后测得的光电流，单位为uA；IZd为加上挡板后测得的暗电流，单位为uA；ΦK为可见光波段的辐射强度，单位为W；Sz为阴极辐射灵敏度，单位为mA/W；
量子效率(QE)表示阴极面发射的光电子数与入射光子数的比值，辐射灵敏度与量子效率的计算公式为：
其中h＝6.626276×10-34Js；c＝2.997294×108ms-1；e＝1.602189×10-19C
由此，开启挡板，保持光源出射条件不变，使用紫外光电倍增管接收光源辐射，在阴极面与聚焦电极之间加载100V电压，使阴极输出电流达到饱和状态，调节波长到对应可见光的波长，测量紫外光电倍增管输出光电流Ik；
关闭挡板，测量紫外光电倍增管的输出暗电流Ikd，，得到可见光波段下的辐射通量ΦK；
使用同样的测试方法，开始自动扫描测试100nm-200nm波段的阴极辐射灵敏度和量子效率；
测试完一只紫外光电倍增管，自动旋转测试台，测试下一只紫外光电倍增管；
(2)二次电子发射系数δ是倍增极间电压E的函数，使用下式表示：
δ＝a·Ek…………………………(3)
其中，a为常数，k由电极的结构和材料决定，取值在0.7-0.8；
从光阴极面发射的光电流Ik，入射到第一倍增极，发射出二次电子流Id1，此时对于第一倍增极的二次发射系数δ1用下式表示：
该电流从第一倍增极到第二倍增极，直到第n倍增极连续倍增；第二倍增极以后n级的二次电子发射系数δn可用下式表示：
其中，阳极电流由下式得到：
Ip＝Ik·α·δ1·δ2····δn…………………………(6)
其中，α·δ1·δ2····δn均为电流增益，即：
G＝α·δ1·δ2····δn…………………………(7)
设定α＝1，则可得到下述修正：
其中，IA为阳极输出的光电流，单位为uA；IAd为加上挡板后测得的阳极暗电流，单位为uA；IZ为阴极输出的光电流，单位为uA；IZd为加上挡板后测得的阴极暗电流，单位为uA；
在测试过程中，按上述阴极辐射灵敏度的测试方法测试紫外光电倍增管阴极输出光电流IZ和暗电流IZd，再在高压电压上接上分压器，对整个真空紫外光电倍增管施加电压，以获得紫外光电倍增管阳极输出光电流IA和暗电流IAd，确定真空紫外光电倍增管的增益。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明。本发明所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。
Claims (5)
1.一种真空紫外光电倍增管测试装置，其特征在于，包括真空系统、测试夹具、光源系统、数据采集和控制系统以及计算机系统，其中：
真空系统包括一真空腔、真空泵，真空泵与真空腔连通，通过真空泵进行真空环境达成，为测试提供真空度要求；
真空紫外光电倍增管安装于测试夹具内，并整体置于真空腔内，所述测试夹具，用于固定真空紫外光电倍增管，并提供真空紫外光电倍增管的电压加载电极和信号引出电极；
光源系统，用于提供真空紫外光电倍增管的测试光源，产生紫外光源并照射到位于真空腔内的紫外光电倍增管的阴极面上；
数据采集和控制系统安装于真空腔外，测试夹具通过高压连接线和信号连接线连接到真空腔室外面的数据采集和控制系统，再通过数据线与计算机系统连接；所述数据采集和控制系统，控制整个系统的测试参数及测试配置，并读取系统测试数据值，传至计算机系统，分析处理数据；
其中，所述光源系统包括依次设置的氘灯、真空紫外单色仪、遮光挡板和汇聚组件，氘灯被设置用于发出120nm-400nm波段的光，照射到真空紫外单色仪，并且氘灯功率在30W以上；真空紫外单色仪围绕一单凹面全息光栅像差校正IV型而构建，并且出入口狭缝端口的位置固定，按照经典球面光栅装置的罗兰圆旋转；从真空紫外单色仪出射的光经过汇聚组件进行汇聚后照射到紫外光电倍增管的阴极面上；
所述遮光挡板被设置用于对真空紫外单色仪出射的光形成遮挡或者允许通过状态，以分别测试紫外光电倍增管的暗电流和光电流；
所述真空紫外单色仪分辨率要求达到0.1nm,并能够通过计算机系统的串口控制真空紫外单色仪的波长变化及光栅大小，从而测试不同波长下的真空紫外光电倍增管的阴极性能和增益性能；
其中，所述计算机系统按照下述方式分析测试真空紫外光电倍增管的性能：
(1)使用200nm-300nm的日盲紫外波段的标准管进行相对测试
根据标准光源的相对辐射强度辐射功率曲线，纵坐标为相对强度系数，真空波段λZ的辐射强度为ΦZ，可见光波段λK的辐射强度为ΦK，λK>200nm，故相对强度系数的计算公式为：
阴极辐射灵敏度的计算公式为:
其中，IZ为光入射后测得的光电流，单位为uA；IZd为加上挡板后测得的暗电流，单位为uA；ΦK为可见光波段的辐射强度，单位为W；Sz为阴极辐射灵敏度，单位为mA/W；
量子效率(QE)表示阴极面发射的光电子数与入射光子数的比值，阴极辐射灵敏度与量子效率之间关系的计算公式为：
其中h＝6.626276×10-34Js；c＝2.997294×108ms-1；e＝1.602189×10-19C；
由此，开启挡板，保持光源出射条件不变，使用紫外光电倍增管接收光源辐射，在阴极面与聚焦电极之间加载100V电压，使阴极输出电流达到饱和状态，调节波长到对应可见光的波长，测量紫外光电倍增管输出光电流Ik；
关闭挡板，测量紫外光电倍增管的输出暗电流Ikd，得到可见光波段下的辐射通量ΦK；
使用同样的测试方法，开始自动扫描测试100nm-200nm波段的阴极辐射灵敏度和量子效率；
测试完一只紫外光电倍增管，自动旋转测试台，测试下一只紫外光电倍增管；
(2)二次电子发射系数δ是倍增极间电压E的函数，使用下式表示：
δ＝a·Ek…………………………(4)
其中，a为常数，k由电极的结构和材料决定，取值在0.7-0.8；
从光阴极面发射的光电流Ik，入射到第一倍增极，发射出二次电子流Id1，此时对于第一倍增极的二次发射系数δ1用下式表示：
该电流从第一倍增极到第二倍增极，直到第n倍增极连续倍增；第二倍增极以后n级的二次电子发射系数δn可用下式表示：
其中，阳极电流由下式得到：
Ip＝Ik·α·δ1·δ2····δn…………………………(7)
其中，α·δ1·δ2····δn表示电流增益，即：
G＝α·δ1·δ2····δn…………………………(8)
设定α＝1，则得到下述修正：
其中，IA为阳极输出的光电流，单位为uA；IAd为加上挡板后测得的阳极暗电流，单位为uA；IZ为阴极输出的光电流，单位为uA；IZd为加上挡板后测得的阴极暗电流，单位为uA；
在测试过程中，按上述阴极辐射灵敏度的测试方法测试紫外光电倍增管阴极输出光电流IZ和暗电流IZd，再在高压电压上接上分压器，对整个真空紫外光电倍增管施加电压，以获得紫外光电倍增管阳极输出光电流IA和暗电流IAd，确定紫外光电倍增管的增益。
2.根据权利要求1所述的真空紫外光电倍增管测试装置，其特征在于，所述测试夹具具有一可围绕其中心轴旋转的旋转台和安装于旋转台上的均匀分布的多个工装夹具，待测试的真空紫外光电倍增管固定在工装夹具内，并与对应的四个引脚连接，分别接到分压器上。
3.根据权利要求2所述的真空紫外光电倍增管测试装置，其特征在于，所述分压器包括三个形成串联的第一电容、第二电容和第三电容，其容值分别为1000pF，在第一电容与第二电容之间并联了第一电阻，阻值为1兆欧，在第二电容与第三电容之间并联第二电阻，阻值为10兆欧，在第三电容的两端并联第三电阻，阻值为1兆欧。
4.根据权利要求1所述的真空紫外光电倍增管测试装置，其特征在于，所述真空系统还包括针孔阀，安装在真空腔的腔室侧面，通过调节针孔阀以控制真空腔室的真空度稳定在10-3Pa～10-6Pa；
其中，多个真空阀安装在真空腔室的侧面，高压连接线和信号连接线分别通过侧面的真空阀将真空紫外光电倍增管的相应电极连接到真空腔室外面的数据采集和控制系统；
真空紫外单色仪通过左端的真空阀连接真空腔，保证真空紫外单色仪的光源出射后完全进入到真空腔内；右端的真空阀用于连接真空泵，保持真空腔内的真空度。
5.根据权利要求1所述的真空紫外光电倍增管测试装置，其特征在于，所述数据采集和控制系统包括高压电源和微电流计，高压电源用于提供测试高压，微电流计用于紫外光电倍增管的光电流、暗电流参数。
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