CN111735799A - 一种导波表面等离子体共振传感器 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种导波表面等离子体共振传感器,包括:棱镜(1)、金属膜(2)、硅膜(3)、Franckeite层(4)和石墨烯层(5);所述金属膜(2)设置于所述棱镜(1)一侧面的表面上;所述硅膜(3)设置于所述金属膜(2)表面,所述Franckeite层(4)设置于所述硅膜(3)表面;所述石墨烯层(5)设置于所述Franckeite层(4)表面。通过本发明上述的导波表面等离子体共振传感器能够实现对分子的微量检测,使导波表面等离子体共振传感器具有高灵敏度和快速响应特性。
Description
技术领域
本发明涉及表面等离子体传感技术领域,特别是涉及一种导波表面等离子体共振传感器。
背景技术
近年来随着科学和商业发展的要求,各种高性能传感器相继出现,表面等离子共振传感器具有灵敏度高、免标记、检测速度快和可靠性高等优点,因此表面等离子共振传感器受到人们的青睐。表面等离子激元是一种局域在介质-金属表面的特殊电磁模式,是入射光的光子与金属表面电子相互作用的结果,当光子的振动频率与电子的振动频率相等时,表面等离激元与入射光发生共振耦合,产生巨大的电场增强,即表面等离子体共振(Surface Plasmon Resonance technology,SPR)。
传感器界面附近传感介质折射率的微小变化会引起反射曲线的变化,当传感层折射率增加时,传感器对其表面发生的生物分子进行识别,这个过程既不需要对界面活性进行标记,也不需要对样品进行制备,因此利用传感器检测生物分子被广泛应用。然而,传统表面等离子体共振传感器用金属作为激发元件,金属对低浓度变化的待测样品具有较低的可探测性,造成生物分子在金属膜表面直接固定的数量非常有限,SPR传感器结构存在较大的不足,影响传感器的灵敏度。传统的导波SPR传感器由于导波SPR传感器中硅自身结构的限制,与生物分子结合不高,而且与折射率的线性相关系数也较低,导致灵敏度低,不利于物质的检测。
发明内容
本发明的目的是提供一种导波表面等离子体共振传感器,实现对分子的微量检测,使导波表面等离子体共振传感器具有高灵敏度和快速响应特性。
为实现上述目的,本发明提供了如下方案:
一种导波表面等离子体共振传感器,包括:
棱镜、金属膜、硅膜、Franckeite层和石墨烯层;
所述金属膜设置于所述棱镜一侧面的表面上;所述硅膜设置于所述金属膜表面,所述Franckeite层设置于所述硅膜表面;所述石墨烯层设置于所述Franckeite层表面。
可选的,所述Franckeite层的材料包括PbS和SnS2。
可选的,所述Franckeite层的厚度为1.8nm~7.2nm。
可选的,所述金属膜为银膜。
可选的,所述金属膜的厚度为50nm。
可选的,所述硅膜的厚度为5nm。
可选的,所述棱镜为SF10棱镜。
可选的,所述棱镜的折射率为1.723。
可选的,所述石墨烯层的厚度为0.34nm~1.7nm。
根据本发明提供的具体实施例,本发明公开了以下技术效果:
本发明提供了一种导波表面等离子体共振传感器,在高折射率硅膜表面涂覆Franckeite层用于提高传感器灵敏度;Franckeite层上设置石墨烯层作为分子识别器,并进一步提高传感器的灵敏度。本发明提供了一种灵敏度高,检测范围大的表面等离子体共振传感器,且检测结果具有较好的线性相关度。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例所提供的一种导波表面等离子体共振传感器的结构示意图;
图2为本发明实施例所提供的未设置石墨烯层的导波表面等离子体共振传感器的反射曲线随入射角变化示意图;
图3为本发明实施例所提供的未设置石墨烯层和未设置Franckeite层的导波表面等离子体共振传感器的反射曲线随入射角变化示意图;
图4为本发明实施例所提供的的导波表面等离子体共振传感器中石墨烯层的层数对传感器灵敏度影响示意图;
图5为本发明实施例所提供的导波表面等离子体共振传感器的反射光谱随传感层折射率变化示意图;
图6为本发明实施例所提供的导波表面等离子体共振传感器的共振角度与传感层折射率的拟合曲线;
图7为本发明实施例所提供的未设置石墨烯层和未设置Franckeite层的导波表面等离子体共振传感器的共振角度与传感层折射率的拟合曲线。
符号说明:
1、棱镜,2金属膜,3硅膜,4、Franckeite层,5、石墨烯层,6、入射光,7、反射光,8、传感层。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
本发明的目的是提供一种导波表面等离子体共振传感器,实现对分子的微量检测,使导波表面等离子体共振传感器具有高灵敏度和快速响应性。
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
实施例一
图1为本发明实施例所提供的一种导波表面等离子体共振传感器的结构示意图,如图1所示,本发明一种导波表面等离子体共振传感器,包括:棱镜1、金属膜2、硅膜3、Franckeite层4和石墨烯层5;所述金属膜2设置于所述棱镜1一侧面的表面上;所述硅膜3设置于所述金属膜2表面,所述Franckeite层4设置于所述硅膜3表面;所述石墨烯层5设置于所述Franckeite层4表面。
具体的,硅膜3为高折射率硅膜3,Franckeite层4和石墨烯层5均为二维材料,金属膜2位于棱镜1与高折射率硅膜3之间;所述Franckeite层4位于高折射率硅膜3上方;所述Franckeite层4与传感层8(待测物)之间为石墨烯层5,石墨烯层5为生物分子识别物,并与待测物接触;入射光6经过棱镜1发生全反射,在角度调制的模式下检测传感器的灵敏度。
入射光6射入到棱镜1中,棱镜1用于激发表面等离子体,在棱镜1表面上镀金属膜2,从而激发表面等离子体共振效应,通过反射光7形成共振吸收谷。将高折射率的硅膜3沉积在金属膜2表面,提高传感器的灵敏度。此外,将Franckeit层4与石墨烯层5附着在硅膜3表面,提高传感器的灵敏度并增加了传感器吸附分子的能力。
作为一种可选的实施方式,本发明所述Franckeite层4的材料包括PbS和SnS2。
具体的,Franckeite层4的材料是一种由硫化铅(PbS)和二硫化锌(SnS2)交替堆叠、具有独特的层状结构的新型生物传感材料;与黑磷相比,在空气中具有较高的稳定性。石墨烯为最早成功研制的二维材料,由于其本身的六角形蜂窝状结构,可以与芳香烃类的分子之间通过π键相互作用,有助于分子吸附在传感器表面,提高表面结合分子的能力,实现对分子物质的检测,使得表面等离子体共振传感器具有高灵敏度。
作为一种可选的实施方式,本发明所述Franckeite层4的厚度为1.8nm~7.2nm。也可以说厚度为1~4层,1层的厚度为1.8nm。具体的,本发明实施例中所述Franckeite层4的层数为1层,能够保证传感器能获得高的品质因数。
作为一种可选的实施方式,本发明所述金属膜2为银膜。具体的,银膜用于激发表面等离子体波。相比于金膜和铜膜,银膜具有更高的灵敏度。
作为一种可选的实施方式,本发明所述金属膜2的厚度为50nm。
作为一种可选的实施方式,本发明所述硅膜3的厚度为5nm。
作为一种可选的实施方式,本发明所述棱镜1为SF10棱镜。
作为一种可选的实施方式,本发明所述棱镜1的折射率为1.723。所述棱镜1的折射率较低,具有更高的灵敏度。
作为一种可选的实施方式,本发明所述石墨烯层5的厚度为0.34nm~1.7nm。也可以说厚度为1~5层,1层的厚度为0.34nm。具体的,本发明实施例中所述石墨烯层5的层数为5层,灵敏度更高。
实施例二
为实现上述目的,本发明提供了又一实施例,本发明实施例提供了一种导波表面等离子体共振传感器,包括棱镜1、银膜2、硅膜3、Franckeite层4和石墨烯层5。所述棱镜1为SF10棱镜,其折射率为1.723;所述银膜2的折射率为0.135+3.958i;所述高折射率硅膜3的折射率为3.9+0.01i;所述Franckeite层4的折射率为3.53+0.39i;所述石墨烯层5为单层,折射率为3+1.1491i,厚度为0.34nm。
本发明实施例所设置的传感器是基于Kretschmann结构的基础,入射TM偏振光的波长为633nm。表面等离子体共振传感器主要是根据入射光6照射到棱镜1中产生的倏逝波与金属表面电子振动产生的表面等离子体波相互作用对物质进行检测。在不同的角度下,采用多层复合结构理论,即传输矩阵(TMM)的方法对反射率进行分析:
其中,U1为第一层(棱镜1)边界处的电场,V1为第一层(棱镜1)边界处的磁场,UN-1为第N层(传感层8)边界处的电场,VN-1为第N层(传感层8)磁场,M为传感器组合结构的特征矩阵,可以定义为:
其中,Mk为第k层媒质的传输矩阵,θ1为入射光6照射到棱镜1底部的入射角,n1为棱镜1的折射率,M11、M12、M13和M14为M的四个参数,εk为第k层材料的介电常数,dk为第k层材料的厚度。基于M的参数可以得到TM偏振光的反射系数rp:
其中,q1为第一层的棱镜1,qN为第N层的待测物。本发明实施例中第一层为棱镜1,第二层为银膜,第三层为硅膜3,第四层为Franckeite层4,第五层为石墨烯层5,第六层为传感层8。由公式(3)可以得到TM偏振光组合多层结构的反射率:
Rp=|rp|2 (4)
N层结构模型中得到的反射率随入射角的变化可以得到共振角,当样品折射率变化时,共振角也随之变化。假设传感层的折射率为ns=1.33+Δn,其中,Δn是由于生物反应或化学反应引起的传感层折射率的变化。定义SPR传感器单位样品灵敏度S为改变的共振角与变化的折射率之间的比值,表达式为:
其中,Δθres,Δn分别为共振角度的改变和传感层折射率的变化。
如图2所示,基于上述满足实施例所述的传感器反射条件及灵敏度计算,本发明实施例所提供的导波表面等离子体共振传感器,设定的银膜厚度为50nm,硅膜3厚度为5nm,Franckeite层为1层,厚度为1.8nm,灵敏度达到132°/RIU。与未添加Franckeite层4的导波表面等离子体共振传感器,如图3所示,所述添加Franckeite层4后的导波表面等离子体共振传感器灵敏度提高。
考虑到石墨烯层5的层数影响传感器的灵敏度,在图3结构的基础上,添加不同层数的石墨烯层,结果如图4所示,当石墨烯层5的层数为5层时,灵敏度达到最高并提高了65.2%。
为了探究石墨烯层5的层数对传感层8中分子的吸附作用,如图1所示,本发明实施例所提供的Franckeite层4与石墨烯层5混合结构增敏的导波表面等离子体共振传感器,所述Franckeite层4为1层,厚度为1.8nm,石墨烯层5的层数为5层,厚度为1.7nm。如图5所示,当传感层8折射率从1.333增加到1.360时,反射曲线随入射角变化的曲线发生红移,共振角发生移动了6°。
提取图5中共振角的数据可以拟合出本发明实施案例所提出的添加Franckeite层4与石墨烯层5混合结构的导波表面等离子体共振传感器共振角及折射率的关系。如图6所示,当传感介质折射率从1.333变化为1.360时,由拟合曲线方程可知,传感器的灵敏度为218°/RIU,线性相关性为R2=0.988。未添加Franckeite层4与石墨烯层5混合结构的导波表面等离子体共振传感器,如图7所示,采用与提出的Franckeite层4与石墨烯层5混合结构的导波表面等离子体共振传感器相同的拟合方式,当传感介质折射率从1.333变化为1.360时,结果表明,传感器的灵敏度为110°/RIU,线性相关性为R2=0.981。因此添加Franckeite层4与石墨烯层5混合结构的导波表面等离子体共振传感器对被测样品的折射率变化更灵敏,可适用于对检测灵敏度要求高的生物化学分析中。
本发明的优点:
1、本发明Franckeite层与石墨烯层均采用的是二维材料,二维材料由于其独特的光学和电学特性受到人们的关注,基于范德华力(VDW)异质结构的传感器,因由不同二维材料堆叠,可以表现出优异的传感性能,提高表面结合分子的能力,实现对分子的微量检测,使得表面等离子体共振传感器具有高灵敏度和快速响应。
2、本发明采用了Franckeite层与石墨烯层混合结构用于导波表面等离子体共振传感器的增敏,因Franckeite层独特的结构特性,不仅提高了传感器的灵敏度还可增加传感器表面吸附分子的能力;此传感器在折射率范围为1.333~1.360RIU内,共振角度与折射率具有良好的线性相关性,线性相关系数达到R2=0.988,灵敏度为218°/RIU;与未修饰的导波表面等离子体共振传感器相比,灵敏度提高了0.98倍。
3、本发明针对现有的导波表面等离子体共振传感器与分子结合度不高,灵敏度不足等问题。提出在高折射率硅膜表面涂覆Franckeite层用于提高传感器灵敏度;在传感层与Franckeite层之间添加二维材料石墨烯作为分子识别器,并进一步提高传感器的灵敏度。
本说明书中各个实施例采用递进的方式描述,每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处,各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。
本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想;同时,对于本领域的一般技术人员,依据本发明的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述,本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
Claims (9)
1.一种导波表面等离子体共振传感器,其特征在于,包括:
棱镜(1)、金属膜(2)、硅膜(3)、Franckeite层(4)和石墨烯层(5);
所述金属膜(2)设置于所述棱镜(1)一侧面的表面上;所述硅膜(3)设置于所述金属膜(2)表面,所述Franckeite层(4)设置于所述硅膜(3)表面;所述石墨烯层(5)设置于所述Franckeite层(4)表面。
2.根据权利要求1所述的导波表面等离子体共振传感器,其特征在于,所述Franckeite层(4)的材料包括PbS和SnS2。
3.根据权利要求1所述的导波表面等离子体共振传感器,其特征在于,所述Franckeite层(4)的厚度为1.8nm~7.2nm。
4.根据权利要求1所述的导波表面等离子体共振传感器,其特征在于,所述金属膜(2)为银膜。
5.根据权利要求1所述的导波表面等离子体共振传感器,其特征在于,所述金属膜(2)的厚度为50nm。
6.根据权利要求1所述的导波表面等离子体共振传感器,其特征在于,所述硅膜(3)的厚度为5nm。
7.根据权利要求1所述的导波表面等离子体共振传感器,其特征在于,所述棱镜(1)为SF10棱镜。
8.根据权利要求1所述的导波表面等离子体共振传感器,其特征在于,所述棱镜(1)的折射率为1.723。
9.根据权利要求1所述的导波表面等离子体共振传感器,其特征在于,所述石墨烯层(5)的厚度为0.34nm~1.7nm。
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