CN111077636B - 紫外光成像镜头 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种紫外光成像镜头,包括6组光学镜片,每组含1片透镜,共6片透镜,其中第一、四、五组镜片为两面曲率半径不同的双凸透镜,第二、三组镜片为两面曲率半径不同的双凹透镜,第六组镜片为平凹透镜,镜头有效通光孔径为16mm,焦距为70mm,在270nm‑290nm波段整体透过率>85%。本发明的紫外光成像镜头,能够实现在紫外光谱波段对物体成像,该镜头工作中心波长为280nm,在270nm‑290nm的紫外光谱波段范围内可实现高精度成像。
Description
技术领域
本发明属于光学成像技术领域,特别是涉及一种紫外光成像镜头。
背景技术
利用光学成像镜头,可将测物体发射的荧光或其反射的照明光精确成像到CCD或CMOS探测器上,以判断被测物质对相应波段光谱的吸收和发射特性,从而对被测物的物质组成进行定量分析。目前已有的成像镜头大部分工作波段为可见光波段(480nm~680nm)或部分可见光到近红外波段(680~1100nm)但还没有出现可以在紫外光谱波段实现清晰成像,进行物质测量分析的镜头。
发明内容
为了解决紫外光成像问题,本发明提供了一种工作中心波长为280nm,在带宽±10nm的范围内可实现高精度成像的紫外光成像镜头,其光学成像系统包括6组光学镜片,从光束入射端依次排列:第一组镜片为两面曲率半径不同的双凸透镜,曲率半径较小的一面为光束入射面,通光口径为22mm;第二组镜片为两面曲率半径不同的双凹透镜,曲率半径较小的一面与第一组镜片(1)曲率半径较大的一面相对,为光束入射面,通光口径为16mm;第三组镜片为两面曲率半径不同的双凹透镜,曲率半径较大的一面与第二组镜片曲率半径较大的一面相对,为光束入射面,通光口径为16mm;第四组镜片为两面曲率半径不同的双凸透镜,曲率半径较大的一面与第三组镜片曲率半径较小的一面相对,为光束入射面,通光口径为22mm;第五组镜片为两面曲率半径不同的双凸透镜,曲率半径较大的一面与第四组镜片曲率半径较小的一面相对,为光束入射面,通光口径为22mm;第六组镜片为平凹透镜,凹面与第五组镜片曲率半径较小的一面相对,为光束入射面,通光口径为20mm;镜头焦距为70mm,有效通光孔径为16mm。该紫外光成像镜头能够实现对紫外光谱波段的物体成像,特别是在270nm~290nm光谱波段的物体成像。
在第二组镜片与第三组镜片间放置圆形孔径光阑,光阑的通光口径为12.4mm。
第一组镜片用CaF2晶体光学材料制作,焦距为39.40mm,中心厚度为6.0mm,通光孔径为22mm;第一组镜片的光束入射面为外凸球面,曲率半径为26.24mm;另一面为曲率半径为45.973mm的外凸球面。
第二组镜片制作材料为熔融石英,焦距为-39.02mm,中心厚度为3.0mm,通光孔径为16.0mm;其中第二组镜片光束入射面为内凹球面,曲率半径为25.49mm;其另一面为曲率半径为62.96mm的内凹球面。
第三组镜片制作材料为熔融石英,焦距为-37.83mm,中心厚度为3.0mm,通光孔径为16.0mm;其中第三组镜片光束入射面为内凹球面,曲率半径为45.37mm;另一面为曲率半径为28.83mm的内凹球面。
第四组镜片用CaF2晶体光学材料制作,焦距为39.40mm,中心厚度为6.0mm,通光孔径为22mm;其中第四组镜片光束入射面为外凸球面,曲率半径为45.973mm;另一面为曲率半径为26.24mm的外凸球面。
第五组镜片用CaF2晶体光学材料制作,焦距为39.40mm,中心厚度为6.0mm,通光孔径为22mm;其中第五组镜片光束入射面为外凸球面,曲率半径为45.973mm;另一面为曲率半径为26.24mm的外凸球面。
第六组镜片为平凹透镜,制作材料为熔融石英,焦距为-50.82mm,中心厚度为4.0mm,通光孔径为20.0mm;其中第六组镜片光束入射面为内凹球面,曲率半径为-23.38mm;另一面为平面。
第一组镜片、第六组镜片的表面均镀270nm~290nm波段增透膜,单面透过率>99%,镜头整体的透过率>85%。
第一组镜片与第二组镜片中心间距为4.48mm;第二组镜片与光阑中心距为3.38mm;光阑与第三组镜片中心距为3.51mm;第三组镜片与第四组镜片中心间距为3.63mm;第四组镜片与第五组镜片中心间距为1mm;第五组镜片与第六组镜片中心间距为3.45mm;像面距第六组镜片中心为82.35mm。
本发明的紫外光成像镜头,镜头有效通光孔径为16mm,焦距为70mm,能够实现在紫外光谱波段对物体成像,特别是对270nm-290nm紫外光谱波段可精确成像。
附图说明
图1是本发明的紫外光成像镜头结构示意图;
图2是本发明的紫外光成像镜头的成像光学传递函数图;
图3是本发明的紫外光成像镜头的成像包络圆能量图。
图中:1-第一组镜片,2-第二组镜片,3-第三组镜片,4-第四组镜片,5-第五组镜片,6-第六组镜片,7-像面,8-光阑。
具体实施方式
下面结合附图与实施例对本发明作进一步的说明。然而应当理解,附图与实施例的提供仅为了更好地理解本发明,不应该理解为对本发明的限制。
如图1所示的紫外光成像镜头,包括共6片光学镜片组成的6组镜片,镜片结构组合如图1所示:从光束入射端依次排列:第一组镜片1、第二组镜片2、第三组镜片3、第四组镜片4、第五组镜片5及第六组镜片6,其中:
第一组镜片1为两面曲率半径不同的双凸透镜,其光学材料为CaF2晶体,焦距为39.40mm,中心厚度为6.0mm,通光孔径为22mm;第一组镜片1的光束入射面为外凸球面,曲率半径为26.24mm;另一面为曲率半径为45.973mm的外凸球面,透镜表面镀270nm~290nm波段增透膜;
第二组镜片2为两面曲率半径不同的双凹透镜,制作材料为熔融石英,焦距为-39.02mm,中心厚度为3.0mm,通光孔径为16.0mm;其中第二组镜片2光束入射面为内凹球面,曲率半径为25.49mm;其另一面为曲率半径为62.96mm的内凹球面;
第三组镜片3为两面曲率半径不同的双凹透镜,制作材料为熔融石英,焦距为-37.83mm,中心厚度为3.0mm,通光孔径为16.0mm;其中第三组镜片3光束入射面为内凹球面,曲率半径为45.37mm;另一面为曲率半径为28.83mm的内凹球面;
第四组镜片4为两面曲率半径不同的双凸透镜,用CaF2晶体光学材料制作,焦距为39.40mm,中心厚度为6.0mm,通光孔径为22mm;其中第四组镜片4光束入射面为外凸球面,曲率半径为45.973mm;另一面为曲率半径为26.24mm的外凸球面;
第五组镜片5为两面曲率半径不同的双凸透镜,用CaF2晶体光学材料制作,焦距为39.40mm,中心厚度为6.0mm,通光孔径为22mm;其中第五组镜片5光束入射面为外凸球面,曲率半径为45.973mm;另一面为曲率半径为26.24mm的外凸球面;
第六组镜片6为平凹透镜,制作材料为熔融石英,焦距为-50.82mm,中心厚度为4.0mm,通光孔径为20.0mm;其中第六组镜片6光束入射面为内凹球面,曲率半径为-23.38mm;另一面为平面,透镜表面镀270nm~290nm波段增透膜;
在第二组镜片2与第三组镜片3间放置圆形孔径光阑,光阑的通光口径为12.4mm;
第一组镜片1与第二组镜片2中心间距为4.48mm;第二组镜片2与光阑8中心距为3.38mm;光阑8与第三组镜片3中心距为3.51mm;第三组镜片3与第四组镜片4中心间距为3.63mm;第四组镜片4与第五组镜片5中心间距为1mm;第五组镜片5与第六组镜片6中心间距为3.45mm;像面7距第六组镜片6中心为82.35mm,当物体与第一组镜片1中心距为175mm时,在270nm-290nm的紫外光谱波段范围里,在像面7上可得到物体清晰的成像。
紫外光成像镜头成像光学调制传递函数MTF(Modulation Transfer Function)如图2所示,MTF>0.3@30lp/mm,MTF调制传递函数是目前分析镜头的解像比较科学的方法,镜头成像的调制度随空间频率变化的函数称为调制度传递函数MTF(Modulation TransferFunction)。对于原来调制度为M的正弦光栅,如果经过镜头到达像平面的像的调制度为M’,则MTF函数值为:MTF值=M’/M,因此MTF值必定大于0,小于1。对点光源成像时,像点85%能量分布在小于32μm的圆域内,如图3所示。
当然,本发明还可有其它多种实施例,在不背离本发明精神及其实质的情况下,本领域技术人员可根据本发明作出各种相应的改变和变形,但这些相应的改变和变形都属于本发明的权利要求的保护范围。
Claims (8)
1.一种紫外光成像镜头,其特征在于:所述紫外光成像镜头具有屈光度的光学镜片仅有6组,从光束入射端依次排列:
第一组镜片(1)为两面曲率半径不同的双凸透镜,曲率半径较小的一面为光束入射面;
第二组镜片(2)为两面曲率半径不同的双凹透镜,曲率半径较小的一面与第一组镜片(1)曲率半径较大的一面相对,为光束入射面;
第三组镜片(3)为两面曲率半径不同的双凹透镜,曲率半径较大的一面与第二组镜片(2)曲率半径较大的一面相对,为光束入射面;
第四组镜片(4)为两面曲率半径不同的双凸透镜,曲率半径较大的一面与第三组镜片(3)曲率半径较小的一面相对,为光束入射面;
第五组镜片(5)为两面曲率半径不同的双凸透镜,曲率半径较大的一面与第四组镜片(4)曲率半径较小的一面相对,为光束入射面;
第六组镜片(6)为平凹透镜,凹面与第五组镜片(5)曲率半径较小的一面相对,为光束入射面;其中,
所述第二组镜片(2)与第三组镜片(3)间放置圆形孔径光阑(8),光阑(8)的通光口径为12.4mm;
所述紫外光成像镜头焦距为70mm,有效通光孔径为16mm;
所述第一组镜片(1)与第二组镜片(2)中心间距为4.48mm;所述第二组镜片(2)与光阑(8)中心距为3.38mm;所述光阑(8)与第三组镜片(3)中心距为3.51mm;所述第三组镜片(3)与第四组镜片(4)中心间距为3.63mm;所述第四组镜片(4)与第五组镜片(5)中心间距为1mm;所述第五组镜片(5)与第六组镜片(6)中心间距为3.45mm;所述紫外光成像镜头包括像面(7),像面(7)距第六组镜片(6)中心为82.35mm。
2.根据权利要求1所述的紫外光成像镜头,其特征在于:所述第一组镜片(1)用CaF2晶体光学材料制作,焦距为39.40mm,中心厚度为6.0mm,通光孔径为22mm;所述第一组镜片(1)的光束入射面为曲率半径为26.24mm的外凸球面;另一面为曲率半径为45.973mm的外凸球面。
3.根据权利要求1所述的紫外光成像镜头,其特征在于:所述第二组镜片(2)制作材料为熔融石英,焦距为-39.02mm,中心厚度为3.0mm,通光孔径为16.0mm;所述第二组镜片(2)光束入射面为曲率半径为25.49mm的内凹球面;另一面为曲率半径为62.96mm的内凹球面。
4.根据权利要求1所述的紫外光成像镜头,其特征在于:所述第三组镜片(3)制作材料为熔融石英,焦距为-37.83mm,中心厚度为3.0mm,通光孔径为16.0mm;所述第三组镜片(3)光束入射面为曲率半径为45.37mm的内凹球面;另一面为曲率半径为28.83mm的内凹球面。
5.根据权利要求1所述的紫外光成像镜头,其特征在于:所述第四组镜片(4)用CaF2晶体光学材料制作,焦距为39.40mm,中心厚度为6.0mm,通光孔径为22mm;所述第四组镜片(4)光束入射面为曲率半径为45.973mm的外凸球面;另一面为曲率半径为26.24mm的外凸球面。
6.根据权利要求1所述的紫外光成像镜头,其特征在于:所述第五组镜片(5)用CaF2晶体光学材料制作,焦距为39.40mm,中心厚度为6.0mm,通光孔径为22mm;所述第五组镜片(5)光束入射面为曲率半径为45.973mm外凸球面;另一面为曲率半径为26.24mm的外凸球面。
7.根据权利要求1所述的紫外光成像镜头,其特征在于:所述第六组镜片(6)为平凹透镜,制作材料为熔融石英,焦距为-50.82mm,中心厚度为4.0mm,通光孔径为20.0mm;所述第六组镜片(6)光束入射面为曲率半径为-23.38mm的内凹球面;另一面为平面。
8.根据权利要求1所述的紫外光成像镜头,其特征在于:所述第一组镜片(1)和第六组镜片(6)的表面均镀270nm~290nm波段增透膜。
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