CN111144672A - 工艺配方正确性验证方法及系统、存储介质和电子设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种工艺配方正确性验证方法及系统、存储介质和电子设备，涉及集成电路技术领域。该工艺配方正确性验证方法包括：确定下载至机台的工艺配方作为第一工艺配方；确定第一工艺配方下载至机台后机台上传的工艺配方作为第二工艺配方；将第一工艺配方与第二工艺配方进行比对；如果第一工艺配方与第二工艺配方相同，则确定机台运行的工艺配方正确。本公开可以确定出下载到机台的工艺配方是否正确。

Description

工艺配方正确性验证方法及系统、存储介质和电子设备

技术领域

本公开涉及集成电路技术领域，具体而言，涉及一种工艺配方正确性验证方法、工艺配方正确性验证系统、存储介质和电子设备。

背景技术

在半导体制造技术领域中，用于制造的各个机台联合作业，可以构建出半导体产品的生产过程。机台在工作前，需要将工艺配方导入机台，以使机台按配方的规则进行运转。针对不同的工艺过程，机台的工艺配方不尽相同。另外，针对同一机台，由于工艺改良、产品差异性等原因，工艺配方也会存在差异。

在将工艺配方导入机台后，由于机台系统错误或人为操作失误等原因，机台实际运行的配方可能与导入的工艺配方不同。例如，当前期望运行工艺配方8，将工艺配方8导入机台，而机台本身存储有工艺配方1、工艺配方2、工艺配方3等，在实际运行的过程中，由于机台系统出错，可能运行的是工艺配方2。另外，在机台本身未存储有工艺配方的情况下，也可能存在系统数据错误而造成运行的工艺配方错误的问题。这种未依照意愿进行的生产过程，会对企业带来巨大的经济损失。

目前，可以通过人为实时监测的方式来判断工艺配方是否正确。然而，这种方式需要消耗大量的人力资源，并且在工艺配方比较复杂的场景下，人为监测也可能出现疏漏。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本公开的目的在于提供一种工艺配方正确性验证方法、工艺配方正确性验证系统、存储介质和电子设备，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的工艺配方下载到机台后无法确定工艺配方是否正确的问题。

根据本公开的一个方面，提供一种工艺配方正确性验证方法，包括：确定下载至机台的工艺配方作为第一工艺配方；确定第一工艺配方下载至机台后机台上传的工艺配方作为第二工艺配方；将第一工艺配方与第二工艺配方进行比对；如果第一工艺配方与第二工艺配方相同，则确定机台运行的工艺配方正确。

可选地，确定下载至机台的工艺配方作为第一工艺配方包括：获取待下载至机台的工艺配方；向机台自动化程序系统发送下载命令，以控制机台自动化程序系统将待下载至机台的工艺配方下载至机台；确定机台反馈的下载结果作为第一工艺配方。

可选地，工艺配方预先存储至云端；其中，获取待下载至机台的工艺配方包括：从云端获取待下载至机台的工艺配方。

可选地，确定机台反馈的下载结果作为第一工艺配方包括：向机台自动化程序系统发送反馈命令，以控制机台自动化程序系统从机台获取下载结果；确定下载结果作为第一工艺配方。

可选地，确定第一工艺配方下载至机台后机台上传的工艺配方作为第二工艺配方包括：在第一工艺配方下载至机台后，向机台自动化程序系统发送上传命令，以控制机台自动化程序系统从机台获取上传的工艺配方作为第二工艺配方。

可选地，如果第一工艺配方与第二工艺配方相同，则可以记录第一工艺配方与第二工艺配方相同的比对结果，并将程序执行次数加1。

可选地，在机台运行正确的工艺配方后，工艺配方正确性验证方法还包括：向机台自动化程序系统发送删除命令，以控制机台自动化程序系统从机台中删除工艺配方。

可选地，如果第一工艺配方与第二工艺配方不相同，则工艺配方正确性验证方法还包括：向机台自动化程序系统发送停止命令，以控制机台停止运行；以及/或者记录比对的结果，并将比对的结果反馈给工艺人员，以便工艺人员进行分析并重新进行配方配置。

可选地，确定下载至机台的工艺配方作为第一工艺配方之前，工艺配方正确性验证方法还包括：获取配置文件，配置文件包含验证的执行时间间隔和执行总次数；其中，如果未到达执行总次数，每隔执行时间间隔，执行确定下载至机台的工艺配方作为第一工艺配方的操作。

可选地，工艺配方正确性验证方法还包括：在验证的执行次数达到执行总次数后，汇总验证工艺配方正确性的结果。

根据本公开的一个方面，提供一种工艺配方正确性验证系统，该工艺配方正确性验证系统可以包括第一配方确定模块、第二配方确定模块、配方比较模块和正确性确定模块。

具体的，第一配方确定模块可以用于确定下载至机台的工艺配方作为第一工艺配方；第二配方确定模块可以用于确定第一工艺配方下载至机台后机台上传的工艺配方作为第二工艺配方；配方比较模块可以用于将第一工艺配方与第二工艺配方进行比对；正确性确定模块可以用于如果第一工艺配方与第二工艺配方相同，则确定机台运行的工艺配方正确。

可选地，第一配方确定模块可以包括配方获取单元、配方下载单元和第一配方确定单元。

具体的，配方获取单元可以用于获取待下载至机台的工艺配方；配方下载单元可以用于向机台自动化程序系统发送下载命令，以控制机台自动化程序系统将待下载至机台的工艺配方下载至机台；第一配方确定单元可以用于确定机台反馈的下载结果作为第一工艺配方。

可选地，工艺配方预先存储至云端；其中，配方获取单元可以包括配方获取子单元。

具体的，配方获取子单元可以用于从云端获取待下载至机台的工艺配方。

可选地，第一配方确定单元可以包括反馈命令发送子单元和第一配方确定子单元。

具体的，反馈命令发送子单元可以用于向机台自动化程序系统发送反馈命令，以控制机台自动化程序系统从机台获取下载结果；第一配方确定子单元可以用于确定下载结果作为第一工艺配方。

可选地，第二配方确定模块可以包括第二配方确定单元。

具体的，第二配方确定单元可以用于在第一工艺配方下载至机台后，向机台自动化程序系统发送上传命令，以控制机台自动化程序系统从机台获取上传的工艺配方作为第二工艺配方。

可选地，工艺配方正确性验证系统还可以包括配方删除模块。

具体的，配方删除模块可以用于向机台自动化程序系统发送删除命令，以控制机台自动化程序系统从机台中删除工艺配方。

可选地，工艺配方正确性验证系统还可以包括控制机台停止模块。

具体的，控制机台停止模块可以用于如果第一工艺配方与第二工艺配方不相同，向机台自动化程序系统发送停止命令，以控制机台停止运行；

可选地，工艺配方正确性验证系统还可以包括比对结果反馈模块。

具体的，比对结果反馈模块可以用于如果第一工艺配方与第二工艺配方不相同，记录比对的结果，并将比对的结果反馈给工艺人员，以便工艺人员进行分析并重新进行配方配置。

可选地，工艺配方正确性验证系统还可以包括配置文件获取模块。

具体的，配置文件获取模块可以用于获取配置文件，配置文件包含验证的执行时间间隔和执行总次数；其中，如果未到达执行总次数，每隔执行时间间隔，执行确定下载至机台的工艺配方作为第一工艺配方的操作。

可选地，工艺配方正确性验证系统还可以包括验证结果汇总模块。

具体的，验证结果汇总模块可以用于在验证的执行次数达到执行总次数后，汇总验证工艺配方正确性的结果。

根据本公开的一个方面，提供一种存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现上述任意一项的工艺配方正确性验证方法。

根据本公开的一个方面，提供一种电子设备，包括：处理器；以及存储器，用于存储处理器的可执行指令；其中，处理器配置为经由执行可执行指令来执行上述任意一项的工艺配方正确性验证方法。

在本公开的一些实施例所提供的技术方案中，确定下载到机台的工艺配方以及之后从机台上传的工艺配方，如果两个工艺配方相同，则可以确定机台运行的工艺配方正确。通过本公开的方案可以自动验证下载到机台的工艺配方的正确性，而无需人工参与，确保机台生产出的产品满足预期，可以避免由于工艺配方的错误带来的巨大经济损失。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：

图1示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的工艺配方正确性验证方法的流程图；

图2示意性示出了根据本公开的一些实施例的工艺配方正确性验证方法的处理过程的流程图；

图3示意性示出了根据本公开的第一示例性实施方式的工艺配方正确性验证系统的方框图；

图4示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的第一配方确定模块的方框图；

图5示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的配方获取单元的方框图；

图6示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的第一配方确定单元的方框图；

图7示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的第二配方确定模块的方框图；

图8示意性示出了根据本公开的第二示例性实施方式的工艺配方正确性验证系统的方框图；

图9示意性示出了根据本公开的第三示例性实施方式的工艺配方正确性验证系统的方框图；

图10示意性示出了根据本公开的第四示例性实施方式的工艺配方正确性验证系统的方框图；

图11示意性示出了根据本公开的第五示例性实施方式的工艺配方正确性验证系统的方框图；

图12示意性示出了根据本公开的第六示例性实施方式的工艺配方正确性验证系统的方框图；

图13示意性示出了根据本公开的一些实施例的实现工艺配方正确性验证的系统架构的方框图；

图14示出了根据本公开的示例性实施方式的存储介质的示意图；以及

图15示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的电子设备的方框图。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施方式使得本公开将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而省略所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、装置、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知技术方案以避免喧宾夺主而使得本公开的各方面变得模糊。

此外，附图仅为本公开的示意性图解，并非一定是按比例绘制。图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。附图中所示的一些方框图是功能实体，不一定必须与物理或逻辑上独立的实体相对应。可以采用软件形式来实现这些功能实体，或在一个或多个硬件模块或集成电路中实现这些功能实体，或在不同网络和/或处理器装置和/或微控制器装置中实现这些功能实体。

附图中所示的流程图仅是示例性说明，不是必须包括所有的步骤。例如，有的步骤还可以分解，而有的步骤可以合并或部分合并，因此实际执行的顺序有可能根据实际情况改变。本公开使用的术语“第一”、“第二”仅是为了区分的目的，不应当理解为是本公开内容的限制。

本公开所述的工艺配方正确定验证方法可以由一服务器来实现，该服务器可以是独立于制造执行系统(Manufacturing Execution System，MES)的处理单元。然而，该服务器还可以部署在制造执行系统内，本公开对此不做特殊限制。在这种情况下，本公开所述的工艺配方正确定验证系统可以包含于该服务器中。

图1示意性示出了本公开的示例性实施方式的工艺配方正确性验证方法的流程图。参考图1，所述工艺配方正确性验证方法可以包括以下步骤：

S12.确定下载至机台的工艺配方作为第一工艺配方。

在本公开的示例性实施方式中，机台可以是在半导体产品生产过程中使用到的任意的需要工艺配方来实现制造或测试功能的设备，本公开对机台的类型、功能不做任何限定。另外，工艺配方可以是加载至机台，用于实现工艺流程的文件。工艺配方可以包含工艺流程中不可或缺的工艺参数信息，例如，温度、时间、添加辅助气体的时刻、冷却方式等等，此外，工艺配方还可以包括配方的版本号、适用机台型号等信息。工艺配方通常由工艺设计人员根据产品需求和历史经验自行设定，本公开对工艺配方的文档格式、内容均不作特殊限定。

具体的，可以通过以下方式还确定下载至机台的工艺配方。

首先，服务器可以获取待下载至机台的工艺配方。与相关技术不同的是，相关技术的工艺配方存储至机台对应的电脑硬盘中，而本公开将预先配置的工艺配方存储至云端，由此，一方面，可以确保工艺配方的安全性，另外，可以对云端配置访问权限设置，由此，进一步提高了工艺配方的安全性；另一方面，可以有效避免由于误操作导致工艺配方丢失。在这种情况下，服务器可以从云端获取待下载至机台的工艺配方。

接下来，服务器可以向机台自动化程序(Equipment Automation Process，EAP)系统发送下载命令，以控制机台自动化程序系统将获取的工艺配方下载至机台。

随后，在机台下载工艺配方后，服务器可以确定机台反馈的下载结果，并将该下载结果确定为第一工艺配方。具体的，服务器可以向机台自动化程序系统发送反馈命令，以控制机台自动化程序系统从机台获取下载结果。

应当注意的是，本公开确定第一工艺配方的过程是基于机台自动化程序来实现，也就是说，本公开所述的服务器与各机台不直接建立数据传输关系。然而，可以理解的是，服务器还可以直接将工艺配方发送至各机台，这也应当属于本公开的保护范围。

S14.确定第一工艺配方下载至机台后机台上传的工艺配方作为第二工艺配方。

在本公开的示例性实施方式中，服务器可以从机台获取工艺配方。具体的，服务器可以向机台自动化程序系统发送上传命令，机台自动化程序系统响应该上传命令可以从机台获取上传的工艺配方作为第二工艺配方。

S16.将第一工艺配方与第二工艺配方进行比对。

基于工艺配方格式类型的不同，可以采用不同的文档对比方法进行第一工艺配方与第二工艺配方的比对，本公开对比对的方式不做特殊限制。

服务器可以对比对的结果进行记录，并将比对的结果发送给工艺人员。

S18.如果第一工艺配方与第二工艺配方相同，则确定机台运行的工艺配方正确。

本公开所述的第一工艺配方与第二工艺配方相同可以指代两个配方文档的内容完全相同。

在第一工艺配方与第二工艺配方相同的情况下，服务器可以记录第一工艺配方与第二工艺配方的比对结果，并将程序执行次数加1，累加程序执行次数有助于后续进行配方程序的统计工作。

如果第一工艺配方与第二工艺配方相同，则说明机台下载运行的工艺配方是当前工艺人员期望的配方。在这种情况下，机台可以顺利执行工艺配方中记载的工艺流程，进而获得与该工艺配方对应的期望得到的产品。

根据本公开的一些实施例，在机台运行正确的工艺配方后，服务器控制机台删除该工艺配方。具体的，服务器可以向机台自动化程序系统发送删除命令，机台自动化程序系统可以响应该删除命令从机台中删除该工艺配方。另外，针对下载的工艺配方不正确的情况，可以直接删除机台下载的该工艺配方。

根据本公开的一些实施例，如果确定出第一工艺配方与第二工艺配方不相同，则服务器可以记录比对的结果，并将该结果反馈给工艺人员，以便工艺人员进行分析，以确定是哪一环节出现系统错误。工艺人员还可以重新进行配方配置，并利用上述步骤将新配置的工艺配方下载至机台，再次执行验证过程。

此外，服务器可以控制机台停止运行，以避免由于运行错误的工艺配方造成经济损失。具体的，服务器可以向机台自动化程序系统发送停止命令，机台自动化程序系统可以响应该停止命令控制机台停止运行。

根据本公开的一些实施例，在执行上述步骤S12至步骤S18之前，服务器可以获取配置文件，其中，配置文件包含上述验证过程需要执行的执行时间间隔和执行总次数，本公开对执行时间间隔和执行总次数不做特殊限制。

服务器可以判断当前执行的验证过程的次数累加是否达到执行总次数，如果未达到执行总次数，每隔执行时间间隔，服务器可以执行上述步骤S12的过程，并依次执行步骤S14至步骤S18的过程。

在验证的执行次数达到执行总次数后，服务器可以汇总验证工艺配方正确性的结果，并将该汇总的结果反馈给工艺人员。在这种情况下，工艺人员可以基于该汇总的结果确定机台是否进行保养。

图2示意性示出了根据本公开的一些实施例的工艺配方正确性验证方法的处理过程的流程图。

参考图2，在步骤S202中，服务器可以加载配置文件；在步骤S204中，服务器可以判断是否将工艺配方下载至机台，如果未下载，步骤跳转至S214，如果已下载，则获取机台反馈的下载结果，步骤跳转至S206；在步骤S206中，服务器可以获取机台上传的工艺配方；在步骤S208中，服务器可以将下载结果对应的工艺配方与机台上传的工艺配方进行比较，以确定两个配方是否相同，如果相同，则跳转至步骤S210，如果不相同，则跳转至步骤S212；在步骤S212中，服务器可以备份机台下载的工艺配方，以便进行分析；在步骤S210中，服务器可以删除机台下载的工艺配方；在步骤S214中，服务器可以将配方比对的结果以及上述验证过程的日志通过电子邮箱的方式发送至工艺人员。

综上所述，根据本公开的工艺配方正确性验证方法，一方面，可以自动验证下载到机台的工艺配方的正确性，而无需人工参与，确保机台生产出的产品满足预期，可以避免由于工艺配方的错误带来的巨大经济损失；另一方面，本公开描述的方案不影响生产线的正常运作；再一方面，本公开将工艺配方配置在云端，相比于相关技术将工艺配方存储至机台，安全性得到了提高，且可以有效避免由于误操作导致工艺配方丢失的问题。

应当注意，尽管在附图中以特定顺序描述了本公开中方法的各个步骤，但是，这并非要求或者暗示必须按照该特定顺序来执行这些步骤，或是必须执行全部所示的步骤才能实现期望的结果。附加的或备选的，可以省略某些步骤，将多个步骤合并为一个步骤执行，以及/或者将一个步骤分解为多个步骤执行等。

进一步的，本示例实施方式中还提供了一种工艺配方正确性验证系统。

图3示意性示出了本公开的示例性实施方式的工艺配方正确性验证系统的方框图。参考图3，根据本公开的示例性实施方式的工艺配方正确性验证系统3可以包括包括第一配方确定模块31、第二配方确定模块33、配方比较模块35和正确性确定模块37。

具体的，第一配方确定模块31可以用于确定下载至机台的工艺配方作为第一工艺配方；第二配方确定模块33可以用于确定第一工艺配方下载至机台后机台上传的工艺配方作为第二工艺配方；配方比较模块35可以用于将第一工艺配方与第二工艺配方进行比对；正确性确定模块37可以用于如果第一工艺配方与第二工艺配方相同，则确定机台运行的工艺配方正确。

根据本公开的示例性实施例，参考图4，第一配方确定模块31可以包括配方获取单元401、配方下载单元403和第一配方确定单元405。

具体的，配方获取单元401可以用于获取待下载至机台的工艺配方；配方下载单元403可以用于向机台自动化程序系统发送下载命令，以控制机台自动化程序系统将待下载至机台的工艺配方下载至机台；第一配方确定单元405可以用于确定机台反馈的下载结果作为第一工艺配方。

根据本公开的示例性实施例，工艺配方预先存储至云端；其中，参考图5，配方获取单元401可以包括配方获取子单元5001。

具体的，配方获取子单元5001可以用于从云端获取待下载至机台的工艺配方。

根据本公开的示例性实施例，参考图6，第一配方确定单元405可以包括反馈命令发送子单元6001和第一配方确定子单元6003。

具体的，反馈命令发送子单元6001可以用于向机台自动化程序系统发送反馈命令，以控制机台自动化程序系统从机台获取下载结果；第一配方确定子单元6003可以用于确定下载结果作为第一工艺配方。

根据本公开的示例性实施例，参考图7，第二配方确定模块33可以包括第二配方确定单元701。

具体的，第二配方确定单元701可以用于在第一工艺配方下载至机台后，向机台自动化程序系统发送上传命令，以控制机台自动化程序系统从机台获取上传的工艺配方作为第二工艺配方。

根据本公开的示例性实施例，参考图8，工艺配方正确性验证系统8相比于工艺配方正确性验证系统3，还可以包括配方删除模块81。

具体的，配方删除模块81可以用于向机台自动化程序系统发送删除命令，以控制机台自动化程序系统从机台中删除工艺配方。

根据本公开的示例性实施例，参考图9，工艺配方正确性验证系统9相比于工艺配方正确性验证系统3，还可以包括控制机台停止模块91。

具体的，控制机台停止模块91可以用于如果第一工艺配方与第二工艺配方不相同，向机台自动化程序系统发送停止命令，以控制机台停止运行；

根据本公开的示例性实施例，参考图10，工艺配方正确性验证系统10相比于工艺配方正确性验证系统3，还可以包括比对结果反馈模块101。

具体的，比对结果反馈模块101可以用于如果第一工艺配方与第二工艺配方不相同，记录比对的结果，并将比对的结果反馈给工艺人员，以便工艺人员进行分析并重新进行配方配置。

根据本公开的示例性实施例，参考图11，工艺配方正确性验证系统11相比于工艺配方正确性验证系统3，还可以包括配置文件获取模块111。

具体的，配置文件获取模块111可以用于获取配置文件，配置文件包含验证的执行时间间隔和执行总次数；其中，如果未到达执行总次数，每隔执行时间间隔，执行确定下载至机台的工艺配方作为第一工艺配方的操作。

根据本公开的示例性实施例，参考图12，工艺配方正确性验证系统12相比于工艺配方正确性验证系统11，工艺配方正确性验证系统还可以包括验证结果汇总模块121。

具体的，验证结果汇总模块121可以用于在验证的执行次数达到执行总次数后，汇总验证工艺配方正确性的结果。

根据本公开的工艺配方正确性验证系统，一方面，可以自动验证下载到机台的工艺配方的正确性，而无需人工参与，确保机台生产出的产品满足预期，可以避免由于工艺配方的错误带来的巨大经济损失；另一方面，本公开描述的方案不影响生产线的正常运作；再一方面，本公开将工艺配方配置在云端，相比于相关技术将工艺配方存储至机台，安全性得到了提高，且可以有效避免由于误操作导致工艺配方丢失的问题。

由于本发明实施方式的程序运行性能分析装置的各个功能模块与上述方法发明实施方式中相同，因此在此不再赘述。

图13示意性示出了根据本公开一些实施例的实现工艺配方正确性验证的系统架构的方框图。

参考图13，本公开一些实施例的实现工艺配方正确性验证的系统架构可以包括工艺配方正确性验证系统130、工艺配方文档131、配置文件132、制造执行系统133、机台控制系统134、机台自动化程序系统135、机台136和邮件系统137。

具体的，工艺配方正确性验证系统130可以用于实现上述工艺配方正确性验证的过程；工艺配方文档131可以用于存放各类机台的工艺配方；配置文件132可以用于记载执行验证的规则；制造执行系统133可以用于统筹各机台进行制造的过程，例如，可以控制产品的传送路径以及执行对制造数据的分析处理；机台控制系统134可以用于响应制造执行系统133的命令控制机台自动化程序系统135；机台自动化程序系统135可以用于响应各方的控制指令完成响应的数据传输或控制动作；机台136可以用于执行工艺配方完成半导体产品的制造；邮件系统137可以用于将工艺配方正确性验证系统130产生的数据以邮件的方式发送给开发人员，以便开发人员进行数据分析以及工艺调整。

在本公开的示例性实施例中，还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有能够实现本说明书上述方法的程序产品。在一些可能的实施方式中，本发明的各个方面还可以实现为一种程序产品的形式，其包括程序代码，当所述程序产品在终端设备上运行时，所述程序代码用于使所述终端设备执行本说明书上述“示例性方法”部分中描述的根据本发明各种示例性实施方式的步骤。

参考图14所示，描述了根据本发明的实施方式的用于实现上述方法的程序产品1400，其可以采用便携式紧凑盘只读存储器(CD-ROM)并包括程序代码，并可以在终端设备，例如个人电脑上运行。然而，本发明的程序产品不限于此，在本文件中，可读存储介质可以是任何包含或存储程序的有形介质，该程序可以被指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用。

所述程序产品可以采用一个或多个可读介质的任意组合。可读介质可以是可读信号介质或者可读存储介质。可读存储介质例如可以为但不限于电、磁、光、电磁、红外线、或半导体的系统、装置或器件，或者任意以上的组合。可读存储介质的更具体的例子(非穷举的列表)包括：具有一个或多个导线的电连接、便携式盘、硬盘、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、可擦式可编程只读存储器(EPROM或闪存)、光纤、便携式紧凑盘只读存储器(CD-ROM)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。

计算机可读信号介质可以包括在基带中或者作为载波一部分传播的数据信号，其中承载了可读程序代码。这种传播的数据信号可以采用多种形式，包括但不限于电磁信号、光信号或上述的任意合适的组合。可读信号介质还可以是可读存储介质以外的任何可读介质，该可读介质可以发送、传播或者传输用于由指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用的程序。

可读介质上包含的程序代码可以用任何适当的介质传输，包括但不限于无线、有线、光缆、RF等等，或者上述的任意合适的组合。

可以以一种或多种程序设计语言的任意组合来编写用于执行本发明操作的程序代码，所述程序设计语言包括面向对象的程序设计语言—诸如Java、C++等，还包括常规的过程式程序设计语言—诸如“C”语言或类似的程序设计语言。程序代码可以完全地在用户计算设备上执行、部分地在用户设备上执行、作为一个独立的软件包执行、部分在用户计算设备上部分在远程计算设备上执行、或者完全在远程计算设备或服务器上执行。在涉及远程计算设备的情形中，远程计算设备可以通过任意种类的网络，包括局域网(LAN)或广域网(WAN)，连接到用户计算设备，或者，可以连接到外部计算设备(例如利用因特网服务提供商来通过因特网连接)。

在本公开的示例性实施例中，还提供了一种能够实现上述方法的电子设备。

所属技术领域的技术人员能够理解，本发明的各个方面可以实现为系统、方法或程序产品。因此，本发明的各个方面可以具体实现为以下形式，即：完全的硬件实施方式、完全的软件实施方式(包括固件、微代码等)，或硬件和软件方面结合的实施方式，这里可以统称为“电路”、“模块”或“系统”。

下面参照图15来描述根据本发明的这种实施方式的电子设备1500。图15显示的电子设备1500仅仅是一个示例，不应对本发明实施例的功能和使用范围带来任何限制。

如图15所示，电子设备1500以通用计算设备的形式表现。电子设备1500的组件可以包括但不限于：上述至少一个处理单元1510、上述至少一个存储单元1520、连接不同系统组件(包括存储单元1520和处理单元1510)的总线1530、显示单元1540。

其中，所述存储单元存储有程序代码，所述程序代码可以被所述处理单元1510执行，使得所述处理单元1510执行本说明书上述“示例性方法”部分中描述的根据本发明各种示例性实施方式的步骤。例如，所述处理单元1510可以执行如图1中所示的步骤S12至步骤S18。

存储单元1520可以包括易失性存储单元形式的可读介质，例如随机存取存储单元(RAM)15201和/或高速缓存存储单元15202，还可以进一步包括只读存储单元(ROM)15203。

存储单元1520还可以包括具有一组(至少一个)程序模块15205的程序/实用工具15204，这样的程序模块15205包括但不限于：操作系统、一个或者多个应用程序、其它程序模块以及程序数据，这些示例中的每一个或某种组合中可能包括网络环境的实现。

总线1530可以为表示几类总线结构中的一种或多种，包括存储单元总线或者存储单元控制器、外围总线、图形加速端口、处理单元或者使用多种总线结构中的任意总线结构的局域总线。

电子设备1500也可以与一个或多个外部设备1600(例如键盘、指向设备、蓝牙设备等)通信，还可与一个或者多个使得用户能与该电子设备1500交互的设备通信，和/或与使得该电子设备1500能与一个或多个其它计算设备进行通信的任何设备(例如路由器、调制解调器等等)通信。这种通信可以通过输入/输出(I/O)接口1550进行。并且，电子设备1500还可以通过网络适配器1560与一个或者多个网络(例如局域网(LAN)，广域网(WAN)和/或公共网络，例如因特网)通信。如图所示，网络适配器1560通过总线1530与电子设备1500的其它模块通信。应当明白，尽管图中未示出，可以结合电子设备1500使用其它硬件和/或软件模块，包括但不限于：微代码、设备驱动器、冗余处理单元、外部磁盘驱动阵列、RAID系统、磁带驱动器以及数据备份存储系统等。

通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员易于理解，这里描述的示例实施方式可以通过软件实现，也可以通过软件结合必要的硬件的方式来实现。因此，根据本公开实施方式的技术方案可以以软件产品的形式体现出来，该软件产品可以存储在一个非易失性存储介质(可以是CD-ROM，U盘，移动硬盘等)中或网络上，包括若干指令以使得一台计算设备(可以是个人计算机、服务器、终端装置、或者网络设备等)执行根据本公开实施方式的方法。

此外，上述附图仅是根据本发明示例性实施例的方法所包括的处理的示意性说明，而不是限制目的。易于理解，上述附图所示的处理并不表明或限制这些处理的时间顺序。另外，也易于理解，这些处理可以是例如在多个模块中同步或异步执行的。

应当注意，尽管在上文详细描述中提及了用于动作执行的设备的若干模块或者单元，但是这种划分并非强制性的。实际上，根据本公开的实施方式，上文描述的两个或更多模块或者单元的特征和功能可以在一个模块或者单元中具体化。反之，上文描述的一个模块或者单元的特征和功能可以进一步划分为由多个模块或者单元来具体化。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其他实施例。本申请旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由权利要求指出。

应当理解的是，本公开并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本公开的范围仅由所附的权利要求来限。

Claims (10)

1.一种工艺配方正确性验证方法，其特征在于，包括：

确定下载至机台的工艺配方作为第一工艺配方；

确定所述第一工艺配方下载至所述机台后所述机台上传的工艺配方作为第二工艺配方；

将所述第一工艺配方与所述第二工艺配方进行比对；

如果所述第一工艺配方与所述第二工艺配方相同，则确定所述机台运行的工艺配方正确。

2.根据权利要求1所述的工艺配方正确性验证方法，其特征在于，确定下载至机台的工艺配方作为第一工艺配方包括：

获取待下载至机台的工艺配方；

向机台自动化程序系统发送下载命令，以控制所述机台自动化程序系统将所述待下载至机台的工艺配方下载至所述机台；

确定所述机台反馈的下载结果作为第一工艺配方。

3.根据权利要求1所述的工艺配方正确性验证方法，其特征在于，确定所述第一工艺配方下载至所述机台后所述机台上传的工艺配方作为第二工艺配方包括：

在所述第一工艺配方下载至所述机台后，向机台自动化程序系统发送上传命令，以控制所述机台自动化程序系统从所述机台获取上传的工艺配方作为第二工艺配方。

4.根据权利要求1所述的工艺配方正确性验证方法，其特征在于，如果所述第一工艺配方与所述第二工艺配方相同，则所述工艺配方正确性验证方法还包括：

记录所述第一工艺配方与所述第二工艺配方相同的比对结果，并将程序执行次数加1。

5.根据权利要求1所述的工艺配方正确性验证方法，其特征在于，在机台运行正确的工艺配方后，所述工艺配方正确性验证方法还包括：

向机台自动化程序系统发送删除命令，以控制机台自动化程序系统从所述机台中删除所述工艺配方。

6.根据权利要求1所述的工艺配方正确性验证方法，其特征在于，如果所述第一工艺配方与所述第二工艺配方不相同，则所述工艺配方正确性验证方法还包括：

向机台自动化程序系统发送停止命令，以控制所述机台停止运行；以及/或者

记录比对的结果，并将比对的结果反馈给工艺人员，以便工艺人员进行分析并重新进行配方配置。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的工艺配方正确性验证方法，其特征在于，确定下载至机台的工艺配方作为第一工艺配方之前，所述工艺配方正确性验证方法还包括：

获取配置文件，所述配置文件包含验证的执行时间间隔和执行总次数；

其中，如果未到达所述执行总次数，每隔所述执行时间间隔，执行确定下载至机台的工艺配方作为第一工艺配方的操作；如果达到所述执行总次数，则汇总验证工艺配方正确性的结果。

8.一种工艺配方正确性验证系统，其特征在于，包括：

第一配方确定模块，用于确定下载至机台的工艺配方作为第一工艺配方；

第二配方确定模块，用于确定所述第一工艺配方下载至所述机台后所述机台上传的工艺配方作为第二工艺配方；

配方比较模块，用于将所述第一工艺配方与所述第二工艺配方进行比对；

正确性确定模块，用于如果所述第一工艺配方与所述第二工艺配方相同，则确定所述机台运行的工艺配方正确。

9.一种存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至7中任一项所述的工艺配方正确性验证方法。

10.一种电子设备，其特征在于，包括：

处理器；以及

存储器，用于存储所述处理器的可执行指令；

其中，所述处理器配置为经由执行所述可执行指令来执行权利要求1至7中任一项所述的工艺配方正确性验证方法。

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