CN110857922A - 工程系统、用于其的切换模块及控制所述工程系统的方法 - Google Patents

Abstract

公开能够利用切换模块及一个分光器分析多个位置的腔体内部的光的工程系统、用于其的切换模块及控制所述工程系统的方法。所述切换模块包括多个连接部、切换部及驱动部。在此，所述多个连接部分别与第一光线路相连接，所述切换部与第二光线路相连接，所述切换部排列成光路径与所述多个连接部中的一个的光路径一致，所述切换部随着所述驱动部的驱动进行移动而成为光路径与另一连接部的光路径一致，通过连接于光路径与所述切换部的光路径一致的连接部的第一光线路输入的光传递到与所述切换部连接的第二光线路。本发明能够对工程进行准确的分析且显著降低所述工程系统的费用。

Description

工程系统、用于其的切换模块及控制所述工程系统的方法

技术领域

本发明涉及半导体或显示器等的工程系统、用于其的切换模块及控制所述工程系统的方法。

背景技术

图1是示出现有半导体系统的OES结果值的附图，图2是示出一般腔体的结构的附图，图3是示出对应于分光器变更的OES结果值的附图。

半导体系统为了监控沉积工程等而通过分光器接收在腔体内发生的光并进行分析。在此如图2所示，腔体的多个位置形成有监控部以用于管理员能够从多个位置观察腔体内部。

在这种半导体系统的结构中，一个光线路从腔体的一个监控部连接到分光器。因此，只有来自腔体的一个位置的光输入到所述分光器。

然而如图1所示，OES结果值因腔体内部的各位置而异，因此在这种半导体系统的结构下无法准确地分析沉积工程等。

虽然也可以在各监控部连接分光器，但该情况下具有半导体系统的费用显著上升的问题。并且如图3所示，即使是相同的光也会因分光器而发生不同的OES结果值，因此难免分析准确度低下。

并且，需要对多个腔体的工程进行分析的情况下，需要具备与各腔体200连接的多个分光器。其结果，所述半导体系统的费用显著上升。

发明内容

技术问题

本发明的目的是提供一种能够利用切换模块及一个分光器分析多个位置的腔体内部的光的工程系统及用于其的切换模块。

本发明的目的是提供一种能够利用切换模块及一个分光器分析在多个腔体发生的光的工程系统及用于其的切换模块。

本发明的目的是提供一种能够利用切换模块及一个分光器分析多个位置的腔体内部的光的控制半导体系统的方法。

技术方案

为了达成上述目的，本发明的一实施例的切换模块包括：多个连接机构、切换部及驱动部。在此，所述多个连接机构分别与第一光线路相连接，所述切换部与第二光线路相连接，所述切换部排列成光路径与所述多个连接机构中的一个的光路径一致，所述切换部随着所述驱动部的驱动而移动成光路径与另一连接机构的光路径一致，通过连接于光路径与所述切换部的光路径一致的连接机构的第一光线路输入的光传递到与所述切换部连接的第二光线路。

本发明的另一实施例的切换模块包括：外壳；排列于所述外壳的内部的驱动部；以及切换部，所述外壳的一侧面形成有多个连接机构。在此，所述多个连接机构与相应的第一光线路相连接，所述切换部与第二光线路相连接，所述切换部排列成光路径与所述连接机构中的一个的光路径一致，所述切换部随着所述驱动部的驱动而曲线运动以排列成光路径与另一连接机构的光路径一致，通过插入到光路径与所述切换部的光路径一致的连接机构的第一光线路输入的光传递到与所述切换部连接的第二光线路。

本发明的一实施例的工程系统包括：腔体、切换模块及分光器。在此，所述切换模块与所述腔体的多个位置通过多个第一光线路相连接且通过第二光线路与所述分光器相连接，所述切换模块选择所述多个第一光线路中的一个，选择的所述第一光线路与所述第二光线路的光路径一致，从所述腔体的内部发光的光通过选择的所述第一光线路及所述第二光线路传递到所述分光器。

本发明的另一实施例的工程系统包括：多个腔体、切换模块及分光器。在此，所述切换模块与所述多个腔体通过多个第一光线路相连接，通过第二光线路与所述分光器相连接，所述切换模块选择所述多个第一光线路中的一个，选择的所述第一光线路与所述第二光线路的光路径一致，从对应于选择的所述第一光线路的腔体的内部发光的光通过选择的所述第一光线路及所述第二光线路传递到所述分光器。

本发明的一实施例的工程系统控制方法包括：控制器通过将第一切换移动信号传送到切换模块以第一切换所述切换模块的切换部使得将从腔体的第一监控部通过第一光线路传送的光通过第二光线路传送到分光器或检查模块的步骤；以及所述第一切换后经过积分时间的情况下，所述控制器通过将第二切换移动信号传送到所述切换模块以第二切换移动所述切换部使得将从所述腔体的第二监控部通过另一第一光线路传送的光通过所述第二光线路传送到所述分光器或所述检查模块的步骤。在此，所述切换模块切换所述腔体的多个监控部与所述分光器或所述检查模块之间的连接。

本发明的另一实施例的工程系统控制方法包括：控制器通过将第一切换移动信号传送到切换模块以第一切换所述切换模块的切换部使得将从第一腔体通过第一光线路传送的光通过第二光线路传送到分光器或检查模块的步骤；以及控制器通过将第一切换移动信号传送到切换模块以第一切换所述切换模块的切换部使得将从第一腔体通过第一光线路传送的光通过第二光线路传送到分光器或检查模块的步骤。在此，所述切换模块切换所述多个腔体与所述分光器或所述检查模块之间的连接。

技术效果

本发明的半导体或显示器等的工程系统能够利用切换模块将腔体内部的多个位置的光依次传递到一个分光器，其结果，能够对工程进行准确的分析且显著降低所述工程系统的费用。

并且，本发明的工程系统可利用切换模块将在多个腔体发生的光依次传递到一个分光器，其结果，能够显著降低所述工程系统的费用。

并且，所述工程系统控制方法能够有效驱动这种切换模块。

附图说明

图1是示出现有半导体系统的OES结果值的附图；

图2是示出一般腔体的结构的附图；

图3是示出对应于分光器变更的OES结果值的附图；

图4是示出本发明的一实施例的半导体系统的概念的附图；

图5是示出本发明的第一实施例的半导体系统的框图；

图6是示出本发明的一实施例的切换模块的立体图；

图7是示出本发明的一实施例的切换模块的俯视图；

图8是示出本发明的第一实施例的腔体、切换模块及分光器的连接关系的附图；

图9是示出本发明的第二实施例的半导体系统的框图；

图10是示出本发明的第二实施例的腔体、切换模块及分光器的连接关系的附图；

图11是示出本发明的另一实施例的切换模块的简要立体图；

图12是示出图11的切换模块的俯视图；

图13是示出本发明的一实施例的半导体系统控制方法的框图。

附图标记说明

500：腔体 502：切换模块

504：分光器 506：检查模块

600：外壳 602：驱动部

604：轴 606：第一固定部

608：移动部 610：支撑部

612：切换部 614：连接部

616、618：移动支撑部

具体实施方式

本说明书中使用的单数表达方式在文中无其他明确定义的情况下还包括复数表达方式。关于本说明书中记载的“构成”或“包括”等术语，不应理解为必须包括说明书上记载的所有构成要素或所有步骤，而是应该理解为可以不包括其中部分构成要素或部分步骤，或者还可以包括其他附加构成要素或步骤。并且，说明书上记载的“…部”、“模块”等术语表示处理至少一个功能或动作的单位，这些可以通过硬件或软件实现或通过结合硬件及软件实现。

本发明涉及用于半导体系统或显示器等的工程系统的切换模块，可以将在腔体的各位置发生的光切换传递到分光器。在此，所述工程系统是指用腔体执行工程的所有系统。

根据一个实施例，所述腔体具有管理员能够观察内部的多个监控部，所述监控部与所述切换模块通过光线路连接，所述切换模块可切换选择所述多个光线路中的一个并将通过选择的所述光线路输入的光传递到分光器。

根据另一实施例，切换模块可以将从各腔体发生的光切换传递到分光器。

将连接于所述腔体的监控部或腔体的多个光线路分别连接到不同的分光器的情况下半导体系统的费用显著上升，本发明的半导体系统可利用以往没有的新的切换模块将所述多个光线路选择性地连接到一个分光器。其结果，只需一个分光器即可，因此能够显著降低所述半导体系统的费用。

并且，本发明涉及驱动使用切换模块的半导体或显示器等的工程系统的方法，通过有效控制将在腔体的多个位置或多个腔体发生的光切换传递到分光器进行分析。

以下参见附图对本发明的多种实施例进行详细说明。但是为了便于说明而以工程系统中的半导体系统为例。

图4是示出本发明的一实施例的半导体系统的概念的附图，图5是示出本发明的第一实施例的半导体系统的框图。

参见图4图5，本实施例的半导体系统可包括腔体500、切换模块502、分光器504及检查模块506。根据实施例，可以使得分光器504包含于检查模块506或仅有检查模块506而没有分光器504。

腔体500执行沉积工程等半导体工程，可包括至少两个监控部。例如，如图8所示，腔体500可具有四个监控部800、802、804及806。以下为了便于说明而假设腔体500具有四个监控部800、802、804及806。

监控部800、802、804及806可以是管理员能够从外部观察腔体500的内部的窗口，监控部800、802、804、806可分别与光线路510a、510b、510c及510d连接。

这些光线路510a、510b、510c及510d可连接到切换模块502。具体地，监控部800、802、804及806可分别连接到切换模块502的连接机构614a、614b、614c、614d。其结果，在腔体500内部发生的光可通过光线路510a、510b、510c或510d及连接于切换模块502的光线路512传递到分光器504。因此，管理员可检查在腔体500的各种位置发生的光以准确地检查半导体工程，例如沉积工程中蚀刻结束时间点或是否发生不良。

另外，连接机构614a、614b、614c及614d可以是具有物理结构的连接部，也可以是连接孔。但以下为了便于说明而假设连接机构614a、614b、614c及614d为连接部。

根据现有技术，腔体上连接有一个光线路，分析通过所述光线路传递的光以检查半导体工程，其结果难以进行准确的分析。例如，OES结果值因腔体的观测位置而异，现有技术只是分析一个位置的OES结果值，因此分析准确度低下。

反面，本发明能够分析在腔体500的多个位置发生的光，因此能够进行准确的分析。

切换模块502可选择连接于腔体500且延长的光线路510a、510b、510c及510d并连接到分光器504。

例如，切换模块502可根据外部控制将光线路510a、510b、510c及510d中的光线路510a选择性地连接到连接于分光器504的光线路512，其结果，通过光线路510a从腔体500传送的光能够传递到分光器504。这种光传递过程同样可以适用于其他光线路510b、510c及510d。即，可依次选择光线路510a、510b、510c及510d。在此，所述选择的时间可以相同地适用于光线路510a、510b、510c及510d。

分光器504可以分离出从切换模块502传递的光中需要分析的频带的光，并将分离出的所述光传送到检查模块506。

检查模块506可对从分光器504传送的光进行分析以判断半导体工程的蚀刻结束时间点或是否发生不良。

综上，本实施例的半导体系统利用切换模块502将在腔体500的多个位置发生的光依次传递到分光器504，因此能够准确地分析半导体工程。

并且，可以通过利用切换模块502的方法仅使用一个分光器，而不使用多个分光器个别地传递在腔体的多个位置发生的光。其结果，能够显著降低所述半导体系统的费用。

以下参见附图详细说明以往不存在的新设备即切换模块502的详细结构。但为了便于说明而假设腔体500与切换模块502之间具有四个光线路510a、510b、510c及510d。

图6是示出本发明的一实施例的切换模块的立体图，图7是示出本发明的一实施例的切换模块的俯视图，图8是示出本发明的第一实施例的腔体、切换模块及分光器的连接关系的附图。

参见图6的(A)、图6的(B)及图7，本实施例的切换模块502可包括外壳600、驱动部602、轴604、第一固定部606、移动部608、支撑部610、切换部612、连接机构614a、614b、614c及614d及第二固定部700。在此，连接机构614a、614b、614c及614d可以是连接部或连接孔，为了便于说明而假设为连接部。

外壳600是用于保护内部构成要素的部件，一侧面形成有孔620，另一侧面也可以形成有孔622。图6没有示出上面，但外壳600还可以包括上面。

驱动部602起到使轴604旋转的作用，例如可以是电机。在此，电机602的旋转轴可连接于轴604。

轴604连接于驱动部602，可具有棒形态，可随着驱动部602的驱动进行旋转。

根据一个实施例，轴604的外周面可形成有螺纹。

这种轴604不接触外壳600的内侧面，可通过第一固定部606、第二固定部700固定。

根据一个实施例，第一固定部606形成有孔且第二固定部700形成有孔或槽，连接于驱动部602的轴604可贯通第一固定部606的孔且插入到第二固定部700的孔或槽。其结果，轴604可以在固定于第一固定部606及第二固定部700的状态下旋转。

根据一个实施例，第一固定部606结合固定于外壳600的底面，中央可形成有用于轴604贯通的孔。并且，第二固定部700结合固定于外壳600或外壳600的内侧面，中央可形成有用于轴604插入的孔或槽。因此，即使轴604与外壳600的内侧面分离而非连接，也能够被第一固定部606、第二固定部700稳定地固定。

移动部608可随着轴604的旋转向前后移动。例如，移动部608的中央形成有孔，相当于所述孔的移动部608的内侧面形成有螺纹，所述螺纹可以与轴604的螺纹咬合。其结果，由于螺纹咬合，因此轴604旋转的情况下移动部608在轴604上向前后移动。

切换部612结合于移动部608上，例如可螺钉结合于移动部608的末端部分。

根据一个实施例，切换部612可具有倒字形状，一部分(水平部)结合于移动部608，其他部分(垂直部)可垂直地形成于所述一部分。并且，切换部612的垂直部可形成有孔。

根据一个实施例，切换部612可被移动支撑部616及618支撑。例如，切换部612可根据预先设置在移动支撑部616上移动预定距离(相邻的连接部之间的距离)。在此，移动支撑部616及618可固定于外壳600的底面或侧面。并且，移动支撑部616及618的上端可形成有表示连接部614a、614b、614c及614d的位置的表示槽。

连接部614a、614b、614c及614d结合于外壳600的孔，相互隔着预定间隔相隔，并且可形成有孔。连接部614a、614b、614c及614d与孔的结合方法可以有多种变形。当然，连接部614a、614b、614c及614d在隔着预定间隔结合于外壳600的前提下可以直接结合于外壳600的侧面上而并非结合于孔。

根据一个实施例，从腔体500延长的光线路510与连接到分光器504的光线路512如图6的(B)所示，可在切换部612的垂直部的孔及连接部614a、614b、614c或614d的孔内连接。其结果，在腔体500内发生的光能够通过光线路510及512传递到分光器504。在此，光线路512可从连接部614a、614b、614c或614d延长并贯通外壳600的孔622连接到分光器504。

根据另一实施例，例如从腔体500延长的光线路510插入结合于连接部614a且连接于分光器504的光线路512插入结合于切换部612的垂直部的孔。该情况下，即使光线路510、512未直接结合，但由于连接部614a与切换部612的垂直部紧贴或近距离配置，因此在腔体500内发生的光能够通过光线路510及512传递到分光器504。

根据这种切换部612与连接部614a、614b、614c、614d的结构，如图8所示，切换部612排列成与连接部614a光路径一致，因此腔体500内部的光通过第一监控部800、光线路510a、连接部614a、切换部612及光线路512传递到分光器504，预先设定的时间后切换部612排列成与连接部614b光路径一致，使腔体500内部的光通过第二监控部802、光线路510b、连接部614b、切换部612及光线路512传递到分光器504，预先设定的时间后切换部612排列成与连接部614c光路径一致，使腔体500内部的光通过第三监控部804、光线路510c、连接部614c、切换部612及光线路512传递到分光器504，预先设定的时间后切换部612排列成与连接部614d光路径一致，使腔体500内部的光能够通过第四监控部806、光线路510d、连接部614d、切换部612及光线路512传递到分光器504。即，通过腔体500的监控部800、802、804、806发散的光可依次输入到分光器504。

可通过预先设定的程序运行驱动部602以实现这种切换部612的移动。具体地，向驱动部602施加预定电流的情况下旋转轴旋转以使轴604旋转，其结果，移动部608能够向前方或后方移动使得切换部612与相邻的连接部614光路径一致。

根据上述说明，通过使轴604旋转的方法线性移动切换部612，而也可以通过使轴线性移动的方式线性移动切换部。即，能够线性移动切换部612的前提下，控制切换部612的结构可具有多种变形。

另外，如上所述的腔体500具有四个监控部，但只要具有一个以上的监控部及两个以上的观测地点便足矣。并且，以上具有四个连接部，但只要具有两个以上的连接部便足矣。

根据另一实施例，可具有多个包括移动部、支撑部及切换部的切换对。该情况下，可以使各切换对分别具有分光器。

图9是示出本发明的第二实施例的半导体系统的框图，图10是示出本发明的第二实施例的腔体、切换模块及分光器的连接关系的附图。但是为了便于说明而沿用图5及图8的附图标记。

参见图9及图10，本实施例的半导体系统可包括多个腔体，例如四个腔体500a、500b、500c及500d、切换模块502、分光器504及检查模块506。

腔体500a、500b、500c、500d分别执行沉积工程等半导体工程，可包括一个以上的监控部1000、1002、1004或1006。以下为了便于说明而假设具有四个腔体500a、500b、500c及500d。

如图10所示，各腔体500a、500b、500c及500d的一个监控部1000、1002、1004或1006上可连接有光线路1010a、1010b、1010c或1010d。

这种光线路1010a、1010b、1010c及1010d连接到切换模块502。具体地，腔体500a、500b、500c及500d的监控部1000、1002、1004及1006可通过光线路1010a、1010b、1010c及1010d分别连接到切换模块502的连接机构614a、614b、614c及614d。其结果，在腔体500a、500b、500c及500d内部发生的光能够通过光线路1010a、1010b、1010c或1010d及连接于切换模块502的光线路512传递到分光器504。因此，管理员可通过检查在腔体500a、500b、500c及500d发生的光一次性检查在腔体500a、500b、500c及500d执行的半导体工程，例如沉积工程的蚀刻结束时间点或是否发生不良等。

另外，连接机构614a、614b、614c及614d可以是物理性的连接部，也可以是连接孔，但为了便于说明而假设为连接部。

根据现有技术，为了分析在各腔体发生的光而需要具备相当于腔体的数量的分光器，其结果导致半导体系统的费用上升。

反面，本发明通过一个分光器504分析腔体500a、500b、500c及500d的光，因此能够显著降低半导体系统的费用。

切换模块502可选择连接于腔体500a、500b、500c及500d且延长的光线路1010a、1010b、1010c及1010d并连接到分光器504。

例如，切换模块502可根据外部控制选择性地将光线路1010a、1010b、1010c及1010d中的光线路1010a连接到连接于分光器504的光线路512，其结果，通过光线路1010a从腔体500a传送的光能够传递到分光器504。这种光传递过程同样可以适用于其他光线路1010a、1010b、1010c及1010d。即，可依次选择光线路1010a、1010b、1010c及1010d。在此，所述选择的时间可以相同地适用于所有光线路1010a、1010b、1010c及1010d。

分光器504可以分离出从切换模块502传递的光中需要分析的频带的光，并将分离出的所述光传送到检查模块506。

检查模块506可对从分光器504传送的光进行分析以判断半导体工程的蚀刻结束时间点或是否发生不良。

综上，本实施例的半导体系统利用切换模块502将在多个腔体500a、500b、500c及500d发生的光依次传递到分光器504，因此能够一次性分析腔体500a、500b、500c及500d的半导体工程。

并且，可以通过利用切换模块502的方法仅使用一个分光器，而不使用多个分光器个别地传递在腔体500a、500b、500c及500d发生的光。其结果，能够显著降低所述半导体系统的费用。

切换模块502的结构中除了连接部614a、614b、614c及614d与腔体500a、500b、500c及500d的连接结构以外的其余结构与图6及图7相同。

连接部614a、614b、614c及614d可分别连接到腔体500a、500b、500c及500d的监控部1000、1002、1004及1006。即，切换模块502可切换从腔体500a、500b、500c及500d传送的光以传递到分光器504。

图11是示出本发明的另一实施例的切换模块的简要立体图，图12是示出图11的切换模块的俯视图。

参见图11图12，本实施例的切换模块502可包括外壳1100、驱动部1110、轴承1112、固定部1114、切换部1116、轴1120、连接机构1118a、1118b、1118c及1118d。虽然图11中示出了四个连接机构1118a、1118b、1118c及1118d，但不限于此。在此，连接机构1118a、1118b、1118c及1118d可以是物理性的连接部，也可以是连接孔，但为了便于说明而假设为连接孔。

驱动部1110例如是电机，起到使轴1120旋转的作用。在此，驱动部1110的旋转轴可结合于轴1120，因此轴1120可随着所述旋转轴的旋转而旋转。

轴承1112能够固定着所述旋转轴或轴1120使其旋转。

固定部1114能够稳定地支撑着轴1120使得轴1120旋转。例如，固定部1114的中央可形成有孔且固定于外壳1100的底面，并且轴1120可贯通所述孔。其结果，固定部1114能够稳定地支撑轴1120。

切换部1116连接于轴1120，轴1120旋转时能够相应地进行旋转。例如，切换部1116可包括结合部1130及与结合部1130交叉，优选的是垂直地形成的光路径部1132。

结合部1130与轴1120结合，光路径部1132的末端部可形成有光路径孔1140。在此，光路径孔1140可用于插入与分光器504连接的第二光线路512，与腔体500的监控部800、802、804或806连接的第一光线路510a、510b、510c或510d或与腔体500a、500b、500c或500d连接的第一光线路1010a、1010b、1010c或1010d能够插入到选自连接孔1118a、1118b、1118c及1118d的一个孔。

所述第二光线路能够以插入结合于光路径孔1140的状态通过形成于外壳1100的一侧面的孔1140连接到分光器504。另外，光路径孔1140及连接孔1118a、1118b、1118c及1118d可具有能够与相应光线路结合的结构，例如可沿着光路径孔1140及连接孔1118a、1118b、1118c及1118d的内侧面的周围形成有结合槽。

对其动作来讲，随着驱动部1110驱动，切换部1116可排列成对应于连接孔1118a、1118b、1118c及1118d中的一个，例如连接孔1118a，以使得第一光线路510a、510b、510c或510d及第二光线路512的光路径一致。其结果，例如通过腔体500的第一监控部800输出的光可通过第一光线路510a及第二光线路512输入到分光器504。

之后，随着驱动部1110驱动，切换部1116可排列成对应于连接孔1118a、1118b、1118c及1118d中的一个，例如连接孔1118b，其结果光路径变成一致，因此通过腔体500的第二监控部802输出的光能够通过第一光线路510b第二光线路512输入到分光器504。

之后，随着驱动部1110驱动，切换部1116可排列成对应于连接孔1118a、1118b、1118c及1118d中的一个，例如连接孔1118c，其结果光路径变成一致，因此通过腔体500的第三监控部804输出的光能够通过第一光线路510c及第二光线路512输入到分光器504。

之后，随着驱动部1110驱动，切换部1116可排列成对应于连接孔1118a、1118b、1118c及1118d中的一个，例如连接孔1118d，其结果光路径变成一致，因此通过腔体500的第四监控部806输出的光能够通过第一光线路510d及第二光线路512输入到分光器504。

根据另一实施例，随着驱动部1110驱动，切换部1116可排列成对应于连接孔1118a、1118b、1118c及1118d中的一个，例如连接孔1118a，以使得第一光线路1010a、1010b、1010c或1010d及第二光线路512的光路径变成一致。其结果，例如通过第一腔体500a输出的光能够通过第一光线路1010a及第二光线路512输入到分光器504。

之后，随着驱动部1110驱动，切换部1116可排列成对应于连接孔1118a、1118b、1118c及1118d中的一个，例如连接孔1118b，其结果光路径变成一致，因此通过第二腔体500b输出的光能够通过第一光线路1010b及第二光线路512输入到分光器504。

之后，随着驱动部1110驱动，切换部1116可排列成对应于连接孔1118a、1118b、1118c及1118d中的一个，例如连接孔1118c，其结果光路径变成一致，因此通过第三腔体500c输出的光能够通过第一光线路1010c及第二光线路512输入到分光器504。

之后，随着驱动部1110驱动，切换部1116可排列成对应于连接孔1118a、1118b、1118c及1118d中的一个，例如连接孔1118d，其结果光路径变成一致，因此通过第四腔体500d输出的光能够通过第一光线路1010d及第二光线路512输入到分光器504。

即，不同于通过直线运动切换的图6及图7的切换部612，本实施例的切换部1116能够通过例如圆运动之类的曲线运动进行切换。

连接孔1118a、1118b、1118c及1118d形成于外壳1100的一侧面，可以以相隔的状态沿着例如特定圆的弧之类的曲线排列。在此，形成有连接孔1118a、1118b、1118c及1118d的侧面与形成有第二光线路512通过的孔1140的侧面可相对。

综上，本实施例的切换模块502使切换部1116进行例如圆运动之类的曲线运动以切换第一光线路510a、510b、510c、510d、1010a、1010b、1010c或1010d与第二光线路512的光路径。

在上述结构中第一光线路510a、510b、510c、510d、1010a、1010b、1010c或1010d直接插入到连接孔1118a、1118b、1118c或1118d，而在连接孔1118a、1118b、1118c及1118d结合连接部，将第一光线路510a、510b、510c及510d或第一光线路1010a、1010b、1010c及1010d分别插入结合到所述连接部也无妨。

以下对控制具有上述结构的半导体系统的方法进行说明。

图13是示出本发明的一个实施例的半导体系统控制方法的框图。

参见图13，本实施例的控制器1300可包括控制模块1310及驱动模块1312。

当然，控制模块1310与驱动模块1312可不分离，而是构成为一个设备。但由于控制模块(例如，个人计算机)1310的负荷高而可能工作缓慢，因此为了使切换模块502快速地工作，独立地构成用于驱动切换模块502的驱动模块1312与控制模块1310较为有效。

对控制过程来讲，首先控制模块1310对分光器504与驱动模块1312进行基本设置。具体地，控制模块1310向分光器504传送第一设置信号(Set C CD Param)(①-1)，可向驱动模块1312传送第二设置信号(Set Module Param)(①-2)。

在此，第一设置信号(Set CCD Param)和数据传递方式相关。CCD的数据传递方式分为两种，分别是利用GPIO缆线传递数据的方法及通过USB缆线传递数据的方法。

第二设置信号(Set Module Param)可以是分光器504接收从腔体500传递过来的光的受光时间、切换部512与连接部614a、614b、614c或614d或切换部1116与连接孔1118a、1118b、1118c或1118d的光路径一致的时间或第一光线路与第二光线路连接的时间，即积分时间(integration time)。

根据一个实施例，控制模块1310可同时传送第一设置信号(Set CCD Param)与第二设置信号(Set Module Param)。

之后，控制模块1310在完成基本设置后可以将开始信号(start signal)传送到驱动模块1312(②)。

之后，驱动模块1312可根据传送的所述开始信号向切换模块502传送驱动切换模块502的切换移动信号(switch move signal)，驱动模块1312与切换模块502可进行TTL通信(③)。在此，所述切换移动信号和切换模块502的设定的值相关。例如，'00'表示来自腔体500的第一监控部800的光传递，'01'表示来自腔体500的第二监控部802的光传递，'10'表示来自腔体500的第三监控部804的光传递，'11'可表示来自腔体500的第四监控部806的光传递。

作为另一例，'00'表示来自第一腔体500a的光传递，'01'表示来自第二腔体500b的光传递，'10'表示来自第三腔体500c的光传递，'11'可表示来自第四腔体500d的光传递。

其结果，切换部612移动使得切换部612与连接部614a的光路径一致或切换部1116曲线运动使得切换部1116与连接孔1118a的光路径一致，因此从腔体500的第一监控部800通过第一光线路510a传送的光能够通过第二光线路512传递到分光器504，或者从第一腔体500a通过第一光线路1010a传送的光能够通过第二光线路512传递到分光器504。

之后，切换模块502在切换部612完成切换(移动)后将切换结束信号(switchingfinished signal)传送到驱动模块1312(④)。

之后，驱动模块1312在接收到切换结束信号后开始计时器动作达积分时间(integration time)，同时将计时器开及触发器开信号(timer on&external trigger on，即，受光开始信号)传送到分光器504(⑤)。

之后，驱动模块1312运行计时器达设置的积分时间(integration time)后使计时器结束运行，同时将计时器关及触发器关信号(timer off&external trigger off，即受光结束信号)传送到分光器504(⑥)。

之后，分光器504接收计时器关及触发器关信号后将具有受光数据的数据信号传送到控制模块1310(⑦)。

之后，控制模块1310对所述传送的数据信号的受光数据进行处理。

另外，驱动模块1312在计时器结束的同时设置下一个GPIO(例如，01)后将切换移动信号传送到切换模块502。其结果，切换部612移动使得切换部612与连接部614b的光路径一致或切换部1116曲线运动使得切换部1116与连接孔1118b的光路径一致，因此从腔体500的第二监控部802通过第一光线路510b传送的光能够通过第二光线路512传递到分光器504，或者从第二腔体500b通过第一光线路1010b传送的光能够通过第二光线路512传递到分光器504。

之后，重复④至⑥过程。

之后，关于下一个GPIO设置(例如，10)，重复③至⑥过程。其结果，移动使得切换部612与连接部614c的光路径一致，因此从腔体500的第三监控部804通过第一光线路510c传送的光能够通过第二光线路512传递到分光器504，或者从第三腔体500c通过第一光线路1010c传送的光能够通过第二光线路512传递到分光器504。

之后，关于下一个GPIO设置(例如，11)，重复③至⑥过程。其结果，切换部612移动使得切换部612与连接部614d的光路径一致，或者切换部1116曲线运动使得切换部1116与连接孔1118d的光路径一致，因此从腔体500的第四监控部806通过第一光线路510d传送的光能够通过第二光线路512传递到分光器504，或者从第四腔体500d通过第一光线路1010d传送的光能够通过第二光线路512传递到分光器504。

综上，本实施例的半导体系统控制方法可切换着切换模块502的切换部612或1116将从腔体的多种监控部或多个腔体传送的光向分光器分别传递积分时间(integrationtime)时长。

另外，可以从步骤的角度轻易地理解上述实施例的构成要素。即，各构成要素可以理解为各步骤。并且，可以从装置构成要素的角度轻易地理解上述实施例的步骤。

并且，以上说明的技术内容可以以能够通过多种计算机设备执行的程序指令形态实现并存储在计算机可读介质中。所述计算机可读介质可包括程序指令、数据文件、数据结构或其组合。存储在所述存储介质中的程序指令可以是为实施例而专门设计和构建的，但也可以是计算机软件技术人员公知使用的。计算机可读存储介质例如可以是硬盘、软盘及磁盘等磁介质(magnetic media)、CD-ROM、DVD之类的光存储介质(optical med ia)、软光盘(floptical disk)之类的磁-光介质(magneto-optical media)及ROM、RAM、闪存盘等为了存储和执行程序命令而专门构成的硬件装置。并且，程序指令不仅包括通过编译器得到的机器代码，还包括使用解释器等能够通过计算机执行的高级语言代码。可以将上述硬件装置构建成用于执行实施例的动作的一个以上软件模块，反之相同。

工业应用性

上述本发明的实施例是为了例示而公开的，本发明所属技术领域的一般技术人员可在本发明的思想与范围内进行多种修改、变更、附加，应该将这些修改、变更及附加视为属于技术方案的范围。

Claims (27)

1.一种切换模块，其特征在于，包括：

多个连接机构；

切换部；以及

驱动部，

其中，所述多个连接机构分别与第一光线路相连接，所述切换部与第二光线路相连接，所述切换部排列成光路径与所述多个连接机构中的一个的光路径一致，所述切换部随着所述驱动部的驱动而移动成光路径与另一连接机构的光路径一致，

通过连接于光路径与所述切换部的光路径一致的连接机构的第一光线路输入的光传递到与所述切换部连接的第二光线路。

2.根据权利要求1所述的切换模块，其特征在于：

所述连接机构是连接部或连接孔，多个所述第一光线路分别连接到腔体的多个监控部，所述第二光线路连接到分光器，

在所述腔体的内部发生的光通过所述多个监控部中的第一监控部、相应的第一光线路、相应的连接机构、所述切换部及所述第二光线路传递到所述分光器，预先设定的时间后在所述腔体的内部发生的光通过所述多个监控部中的第二监控部、相应的第一光线路、相应的连接机构、所述切换部及所述第二光线路传递到所述分光器。

3.根据权利要求1所述的切换模块，其特征在于：

所述连接机构是连接部或连接孔，多个所述第一光线路分别连接到多个腔体的多个监控部，所述第二光线路连接到分光器，

在所述多个腔体中的第一腔体的内部发生的光通过相应的监控部、相应的第一光线路、相应的连接机构、所述切换部及所述第二光线路传递到所述分光器，预先设定的时间后在所述多个腔体中的第二腔体的内部发生的光通过相应的监控部、相应的第一光线路、相应的连接机构、所述切换部及所述第二光线路传递到所述分光器。

4.根据权利要求2或3所述的切换模块，其特征在于：

还包括外壳，

其中，所述连接机构隔着预定相隔距离结合到形成于所述外壳的侧面的孔，所述第二光线路从所述切换部通过形成于所述外壳的另一侧面的孔连接到所述分光器。

5.根据权利要求4所述的切换模块，其特征在于，还包括：

轴，其连接于所述驱动部的旋转轴；

至少一个固定部，其固定所述轴；

移动部，其形成有孔；以及

支撑部，其形成于所述移动部的上部，

所述轴的外周面形成有螺纹，所述固定部形成有孔，并且所述轴贯通所述固定部的孔及所述移动部的孔排列，对应于所述孔的移动部的内侧面形成有螺纹，随着所述轴的螺纹与所述移动部的螺纹咬合，所述移动部随着所述轴的旋转相应地向前方或后方移动，所述切换部以结合于所述支撑部的末端部分的状态排列成光路径与相应的连接机构的光路径一致。

6.根据权利要求5所述的切换模块，其特征在于：

所述切换部随着所述移动部的移动进行直线运动，

所述切换部的移动距离为相邻的连接机构之间的距离。

7.一种切换模块，其特征在于，包括：

外壳；

驱动部，其排列于所述外壳的内部；以及

切换部，

其中，所述外壳的一侧面形成有多个连接机构，

所述多个连接机构与相应的第一光线路相连接，所述切换部与第二光线路相连接，所述切换部排列成光路径与所述连接机构中的一个的光路径一致，所述切换部随着所述驱动部的驱动而曲线运动以排列成光路径与另一连接机构的光路径一致，

通过插入到光路径与所述切换部的光路径一致的连接机构的第一光线路输入的光传递到与所述切换部连接的第二光线路。

8.根据权利要求7所述的切换模块，其特征在于，包括：

轴，其连接于所述驱动部的旋转轴；

轴承，其固定并且旋转所述轴；以及

固定部，其以固定于所述外壳的底面的状态支撑所述轴，

其中，所述轴的一端结合于所述切换部的结合部，所述切换部还包括与所述结合部交叉地形成的光路径部，

所述光路径部的末端部形成有光路径孔，所述第二光线路插入到所述光路径孔，所述光路径孔排列成对应于相应的连接机构。

9.根据权利要求8所述的切换模块，其特征在于：

所述连接机构是连接部或连接孔，

与形成有所述连接机构的侧面相对的所述外壳的侧面形成有用于所述第二光线路贯通的孔，

所述连接机构以相隔的状态曲线排列，所述光路径孔沿着所述连接机构曲线移动。

10.一种工程系统，其特征在于，包括：

腔体；

切换模块；以及

分光器，

所述切换模块与所述腔体的多个位置通过多个第一光线路相连接且通过第二光线路与所述分光器相连接，

所述切换模块选择所述多个第一光线路中的一个，选择的所述第一光线路与所述第二光线路的光路径一致，从所述腔体的内部发光的光通过选择的所述第一光线路及所述第二光线路传递到所述分光器。

11.根据权利要求10所述的工程系统，其特征在于：

所述多个第一光线路分别与所述腔体的多个监控部连接，所述切换模块依次选择所述多个第一光线路将在所述腔体的多个位置发生的光传递到所述分光器，

所述多个监控部形成于所述腔体的不同的位置。

12.一种工程系统，其特征在于，包括：

多个腔体；

切换模块；以及

分光器，

其中，所述切换模块与所述多个腔体通过多个第一光线路相连接，通过第二光线路与所述分光器相连接，

所述切换模块选择所述多个第一光线路中的一个，选择的所述第一光线路与所述第二光线路的光路径一致，从对应于选择的所述第一光线路的腔体的内部发光的光通过选择的所述第一光线路及所述第二光线路传递到所述分光器。

13.根据权利要求12所述的工程系统，其特征在于：

所述多个第一光线路分别与所述多个腔体的多个监控部相连接，所述切换模块依次选择所述多个第一光线路将在所述腔体发生的光传递到所述分光器。

14.一种工程系统控制方法，其特征在于，包括：

控制器通过将第一切换移动信号传送到切换模块以第一切换所述切换模块的切换部使得将从腔体的第一监控部通过第一光线路传送的光通过第二光线路传送到分光器或检查模块的步骤；以及

所述第一切换后经过积分时间的情况下，所述控制器通过将第二切换移动信号传送到所述切换模块以第二切换移动所述切换部使得将从所述腔体的第二监控部通过另一第一光线路传送的光通过所述第二光线路传送到所述分光器或所述检查模块的步骤，

其中，所述切换模块切换所述腔体的多个监控部与所述分光器或所述检查模块之间的连接。

15.根据权利要求14所述的工程系统控制方法，其特征在于：

所述切换部与所述切换模块的多个连接机构中的第一连接机构的光路径根据所述第一切换移动信号变成一致，所述切换部与所述多个连接机构中的第二连接机构的光路径根据所述第二切换移动信号变成一致，

所述第一连接机构上连接所述第一光线路，所述第二连接机构上连接所述另一第一光线路，所述切换部上连接所述第二光线路，

所述连接机构为物理性的连接部或连接孔。

16.根据权利要求14所述的工程系统控制方法，其特征在于，还包括：

所述第二切换后经过所述积分时间的情况下，所述控制器通过将第三切换移动信号传送到所述切换模块以第三切换移动所述切换部使得将从所述腔体的第三监控部通过又一第一光线路传送的光通过所述第二光线路传送到所述分光器或所述检查模块的步骤；

所述控制器在所述第一切换结束后从所述切换模块接收第一切换结束信号的步骤；

所述控制器在所述第二切换结束后从所述切换模块接收第二切换结束信号的步骤；以及

所述控制器在所述第三切换结束后从所述切换模块接收第三切换结束信号的步骤。

17.根据权利要求16所述的工程系统控制方法，其特征在于，还包括：

所述控制器在接收到所述第一切换结束信号时启动计时器，并且将第一计时器开及触发器开信号传送到所述分光器的步骤；

所述控制器使所述计时器运行相当于所述积分时间的量后结束所述计时器的运行，并将第一计时器关及触发器关信号传送到所述分光器的步骤；

所述控制器在接收到所述第二切换结束信号时启动所述计时器，并且将第二计时器开及触发器开信号传送到所述分光器的步骤；

所述控制器使所述计时器运行相对于所述积分时间的量后结束所述计时器的运行，并将第二计时器关及触发器关信号传送到所述分光器的步骤；

所述控制器在接收到所述第三切换结束信号时启动所述计时器，并且将第三计时器开及触发器开信号传送到所述分光器的步骤；以及

所述控制器使所述计时器运行相对于所述积分时间的量后结束所述计时器的运行，并将第三计时器关及触发器关信号传送到所述分光器的步骤。

18.根据权利要求17所述的工程系统控制方法，其特征在于，还包括：

所述分光器在接收到所述第一计时器关及触发器关信号时将具有受光数据的数据信号传送到所述控制器的步骤。

19.根据权利要求14所述的工程系统控制方法，其特征在于：

所述控制器包括控制模块及驱动模块，

所述驱动模块根据从所述控制模块传送的开始信号将所述第一切换移动信号传送到所述切换模块，经过所述积分时间后将所述第二切换移动信号传送到所述切换模块。

20.根据权利要求19所述的工程系统控制方法，其特征在于：

所述控制模块向所述分光器传送第一设置信号以在所述分光器设置受光时间，向所述驱动模块传送第二设置信号以设置所述积分时间。

21.一种工程系统控制方法，其特征在于，包括：

控制器通过将第一切换移动信号传送到切换模块以第一切换所述切换模块的切换部使得将从第一腔体通过第一光线路传送的光通过第二光线路传送到分光器或检查模块的步骤；以及

所述第一切换后经过积分时间的情况下，所述控制器通过将第二切换移动信号传送到所述切换模块以第二切换移动所述切换部使得将从第二腔体通过另一第一光线路传送的光通过所述第二光线路传送到所述分光器或所述检查模块的步骤，

所述切换模块切换所述多个腔体与所述分光器或所述检查模块之间的连接。

22.根据权利要求21所述的工程系统控制方法，其特征在于：

所述切换部与所述切换模块的多个连接机构中的第一连接机构的光路径根据所述第一切换移动信号变成一致，所述切换部与所述多个连接机构中的第二连接机构的光路径通过所述第二切换移动信号变成一致，

所述第一连接机构上连接所述第一光线路，所述第二连接机构上连接所述另一第一光线路，所述切换部上连接所述第二光线路，

所述连接机构为物理性的连接部或连接孔。

23.根据权利要求21所述的工程系统控制方法，其特征在于，还包括：

所述第二切换后经过所述积分时间的情况下，所述控制器通过将第三切换移动信号传送到所述切换模块以第三切换移动所述切换部使得将从第三腔体通过又一第一光线路传送的光通过所述第二光线路传送到所述分光器或所述检查模块的步骤；

所述控制器在所述第一切换结束后从所述切换模块接收第一切换结束信号的步骤；

所述控制器在所述第二切换结束后从所述切换模块接收第二切换结束信号的步骤；以及

所述控制器在所述第三切换结束后从所述切换模块接收第三切换结束信号的步骤。

24.根据权利要求23所述的工程系统控制方法，其特征在于：

所述控制器在接收到所述第一切换结束信号时启动计时器，并且将第一计时器开及触发器开信号传送到所述分光器的步骤；

所述控制器使所述计时器运行相当于所述积分时间的量后结束所述计时器的运行，并将第一计时器关及触发器关信号传送到所述分光器的步骤；

所述控制器在接收到所述第二切换结束信号时启动所述计时器，并且将第二计时器开及触发器开信号传送到所述分光器的步骤；

所述控制器使所述计时器运行相当于所述积分时间的量后结束所述计时器的运行，并将第二计时器关及触发器关信号传送到所述分光器的步骤；

所述控制器在接收到所述第三切换结束信号时启动所述计时器，并且将第三计时器开及触发器开信号传送到所述分光器的步骤；以及

所述控制器使所述计时器运行相当于所述积分时间的量后结束所述计时器的运行，并将第三计时器关及触发器关信号传送到所述分光器的步骤。

25.根据权利要求24所述的工程系统控制方法，其特征在于，还包括：

所述分光器在接收所述第一计时器关及触发器关信号时将具有受光数据的数据信号传送到所述控制器的步骤。

26.根据权利要求21所述的工程系统控制方法，其特征在于：

所述控制器包括控制模块及驱动模块，

所述驱动模块根据从所述控制模块传送的开始信号将所述第一切换移动信号传送到所述切换模块，经过所述积分时间后将所述第二切换移动信号传送到所述切换模块。

27.根据权利要求26所述的工程系统控制方法，其特征在于：

所述控制模块向所述分光器传送第一设置信号以在所述分光器设置受光时间，向所述驱动模块传送第二设置信号以设置所述积分时间。

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