CN111521566A - 基于双波混合的激光超声无损检测系统 - Google Patents

基于双波混合的激光超声无损检测系统 Download PDF

Info

Publication number
CN111521566A
CN111521566A CN202010518297.6A CN202010518297A CN111521566A CN 111521566 A CN111521566 A CN 111521566A CN 202010518297 A CN202010518297 A CN 202010518297A CN 111521566 A CN111521566 A CN 111521566A
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser
module
reflector
signal
output end
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202010518297.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111521566B (zh
Inventor
邢广振
杨平
王敏
钱飞明
王珂
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
National Institute of Metrology
Original Assignee
National Institute of Metrology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by National Institute of Metrology filed Critical National Institute of Metrology
Priority to CN202010518297.6A priority Critical patent/CN111521566B/zh
Publication of CN111521566A publication Critical patent/CN111521566A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111521566B publication Critical patent/CN111521566B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/1717—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with a modulation of one or more physical properties of the sample during the optical investigation, e.g. electro-reflectance
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
    • G01N21/45—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length using interferometric methods; using Schlieren methods
    • G01N21/453—Holographic interferometry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
    • G01N2021/1706—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids in solids
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/1717—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with a modulation of one or more physical properties of the sample during the optical investigation, e.g. electro-reflectance
    • G01N2021/1725—Modulation of properties by light, e.g. photoreflectance
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N2021/1765—Method using an image detector and processing of image signal
    • G01N2021/177—Detector of the video camera type
    • G01N2021/1772—Array detector
    • G01N2021/1774—Line array detector

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

本发明公开了一种基于双波混合的激光超声无损检测扫描系统，该系统包括激光激励模块、被测样本(5)、激光超声检测模块(6)、上位机采集控制模块(7)和扫描机构(8)。其中激光激励模块包括脉冲激光器(1)、反光镜(2)、反光镜(3)和柱面镜(4)。本发明基于双波混合的激光超声无损检测系统采用数字解调的方式提高了系统的抗干扰能力，同时使多路信号更好地同步；采用线偏振光能利用偏振分束器有效的控制参考光和信号光的光强，避免了反射光对激光源的干扰。

Description

基于双波混合的激光超声无损检测系统
技术领域
本发明涉及超声无损检测领域，特别涉及一种基于双波混合的激光超声无损检测系统。
背景技术
超声无损检测是指在不破坏被测物体的材料结构或特性的条件下，应用超声检测的方法，对各种材料进行检测，用于评估这些材料的安全性、有效性。传统超声检测方法通常采用压电换能器进行接触式检测，然而这种方法无法用于一些高温、高压等恶劣环境的无损检测，且对于非规则结构检测效率低下。而激光超声由于其非接触，空间分辨率高等优点很好地弥补了这些不足。
在进行激光超声无损检测时，利用脉冲激光器产生激光脉冲，入射到被测样本表面，由于热弹效应(激光脉冲短时、能量高且作用区域小，会在入射点附近表面区域内产生很高的热梯度，从而使得样本表面发生应变形成应力场)，会在样本内部产生超声波。同时利用激光干涉仪检测超声振动信号，之后对超声信号进行分析，就能得到被测样本的缺陷信息。虽然激光超声具备传统技术所没有的很多优势，但是也存在很多问题，其中最迫切需要解决的问题是热弹效应产生信号幅值较小。针对这个问题可以改进激光干涉仪结构以提高其检测灵敏度以及信噪比。为了解决上述问题，本发明提出一种基于双波混合的激光超声无损检测的系统，
发明内容
本发明的主要目的是提出一种基于双波混合的激光超声无损检测的系统，旨在提高无损检测的抗干扰能力以及检测精度。
为实现上述目的，本发明提出一种基于双波混合的激光超声无损检测的系统，应用于非接触无损检测。
本发明系统包括激光激励模块(1)、被测样本(5)、激光超声检测模块(6)、上位机采集控制模块(7)和扫描机构(8)；所述激光激励模块(1)的光路输出端投射在所述被测样本(5)上，所述扫描机构(8)上设置有所述被测样本(5)，所述激光超声检测模块(6)采集所述被测样本(5)的反射光路信号，所述激光超声检测模块(6)的输出端与所述上位机采集控制模块(7)的输入端连接，所述激光激励模块包括脉冲激光器(1)、反光镜(2)、反光镜(3)和柱面镜(4)；所述脉冲激光器(1)的输出端与所述反光镜(2)的输入端连接，所述反光镜(2)的输出端与所述反光镜(3)的输入端连接，所述反光镜(3)的输出端与所述柱面镜(4)的输入端连接，所述柱面镜(4)的输出端投射在所述被测样本(5)上。
进一步地，所述激光超声检测模块(6)包括激光器(61)、扩束镜(62)、半玻片(63)、偏振分束镜(64)、偏振分束镜(65)、反光镜(611)、压电反光镜(612)、光折变晶体(613)、反光镜(614)、柱面镜(615)和阵列探测器(616)，所述被测样本(5)的反射光路信号的输出端与所述扩束镜62的输入端连接，所述扩束镜(62)的输出端与所述偏振分束镜(64)的输入端连接，所述偏振分束镜(64)的信号光输出端与参考光输出端通过偏振透镜单元与所述光折变晶体(613)的输入端连接，所述偏振透镜单元包括四分之一玻片(66)、第一透镜(67)、第二透镜(68)和第三透镜(69)，所述偏振分束镜(64)的信号光输出端通过偏振分束镜65反射进入光折变晶体(613),所述激光超声检测模块(6)通过半玻片(63)、四分之一玻片(66)、偏振分束器(64)和偏振分束器(65)调整信号光和参考光的光强比，
进一步地，所述的激光超声检测模块设置有压电反光镜(612)用以标定振动信号输出灵敏度，所述的激光超声检测模块设置有阵列探测器16接收激光调制信号。
进一步地，所述上位机采集控制模块(7)采用了数字解调的方式对光路数据进行信号处理。
进一步地，上位机采集控制模块(7)包括数据采集卡、数据解调模块、上位机处理控制模块，所述数据解调模块通过信号进行自动增益控制，之后对各对信号进行差分或者求和，最终得到离面和面内位移信号，所述上位机处理控制模块包括波形生成模块、扫描模块以及数据处理模块，所述波形生成模块实时显示采集卡信号和离面波形信号，利用游标对波形测量并设置采样率、采样点数、耦合方式已经幅值范围，在对采集后的信号进行均值去噪、小波去噪以及小波神经网络去噪，所述扫描模块当激光光路到达要扫描区域中心后，可以设置扫描的范围以及扫描步进，选定扫描的有效波形范围，绘制在二维扫描图形信息中，数据处理模块通过串口命令控制扫描机构的丝杆位置用以调整所述被测样本(5)的位置。
进一步地，所述自动增益的方法包括在输入信号在带通滤波得到压电反光镜引入的信号后，经过希尔伯特变换能得到信号。
本发明的有益效果为：
本系统基于双波混合的激光超声无损检测系统采用数字解调的方式提高了系统的抗干扰能力，同时使多路信号更好地同步；采用线偏振光能利用偏振分束器有效的控制参考光和信号光的光强，避免了反射光对激光源的干扰。
附图说明
图1为本系统的构架示意图；
图2为激光超声检测模块光路图；
图3为自动增益控制流程图；
图4为阵列探测器接收简化原理图；
图5为上位机处理控制模块波形模块；
图6为上位机处理控制模块扫描模块；
图7为上位机处理控制模块处理模块。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明作进一步的详细说明。
如图1所示为本系统的构架示意图。在本实施例子中，该系统包括激光激励模块、被测样本、激光超声检测模块、上位机采集控制模块和扫描机构；
所述激光激励模块包括脉冲激光器1、反光镜2、反光镜3和柱面镜4。脉冲激光器1产生高能量的重复激光脉冲经过反光镜22和反光镜3入射柱面镜4，使得点光源变成线光源，提高超声信号的强度。
线光源入射到样本5表面，其能量主要以超声振动和热能的形式表现出来。由于激光脉冲短时(几纳秒)能量高且作用区域小(几十至几百微米)，会产生巨大的热量。在短时间内，这种作用无法通过热传递等作用扩散出去，就会在入射点附近表层小区域内形成很高的热梯度，从而在使得测样本表面发生应变形成应力场，进而在媒质内部产生超声波即热弹效应。通过热弹效应可以激发出多种超声信号，如横波、纵波、瑞利波和兰姆波等，并且随着能量的增大声波的幅值也会增大。热弹效应所激发出来的超声频率与多种因素有关，比如材料类型(在金属材料中其激发的频率通常小于5MHz，而在非金属材料中其激发的频率甚至能达到GHz)、激光能量功率密度等。实验时，在样本表面添加了一层聚二甲基硅氧烷(PDMS)的保护层，不但能提高激光脉冲的热转换效率，而且能一定程度上保护被测样本表面不被烧蚀。
在本实施例子中，同时利用激光超声检测模块6对超声振动信号进行检测。激光超声检测模块6具体的光路图如图2所示。激光器1产生532nm的激光经过扩束镜62后，透过半玻片63被偏振分束镜64分为信号光和参考光，它们的偏振态相互垂直。旋转半玻片可以改变激光的偏振态，与偏振分束镜64结合在一起可以改交信号光和参考光的光强比。信号光经过一个四分之一玻片66，然后被透镜67、68、69聚焦到被测样本610表面。反射回的信号光经过透镜69、68、67后再次通过四分之一玻片66，经过两次四分之一玻片66其偏振态旋转了90°。之后，信号光由偏振分束镜65反射进入光折变晶体613。同时，参考光经过压电反光镜612和反光镜611入射到光折变晶体613与信号光汇聚形成干涉全息图。由于光折变效应使光折变晶体内折射率发生变化，晶体中会形成一个动态相位光栅，它会随着光强空间分布的变化而变化。光折变效应具有一定的响应时间，如果测量光的调制频率很低，则相位光栅几乎与光强分布同步移动，使得耦合能量不发生变化，因此系统能够很好地补偿环境等引起的低频干扰。通过光栅的衍射使部分参考光与信号光在传播方向上发生干涉。干涉光经过反光镜14后，经过柱面镜615投射到阵列探测器616，输出16路阵列信号。采用阵列探测器616接收激光调制信号，不但能提高干涉仪检测灵敏度，而且可以通过阵元对之间的相互关系得到被测信号的离面和面内位移。由于光折变晶体的输出灵敏度与多种因素有关而很难定量地计算，因此在参考光路中用压电反光镜引入一个已知频率振幅的振动信号，使得输出信号中含有此信号的成分。
在本实施例子中，如图1所示，输出的16路信号通过上位机采集控制模块7中的2块8通道采集卡后得到16路输入信号。通过自动增益控制(AutomaticGainControl)，使得压电反光镜引入的信号幅值达到参考幅值从而实现对灵敏度的标定。另外，由于入射激光的能量大小不同，不同样本表面反射效率不同，自动增益控制能使输出维持在一个恒定水平。例如在参考光路引入的信号幅值为2nm，标定的输出灵敏度为100mV·nm-1，则通过增益控制使得输出信号中此信号成分的幅值为200mV便能完成灵敏度标定。
如图3所示为自动增益控制流程图，输入信号在带通滤波得到压电反光镜引入的信号后，经过希尔伯特变换能得到信号的包络：
Figure BDA0002530943800000071
其中x(t)是滤波后的信号，于是得到x(t)的解析信号：
Figure BDA0002530943800000072
则信号的包络A(t)：
Figure BDA0002530943800000073
图中λ为增益因子，决定了响应速度和控制精度；参考电压为引入参考信号的振幅与输出灵敏度的乘积。由于包络信号幅值比较稳定，不涉及信号的突变，因而不需要对其求对数进行加速。将获得的包络A(t)与参考电压进行比较，进而乘以增益因子λ调节增益放大倍数，从而实现输入信号的自动增益控制。
如图4所示阵列探测器接收简化原理图，参考光在光折变晶体衍射后与测量光发生干涉，然后入射到16元线性阵列探测器上。通过标定的灵敏度就能获得各个阵元所测得的位移。阵列探测器从a8到a-8呈对称布置，阵元a±i所对应的反射光的夹角为θi，而其测得的振动信息x±i可以表示为：
x±i＝cos(θi)sz±sin(θi)sx……………………………(4)
且
Figure BDA0002530943800000074
Figure BDA0002530943800000081
其中sz和sx分别为离面位移和面内位移。当θi足够小时公式(5)和公式(6)可以简化为：
Figure BDA0002530943800000082
Figure BDA0002530943800000083
由公式(7)和公式(8)便能获得离面位移和面内位移。根据超声传感器的面内位移和离面位移，可对超声波传感器进行标定，对层状材料微小缺陷进行检测等。
离面和面内位移由上位机处理控制模块进行显示。上位机处理控制模块包括波形模块、扫描模块以及处理模块。所述的波形模块如图5主要有四个功能：(1)显示采集卡所采集的面内和离面波形信号，利用游标对波形测量；(2)对采集卡的各个参数进行设置，例如采样率、采样点数、耦合方式已经幅值范围等；(3)可以对采集后的信号进行均值去噪、小波去噪以及小波神经网络去噪；(4)通过串口命令控制图1中的扫描机构9，并实时显示丝杠位置。
所述扫描模块如图6所示，主要有三个功能：(1)到达要扫描区域中心后，可以设置扫描的范围以及扫描步进，单位为mm；(2)可以通过二维扫描图能查看当前扫描进度；(3)可以利用游标选定扫描的有效波形范围，每到一个点，软件会找到有效范围内的最大值，并绘制在二维扫描图中。所述处理模块如图7所示，可以将扫描的所有波形进行缓存，调节时间滑轨或者输入指定时间能获取对应时间的二维数据，并绘制二维扫描图像以及三维曲面图。另外可以点击保存数据，将三维数据转换为一维数据进行存储进一步用MATLAB对扫描结果进行成像分析。
以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种基于双波混合的激光超声无损检测系统，其特征在于：该系统包括激光激励模块(1)、被测样本(5)、激光超声检测模块(6)、上位机采集控制模块(7)和扫描机构(8)；所述激光激励模块(1)的光路输出端投射在所述被测样本(5)上，所述扫描机构(8)上设置有所述被测样本(5)，所述激光超声检测模块(6)采集所述被测样本(5)的反射光路信号，所述激光超声检测模块(6)的输出端与所述上位机采集控制模块(7)的输入端连接，所述激光激励模块包括脉冲激光器(1)、反光镜(2)、反光镜(3)和柱面镜(4)；所述脉冲激光器(1)的输出端与所述反光镜(2)的输入端连接，所述反光镜(2)的输出端与所述反光镜(3)的输入端连接，所述反光镜(3)的输出端与所述柱面镜(4)的输入端连接，所述柱面镜(4)的输出端投射在所述被测样本(5)上。
2.根据权利要求1所述的基于双波混合的激光超声无损检测系统，其特征在于：所述激光超声检测模块(6)包括激光器(61)、扩束镜(62)、半玻片(63)、偏振分束镜(64)、偏振分束镜(65)、反光镜(611)、压电反光镜(612)、光折变晶体(613)、反光镜(614)、柱面镜(615)和阵列探测器(616)，所述被测样本(5)的反射光路信号的输出端与所述扩束镜62的输入端连接，所述扩束镜(62)的输出端与所述偏振分束镜(64)的输入端连接，所述偏振分束镜(64)的信号光输出端与参考光输出端通过偏振透镜单元与所述光折变晶体(613)的输入端连接，所述偏振透镜单元包括四分之一玻片(66)、第一透镜(67)、第二透镜(68)和第三透镜(69)，所述偏振分束镜(64)的信号光输出端通过偏振分束镜65反射进入光折变晶体(613),所述激光超声检测模块(6)通过半玻片(63)、四分之一玻片(66)、偏振分束器(64)和偏振分束器(65)调整信号光和参考光的光强比。
3.根据权利要求2所述的基于双波混合的激光超声无损检测系统，其特征在于：所述的激光超声检测模块设置有压电反光镜(612)用以标定振动信号输出灵敏度，所述的激光超声检测模块设置有阵列探测器16接收激光调制信号。
4.根据权利要求1所述的基于双波混合的激光超声无损检测系统，其特征在于：所述上位机采集控制模块(7)采用了数字解调的方式对光路数据进行信号处理。
5.根据权利要求1所述的基于双波混合的激光超声无损检测系统，其特征在于：上位机采集控制模块(7)包括数据采集卡、数据解调模块、上位机处理控制模块，所述数据解调模块通过信号进行自动增益控制，之后对各对信号进行差分或者求和，最终得到离面和面内位移信号，所述上位机处理控制模块包括波形生成模块、扫描模块以及数据处理模块，所述波形生成模块实时显示采集卡信号和离面波形信号，利用游标对波形测量并设置采样率、采样点数、耦合方式已经幅值范围，在对采集后的信号进行均值去噪、小波去噪以及小波神经网络去噪，所述扫描模块当激光光路到达要扫描区域中心后，可以设置扫描的范围以及扫描步进，选定扫描的有效波形范围，绘制在二维扫描图形信息中，数据处理模块通过串口命令控制扫描机构的丝杆位置用以调整所述被测样本(5)的位置。
6.根据权利要求5所述的基于双波混合的激光超声无损检测系统，其特征在于：所述自动增益的方法包括在输入信号在带通滤波得到压电反光镜引入的信号后，经过希尔伯特变换能得到信号。
CN202010518297.6A 2020-06-09 2020-06-09 基于双波混合的激光超声无损检测系统 Active CN111521566B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010518297.6A CN111521566B (zh) 2020-06-09 2020-06-09 基于双波混合的激光超声无损检测系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010518297.6A CN111521566B (zh) 2020-06-09 2020-06-09 基于双波混合的激光超声无损检测系统

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111521566A true CN111521566A (zh) 2020-08-11
CN111521566B CN111521566B (zh) 2022-11-15

Family

ID=71909801

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010518297.6A Active CN111521566B (zh) 2020-06-09 2020-06-09 基于双波混合的激光超声无损检测系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111521566B (zh)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112098336A (zh) * 2020-08-17 2020-12-18 深圳先进技术研究院 激光超声扫描成像装置以及激光超声扫描成像系统
CN112098520A (zh) * 2020-10-20 2020-12-18 北京石油化工学院 一种基于激光超声检测材料内部缺陷形状的检测系统及方法
CN112415011A (zh) * 2020-10-23 2021-02-26 武汉理工大学 用于电弧增材制件缺陷的机器人激光超声检测装置及方法
CN112505148A (zh) * 2020-12-13 2021-03-16 河南省科学院应用物理研究所有限公司 基于智能视觉和大数据的玻璃幕墙服役状态的主动安全检测系统
CN113959954A (zh) * 2021-09-02 2022-01-21 宝宇(武汉)激光技术有限公司 一种针对管材无损检测的激光超声能量补偿方法及系统
CN113984894A (zh) * 2021-10-21 2022-01-28 中国计量大学 一种基于双波混频的激光超声无损检测装置及其方法
CN114018827A (zh) * 2021-09-26 2022-02-08 宝宇(武汉)激光技术有限公司 一种基于剪切散斑干涉的激光超声无损检测设备及方法
CN114018825A (zh) * 2021-09-26 2022-02-08 宝宇(武汉)激光技术有限公司 一种高精度光折变晶体干涉无损探伤设备及方法
CN114324177A (zh) * 2021-10-21 2022-04-12 浙江大学温州研究院 一种激光超声无损检测装置及方法
CN114414658A (zh) * 2022-01-11 2022-04-29 南京大学 一种金属表面微裂纹深度的激光超声探测方法
CN115574722A (zh) * 2022-11-04 2023-01-06 中国计量科学研究院 一种自溯源干涉式位移传感器

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030020923A1 (en) * 2001-07-24 2003-01-30 Lockheed Martin Corporation Method and apparatus for using a two-wave mixing ultrasonic detection in rapid scanning applications
US6587212B1 (en) * 2000-10-31 2003-07-01 Agere Systems Inc. Method and apparatus for studying vibrational modes of an electro-acoustic device
CN1749733A (zh) * 2004-09-15 2006-03-22 株式会社拓普康 光图像计测装置
JP2009030996A (ja) * 2007-07-24 2009-02-12 Laser Gijutsu Sogo Kenkyusho 干渉縞安定化装置およびそれを用いた非破壊検査装置
CN101799453A (zh) * 2010-03-30 2010-08-11 南昌航空大学 一种新型的双波混合干涉检测超声振动装置
US20180080906A1 (en) * 2016-09-21 2018-03-22 Hitachi, Ltd. Laser measuring device and laser ultrasonic device

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6587212B1 (en) * 2000-10-31 2003-07-01 Agere Systems Inc. Method and apparatus for studying vibrational modes of an electro-acoustic device
US20030020923A1 (en) * 2001-07-24 2003-01-30 Lockheed Martin Corporation Method and apparatus for using a two-wave mixing ultrasonic detection in rapid scanning applications
CN1749733A (zh) * 2004-09-15 2006-03-22 株式会社拓普康 光图像计测装置
JP2009030996A (ja) * 2007-07-24 2009-02-12 Laser Gijutsu Sogo Kenkyusho 干渉縞安定化装置およびそれを用いた非破壊検査装置
CN101799453A (zh) * 2010-03-30 2010-08-11 南昌航空大学 一种新型的双波混合干涉检测超声振动装置
US20180080906A1 (en) * 2016-09-21 2018-03-22 Hitachi, Ltd. Laser measuring device and laser ultrasonic device

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
刘伟: "基于双波混合干涉的激光超声检测系统的研究与应用", 《万方中国学位论文数据库》 *
杨依光等: "基于光折变双波混合的激光超声检测系统研究", 《2015年后勤油料保障工程技术研讨会》 *

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112098336A (zh) * 2020-08-17 2020-12-18 深圳先进技术研究院 激光超声扫描成像装置以及激光超声扫描成像系统
CN112098520A (zh) * 2020-10-20 2020-12-18 北京石油化工学院 一种基于激光超声检测材料内部缺陷形状的检测系统及方法
CN112415011A (zh) * 2020-10-23 2021-02-26 武汉理工大学 用于电弧增材制件缺陷的机器人激光超声检测装置及方法
CN112505148A (zh) * 2020-12-13 2021-03-16 河南省科学院应用物理研究所有限公司 基于智能视觉和大数据的玻璃幕墙服役状态的主动安全检测系统
CN113959954A (zh) * 2021-09-02 2022-01-21 宝宇(武汉)激光技术有限公司 一种针对管材无损检测的激光超声能量补偿方法及系统
CN113959954B (zh) * 2021-09-02 2022-10-28 宝宇(武汉)激光技术有限公司 一种针对管材无损检测的激光超声能量补偿方法及系统
CN114018827A (zh) * 2021-09-26 2022-02-08 宝宇(武汉)激光技术有限公司 一种基于剪切散斑干涉的激光超声无损检测设备及方法
CN114018825A (zh) * 2021-09-26 2022-02-08 宝宇(武汉)激光技术有限公司 一种高精度光折变晶体干涉无损探伤设备及方法
CN114018825B (zh) * 2021-09-26 2022-12-02 宝宇(武汉)激光技术有限公司 一种高精度光折变晶体干涉无损探伤设备及方法
CN114324177A (zh) * 2021-10-21 2022-04-12 浙江大学温州研究院 一种激光超声无损检测装置及方法
CN113984894A (zh) * 2021-10-21 2022-01-28 中国计量大学 一种基于双波混频的激光超声无损检测装置及其方法
CN114414658A (zh) * 2022-01-11 2022-04-29 南京大学 一种金属表面微裂纹深度的激光超声探测方法
CN114414658B (zh) * 2022-01-11 2024-04-09 南京大学 一种金属表面微裂纹深度的激光超声探测方法
CN115574722A (zh) * 2022-11-04 2023-01-06 中国计量科学研究院 一种自溯源干涉式位移传感器
CN115574722B (zh) * 2022-11-04 2024-03-29 中国计量科学研究院 一种自溯源干涉式位移传感器

Also Published As

Publication number Publication date
CN111521566B (zh) 2022-11-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN111521566B (zh) 基于双波混合的激光超声无损检测系统
Kessler et al. Acoustic microscopy—1979
AU713650B2 (en) Method and system for 3-D acoustic microscopy using short pulse excitation and 3-D acoustic microscope for use therein
Schmitz et al. Experiences with synthetic aperture focusing technique in the field
CN103292753B (zh) 采用超声波水浸聚焦技术测量热障涂层厚度的方法
US7798000B1 (en) Non-destructive imaging, characterization or measurement of thin items using laser-generated lamb waves
CN108871640B (zh) 基于瞬态光栅激光超声表面波的残余应力无损检测系统和方法
CN107356320B (zh) 一种脉冲超声声场检测装置与方法
JPH0136584B2 (zh)
Gao et al. Defect detection using the phased-array laser ultrasonic crack diffraction enhancement method
CN103673904A (zh) 激光扫描热波成像膜厚测量方法
CN106500635A (zh) 基于激光超声的长方体工件几何尺寸测量系统
Nagata et al. Lamb wave tomography using laser-based ultrasonics
Noui et al. A laser beam deflection technique for the quantitative detection of ultrasonic Lamb waves
CN114324177A (zh) 一种激光超声无损检测装置及方法
Dawson et al. Acquisition and analysis of angle-beam wavefield data
CN115388787A (zh) 光声测量系统
Goldfain et al. Optical phase contrast imaging for absolute, quantitative measurements of ultrasonic fields with frequencies up to 20 MHz
JP2005338063A (ja) 試料の物理的な特性を測定するための装置
Dean-Ben et al. Phase and group velocity measurement of ultrasonic guided wavetrains in plates by pulsed TV holography
Jia et al. Characterization of pulsed ultrasound using optical detection in Raman-Nath regime
CN205826515U (zh) 基于表面波的声信号探测器和反射式光声显微镜
Wartelle et al. NON‐DESTRUCTIVE TESTING USING TWO‐COMPONENT/TWO‐WAVE MIXING INTERFEROMETER
Schaeffel et al. Acoustical-speckle interferometry: An analysis is presented for utilizing acoustical speckle to determine displacements on the surface or interior of an object
CN116295987B (zh) 一种基于空气耦合超声的高空间分辨率应力动态测量方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant