CN111544946A - 砷化镓抛光液自动循环过滤方法及其对应的过滤装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了砷化镓抛光液自动循环过滤方法，其使得抛光药液通过自循环过滤，从而解决抛光过程中抛光液中的颗粒划伤晶片问题。抛光药液在抛光设备使用前，在供药管道进入设备后安装抛光药液自循环装置，将管道中结晶颗粒机静态滤芯反向端的结晶进行再次过滤，将静态的药液改变为动态实时过滤，避免析出颗粒结晶使得药液中颗粒增加。
Description
技术领域
本发明涉及砷化镓抛光液处理的技术领域，具体为砷化镓抛光液自动循环过滤方法，本发明还提供了砷化镓抛光液自动循环过滤装置。
背景技术
目前，市场上销售及使用的抛光机供药液系统均由配药供液，由于管道过长药液在流动循环时容易带颗粒在药液中，因此大部分抛光管道进设备会装滤芯进行过滤，由于设备保养等原因出现停机时，药液处于静止状态，砷化镓抛光药液容易与空气中的氧发生化学反应，产生白色结晶，该结晶不仅仅存在滤芯的前端也会出现在反向位置，在进行抛光时颗粒随抛光液流入抛光设备导致晶片出现划伤现象。
发明内容
针对上述问题，本发明提供了砷化镓抛光液自动循环过滤方法，其使得抛光药液通过自循环过滤，从而解决抛光过程中抛光液中的颗粒划伤晶片问题。
砷化镓抛光液自动循环过滤方法，其特征在于：抛光药液在抛光设备使用前，在供药管道进入设备后安装抛光药液自循环装置，将管道中结晶颗粒机静态滤芯反向端的结晶进行再次过滤，将静态的药液改变为动态实时过滤，避免析出颗粒结晶使得药液中颗粒增加。
其进一步特征在于：抛光机的供药接口处断开，安装抛光药液自循环过滤装置，将过滤循环系统的进液管连接在外部的进药管处，将出液管口连接在设备进液的管口上，在进液管安装相应的过滤滤芯，在循环滤罐安装更细一级的过滤滤芯，开启管道药液液位计监测药液桶内的液面高度，并将传感器与隔膜泵进行连接控制，通过隔膜泵将循环桶中药液抽出并在滤芯出过滤输入循环药液溢流桶中，通过溢流的方式保持药液的循环流动，需要进行抛光液供给时、开启出液管上的蠕动泵将干净的药液进行供给给抛光机的进药管。
砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其特征在于：其包括药液桶，所述药液桶的上端盖装有顶盖，所述顶盖上预设有管路插孔、溢流桶安装接口，所述溢流桶安装接口下凸部分固装有循环药液溢流桶，所述循环药液溢流桶上设置有旁通溢流孔连通所述药液桶的内腔，所述药液桶的内腔内盛放有砷化镓抛光液，进液管上安装药管过滤罐芯后通过管路贯穿对应的管路插孔后连通至所述药液桶的内腔，其还包括有循环管，所述循环管的一端内插于药液桶的内腔的底部区域，所述循环管的一部分外露于所述药液桶后、其另一端置于所述循环药液溢流桶的内腔，出液管的进液部分位于所述循环药液溢流桶的内腔，所述出液管的出液部分安装蠕动泵后连接至抛光机的进药管。
其进一步特征在于：
所述药液桶内还排布有若干冷凝管，确保药液桶内的砷化镓抛光液的温度达到抛光要求；
所述循环管的外露于所述药液桶的部分设置沿着流向分别设置有隔膜泵、循环滤芯，所述循环滤芯的过滤精度优于所述药管过滤罐芯的过滤精度，其进一步将更细的结晶过滤；
所述药液桶内还设置有液位计，所述液位计沿着药液桶的高度方向布置；
所述液位计的反馈端通过连接线外接至隔膜泵，液位计监测到液面达到预设高度后、开启隔膜泵；
所述循环管的一端贯穿对应的管路插孔后内插于药液桶的内腔的底部区域；
所述循环管的一端、进液管对应的管路插孔上盖装有端盖连接头，端盖连接头确保循环管、进液管对应于顶盖位置的封装连接，确保不会漏气漏液；
所述循环管的另一端、出液管分别通过溢流桶安装接口安装于所述循环药液溢流桶的旁通溢流孔的下方位置区域，所述溢流桶安装接口的上凸表面盖装有封装盖，所述封装该确保循环管、出液管对应于溢流桶安装接口的位置的封装连接，确保不会漏气漏液。
采用上述技术方案后，抛光药液在抛光设备使用前，在供药管道进入设备后安装抛光药液自循环装置，将管道中结晶颗粒机静态滤芯反向端的结晶进行再次过滤，将静态的药液改变为动态实时过滤，避免析出颗粒结晶使得药液中颗粒增加，其在抛光机的供药接口处断开，安装抛光药液自循环过滤装置，将过滤循环系统的进液管连接在外部的进药管处，将出液管口连接在设备进液的管口上，在进液管安装相应的过滤滤芯，在循环滤罐安装更细一级的过滤滤芯，开启管道药液液位计监测药液桶内的液面高度，并将传感器与隔膜泵进行连接控制，通过隔膜泵将循环桶中药液抽出并在滤芯出过滤输入循环药液溢流桶中，通过溢流的方式保持药液的循环流动，需要进行抛光液供给时、开启出液管上的蠕动泵将干净的药液进行供给给抛光机的进药管；其使得抛光药液通过自循环过滤，从而解决抛光过程中抛光液中的颗粒划伤晶片问题。
附图说明
图1为本发明的装置的结构示意简图；
图2为本发明的装置的工作原理示意简图；
图中序号所对应的名称如下：
药液桶1、顶盖2、溢流桶安装接口3、循环药液溢流桶4、旁通溢流孔5、砷化镓抛光液6、进液管7、药管过滤罐芯8、循环管9、出液管10、蠕动泵11、冷凝管12、隔膜泵13、循环滤芯14、液位计15、连接线16、端盖连接头17、封装盖18。
具体实施方式
砷化镓抛光液自动循环过滤方法：抛光药液在抛光设备使用前，在供药管道进入设备后安装抛光药液自循环装置，将管道中结晶颗粒机静态滤芯反向端的结晶进行再次过滤，将静态的药液改变为动态实时过滤，避免析出颗粒结晶使得药液中颗粒增加。
抛光机的供药接口处断开，安装抛光药液自循环过滤装置，将过滤循环系统的进液管连接在外部的进药管处，将出液管口连接在设备进液的管口上，在进液管安装相应的过滤滤芯，在循环滤罐安装更细一级的过滤滤芯，开启管道药液液位计监测药液桶内的液面高度，并将传感器与隔膜泵进行连接控制，通过隔膜泵将循环桶中药液抽出并在滤芯出过滤输入循环药液溢流桶中，通过溢流的方式保持药液的循环流动，需要进行抛光液供给时、开启出液管上的蠕动泵将干净的药液进行供给给抛光机的进药管。
砷化镓抛光液自动循环过滤装置，见图1、图2：其包括药液桶1，药液桶1的上端盖装有顶盖2，顶盖2上预设有管路插孔、溢流桶安装接口3，溢流桶安装接口3下凸部分固装有循环药液溢流桶4，循环药液溢流桶4上设置有旁通溢流孔5连通药液桶1的内腔，药液桶1的内腔内盛放有砷化镓抛光液6，进液管7上安装药管过滤罐芯8后通过管路贯穿对应的管路插孔后连通至药液桶1的内腔，其还包括有循环管9，循环管9的一端内插于药液桶1的内腔的底部区域，循环管9的一部分外露于药液桶1后、其另一端置于循环药液溢流桶4的内腔，出液管10的进液部分位于循环药液溢流桶4的内腔，出液管10的出液部分安装蠕动泵11后连接至抛光机的进药管。
药液桶1内还排布有若干冷凝管12，确保药液桶1内的砷化镓抛光液的温度达到抛光要求；
循环管9的外露于药液桶的部分设置沿着流向分别设置有隔膜泵13、循环滤芯14，循环滤芯14的过滤精度优于药管过滤罐芯8的过滤精度，其进一步将更细的结晶过滤；
药液桶1内还设置有液位计15，液位计15沿着药液桶1的高度方向布置；
液位计15的反馈端通过连接线16外接至隔膜泵13，液位计15监测到液面达到预设高度后、开启隔膜泵13；
循环管9的一端贯穿对应的管路插孔后内插于药液桶1的内腔的底部区域；
循环管9的一端、进液管7对应的管路插孔上盖装有端盖连接头17，端盖连接头17确保循环管9、进液管7对应于顶盖2位置的封装连接，确保不会漏气漏液；
循环管9的另一端、出液管10分别通过溢流桶安装接口3安装于循环药液溢流桶4的旁通溢流孔5的下方位置区域，溢流桶安装接口3的上凸表面盖装有封装盖18，封装盖18确保循环管9、出液管10对应于溢流桶安装接口3的位置的封装连接，确保不会漏气漏液。
其工作原理如下，研究抛光药液的化学有关机理，在结合抛光过程中颗粒产生划伤源头进行现象分析，通过实验对比，抛光药液处于静态状态后药液产生肉眼可见白色状的结晶成颗粒状，通过动态循环时药液未出现颗粒装结晶，通过实验进一步得到验证，为了防止过滤是产生堵塞的现象，在抛光药液进行分级过滤，保持循环桶中滤芯处于一个相对洁净药液，并通过更细一步的循环过滤滤芯在循环药液溢流桶中模拟动态药液，达到解决药液颗粒的关键技术性问题。
抛光药液在抛光设备使用前，在供药管道进入设备后安装抛光药液自循环装置，将管道中结晶颗粒机静态滤芯反向端的结晶进行再次过滤，将静态的药液改变为动态实时过滤，避免析出颗粒结晶使得药液中颗粒增加，其在抛光机的供药接口处断开，安装抛光药液自循环过滤装置，将过滤循环系统的进液管连接在外部的进药管处，将出液管口连接在设备进液的管口上，在进液管安装相应的过滤滤芯，在循环滤罐安装更细一级的过滤滤芯，开启管道药液液位计监测药液桶内的液面高度，并将传感器与隔膜泵进行连接控制，通过隔膜泵将循环桶中药液抽出并在滤芯出过滤输入循环药液溢流桶中，通过溢流的方式保持药液的循环流动，需要进行抛光液供给时、开启出液管上的蠕动泵将干净的药液进行供给给抛光机的进药管；其使得抛光药液通过自循环过滤，从而解决抛光过程中抛光液中的颗粒划伤晶片问题。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (9)
1.砷化镓抛光液自动循环过滤方法，其特征在于：抛光药液在抛光设备使用前，在供药管道进入设备后安装抛光药液自循环装置，将管道中结晶颗粒机静态滤芯反向端的结晶进行再次过滤，将静态的药液改变为动态实时过滤，避免析出颗粒结晶使得药液中颗粒增加。
2.如权利要求1所述的砷化镓抛光液自动循环过滤方法，其特征在于：抛光机的供药接口处断开，安装抛光药液自循环过滤装置，将过滤循环系统的进液管连接在外部的进药管处，将出液管口连接在设备进液的管口上，在进液管安装相应的过滤滤芯，在循环滤罐安装更细一级的过滤滤芯，开启管道药液液位计监测药液桶内的液面高度，并将传感器与隔膜泵进行连接控制，通过隔膜泵将循环桶中药液抽出并在滤芯出过滤输入循环药液溢流桶中，通过溢流的方式保持药液的循环流动，需要进行抛光液供给时、开启出液管上的蠕动泵将干净的药液进行供给给抛光机的进药管。
3.砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其特征在于：其包括药液桶，所述药液桶的上端盖装有顶盖，所述顶盖上预设有管路插孔、溢流桶安装接口，所述溢流桶安装接口下凸部分固装有循环药液溢流桶，所述循环药液溢流桶上设置有旁通溢流孔连通所述药液桶的内腔，所述药液桶的内腔内盛放有砷化镓抛光液，进液管上安装药管过滤罐芯后通过管路贯穿对应的管路插孔后连通至所述药液桶的内腔，其还包括有循环管，所述循环管的一端内插于药液桶的内腔的底部区域，所述循环管的一部分外露于所述药液桶后、其另一端置于所述循环药液溢流桶的内腔，出液管的进液部分位于所述循环药液溢流桶的内腔，所述出液管的出液部分安装蠕动泵后连接至抛光机的进药管。
4.如权利要求3所述的砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其特征在于：所述药液桶内还排布有若干冷凝管。
5.如权利要求3所述的砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其特征在于：所述循环管的外露于所述药液桶的部分设置沿着流向分别设置有隔膜泵、循环滤芯，所述循环滤芯的过滤精度优于所述药管过滤罐芯的过滤精度。
6.如权利要求3所述的砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其特征在于：所述药液桶内还设置有液位计，所述液位计沿着药液桶的高度方向布置。
7.如权利要求3所述的砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其特征在于：所述循环管的一端贯穿对应的管路插孔后内插于药液桶的内腔的底部区域。
8.如权利要求3所述的砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其特征在于：所述循环管的一端、进液管对应的管路插孔上盖装有端盖连接头，端盖连接头确保循环管、进液管对应于顶盖位置的封装连接。
9.如权利要求3所述的砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其特征在于：所述循环管的另一端、出液管分别通过溢流桶安装接口安装于所述循环药液溢流桶的旁通溢流孔的下方位置区域，所述溢流桶安装接口的上凸表面盖装有封装盖。
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Legal Events
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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