CN111129940B - 一种半导体激光器光路整形方法及相关装置 - Google Patents

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Abstract

本申请公开了一种半导体激光器光路整形方法及相关装置,方法包括:通过第一预置等腰直角棱镜将预置激光器阵列的激光聚合成第一预置宽度的带状光束;将带状光束通过投影成像系统进行预置比例缩束,得到第二预置宽度的目标光束;通过在目标光束的垂直方向上设置的单块柱面透镜将目标光束准直,并成像至预置晶体的中心,目标光束的焦深大于晶体沿目标光束方向的尺寸。本申请解决了现有技术对激光器的光路进行整形对柱面透镜的需求量太大,而大尺寸的柱面透镜的加工和检测难度系数大,导致成本偏高的技术问题。

Description

一种半导体激光器光路整形方法及相关装置
技术领域
本申请涉及光学设计和半导体激光器领域,尤其涉及一种半导体激光器光路整形方法及相关装置。
背景技术
板条激光放大器为了增强激光晶体的散热效果、获取更多的激光功率并保持激光器输出的激光具有优良的光束质量,需要把增益晶体设计成薄的长条形状,同时为了有效地利用晶体的增益区域,需要将泵浦激光器输出的光斑整形成长条形以达到模式的匹配。现有的方案多是使用柱面透镜组对水平和竖直方向的光斑分别进行整形,从而实现将光斑整形成所需要的尺寸;或者利用柱面透镜和球面透镜结合的方式对光束进行整形,但是这些方法中对柱面透镜的数量需求较大,且依赖性较强,但是,大尺寸的柱面透镜的加工和检测的难度系数较大,且所需的成本也较高。
发明内容
本申请提供了一种半导体激光器光路整形方法及相关装置,用于解决现有技术对激光器的光路进行整形对柱面透镜的需求量太大,而大尺寸的柱面透镜的加工和检测难度系数大,导致成本偏高的技术问题。
有鉴于此,本申请第一方面提供了一种半导体激光器光路整形方法,包括:
通过第一预置等腰直角棱镜将预置激光器阵列的激光聚合成第一预置宽度的带状光束;
将所述带状光束通过投影成像系统进行预置比例缩束,得到第二预置宽度的目标光束,所述第二预置宽度小于所述第一预置宽度,所述投影成像系统包括球面透镜的双远心投影成像系统;
通过在所述目标光束的垂直方向上设置的单块柱面透镜将所述目标光束准直,并成像至预置晶体的中心,所述目标光束的焦深大于所述晶体沿所述目标光束方向的尺寸。
优选地,所述通过第一预置直角棱镜将预置激光器阵列的激光聚合成第一预置宽度的带状光束,之前还包括:
采用微透镜阵列对所述预置激光器输出的激光的慢轴进行准直;
采用柱面透镜对所述预置激光器输出的激光的快轴进行准直。
优选地,所述通过第一预置等腰直角棱镜将预置激光器阵列的激光聚合成第一预置宽度的带状光束,具体包括:
通过至少两个第二预置等腰直角棱镜将预置激光器阵列的激光粗聚合成至少两路第三预置宽度的预置光束,所述第三预置宽度小于所述第一预置宽度;
通过所述第一预置等腰直角棱镜将水平对应的两路所述预置光束聚合成所述第一预置宽度的所述带状光束。
优选地,所述第一预置等腰直角棱镜的直角边至少为所述预置光束的宽度的
Figure BDA0002346943640000021
倍;
相应地,所述第二预置等腰直角棱镜的直角边至少为所述预置激光器阵列输出的激光的宽度的
Figure BDA0002346943640000022
倍。
本申请第二方面提供了一种半导体激光器光路整形装置,包括:
聚合模块,用于通过第一预置等腰直角棱镜将预置激光器阵列的激光聚合成第一预置宽度的带状光束;
缩束模块,用于将所述带状光束通过投影成像系统进行预置比例缩束,得到第二预置宽度的目标光束,所述第二预置宽度小于所述第一预置宽度,所述投影成像系统包括球面透镜的双远心投影成像系统;
准直模块,用于通过在所述目标光束的垂直方向上设置的单块柱面透镜将所述目标光束准直,并成像至预置晶体的中心,所述目标光束的焦深大于所述晶体沿所述目标光束方向的尺寸。
优选地,还包括:
慢轴准直模块,用于采用微透镜阵列对所述预置激光器输出的激光的慢轴进行准直;
快轴准直模块,用于采用柱面透镜对所述预置激光器输出的激光的快轴进行准直。
优选地,所述聚合模块具体用于:
通过至少两个第二预置等腰直角棱镜将预置激光器阵列的激光粗聚合成至少两路第三预置宽度的预置光束,所述第三预置宽度小于所述第一预置宽度;
通过所述第一预置等腰直角棱镜将水平对应的两路所述预置光束聚合成所述第一预置宽度的所述带状光束。
优选地,所述第一预置等腰直角棱镜的直角边至少为所述预置光束的宽度的
Figure BDA0002346943640000031
倍;
相应地,所述第二预置等腰直角棱镜的直角边至少为所述预置激光器阵列输出的激光的宽度的
Figure BDA0002346943640000032
倍。
本申请第三方面提供了一种半导体激光器光路整形设备,其特征在于,所述设备包括处理器以及存储器:
所述存储器用于存储程序代码,并将所述程序代码传输给所述处理器;
所述处理器用于根据所述程序代码中的指令执行第一方面提供的任一项半导体激光器光路整形方法。
本申请第四方面提供了一种计算机可读存储介质,其特征在于,所述计算机可读存储介质用于存储程序代码,所述程序代码用于执行第一方面提供的任一项半导体激光器光路整形方法。
从以上技术方案可以看出,本申请实施例具有以下优点:
本申请中,提供了一种半导体激光器光路整形方法,包括:通过第一预置等腰直角棱镜将预置激光器阵列的激光聚合成第一预置宽度的带状光束;将带状光束通过投影成像系统进行预置比例缩束,得到第二预置宽度的目标光束,第二预置宽度小于第一预置宽度,投影成像系统包括球面透镜的双远心投影成像系统;通过在目标光束的垂直方向上设置的单块柱面透镜将目标光束准直,并成像至预置晶体的中心,目标光束的焦深大于晶体沿目标光束方向的尺寸。
本申请提供的半导体激光器光路整形方法中,通过等腰直角棱镜获取带状光束,这个带状光束具有一定的宽度,是由至少两个光束聚合而来的,便于后续的光束的加工,避免大量光的发散,导致获取的目标光束能量较小;在带状光束的延伸方向上设置球面透镜的双远心投影成像系统,按照实际需求进行一定比例的缩束,就可以得到目标光束,为了避免光路不够平直,加上单片柱面透镜进行准直,确保获取的激光光束的稳定性和可靠性。对光路的整形并未直接涉及到使用柱面透镜,而球面透镜的应用较广,成本较低,且加工精度的检测比较简单,直接降低了光路整形中的成本消耗。因此,本申请提供的半导体激光器光路整形方法解决了现有技术对激光器的光路进行整形对柱面透镜的需求量太大,而大尺寸的柱面透镜的加工和检测难度系数大,导致成本偏高的技术问题。
附图说明
图1为本申请提供的一种半导体激光器光路整形方法的实施例一的流程示意图;
图2为本申请提供的一种半导体激光器光路整形方法的实施例二的流程示意图;
图3为本申请实施例提供的带状光束形成过程俯视示意图;
图4为本申请实施例提供的带状光束形成过程侧视示意图;
图5为本申请实施例提供的激光器光路成像过程侧视示意图;
图6为本申请实施例提供的激光器光路成像过程的侧视图;
图7为本申请提供的一种半导体激光器光路整形装置的实施例的结构示意图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案,下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
为了便于理解,请参阅图1,本申请提供的一种半导体激光器光路整形方法的实施例一,包括:
步骤101、通过第一预置等腰直角棱镜将预置激光器阵列的激光聚合成第一预置宽度的带状光束。
需要说明的是,本实施例中从激光器获取到的光并非是多种方向发散的光斑,采用直角棱镜将激光器输出的光斑转化为带状的光束,从光束的源头上根据实际需求设置光束的长宽比。使用的直角棱镜的边长需要与其聚合的激光束相匹配,使得激光器输出的光束均被聚合,避免光束的发散损失;使用的直角棱镜的长度需要与激光器阵列的层数相匹配,因此,直角棱镜的尺寸需要根据实际对激光的需求而设定,才能得到目标光束。
步骤102、将带状光束通过投影成像系统进行预置比例缩束,得到第二预置宽度的目标光束,第二预置宽度小于第一预置宽度。
其中,投影成像系统包括球面透镜的双远心投影成像系统。
需要说明的是,现有的板条晶体泵浦光的光路使用的是多块柱面透镜的方法对激光器阵列的光进行整形,而目前国内柱面镜检测技术相对球面镜差,很多地方柱面镜加工完之后很难进行精确地测量和校准,可能导致光路整形的效果较差,成本也较高,所以本实施例选择使用球面透镜对光路进行整形,缩束激光的尺寸,由于球面透镜的加工和检测手段比较成熟,所以本实施例的光路整形方法成本低的同时,得到的光束质量更好。
步骤103、通过在目标光束的垂直方向上设置的单块柱面透镜将目标光束准直,并成像至预置晶体的中心,目标光束的焦深大于晶体沿目标光束方向的尺寸。
需要说明的是,该部分是对得到的光束进行准直操作,准直光束的操作可以根据需要设置在光路缩束之前,也可以设置在光路缩束之后,在此不作限定,并不影响本实施例的执行。用到的承接光束的晶体是长方体,长和宽按照实际需求设定,厚度一般在1mm左右,因为,目标光束的焦深要大于晶体沿光束方向的尺寸,一般晶体竖直放置,垂直于光束,光束的延伸方向就是晶体的厚度;倘若整形后的光束的焦深较小,具体的比晶体的厚度小,就会出现断面截光的情况,从而影响整个系统的光耦合效率和可靠性。
本实施例提供的半导体激光器光路整形方法中,通过等腰直角棱镜获取带状光束,这个带状光束具有一定的宽度,是由至少两个光束聚合而来的,便于后续的光束的加工,避免光大量的发散,导致获取的目标光束能量较小;在带状光束的延伸方向上设置球面透镜的双远心投影成像系统,按照实际需求进行一定比例的缩束,就可以得到目标光束,为了避免光路不够平直,加上单片柱面透镜进行准直,确保获取的激光光束的稳定性和可靠性。对光路的整形并未直接涉及到使用柱面透镜,而球面透镜的应用较广,成本较低,且加工精度的检测比较简单,直接降低了光路整形中的成本消耗。因此,本实施例提供的半导体激光器光路整形方法解决了现有技术对激光器的光路进行整形对柱面透镜的需求量太大,而大尺寸的柱面透镜的加工和检测难度系数大,导致成本偏高的技术问题。
为了便于理解,请参阅图2,本申请实施例中提供了一种半导体激光器光路整形方法的实施例二,包括:
步骤201、采用微透镜阵列对预置激光器输出的激光的慢轴进行准直。
步骤202、采用一块柱面透镜对预置激光器输出的激光的快轴进行准直。
需要说明的是,之所以需要对光路的慢快轴准直,是为了在光源处确保激光束为直光输出,减少激光束的发散损失,获取能量更大的激光,一般的,经过慢快轴准直的激光可以确保激光在慢轴和快轴上的发散角分别为:60mrad和4mrad。
步骤203、通过至少两个第二预置等腰直角棱镜将预置激光器阵列的激光粗聚合成至少两路第三预置宽度的预置光束。
需要说明的是,具体的光束聚合可以参阅图3,图3为设置长宽比例的光束聚合的过程,图中仅展示了一个水平面上的四个激光器的光束聚合过程,并不能限定本方案中的激光器阵列中的激光器数量和层数,仅作为示例。其中,两个小三角形为第二预置等腰直角棱镜,分别将左右两边均匀分布的四个激光器的激光进行聚合,得到双倍宽度的激光束。使用的直角棱镜的边长需要与其聚合的激光束相匹配,使得激光器输出的光束均被聚合,避免光束的发散损失;使用的直角棱镜的长度需要与激光器阵列的层数相匹配,因此,直角棱镜的尺寸需要根据实际对激光的需求而设定。在激光器阵列为多层时,激光束的宽度不变,厚度增加,即激光束的数量增加,但是,光束的整形过程不变。一般情况,单层激光束的厚度为1mm。
步骤204、通过第一预置等腰直角棱镜将水平对应的两路预置光束聚合成第一预置宽度的带状光束。
其中,第三预置宽度小于第一预置宽度。
需要说明的是,第一预置等腰直角棱镜的直角边至少为预置光束的宽度的
Figure BDA0002346943640000071
倍;相应地,第二预置等腰直角棱镜的直角边至少为预置激光器阵列输出的激光的宽度的
Figure BDA0002346943640000072
倍。请参阅图3,其中,中间的大三角形为第一预置等腰直角棱镜,将两边的较小的两个三棱镜聚合的光束再次聚合得到宽度更大的激光束,即带状光束。
步骤205、将带状光束通过投影成像系统进行预置比例缩束,得到第二预置宽度的目标光束,第二预置宽度小于第一预置宽度。
其中,投影成像系统包括球面透镜的双远心投影成像系统。
需要说明的是,现有的板条晶体泵浦光的光路使用的是多块柱面透镜的方法对激光器阵列的光进行整形,而目前国内柱面镜检测技术相对球面镜差,很多地方柱面镜加工完之后很难进行精确地测量和校准,可能导致光路整形的效果较差,成本也较高,所以本实施例选择使用球面透镜对光路进行整形,缩束激光的尺寸,由于球面透镜的加工和检测手段比较成熟,所以本实施例的光路整形方法成本低的同时,得到的光束质量更好。
需要说明的是,现有的板条晶体泵浦光的光路使用的是多块柱面透镜的方法对激光器阵列的光进行整形,而目前国内柱面镜检测技术相对球面镜差,很多地方柱面镜加工完之后很难进行精确地测量和校准,可能导致光路整形的效果较差,成本也较高,所以本实施例选择使用球面透镜对光路进行整形,缩束激光的尺寸,由于球面透镜的加工和检测手段比较成熟,所以本实施例的光路整形方法成本低的同时,得到的光束质量更好。
步骤206、通过在目标光束的垂直方向上设置的单块柱面透镜将目标光束准直,并成像至预置晶体的中心,目标光束的焦深大于晶体沿目标光束方向的尺寸。
需要说明的是,该部分是对得到的光束进行准直操作,准直光束的操作可以根据需要设置在光路缩束之前,请参阅图3和图4,经聚合后得到的带状光束向原理第一预置等腰直角三角形的方向延伸,垂直于光束的长方体即为柱面透镜;也可以设置在光路缩束之后,在此不作限定,并不影响本实施例的执行。用到的承接光束的晶体是长方体,长和宽按照实际需求设定,厚度一般在1mm左右,因为,目标光束的焦深要大于晶体沿光束方向的尺寸,一般晶体竖直放置,垂直于光束,光束的延伸方向就是晶体的厚度;倘若整形后的光束的焦深较小,具体的比晶体的厚度小,就会出现断面截光的情况,从而影响整个系统的光耦合效率和可靠性。
为了便于理解,举一个具体的应用例,请参阅图3和图4,图3为本实施例提供的带状光束形成过程的俯视图,图4为本实施例提供的带状光束形成过程的侧视图,图5为本实施例提供的激光器光路成像过程的侧视图,图6为本实施例提供的激光器光路成像过程的侧视图。主要以单层激光器阵列为例,图中的左右两边均匀的设置了在同一水平面上的四个激光器,左右两边较小的三角形为第二预置等腰直角棱镜,较大的三角形为第一预置等腰直角棱镜,四个激光器输出的激光宽度均为10mm,且输出的激光束在同一高度上,并具有相同的俯仰角;可知第二预置等腰直角棱镜的直角边长均为
Figure BDA0002346943640000081
左边的直角棱镜将左边的两个激光器输出的10mm的光束聚合成了宽度为20mm的激光束,同理,右边的直角棱镜将右边两个激光器输出的10mm的光束聚合成了宽度同样为20mm的激光束,中间的第一预置等腰直角棱镜将两路20mm的激光束聚合,得到40mm左右的激光向下延伸,厚度为1mm,先用单片柱面棱镜对40mm的光束进行预准直,设置球面透镜的双远心投影成像系统的缩束比例为4:1,将得到的40mm的激光缩束成10mm,并将光束的焦平面成像到晶体的中心,这里的光束的焦深大于晶体在光束延伸方向的尺寸,晶体一般垂直与光束放置,所以这个尺寸指的是晶体的厚度,一般为1mm,晶体的长度设置为12mm。至此,完成激光器光路的整形。本应用例是以单层的激光器阵列为例的,可以在四个激光器的上方进行对应的激光器堆叠,得到激光器叠阵列,激光的宽度不变,厚度随着层数的增加而增加,此时,第一预置等腰直角棱镜和第二预置等腰直角棱镜的长度需要作出相应的调整,至少等于激光器堆叠的厚度,这个根据实际对获取的激光的能量需求进行设置,对于光路的整形过程不再赘述。
为了便于理解,请参阅图7,本申请中还提供了一种半导体激光器光路整形装置的实施例,包括:
聚合模块301,用于通过第一预置等腰直角棱镜将预置激光器阵列的激光聚合成第一预置宽度的带状光束;
缩束模块302,用于将带状光束通过投影成像系统进行预置比例缩束,得到第二预置宽度的目标光束,第二预置宽度小于第一预置宽度,投影成像系统包括球面透镜的双远心投影成像系统;
准直模块303,用于通过在目标光束的垂直方向上设置的单块柱面透镜将目标光束准直,并成像至预置晶体的中心,目标光束的焦深大于晶体沿目标光束方向的尺寸。
聚合模块301具体用于:通过至少两个第二预置等腰直角棱镜将预置激光器阵列的激光粗聚合成至少两路第三预置宽度的预置光束,第三预置宽度小于第一预置宽度;通过第一预置等腰直角棱镜将水平对应的两路预置光束聚合成第一预置宽度的带状光束。
进一步地,第一预置等腰直角棱镜的直角边至少为预置光束的宽度的
Figure BDA0002346943640000091
倍;
相应地,第二预置等腰直角棱镜的直角边至少为预置激光器阵列输出的激光的宽度的
Figure BDA0002346943640000092
倍。
进一步地,本申请提供的半导体激光器光路整形装置还可以包括:慢轴准直模块304,用于采用微透镜阵列对预置激光器输出的激光的慢轴进行准直;
快轴准直模块305,用于采用一块柱面透镜对预置激光器输出的激光的快轴进行准直。
为了便于理解,本申请提供了一种半导体激光器光路整形设备,其特征在于,设备包括处理器以及存储器:
存储器用于存储程序代码,并将程序代码传输给处理器;
处理器用于根据程序代码中的指令执行半导体激光器光路整形方法实施例中的任一种半导体激光器光路整形方法。
为了便于理解,本申请提供了一种计算机可读存储介质,其特征在于,计算机可读存储介质用于存储程序代码,程序代码用于执行半导体激光器光路整形方法实施例中的任一种半导体激光器光路整形方法。
在本申请所提供的几个实施例中,应该理解到,所揭露的装置和方法,可以通过其它的方式实现。例如,以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的,例如,所述单元的划分,仅仅为一种逻辑功能划分,实际实现时可以有另外的划分方式,例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统,或一些特征可以忽略,或不执行。另一点,所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口,装置或单元的间接耦合或通信连接,可以是电性,机械或其它的形式。
所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的,作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元,即可以位于一个地方,或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
另外,在本申请各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中,也可以是各个单元单独物理存在,也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现,也可以采用软件功能单元的形式实现。
所述集成的单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时,可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解,本申请的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式体现出来,该计算机软件产品存储在一个存储介质中,包括若干指令用以通过一台计算机设备(可以是个人计算机,服务器,或者网络设备等)执行本申请各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括:U盘、移动硬盘、只读存储器(英文全称:Read-OnlyMemory,英文缩写:ROM)、随机存取存储器(英文全称:Random Access Memory,英文缩写:RAM)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
以上所述,以上实施例仅用以说明本申请的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种半导体激光器光路整形方法,其特征在于,包括:
通过第一预置等腰直角棱镜将预置激光器阵列的激光聚合成第一预置宽度的带状光束;
将所述带状光束通过投影成像系统进行预置比例缩束,得到第二预置宽度的目标光束,所述第二预置宽度小于所述第一预置宽度,所述投影成像系统包括球面透镜的双远心投影成像系统;
通过在所述目标光束的垂直方向上设置的单块柱面透镜将所述目标光束准直,并成像至预置晶体的中心,所述目标光束的焦深大于所述晶体沿所述目标光束方向的尺寸。
2.根据权利要求1所述的半导体激光器光路整形方法,其特征在于,所述通过第一预置直角棱镜将预置激光器阵列的激光聚合成第一预置宽度的带状光束,之前还包括:
采用微透镜阵列对所述预置激光器输出的激光的慢轴进行准直;
采用柱面透镜对所述预置激光器输出的激光的快轴进行准直。
3.根据权利要求1所述的半导体激光器光路整形方法,其特征在于,所述通过第一预置等腰直角棱镜将预置激光器阵列的激光聚合成第一预置宽度的带状光束,具体包括:
通过至少两个第二预置等腰直角棱镜将预置激光器阵列的激光粗聚合成至少两路第三预置宽度的预置光束,所述第三预置宽度小于所述第一预置宽度;
通过所述第一预置等腰直角棱镜将水平对应的两路所述预置光束聚合成所述第一预置宽度的所述带状光束。
4.根据权利要求3所述的半导体激光器光路整形方法,其特征在于,所述第一预置等腰直角棱镜的直角边至少为所述预置光束的宽度的
Figure FDA0002346943630000011
倍;
相应地,所述第二预置等腰直角棱镜的直角边至少为所述预置激光器阵列输出的激光的宽度的
Figure FDA0002346943630000012
倍。
5.一种半导体激光器光路整形装置,其特征在于,包括:
聚合模块,用于通过第一预置等腰直角棱镜将预置激光器阵列的激光聚合成第一预置宽度的带状光束;
缩束模块,用于将所述带状光束通过投影成像系统进行预置比例缩束,得到第二预置宽度的目标光束,所述第二预置宽度小于所述第一预置宽度,所述投影成像系统包括球面透镜的双远心投影成像系统;
准直模块,用于通过在所述目标光束的垂直方向上设置的单块柱面透镜将所述目标光束准直,并成像至预置晶体的中心,所述目标光束的焦深大于所述晶体沿所述目标光束方向的尺寸。
6.根据权利要求5所述的半导体激光器光路整形装置,其特征在于,还包括:
慢轴准直模块,用于采用微透镜阵列对所述预置激光器输出的激光的慢轴进行准直;
快轴准直模块,用于采用柱面透镜对所述预置激光器输出的激光的快轴进行准直。
7.根据权利要求5所述的半导体激光器光路整形装置,其特征在于,所述聚合模块具体用于:
通过至少两个第二预置等腰直角棱镜将预置激光器阵列的激光粗聚合成至少两路第三预置宽度的预置光束,所述第三预置宽度小于所述第一预置宽度;
通过所述第一预置等腰直角棱镜将水平对应的两路所述预置光束聚合成所述第一预置宽度的所述带状光束。
8.根据权利要求7所述的半导体激光器光路整形装置,其特征在于,所述第一预置等腰直角棱镜的直角边至少为所述预置光束的宽度的
Figure FDA0002346943630000021
倍;
相应地,所述第二预置等腰直角棱镜的直角边至少为所述预置激光器阵列输出的激光的宽度的
Figure FDA0002346943630000022
倍。
9.一种半导体激光器光路整形设备,其特征在于,所述设备包括处理器以及存储器:
所述存储器用于存储程序代码,并将所述程序代码传输给所述处理器;
所述处理器用于根据所述程序代码中的指令执行权利要求1-4任一项所述的半导体激光器光路整形方法。
10.一种计算机可读存储介质,其特征在于,所述计算机可读存储介质用于存储程序代码,所述程序代码用于执行权利要求1-4任一项所述的半导体激光器光路整形方法。
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