CN111489326A - 基于半监督深度学习的铜箔基板表面缺陷检测方法 - Google Patents

基于半监督深度学习的铜箔基板表面缺陷检测方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了基于半监督深度学习的铜箔基板表面缺陷检测方法,包括:获取铜箔基板的缺陷样本集,并对缺陷样本集中小于30%数量的缺陷样本进行标注,得到标记过的缺陷样本集(x,y)和未标记过的缺陷样本集u;构建神经网络模型Fθ;训练神经网络模型Fθ,得到最优的模型参数θ,获取最优的神经网络模型;将采集到的铜箔基板的缺陷图像输入到训练好的神经网络中,通过神经网络自动计算出铜箔基板的缺陷类别。本发明的方法只需对作为训练样本的缺陷样本集中的少量样本进行标记,无需提供大量的标记过的缺陷样本作为训练样本,节省了时间和人力物力,提高了检测效率。

Description

基于半监督深度学习的铜箔基板表面缺陷检测方法
技术领域
本发明涉及电子元器件表面缺陷检测领域,尤其涉及一种基于半监督深度学习的铜箔基板表面缺陷检测方法。
背景技术
铜箔基板作为电子元器件,在生产过程中会不可避免地产生一些外观缺陷,具体可以分为两类缺陷:一类是严重缺陷,这类产品需要在生产过程中被检测出来并被剔除;另一类是非严重缺陷,这类缺陷是可以接受的,不需要被剔除。传统的铜箔基板表面缺陷检测方法就是人工检测法,但是这种方式存在效率低、费时费力、易受人工主观影响等缺点。目前针对铜箔基板表面缺陷检测方法是基于监督深度学习的方法,但是这种基于监督深度学习的方法需要大量的标记数据作为训练样本,提供大量的标记数据作为训练样本不仅费时费力还降低了检测效率。
例如,中国专利文献CN110473173A公开了“一种基于深度学习语义分割的缺陷检测方法”,包括:制作物体表面缺陷训练图像集;完成表面缺陷图像的手动标注;搭建应用于物体表面缺陷检测的深度学习语义分割缺陷检测模型;进行深度学习语义分割缺陷检测模型的训练;基于已训练的深度学习语义分割缺陷检测模型,进行物体表面缺陷检测;得到对应输出的具有缺陷种类标签图像,获得缺陷检测结果。该专利文献公开的方法中需对表面缺陷图像进行手动标注,费时费力,易受人工主观影响。
发明内容
本发明主要解决原有的铜箔基板表面缺陷检测方法费时费力、检测效率低的技术问题;提供基于半监督深度学习的铜箔基板表面缺陷检测方法,只需对作为训练样本的缺陷样本集中的少量缺陷样本进行标记即可,无需提供大量的标记过的缺陷样本作为训练样本,节省了时间和人力物力,提高了检测效率。
本发明的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的:本发明包括下列步骤:
S1、获取铜箔基板的缺陷样本集,并对缺陷样本集中小于30%数量的缺陷样本进行标注,得到标记过的缺陷样本集(x,y)和未标记过的缺陷样本集u;
S2、构建神经网络模型Fθ
S3、训练神经网络模型Fθ,得到最优的模型参数θ,获取最优的神经网络模型;
S4、将采集到的铜箔基板的缺陷图像输入到训练好的神经网络中,通过神经网络自动计算出铜箔基板的缺陷类别。
对获取的铜箔基板的缺陷样本集中的少量缺陷样本进行标注,从而将整体的缺陷样本集分成标记过的缺陷样本集(x,y)和未标记过的缺陷样本集u,结合标记过的缺陷样本集(x,y)和未标记过的缺陷样本集u对构建的神经网络进行训练获取最优的神经网络模型,最后将采集到的铜箔基板的缺陷图像输入到训练好的神经网络中,通过神经网络自动计算出铜箔基板的缺陷类别,完成铜箔基板的缺陷类别检测判别,本发明的方法只需对作为训练样本的缺陷样本集中的少量样本进行标记,无需提供大量的标记过的缺陷样本作为训练样本,节省了时间和人力物力,提高了检测效率。
作为优选,所述的步骤S3中,在训练神经网络模型前设定迭代周期和收敛精度,在训练迭代的过程中,当迭代周期达到设定值或模型精度达到收敛精度则退出训练,得到最优的模型参数,获取最优的神经网络模型。
在训练神经网络模型的过程中,当迭代周期达到设定值或模型精度达到收敛精度则退出训练,对训练过程进行限定,在保证得到最优神经网络模型的前提下缩短训练过程,减少了检测时间。
作为优选,所述的迭代运算过程包括:
A1、对标记过的缺陷样本集(x,y)进行数据增强,形成新的标记缺陷样本集(a_x,a_y);
A2、对未标记过的缺陷样本集u进行数据增强,获取增强过的图像;再将图像输入神经网络模型Fθ进行运算,预测每张图像所对应的缺陷类别;
A3、重复步骤A2;
A4、将步骤A2和步骤A3中增强过的图像以及每张图像所对应的缺陷类别打乱混合在一起,形成新的未标记缺陷样本集(a_u,a_p);
A5、对步骤A1中的标记缺陷样本集(a_x,a_y)和步骤A4中的未标记缺陷样本集(a_u,a_p)进行混合匹配,形成新的标记缺陷样本集(x′,y′)和新的未标记缺陷样本集(u′,p′);
A6、将标记的图像样本x′输入到神经网络Fθ进行预测,得到预测的缺陷类别Fθ(x');
A7、将未标记的图像样本u′输入到神经网络Fθ进行预测,得到预测的缺陷类别Fθ(u');
A8、计算损失函数loss;
A9、用优化器进行计算,得到更新的神经网络参数θ。
通过对标记缺陷样本集(a_x,a_y)和未标记缺陷样本集(a_u,a_p)的混合匹配以及损失函数loss和优化器的加权对神经网络参数θ进行优化,即对神经网络模型进行优化,提高了检测的准确性。
作为优选,所述的步骤A5具体包括:
A51、将步骤A1中的标记缺陷样本集(a_x,a_y)和步骤A4中的未标记缺陷样本集(a_u,a_p)打乱混合在一起,得到缺陷样本集(W,Q);
A52、从缺陷样本集(W,Q)中取前n个样本组成缺陷样本集(Wx,Qx),缺陷样本集(W,Q)中剩余的样本组成缺陷样本集(Wu,Qu),其中n为标记缺陷样本集(a_x,a_y)中样本的个数;
A53、将标记缺陷样本集(a_x,a_y)和缺陷样本集(Wx,Qx)进行匹配计算,得到新的标记缺陷样本集(x′,y′):
λ=Beta(α,α)
λ'=max(λ,1-λ)
x'=λ'×a_x+(1-λ')×Wx
y'=λ'×a_y+(1-λ′)×Qx
其中,α为超参数,Beta为Beta分布函数;
A54、将未标记缺陷样本集(a_u,a_p)和缺陷样本集(Wu,Qu)进行匹配计算,得到新的未标记缺陷样本集(u′,p′):
λ=Beta(α,α)
λ′=max(λ,1-λ)
u′=λ′×a_u+(1-λ′)×Wu
p′=λ′×a_p+(1-λ′)×Qu
其中,α为超参数,Beta为Beta分布函数。
作为优选,所述的步骤A8具体包括:
A81、计算标记样本集中的缺陷类别y′和预测的缺陷类别Fθ(x′)之间的交叉熵损失函数,得到监督损失函数LS
Figure BDA0002365155740000051
A82、计算未标记样本集中的缺陷类别p′和预测的缺陷类别Fθ(u′)之间的均方误差LMSE
Figure BDA0002365155740000052
A83、计算未标记样本集中的缺陷类别p′和预测的缺陷类别Fθ(u′)之间的LK散度LKL
Figure BDA0002365155740000053
A84、计算无监督损失函数LU
λ1=Beta(α,α)
λ1′=max(λ1,1-λ1)
LU=λ1′LMSE+(1-λ1′)LKL
其中,α为超参数,Beta为Beta分布函数;
A85、计算损失函数loss:
λ2=Beta(α,α)
loss=LS2LU
其中,α为超参数,Beta为Beta分布函数。
作为优选,所述的步骤A1和步骤A2中的数据增强技术为水平翻转技术。
采用数据增强技术扩大了缺陷样本集中的样本数量,避免了实际应用过程中样本数量少从而导致神经网络模型的训练结果无法达到最优的问题,保障了检测结果的准确性。
作为优选,所述的步骤S2中的神经网络模型Fθ为基于残差模块构建的43层卷积神经网络模型。
神经网络模型Fθ为基于残差模块构建的43层卷积神经网络模型,网络层数与网络性能成正比,即网络层数越多,网络的性能越好,对未标记样本集中的缺陷类别预测结果更加准确。基于残差模块构建可解决网络层数增加造成训练集的准确率饱和甚至下降的问题。
本发明的有益效果是:1)只需对作为训练样本的缺陷样本集中的少量样本进行标记,无需提供大量的标记过的缺陷样本作为训练样本,节省了时间和人力物力,提高了检测效率;2)通过对标记缺陷样本集(a_x,a_y)和未标记缺陷样本集(a_u,a_p)的混合匹配以及损失函数loss和优化器的加权对神经网络参数θ进行优化,即对神经网络模型进行优化,提高了检测的准确性。
附图说明
图1是本发明方法的一种流程图。
图2是本发明方法中迭代周期的运算流程图。
图3是本发明方法中神经网络模型的结构示意图。
图4是本发明方法中残差模块的结构示意图。
具体实施方式
下面通过实施例,并结合附图,对本发明的技术方案作进一步具体的说明。
实施例:本实施例的基于半监督深度学习的铜箔基板表面缺陷检测方法,如图1所示,包括:
S1、获取铜箔基板的缺陷样本集,并对缺陷样本集中小于30%数量的缺陷样本进行标注,得到标记过的缺陷样本集(x,y)和未标记过的缺陷样本集u。
S2、构建神经网络模型Fθ,如图3~4所示,神经网络模型Fθ是基于ResNet中的残差模块构建的43层卷积神经网络模型,模型的输入尺寸大小为512×512:
神经网络模型Fθ的第一单元为一个卷积层Conv1,是16个感受野大小为3×3的卷积核,步长为2,该层输出为16通道、尺寸为256×256的特征图;
第二单元是Block1,含有1个残差模块,有两层卷积层,每层都是32个感受野大小为3×3的卷积核,其中第一层的步长为2,第二层的步长为1,该单元的输出为32通道、尺寸为128×128的特征图;
第三单元是Block2,含有3个残差模块,每个残差模块都有两层卷积层,每层都是32个感受野大小为3×3的卷积核,每一层的步长都为1,该单元的输出为尺寸为128×128的特征图;
第四单元是Block3,含有1个残差模块,有两层卷积层,每层都是64个感受野大小为3×3的卷积核,其中第一层的步长为2,第二层的步长为1,该单元的输出为64通道、尺寸为64×64的特征图;
第五单元是Block4,含有3个残差模块,每个残差模块都是两层卷积层,每层都是64个感受野大小为3×3的卷积核,每层的步长都为1,该单元的输出为64通道、尺寸为64×64的特征图;
第六单元是Block5,含有1个残差模块,有两层卷积层,每层都是128个感受野大小为3×3的卷积核,其中第一层的步长为2,第二层的步长为1,该单元的输出为128通道、尺寸为32×32的特征图;
第七单元是Block6,含有3个残差模块,每个残差模块都是两层卷积层,每层都是128个感受野大小为3×3的卷积核,每层的步长都为1,该单元的输出为128通道、尺寸为32×32的特征图;
第八单元是Block7,含有1个残差模块,有两层卷积层,每层都是256个感受野大小为3×3的卷积核,其中第一层的步长为2,第二层的步长为1,该单元的输出为256通道、尺寸为16×16的特征图;
第九单元是Block8,含有3个残差模块,每个残差模块都是两层卷积层,每层都是256个感受野大小为3×3的卷积核,每层的步长都为1,该单元的输出为256通道、尺寸为16×16的特征图;
第十单元是Block9,含有1个残差模块,有两层卷积层,每层都是512个感受野大小为3×3的卷积核,其中第一层的步长为2,第二层的步长为1,该单元的输出为512通道、尺寸为8×8的特征图;
第十一单元是Block10,含有3个残差模块,每个残差模块都是两层卷积层,每层都是512个感受野大小为3×3的卷积核,每层的步长都为1,该单元的输出为512通道、尺寸为8×8的特征图;
第十二单元是平均池化层,是感受野大小为8×8的卷积核,步长为1,该单元的输出为512通道、尺寸为1×1的特征图;
第十三单元是softmax层,用于计算输出分类概率。
S3、设定迭代周期和收敛精度,迭代训练神经网络模型Fθ,当迭代周期达到设定值(比如1024)或模型精度达到收敛精度(比如99.9%)则退出训练,得到最优的模型参数θ,获取最优的神经网络模型,其中如图2所示,每一个迭代周期的迭代运算过程包括:
A1、对标记过的缺陷样本集(x,y)进行数据增强,形成新的标记缺陷样本集(a_x,a_y),其中数据增强技术采用的是水平翻转技术;
A2、对未标记过的缺陷样本集u进行数据增强,获取增强过的图像;再将图像输入神经网络模型Fθ进行运算,预测每张图像所对应的缺陷类别,其中数据增强技术采用的是水平翻转技术;
A3、重复步骤A2;
A4、将步骤A2和步骤A3中增强过的图像以及每张图像所对应的缺陷类别打乱混合在一起,形成新的未标记缺陷样本集(a_u,a_p);
A5、对步骤A1中的标记缺陷样本集(a_x,a_y)和步骤A4中的未标记缺陷样本集(a_u,a_p)进行混合匹配,形成新的标记缺陷样本集(x′,y′)和新的未标记缺陷样本集(u′,p′),具体包括:
A51、将步骤A1中的标记缺陷样本集(a_x,a_y)和步骤A4中的未标记缺陷样本集(a_u,a_p)打乱混合在一起,得到缺陷样本集(W,Q);
A52、从缺陷样本集(W,Q)中取前n个样本组成缺陷样本集(Wx,Qx),缺陷样本集(W,Q)中剩余的样本组成缺陷样本集(Wu,Qu),其中n为标记缺陷样本集(a_x,a_y)中样本的个数;
A53、将标记缺陷样本集(a_x,a_y)和缺陷样本集(Wx,Qx)进行匹配计算,得到新的标记缺陷样本集(x′,y′):
λ=Beta(α,α)
λ'=max(λ,1-λ)
x′=λ′×a_x+(1-λ′)×Wx
y′=λ′×a_y+(1-λ′)×Qx
其中,α为超参数,Beta为Beta分布函数;
A54、将未标记缺陷样本集(a_u,a_p)和缺陷样本集(Wu,Qu)进行匹配计算,得到新的未标记缺陷样本集(u′,p′):
λ=Beta(α,α)
λ′=max(λ,1-λ)
u′=λ′×a_u+(1-λ′)×Wu
p′=λ′×a_p+(1-λ′)×Qu
其中,α为超参数,Beta为Beta分布函数;
A6、将标记的图像样本x′输入到神经网络Fθ进行预测,得到预测的缺陷类别Fθ(x′);
A7、将未标记的图像样本u′输入到神经网络Fθ进行预测,得到预测的缺陷类别Fθ(u′);
A8、计算损失函数loss,具体包括:
A81、计算标记样本集中的缺陷类别y′和预测的缺陷类别Fθ(x′)之间的交叉熵损失函数,得到监督损失函数LS
Figure BDA0002365155740000101
A82、计算未标记样本集中的缺陷类别p′和预测的缺陷类别Fθ(u′)之间的均方误差LMSE
Figure BDA0002365155740000102
A83、计算未标记样本集中的缺陷类别p′和预测的缺陷类别Fθ(u′)之间的LK散度LKL
Figure BDA0002365155740000103
A84、计算无监督损失函数LU
λ1=Beta(α,α)
λ1′=max(λ1,1-λ1)
LU=λ1′LMSE+(1-λ1′)LKL
其中,α为超参数,Beta为Beta分布函数;
A85、计算损失函数loss:
λ2=Beta(α,α)
loss=LS2LU
其中,α为超参数,Beta为Beta分布函数;
A9、用优化器进行计算,得到更新的神经网络参数θ。
S4、将采集到的铜箔基板的缺陷图像输入到训练好的神经网络中,通过神经网络自动计算出铜箔基板的缺陷类别。
本领域的技术人员容易理解,以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.基于半监督深度学习的铜箔基板表面缺陷检测方法,其特征在于包括下列步骤:
S1、获取铜箔基板的缺陷样本集,并对缺陷样本集中小于30%数量的缺陷样本进行标注,得到标记过的缺陷样本集(x,y)和未标记过的缺陷样本集u;
S2、构建神经网络模型Fθ
S3、训练神经网络模型Fθ,得到最优的模型参数θ,获取最优的神经网络模型;
S4、将采集到的铜箔基板的缺陷图像输入到训练好的神经网络中,通过神经网络自动计算出铜箔基板的缺陷类别。
2.根据权利要求1所述的基于半监督深度学习的铜箔基板表面缺陷检测方法,其特征在于所述步骤S3中,在训练神经网络模型前设定迭代周期和收敛精度,在训练迭代的过程中,当迭代周期达到设定值或模型精度达到收敛精度则退出训练,得到最优的模型参数,获取最优的神经网络模型。
3.根据权利要求2所述的基于半监督深度学习的铜箔基板表面缺陷检测方法,其特征在于所述迭代运算过程包括:
A1、对标记过的缺陷样本集(x,y)进行数据增强,形成新的标记缺陷样本集(a_x,a_y);
A2、对未标记过的缺陷样本集u进行数据增强,获取增强过的图像;再将图像输入神经网络模型Fθ进行运算,预测每张图像所对应的缺陷类别;
A3、重复步骤A2;
A4、将步骤A2和步骤A3中增强过的图像以及每张图像所对应的缺陷类别打乱混合在一起,形成新的未标记缺陷样本集(a_u,a_p);
A5、对步骤A1中的标记缺陷样本集(a_x,a_y)和步骤A3中的未标记缺陷样本集(a_u,a_p)进行混合匹配,形成新的标记缺陷样本集(x′,y′)和新的未标记缺陷样本集(u′,p′);
A6、将标记的图像样本x′输入到神经网络Fθ进行预测,得到预测的缺陷类别Fθ(x′);
A7、将未标记的图像样本u′输入到神经网络Fθ进行预测,得到预测的缺陷类别Fθ(u′);
A8、计算损失函数loss;
A9、用优化器进行计算,得到更新的神经网络参数θ。
4.根据权利要求3所述的基于半监督深度学习的铜箔基板表面缺陷检测方法,其特征在于所述步骤A5具体包括:
A51、将步骤A1中的标记缺陷样本集(a_x,a_y)和步骤A3中的未标记缺陷样本集(a_u,a_p)打乱混合在一起,得到缺陷样本集(W,Q);
A52、从缺陷样本集(W,Q)中取前n个样本组成缺陷样本集(Wx,Qx),缺陷样本集(W,Q)中剩余的样本组成缺陷样本集(Wu,Qu),其中n为标记缺陷样本集(a_x,a_y)中样本的个数;
A53、将标记缺陷样本集(a_x,a_y)和缺陷样本集(Wx,Qx)进行匹配计算,得到新的标记缺陷样本集(x′,y′):
λ=Beta(α,α)
λ′=max(λ,1-λ)
x′=λ′×a_x+(1-λ′)×Wx
y′=λ′×a_y+(1-λ′)×Qx
其中,α为超参数,Beta为Beta分布函数;
A54、将未标记缺陷样本集(a_u,a_p)和缺陷样本集(Wu,Qu)进行匹配计算,得到新的未标记缺陷样本集(u′,p′):
λ=Beta(α,α)
λ′=max(λ,1-λ)
u′=λ′×a_u+(1-λ′)×Wu
p′=λ′×a_p+(1-λ′)×Qu
其中,α为超参数,Beta为Beta分布函数。
5.根据权利要求3所述的基于半监督深度学习的铜箔基板表面缺陷检测方法,其特征在于所述步骤A8具体包括:
A81、计算标记样本集中的缺陷类别y′和预测的缺陷类别Fθ(x′)之间的交叉熵损失函数,得到监督损失函数LS
Figure FDA0002365155730000031
A82、计算未标记样本集中的缺陷类别p′和预测的缺陷类别Fθ(u′)之间的均方误差LMSE
Figure FDA0002365155730000032
A83、计算未标记样本集中的缺陷类别p′和预测的缺陷类别Fθ(u')之间的LK散度LKL
Figure FDA0002365155730000033
A84、计算无监督损失函数LU
λ1=Beta(α,α)
λ1′=max(λ1,1-λ1)
LU=λ1′LMSE+(1-λ1′)LKL
其中,α为超参数,Beta为Beta分布函数;
A85、计算损失函数loss:
λ2=Beta(α,α)
loss=LS2LU
其中,α为超参数,Beta为Beta分布函数。
6.根据权利要求3所述的基于半监督深度学习的铜箔基板表面缺陷检测方法,其特征在于所述步骤A1和步骤A2中的数据增强技术为水平翻转技术。
7.根据权利要求1所述的基于半监督深度学习的铜箔基板表面缺陷检测方法,其特征在于所述步骤S2中的神经网络模型Fθ为基于残差模块构建的43层卷积神经网络模型。
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