CN111044793A - 近场探头以及近场探测系统 - Google Patents

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CN111044793A
CN111044793A CN201911149504.9A CN201911149504A CN111044793A CN 111044793 A CN111044793 A CN 111044793A CN 201911149504 A CN201911149504 A CN 201911149504A CN 111044793 A CN111044793 A CN 111044793A
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方文啸
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恩云飞
肖美珍
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Abstract

本申请涉及一种近场探头以及近场探测系统;所述近场探头包括柔性探测部以及电路载板;柔性探测部机械连接电路载板;其中,柔性探测部内置有近场探测线,用于感应近场产生电信号;电路载板内置有电连接近场探测线的第一信号传输线和第二信号传输线,用于将电信号传输给网络分析仪,本申请近场探头采用柔性结构的柔性探测部,柔性探测部的厚度尺寸可达到非常小,从而提供了近场探头的空间分辨率。

Description

近场探头以及近场探测系统
技术领域
本申请涉及近场探头技术领域,特别是涉及一种近场探头以及近场探测系统。
背景技术
在电路设计早期,由于电子元件在正常工作时会发生电磁辐射,设计者通常要考虑电子系统的电磁辐射和等级,例如片上电流环是集成电路上的重要辐射源,它会对电路板上其他芯片、电子器件的正常工作产生不可避免的影响。近年来,数字电路与模拟电路的快速发展以及工作频率的不断提高,对电子元件、PCB(Printed Circuit Board,印制电路板)板、集成电路进行电磁干扰源定位和电磁干扰评估已经变得越来越重要。用近场探头能够对被测设备的近场进行扫描,近场探头感应近场信号的工作原理和宽带无线天线类似。因此设计一款高性能的近场探头变得越来越重要,以用它对电子元件进行测试扫描,得到电场与磁场强度分布图,查看干扰源的分布,从而排除干扰。
近些年来,随着器件尺寸的逐渐变小,近场探头的空间分辨率成为了研究的热点。高空间分辨率的近场探测,可以帮助实现高密度集成组件或者芯片内部的电磁发射源的精确识别,有助于设计值进行有针对性的设计改进,但是,在实现过程中,发明人发现传统技术中至少存在如下问题:传统近场探头的分辨率低,不能满足更高标准的近场探测。
发明内容
基于此,有必要针对传统近场探头的分辨率低,不能满足更高标准的近场探测的问题,提供一种近场探头以及近场探测系统。
为了实现上述目的,一方面,本申请实施例提供了一种近场探头,包括柔性探测部以及电路载板;
柔性探测部机械连接电路载板;
其中,柔性探测部内置有近场探测线,用于感应近场产生电信号;电路载板内置有电连接近场探测线的第一信号传输线和第二信号传输线,用于将电信号传输给网络分析仪。
在一个实施例中,柔性探测部还包括层叠设置的第一层柔性层、第二层柔性层、第三层柔性层以及第四层柔性层;第三层柔性层上承载有近场探测线;第二层柔性层上相对其机械连接电路载板的端部上开设有第一开口;第四层柔性层上相对其机械连接电路载板的端部上开设有第二开口;
还包括第一金属通孔和第二金属通孔;
第一金属通孔贯穿第一层柔性层、第二层柔性层、第三层柔性层以及第四层柔性层,并机械连接近场探测线的一端和第一信号传输线的一端;
第二金属通孔贯穿第一层柔性层、第二层柔性层、第三层柔性层以及第四层柔性层,并机械连接近场探测线的另一端和第二信号传输线的一端。
在一个实施例中,柔性探测部还包括多个栏栅通孔;各栏栅通孔贯穿第一层柔性层、第二层柔性层、第三层柔性层以及第四层柔性层,并沿着柔性探测部的两侧边缘间隔设置。
在一个实施例中,近场探测线为矩形开环线圈;矩形开环线圈的一端机械连接第一金属通孔,另一端机械连接第二金属通孔。
在一个实施例中,电路载板还包括层叠设置的第一层介质板、第二层介质板、第三层介质板以及第四层介质板;第一层介质板的两侧端开设有对称设置的第一线型槽和第二线型槽;第三层介质板上承载有第一信号传输线和第二信号传输线;
第一传导线和第二传导线,第一传导线设于第一线型槽内,第二传导线设于第二线型槽内;
第一转换通孔,第一转换通孔开设于第一线型槽内且贯穿第二层介质板、第三层介质板以及第四层介质板,第一转换通孔分别机械连接第一传导线的一端和第一信号传输线的另一端;
第二转换通孔,第二转换通孔开设于第二线型槽内且贯穿第二层介质板、第三层介质板以及第四层介质板,第二转换通孔分别机械连接第二传导线的一端和第二信号传输线的另一端。
在一个实施例中,电路载板还包括多个第一栏栅通孔以及多个第二栏栅通孔;
各第一栏栅通孔贯穿第一层介质板、第二层介质板、第三层介质板以及第四层介质板,且沿着第一线型槽间隔设置;
各第二栏栅通孔贯穿第一层介质板、第二层介质板、第三层介质板以及第四层介质板,且沿着第二线型槽间隔设置。
在一个实施例中,电路载板还包括至少两个第一接收端子安装通孔以及至少两个第二接收端子安装通孔;
各第一接收端子安装通孔贯穿第一层介质板、第二层介质板、第三层介质板以及第四层介质板,间隔开设在第一线型槽的两侧;
各第二接收端子安装通孔贯穿第一层介质板、第二层介质板、第三层介质板以及第四层介质板,间隔开设在第二线型槽的两侧。
在一个实施例中,电路载板还包括至少两个探头固定通孔;
各探头固定通孔贯穿第一层介质板、第二层介质板、第三层介质板以及第四层介质板。
在其中一个实施例中,第一信号传输线与第二信号传输线的结构形状相同,且对称设置;
信号传输线包括横向传输线、弧形传输线、竖向传输线以及S型传输线;
横向传输线的一端机械连接转换通孔,另一端机械连接锥削传输线的一端,锥削传输线的另一端机械连接竖向传输线的一端,竖向传输线的另一端机械连接S型传输线的一端,S型传输线的另一端电连接近场探测线。
另一方面,本申请实施例还提供了一种近场探测系统,包括网络分析仪以及上述近场探头;网络分析仪电连接近场探头。
上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点和有益效果:
本申请各实施例提供的近场探头包括:相互机械连接的柔性探测部和电路载板,其中,柔性探测部内置有近场探测线,用于感应近场产生电信号;电路载板内置有电连接近场探测线的第一信号传输线和第二信号传输线,用于将电信号传输给网络分析仪,本申请近场探头采用柔性结构的柔性探测部,柔性探测部的厚度尺寸可达到非常小,从而提供了近场探头的空间分辨率。
附图说明
图1为一个实施例中近场探头的结构示意图;
图2为一个实施例中柔性探测部的第一层的结构示意图;
图3为一个实施例中柔性探测部的第二层的结构示意图;
图4为一个实施例中柔性探测部的第三层的结构示意图;
图5为一个实施例中柔性探测部的第四层的结构示意图;
图6为一个实施例中柔性探测部的结构示意图;
图7为一个实施例中电路载板的第一层的结构示意图;
图8为一个实施例中电路载板的第二层的结构示意图;
图9为一个实施例中电路载板的第三层的结构示意图;
图10为一个实施例中电路载板的第四层的结构示意图;
图11为一个实施例中电路载板的结构示意图;
图12为一个实施例中电路载板的层叠信息图;
图13为一个实施例中近场探测系统的结构示意图。
附图标记说明:
11、柔性探测部;113、近场探测线;13、电路载板;131、第一信号传输线;133、第二信号传输线;115、第一层柔性层;117、第二层柔性层;119、第三层柔性层;121、第四层柔性层;123、第一金属通孔;125、第二金属通孔;127、栏栅通孔;129、第一类过孔;135、第一层介质板;137、第二层介质板;139、第三层介质板;141、第四层介质板;143、第一线型槽;145、第二线型槽;147、第一传导线;149、第二传导线;151、第一转换通孔;153、第二转换通孔;155、第一栏栅通孔;157、第二栏栅通孔;159、第一接收端子安装通孔;161、第二接收端子安装通孔;163、探头固定通孔;165、第二类过孔;167、第一开口;169、第二开口。
具体实施方式
为了便于理解本申请,下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的首选实施例。但是,本申请可以以许多不同的形式来实现,并不限于本文所描述的实施例。相反地,提供这些实施例的目的是使对本申请的公开内容更加透彻全面。
需要说明的是,当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件并与之结合为一体,或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“承载”、“一端”、“另一端”以及类似的表述只是为了说明的目的。
除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
为了解决传统近场探头的分辨率低,不能满足更高标准的近场探测的问题,如图1所示,提供了一种近场探头,包括柔性探测部11以及电路载板13;
柔性探测部11机械连接电路载板13;
其中,柔性探测部11内置有近场探测线113,用于感应近场产生电信号;电路载板13内置有电连接近场探测线113的第一信号传输线131和第二信号传输线133,用于将电信号传输给网络分析仪。
需要说明的是,柔性探测部11为采用柔性电路板制成,用于探测近场,其内部设置有近场探测线113,将感应到的近场转换成电信号,例如,可采用以聚酰亚胺或聚酯薄膜为基材制成的柔性电路板。
柔性电路板的结构可采用各种形式的,满足近场探测要求即可,在一个示例中,提供一种层叠结构的柔性探测部11,如图2至5所示,柔性探测部11还包括层叠设置的第一层柔性层115、第二层柔性层117、第三层柔性层119以及第四层柔性层121;第三层柔性层119上承载有近场探测线113;第二层柔性层117上相对其机械连接电路载板13的端部上开设有第一开口167;第四层柔性层121上相对其机械连接电路载板13的端部上开设有第二开口169;
还包括第一金属通孔123和第二金属通孔125;
第一金属通孔123贯穿第一层柔性层115、第二层柔性层117、第三层柔性层119以及第四层柔性层121,并机械连接近场探测线113的一端和第一信号传输线131的一端;
第二金属通孔125贯穿第一层柔性层115、第二层柔性层117、第三层柔性层119以及第四层柔性层121,并机械连接近场探测线113的另一端和第二信号传输线133的一端。
需要说明的是,第一层柔性层115、第二层柔性层117、第三层柔性层119以及第四层柔性层121层叠设置形成本示例中的柔性探测部11,在一个示例中,如图2所示,第一层柔性层115为T型结构,如图3所示,第二层柔性层117为T型结构,如图4所示,第三层柔性层119为T型结构,如图5所示,第四层柔性层121为T型结构。进一步的,第一层柔性层115的长度尺寸小于第二层柔性层117的长度尺寸,第一层柔性层115的宽度尺寸等于第二层柔性层117的宽度尺寸,第二层柔性层117、第三层柔性层119与第四层柔性层121的尺寸相等。
其中,第三层柔性层119上设置有近场探测线113。第二层柔性层117相对其机械连接电路载板13的另一端部开设有第一开口167,第二层柔性层121相对其机械连接电路载板13的另一端部开设有第二开口169,从而实现近场探头的高分辨率。在一个示例中,第一开口167为“T”型开口(如图3所示)。在一个示例中,第二开口169为“T”型开口(如图5所示)。
在一个示例中,提供一个制作好的柔性电路板的层叠信息,该制作好的柔性电路板厚度尺寸非常小,能够实现超高空间分辨率,具体如下表1所示:
表1:柔性电路板的层叠信息
Figure BDA0002283149240000081
为了能够导通近场探测线113与信号传输线,采用第一金属通孔123和第二金属通孔125结构,金属通孔为通孔侧壁附着有金属层,用于传导电信号。在一个示例中,如图2至5所示,第一金属通孔123和第二金属通孔125开设在柔性探测部11上用于机械连接电路载板13的端部,且对称设置在该端部的中间区域。
在一个示例中,如图2至5所示,柔性探测部11还包括多个栏栅通孔127;各栏栅通孔127贯穿第一层柔性层115、第二层柔性层117、第三层柔性层119以及第四层柔性层121,并沿着柔性探测部11的两侧边缘间隔设置。如图所示,以T型柔性探测部11为例进行说明,将T型柔性探测部11分成横部和竖部,竖部垂直机械连接在横部一侧壁的中间形成T型柔性探测部11。栏栅通孔127沿着柔性探测部11的两侧边缘间隔设置,即栏栅通孔127分布设置在竖部的两侧边缘,进一步的,各栏栅通孔127等间距的分布在竖部的两侧边缘,且到竖部边缘的距离相等。
近场探测线113用于感应近场产生电信号,近场探测线113的形状结构可采用各种形式,符合近场探测需求即可,在一个示例中,提供一种近场探测线113结构,如图4所示,近场探测线113为矩形开环线圈;矩形开环线圈的一端机械连接第一金属通孔123,另一端机械连接第二金属通孔125。
柔性探测部11包括规则开设的贯穿柔性探测部11的第一类过孔129(如图6所示),具体的,四个第一类过孔129为一组,该四个第一类过孔129围成正方形,各组第一类过孔129均匀排列。以T型柔性探测部11为例进行说明,将T型柔性探测部11分成横部和竖部,竖部垂直机械连接在横部一侧壁的中间形成T型柔性探测部11,第一类过孔129开设在横部的两侧端。
电路载板13为近场探头的固定支持结构,也为连接网络分析仪的连接结构,其内部设置有信号传输线,将近场探测线113传输的电信号传输给网络分析仪。电路载板13的结构可采用各种形式的,满足近场探测要求即可,在一个示例中,如图7至10所示,电路载板13还包括层叠设置的第一层介质板135、第二层介质板137、第三层介质板139以及第四层介质板141;第一层介质板135的两侧端开设有对称设置的第一线型槽143和第二线型槽145;第三层介质板139上承载有第一信号传输线131和第二信号传输线133;
第一传导线147和第二传导线149,第一传导线147设于第一线型槽143内,第二传导线149设于第二线型槽145内;
第一转换通孔151,第一转换通孔151开设于第一线型槽143内且贯穿第二层介质板137、第三层介质板139以及第四层介质板141,第一转换通孔151分别机械连接第一传导线147的一端和第一信号传输线131的另一端;
第二转换通孔153,第二转换通孔153开设于第二线型槽145内且贯穿第二层介质板137、第三层介质板139以及第四层介质板141,第二转换通孔153分别机械连接第二传导线的一端和第二信号传输线133的另一端。
需要说明的是,第一层介质板135、第二层介质板137、第三层介质板139以及第四层介质板141为第一传导线147、第二传导线149、第一转换通孔151、第二转换通孔153的承载结构。在一个示例中,第一层介质板135、第二层介质板137、第三层介质板139以及第四层介质板141可为玻璃纤维布基型板、玻璃纤维和纸的复合基型板、纸基覆铜型板或者金属基覆铜型板。
在一个示例中,如图7所示,第一层介质板135为T型结构介质板,包括矩形横部和矩形竖部,矩形竖部机械连接在矩形横部的一侧端的中间区域,矩形竖部上远离矩形横部的一端的中间区域开设有矩形开口,第一线型槽143和第二线型槽145对称开设在矩形竖部的两侧端,且第一线型槽143和第二线型槽145的中心线垂直于矩形竖部的侧端。
在一个示例中,如图8所示,第二层介质板137为T型结构介质板,包括矩形横部和矩形竖部,矩形竖部机械连接在矩形横部的一侧端的中间区域,矩形竖部上远离矩形横部的一端的中间区域开设有矩形开口,且矩形开口的深度略小于矩形竖部的长度。
在一个示例中,如图9所示,第三层介质板139为T型结构介质板,包括矩形横部和矩形竖部,矩形竖部机械连接在矩形横部的一侧端的中间区域,矩形竖部上远离矩形横部的一端的中间区域开设有T型开口,T型开口的深度至少要超过第一转换通孔151和第二转换通孔153的位置,第一信号传输线131和第二信号传输线133对称设置在T型开口内。
在一个示例中,如图10所示,第四层介质板141为T型结构介质板,包括矩形横部和矩形竖部,矩形竖部机械连接在矩形横部的一侧端的中间区域。
为了屏蔽外界干扰信号,避免外界信号对传导线上传输的信号造成影响,在一个示例中,如图7至10所示,电路载板13还包括多个第一栏栅通孔155以及多个第二栏栅通孔157;
各第一栏栅通孔155贯穿第一层介质板135、第二层介质板137、第三层介质板139以及第四层介质板141,且沿着第一线型槽143间隔设置;
各第二栏栅通孔157贯穿第一层介质板135、第二层介质板137、第三层介质板139以及第四层介质板141,且沿着第二线型槽145间隔设置。
需要说明的是,第一栏栅通孔155围绕第一线型槽143开设,第二栏栅通孔157围绕第二线型槽145开设,进一步,第一栏栅通孔155均匀分布,第二栏栅通孔157均匀分布。第一栏栅通孔155和第二栏栅通孔157的数量根据传输线的实际尺寸而定,相邻第一栏栅通孔155之间和第二栏栅通孔157之间的间隔距离根据实际屏蔽干扰信号的效果而定,间隔距离设置要达到最佳屏蔽效果。
为了使得近场探头与网络分析仪或者其他检测设备的接口紧密连接,以保证电信号能够更好地传输给网络分析仪或者其他检测设备,在一个示例中,如图7至10所示,电路载板13还包括至少两个第一接收端子安装通孔159以及至少两个第二接收端子安装通孔161;
各第一接收端子安装通孔159贯穿第一层介质板135、第二层介质板137、第三层介质板139以及第四层介质板141,间隔开设在第一线型槽143的两侧;
各第二接收端子安装通孔161贯穿第一层介质板135、第二层介质板137、第三层介质板139以及第四层介质板141,间隔开设在第二线型槽145的两侧。
需要说明的是,第一接收端子安装通孔159、第二接收端子安装通孔161用于将传导线安装到网络分析仪或其他检测设备的接口上,以使传导线与网络分析仪或其他检测设备的接口更好的紧密接触,以便将电信号更好地传输网络分析仪或其他检测设备。在一个示例中,第一接收端子安装通孔159、第二接收端子安装通孔161均为四个,在第一传导线147的两侧分别开设两个第一接收端子安装通孔159,且两侧的第一接收端子安装通孔159对称设置,在第二传导线149的两侧分别开设两个第二接收端子安装通孔161,且两侧的第二接收端子安装通孔161对称设置。
为了便于近场探头的安装,在一个示例中,如图7至10所示,电路载板13还包括至少两个探头固定通孔163;
各探头固定通孔163贯穿第一层介质板135、第二层介质板137、第三层介质板139以及第四层介质板141。
需要说明的是,探头固定通孔163用于安装固定差分磁场探头,在一个示例中,探头固定通孔163的数量为四个,探头固定通孔163均匀的开设在安装单元上,以保证差分磁场探头能够稳固地安装固定。
第一信号传输线131和第二信号传输线133用于将近场探测线113感应产生的电信号传输给网络分析仪,第一信号传输线131和第二信号传输线133构成差分信号传输。第一信号传输线131和第二信号传输线133的结构形状可采用各种形式,满足信号传输要求即可,在一个示例中,提供一种结构的信号传输线,如图9所示,第一信号传输线131与第二信号传输线133的结构形状相同,且对称设置;
信号传输线包括横向传输线、弧形传输线、竖向传输线以及S型传输线;
横向传输线的一端机械连接转换通孔,另一端机械连接锥削传输线的一端,锥削传输线的另一端机械连接竖向传输线的一端,竖向传输线的另一端机械连接S型传输线的一端,S型传输线的另一端电连接近场探测线113。
电路载板13还包括规则开设的贯穿柔性探测部11的第二类过孔165(如图11所示),具体的,四个第二类过孔165为一组,该四个第二类过孔165围成正方形,各组第二类过孔165均匀排列。
在一个示例中,如图12所示,提供了一种制作好的电路载板的层叠信息,依据该层叠信息科制作出与柔性电路板相匹配的电路载板。
本申请近场探头的各实施例中,近场探头包括相互机械连接的柔性探测部11和电路载板13,其中,柔性探测部11内置有近场探测线113,用于感应近场产生电信号;电路载板13内置有电连接近场探测线113的第一信号传输线131和第二信号传输线133,用于将电信号传输给网络分析仪,本申请近场探头采用柔性结构的柔性探测部11,柔性探测部11的厚度尺寸可达到非常小,从而提供了近场探头的空间分辨率。
在一个实施例中,如图13所示,提供了一种近场探测系统,包括网络分析仪1211以及本申请近场探头各实施例中所述的近场探头1213;网络分析仪1211电连接近场探头1213。
需要说明的是的,网络分析仪通过SMA连接器连接近场探头,可通过在近场探头上焊接SMA连接器实现。
本申请近场探测系统,空间分辨率超高,空间分辨率可突破100μm(微米),使得能够精确地探测近场。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本申请构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本申请的保护范围。因此,本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种近场探头,其特征在于,包括柔性探测部以及电路载板;
所述柔性探测部机械连接所述电路载板;
其中,所述柔性探测部内置有近场探测线,用于感应近场产生电信号;所述电路载板内置有电连接所述近场探测线的第一信号传输线和第二信号传输线,用于将所述电信号传输给网络分析仪。
2.根据权利要求1所述的近场探头,其特征在于,所述柔性探测部还包括层叠设置的第一层柔性层、第二层柔性层、第三层柔性层以及第四层柔性层;所述第三层柔性层上承载有所述近场探测线;所述第二层柔性层上相对其机械连接所述电路载板的端部上开设有第一开口;所述第四层柔性层上相对其机械连接所述电路载板的端部上开设有第二开口;
还包括第一金属通孔和第二金属通孔;
所述第一金属通孔贯穿所述第一层柔性层、所述第二层柔性层、所述第三层柔性层以及所述第四层柔性层,并机械连接所述近场探测线的一端和所述第一信号传输线的一端;
所述第二金属通孔贯穿所述第一层柔性层、所述第二层柔性层、所述第三层柔性层以及所述第四层柔性层,并机械连接所述近场探测线的另一端和所述第二信号传输线的一端。
3.根据权利要求2所述的近场探头,其特征在于,所述柔性探测部还包括多个栏栅通孔;各所述栏栅通孔贯穿所述第一层柔性层、所述第二层柔性层、所述第三层柔性层以及所述第四层柔性层,并沿着所述柔性探测部的两侧边缘间隔设置。
4.根据权利要求2所述的近场探头,其特征在于,所述近场探测线为矩形开环线圈;所述矩形开环线圈的一端机械连接所述第一金属通孔,另一端机械连接所述第二金属通孔。
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的近场探头,其特征在于,所述电路载板还包括层叠设置的第一层介质板、第二层介质板、第三层介质板以及第四层介质板;所述第一层介质板的两侧端开设有对称设置的第一线型槽和第二线型槽;所述第三层介质板上承载有所述第一信号传输线和所述第二信号传输线;
第一传导线和第二传导线,所述第一传导线设于所述第一线型槽内,所述第二传导线设于所述第二线型槽内;
第一转换通孔,所述第一转换通孔开设于所述第一线型槽内且贯穿所述第二层介质板、所述第三层介质板以及所述第四层介质板,所述第一转换通孔分别机械连接所述第一传导线的一端和所述第一信号传输线的另一端;
第二转换通孔,所述第二转换通孔开设于所述第二线型槽内且贯穿所述第二层介质板、所述第三层介质板以及所述第四层介质板,所述第二转换通孔分别机械连接所述第二传导线的一端和所述第二信号传输线的另一端。
6.根据权利要求5任意一项所述的近场探头,其特征在于,所述电路载板还包括多个第一栏栅通孔以及多个第二栏栅通孔;
各所述第一栏栅通孔贯穿所述第一层介质板、所述第二层介质板、所述第三层介质板以及所述第四层介质板,且沿着所述第一线型槽间隔设置;
各所述第二栏栅通孔贯穿所述第一层介质板、所述第二层介质板、所述第三层介质板以及所述第四层介质板,且沿着所述第二线型槽间隔设置。
7.根据权利要求6任意一项所述的近场探头,其特征在于,所述电路载板还包括至少两个第一接收端子安装通孔以及至少两个第二接收端子安装通孔;
各所述第一接收端子安装通孔贯穿所述第一层介质板、所述第二层介质板、所述第三层介质板以及所述第四层介质板,间隔开设在所述第一线型槽的两侧;
各所述第二接收端子安装通孔贯穿所述第一层介质板、所述第二层介质板、所述第三层介质板以及所述第四层介质板,间隔开设在所述第二线型槽的两侧。
8.根据权利要求7任意一项所述的近场探头,其特征在于,所述电路载板还包括至少两个探头固定通孔;
各所述探头固定通孔贯穿所述第一层介质板、所述第二层介质板、所述第三层介质板以及所述第四层介质板。
9.根据权利要求5所述的近场探头,其特征在于,所述第一信号传输线与所述第二信号传输线的结构形状相同,且对称设置;
信号传输线包括横向传输线、弧形传输线、竖向传输线以及S型传输线;
所述横向传输线的一端机械连接转换通孔,另一端机械连接所述锥削传输线的一端,所述锥削传输线的另一端机械连接所述竖向传输线的一端,所述竖向传输线的另一端机械连接所述S型传输线的一端,所述S型传输线的另一端电连接所述近场探测线。
10.一种近场探测系统,其特征在于,包括网络分析仪以及权利要求1至9中任意一项所述的近场探头;所述网络分析仪电连接所述近场探头。
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