CN110824662A - 一种一维快速反射镜、二维快速反射镜及其柔性支撑结构 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种柔性支撑结构，包括至少两个用于连接反射镜与支撑基座的柔性支撑单元，柔性支撑单元包括用于与反射镜连接的上端块、用于与支撑基座连接的下端块以及两个簧片，两个簧片交错设置于上端块与下端块之间，两个簧片的中心线重合，且上端块、下端块沿两个簧片的中心线对称分布；柔性支撑单元的簧片的中心线均共线。因此，本发明的结构简单且大幅降低了生产成本，便于制造。同时，减小了柔性支撑结构的重量和体积，降低了其转动惯量，有利于降低系统功耗、提高控制带宽和系统可靠性。此外，本发明还公开了一种包括上述柔性支撑结构的一维快速反射镜和二维快速反射镜。

Description

一种一维快速反射镜、二维快速反射镜及其柔性支撑结构

技术领域

本发明涉及光学精密仪器技术领域，更具体地说，涉及一种柔性支撑结构。此外，本发明还涉及一种包括上述柔性支撑结构的一维快速反射镜和二维快速反射镜。

背景技术

快速反射镜可通过控制反射镜的摆动改变入射光轴与镜面的入射角度、实现对反射光轴指向的调整。作为一种光路调整技术，快速反射镜系统广泛应用于激光武器、激光雷达等技术领域。

快速反射镜系统中反射镜多采用柔性支撑结构进行约束，因此柔性支撑结构是影响快速反射镜摆动控制精度及使用寿命的关键部件，而其转动刚度则是其关键机械参数。在快速反射镜系统的设计中，在确保垂直于转轴方向的转动刚度足够大的情况下，可通过调整绕转轴转动的转动刚度，提高快速反射镜的控制精度。

现有技术中的柔性支撑结构需要具备一定的壁厚以保证垂直于转轴方向的转动刚度足够大，不利于支撑结构的减重，同时还需要复杂的切口加工技术，一方面加工成本高，另一方面复杂切口也不利于调节转动刚度。

综上所述，如何简化柔性支撑结构，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的是提供一种柔性支撑结构，两个端块间两个簧片交错设置，结构简单、便于制造，且降低了柔性支撑结构的质量，提高了快速反射镜的控制带宽和疲劳寿命。

本发明的另一目的是提供一种包括上述柔性支撑结构的一维快速反射镜和二维快速反射镜。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种柔性支撑结构，包括至少两个用于连接反射镜与支撑基座的柔性支撑单元，所述柔性支撑单元包括用于与所述反射镜连接的上端块、用于与所述支撑基座连接的下端块以及两个簧片，两个所述簧片交错设置于所述上端块与所述下端块之间，两个所述簧片的中心线重合，且所述上端块、所述下端块沿两个所述簧片的中心线对称分布；

所述柔性支撑单元的所述簧片的中心线均共线。

优选的，所述簧片上设有至少一个第一连接孔，所述上端块上设有与所述第一连接孔配合的第一安装孔，所述簧片与所述上端块通过螺栓连接；

所述簧片上设有至少一个第二连接孔，所述下端块上设有与所述第二连接孔配合的第二安装孔，所述簧片与所述下端块通过螺栓连接。

优选的，所述簧片为C形簧片。

优选的，所述C形簧片上设有两个第一安装孔和两个第二安装孔，且所述第一安装孔与所述第二安装孔关于所述C形簧片的中心线对称。

优选的，所述上端块与所述簧片的接触面均为斜面，且两斜面与所述支撑基座的夹角相同。

优选的，所述柔性支撑单元的数量为两个。

一种一维快速反射镜，包括反射镜、支撑基座、驱动所述反射镜摆动的驱动器、检测所述反射镜角度位置的传感器、控制所述驱动器的控制器以及连接所述反射镜与所述支撑基座的柔性支撑结构，所述柔性支撑结构为上述任一项所述的柔性支撑结构。

优选的，还包括用于发射检测激光的激光器，所述传感器为PSD位置传感器；

所述反射镜包括用于反射外部光源的大反射镜和安装于所述大反射镜背面的小反射镜，所述小反射镜与所述大反射镜平行，且所述小反射镜可随所述大反射镜同步摆动，以便所述PSD位置传感器根据所述小反射镜的偏转角度获取所述大反射镜的偏转角度。

一种二维快速反射镜，包括反射镜、支撑基座、驱动所述反射镜摆动的驱动器、检测所述反射镜角度位置的传感器、控制所述驱动器的控制器以及连接所述反射镜与所述支撑基座的柔性支撑结构，所述柔性支撑结构呈十字形且包括四个柔性支撑单元，所述柔性支撑单元为上述任一项所述的柔性支撑单元。

优选的，还包括用于发射检测激光的激光器，所述传感器为PSD位置传感器；

所述反射镜包括用于反射外部光源的大反射镜和安装于所述大反射镜背面的小反射镜，所述小反射镜与所述大反射镜平行，且所述小反射镜可随所述大反射镜同步摆动，以便所述PSD位置传感器根据所述小反射镜的偏转角度获取所述大反射镜的偏转角度。

本发明提供的柔性支撑结构，包括两个用于连接反射镜与支撑基座的柔性支撑单元，柔性支撑单元包括用于与反射镜连接的上端块、用于与支撑基座连接的下端块以及两个簧片，两个簧片交错设置于上端块与下端块之间，两个簧片的中心线重合，且上端块、下端块沿两个簧片的中心线对称分布；柔性支撑单元的簧片的中心线均共线。

在支撑基座所在的平面内，以与任意两柔性支撑单元的簧片中心线垂直的方向为X方向，两柔性支撑单元的簧片中心线所在的方向为Y方向。由于簧片自身的宽度远大于厚度，因此柔性支撑结构绕X方向转动的转动刚度远小于柔性支撑结构绕Y方向转动的转动刚度，使得反射镜在外力驱动下可绕X方向转动，即绕簧片中心线摆动。

因此相比于现有技术，本发明提供的柔性支撑结构无需加工复杂切口，结构简单且大幅降低了生产成本，便于制造。同时，本发明通过簧片自身的结构即可保证垂直于转轴方向的转动刚度足够大，无需再具备一定的壁厚，减小了柔性支撑结构的重量和体积，降低了其转动惯量，有利于降低系统功耗、提高控制带宽，且提高了柔性支撑结构的疲劳寿命，有利于提高系统可靠性。

此外，本发明还提供了一种包括上述柔性支撑结构的一维快速反射镜和二维快速反射镜，柔性支撑结构间无摩擦和间隙，响应速度快、响应精度高。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本发明所提供的柔性支撑结构的具体实施例的结构示意图；

图2为图1中柔性支撑单元的轴测示意图；

图3为图2中柔性支撑单元的爆炸示意图；

图4为图2中柔性支撑单元的左视示意图；

图5为图2中柔性支撑单元的俯视示意图；

图6为本发明所提供的一维快速反射镜的具体实施例的爆炸示意图；

图7为图6中一维快速反射镜的主视示意图；

图8为图6中一维快速反射镜检测光路的原理示意图；

图9为现有技术中一维快速反射镜的原理示意图；

图10为本发明所提供的二维快速反射镜的具体实施例的主视示意图；

图11为图10中柔性支撑结构的结构示意图。

图1-图11中：

1为反射镜、2为柔性支撑结构、21为上端块、22为簧片、23为锁紧螺钉、24为弹性垫圈、25为下端块、3为支撑基座、4为音圈电机、5为PSD位置传感器、6为激光器、7为电涡流传感器、A为两簧片交错的夹角、W为簧片的宽度、L为簧片的有限弹性长度、H为簧片的厚度、L0为小反射镜未偏转时光轴的位置、L1为小反射镜偏转后光轴的位置、θ为反射镜的偏转角度、a0为小反射镜未偏转时光轴距PSD位置传感器上反射光线入射点的距离、a为小反射镜偏转后光轴距PSD位置传感器上反射光线入射点的距离、b为小反射镜的光心到PSD位置传感器的距离、c为电涡流传感器两探头之间的距离、d为电涡流传感器两探头到反射镜的距离的差值、α0为小反射镜未偏转时反射光线与PSD位置传感器之间的夹角、α为小反射镜偏转后反射光线与PSD位置传感器之间的夹角。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明的核心是提供一种柔性支撑结构，两个端块间两个簧片交错设置，结构简单、便于制造，且降低了柔性支撑结构的质量，提高了快速反射镜的控制带宽和疲劳寿命。

此外，本发明还提供了一种包括上述柔性支撑结构的一维快速反射镜和二维快速反射镜。

请参考图1-图11，图1为本发明所提供的柔性支撑结构的具体实施例的结构示意图；图2为图1中柔性支撑单元的轴测示意图；图3为图2中柔性支撑单元的爆炸示意图；图4为图2中柔性支撑单元的左视示意图；图5为图2中柔性支撑单元的俯视示意图；图6为本发明所提供的一维快速反射镜的具体实施例的爆炸示意图；图7为图6中一维快速反射镜的主视示意图；图8为图6中一维快速反射镜检测光路的原理示意图；图9为现有技术中一维快速反射镜的原理示意图；图10为本发明所提供的二维快速反射镜的具体实施例的主视示意图；图11为图10中柔性支撑结构的结构示意图。

本发明提供的柔性支撑结构2，包括至少两个用于连接反射镜1与支撑基座3的柔性支撑单元，柔性支撑单元包括用于与反射镜1连接的上端块21、用于与支撑基座3连接的下端块25以及两个簧片22，两个簧片22交错设置于上端块21与下端块25之间，两个簧片22的中心线重合，且上端块21、下端块25沿两个簧片22的中心线对称分布；柔性支撑单元的簧片22的中心线均共线。

柔性支撑单元的数量可以为两个，也可以大于两个，柔性支撑单元设置的具体数量根据生产中的需要进行确定。

优选的，可以将柔性支撑单元的数量设置为两个。

优选的，为了使柔性支撑单元结构紧凑并防止簧片22绕上端块21或者下端块25转动，簧片22上可以设有至少一个第一连接孔，上端块21上设有与第一连接孔配合的第一安装孔，簧片22与上端块21通过螺栓连接；簧片22可以上设有至少一个第二连接孔，下端块25上设有与第二连接孔配合的第二安装孔，簧片22与下端块25通过螺栓连接。

当然，也可以将螺栓连接方式替换为销连接等其他类似的连接方式。

第一安装孔的大小与第二安装孔的大小可以相同，也可以不同，优选的，为了方便簧片22的生产，可以将第一安装孔与第二安装孔设置为相同尺寸，因此簧片22可通过同一钻头完成打孔，无需更换钻头的型号。

簧片22上第一安装孔的数量与第二安装孔的数量根据实际簧片22的尺寸、第一安装孔的尺寸以及第二安装孔的尺寸等因素决定，以免簧片22上孔隙过多、影响簧片22的结构性能。

需要进行说明的是，第一安装孔和第二安装孔在簧片22上设置的位置需要尽量避免应力集中对簧片22结构性能的影响，以延长簧片22的使用寿命。

簧片22的形状可以设置为任意几何形状，只要能够满足两个簧片22交错安装的要求且两个簧片22间不存在干涉即可。优选的，可以将簧片22设置为C形，结构简单，便于簧片22的制造与安装。

优选的，可以在C形簧片上设有两个第一安装孔和两个第二安装孔，且第一安装孔与第二安装孔关于C形簧片的中心线对称。请参考图2，C形簧片可通过四个锁紧螺钉23分别与上端块21和下端块25连接。

优选的，可以在锁紧螺钉23与簧片22之间设置有弹性垫圈24，防止拧紧锁紧螺钉23时损坏簧片22。

优选的，可以设置上端块21与簧片22的接触面均为斜面，且两斜面与支撑基座3的夹角相同。上端块21的斜面的倾斜角度，根据两簧片22交错的夹角A确定。

在安装柔性支撑结构2时，利用工装准确定位下端块25、簧片22以及上端块21的位置后，使用锁紧螺钉23及弹性垫圈24锁紧簧片22，并保证两个簧片22、上端块21以及下端块25关于簧片中心线对称，使得自由状态下上端块21的固定端面与下端块25的固定端面平行且正逆方向下转动刚度相同。

在支撑基座3所在的平面内，以与任意两柔性支撑单元的簧片中心线垂直的方向为X方向，两柔性支撑单元的簧片中心线所在的方向为Y方向。由于簧片22的宽度W远大于簧片22的厚度H，因此柔性支撑结构2绕X方向转动的转动刚度远小于柔性支撑结构2绕Y方向转动的转动刚度，使得反射镜1在外力驱动下可绕X方向转动，即相对簧片中心线上下摆动。

因此，本实施例提供的柔性支撑结构2，相比于现有技术无需加工复杂切口，结构简单且大幅降低了生产成本，便于制造。同时，本发明通过簧片22自身的结构即可保证垂直于转轴方向的转动刚度足够大，无需再具备一定的壁厚，减小了柔性支撑结构2的重量和体积，降低了其转动惯量，有利于降低系统功耗、提高控制带宽，且提高了柔性支撑结构2的疲劳寿命，有利于提高系统可靠性。

需要进行说明的是，柔性支撑结构2的转动刚度可以通过改变簧片22的宽度W、簧片22的厚度H、簧片22的有限弹性长度L以及两簧片22交错的夹角A以及簧片22的材质等因素进行调节，并控制最大弯曲应力小于簧片22的疲劳强度，以满足快速反射镜系统对于柔性支撑结构2的转动刚度需求，实现快速反射镜系统设计要求中的最大摆动角度。

本发明还提供了一种包括上述实施例公开的柔性支撑结构2的一维快速反射镜，该一维快速反射镜包括反射镜1、支撑基座3、驱动反射镜1摆动的驱动器、检测反射镜1角度位置的传感器、控制驱动器的控制器以及连接反射镜1与支撑基座3的柔性支撑结构2，其中柔性支撑结构2为上述实施例公开的柔性支撑结构2。

请参考图7，反射镜1安装于柔性支撑结构的两个柔性支撑单元的上端块21。

快速反射镜系统设置于光源或接收器和目标之间，在一维快速反射镜工作时，传感器检测反射镜1的角度位置并将其传递给控制器，控制器根据反射镜1的当前角度位置输出控制信号至驱动器，反射镜1在柔性支撑单元的约束下由驱动器支撑驱使角度位置变化，从而调整反射镜1的光轴方向。

优选的，驱动器可以为音圈电机4，通过音圈电机4磁钢的前后移动可推动柔性支撑结构2相对簧片中心线上下摆动，从而带动安装于柔性支撑结构上的反射镜1相对簧片中心线上下摆动。

根据检测原理的不同，传感器可以设置为PSD位置传感器5，位置检测范围大，适合对反射镜1大范围偏转的检测；可以设置为电涡流传感器7；当然也可以是其他具有相似功能的传感器。

在上述实施例的基础上，一维快速反射镜还可以包括用于发射检测激光的激光器6，传感器可以设置为PSD位置传感器5；反射镜1包括用于反射外部光源的大反射镜和安装于大反射镜背面的小反射镜，小反射镜与大反射镜平行，且小反射镜可随大反射镜同步摆动，以便PSD位置传感器5通过小反射镜的偏转角度获取大反射镜的偏转角度。

此处需要说明的是，大反射镜用于反射外部光源及目标的光线的一面为正面，与之相对的一面为背面。

由于小反射镜与大反射镜平行，并可随大反射镜同步摆动，因此小反射镜的偏转角度与大反射镜的偏转角度相同。

小反射镜安装于大反射镜的背面，优选的，可以将小反射镜粘接于大反射镜的背面，连接方式方便且连接紧固。

工作时，激光器6发射检测激光照射至小反射镜上，经小反射镜反射后被PSD位置传感器5接收，PSD位置传感器5通过接收的光线检测小反射镜的角度位置并将其传递给控制器，控制器根据小反射镜的当前角度位置输出控制信号至驱动器，反射镜1在柔性支撑单元的约束下由驱动器支撑驱使角度位置变化，从而调整大反射镜的光轴方向。

PSD位置传感器5检测反射镜1的角度位置的工作原理请参考图8。在图8上，L0为小反射镜未偏转时光轴的位置，L1为小反射镜偏转后光轴的位置，θ为反射镜1的偏转角度，a0为小反射镜未偏转时光轴距PSD位置传感器5上反射光线入射点的距离，a为小反射镜偏转后光轴距PSD位置传感器5上反射光线入射点的距离，b为小反射镜的光心到PSD位置传感器5的距离，α0为小反射镜未偏转时反射光线与PSD位置传感器5之间的夹角，α为小反射镜偏转后反射光线与PSD位置传感器5之间的夹角。由图8可知，偏转后的反射光线与未偏转时的反射光线的夹角2θ满足2θ＝α-α0。

PSD位置检测器5的检测量为小反射镜偏转后光轴距PSD位置传感器5上反射光线入射点的距离a，对于不同的小反射镜偏转后光轴距PSD位置传感器5上反射光线入射点的距离a，PSD位置检测器5输出的电压不同。

因此，控制器根据PSD位置检测器5输出的电压值可以获取小反射镜偏转后光轴距PSD位置传感器5上反射光线入射点的距离a，由于小反射镜的光心到PSD位置传感器5的距离b为定值，根据α＝arctan(b/a)可以计算得到小反射镜偏转后反射光线与PSD位置传感器5之间的夹角α。

由于对于具体的一维快速反射镜，小反射镜未偏转时反射光线与PSD位置传感器5之间的夹角α0为定值，控制器根据2θ＝α-α0可以计算得到偏转后的反射光线与未偏转时的反射光线的夹角2θ，又由于偏转后的反射光线与未偏转时的反射光线的夹角2θ为反射镜1的偏转角度θ的二倍，最终得到反射镜1的偏转角度θ＝[arctan(b/a)-α0]/2。

现有技术中，多采用电涡流传感器7作为检测反射镜1角度位置的传感器，其工作原理请参考图9，电涡流传感器7两端的探头用于测量探头距反射镜1的距离，以获得电涡流传感器7两探头到反射镜1的距离的差值d，电涡流传感器7两探头之间的距离c为定值，因此可以根据θ＝arctan(d/c)求得反射镜1的偏转角度θ。故而，电涡流传感器7的分辨率由电涡流传感器7两探头之间的距离c决定，电涡流传感器7两探头之间的距离c越大，电涡流传感器7的分辨率越高。但是受到反射镜1自身尺寸的限制，电涡流传感器7两探头之间的距离c的增加有限，从而限制了电涡流传感器7分辨率的提高。

在本实施例中，PSD位置传感器5的分辨率由小反射镜的光心到PSD位置传感器5的距离b决定，可以通过增加小反射镜的光心到PSD位置传感器5的距离b、有效地提高传感器的分辨率，因此可实现更高的分辨率。

同时，通过偏转后的反射光线与未偏转时的反射光线的夹角2θ获取反射镜1的偏转角度θ，检测光路放大了反射镜1的偏转角度θ，提高了检测的灵敏度。

此外，现有技术中的电涡流传感器7受到探头与反射镜1可能接触等因素的影响，对偏转角度的检测范围较小，而PSD位置传感器5不存在上述风险，可检测的偏转角度的范围更大。

优选的，PSD位置传感器5可以为条状。PSD位置传感器5的长度影响其可检测的反射镜1的偏转角度θ的角度范围，PSD位置传感器5的长度越长，可接收到的反射光线的范围越大，对应的可检测的反射镜1的偏转角度θ的角度范围越大。

在本发明的某一具体实施例中，请参考图8，一维快速反射镜包括反射镜1、柔性支撑结构2、支撑基座3、音圈电机4、PSD位置传感器5和激光器6，支撑基座3靠近反射镜1的一端安装有音圈电机4线圈和柔性支撑结构2，反射镜1固定于柔性支撑结构2上；支撑基座3远离反射镜1的一端通过PSD支架安装有PSD位置传感器5和激光器6；反射镜1包括大反射镜、小反射镜和用于定位柔性支撑结构2以及音圈电机4的定位板，小反射镜粘接于大反射镜的背面，大反射镜安装于定位板上，定位板安装于支撑基座3内。

除了上述柔性支撑结构2和一维快速反射镜，本发明还提供了一种包括上述实施例公开的柔性支撑单元的二维快速反射镜，该二维快速反射镜包括反射镜1、支撑基座3、驱动反射镜1摆动的驱动器、检测反射镜1角度位置的传感器、控制驱动器的控制器以及连接反射镜1与支撑基座3的柔性支撑结构，柔性支撑结构2呈十字形且包括了四个柔性支撑单元，其中柔性支撑单元为上述实施例公开的柔性支撑单元。

请参考图8和图9，柔性支撑结构2可以包括两组位于同一直线上的柔性支撑单元，且两组柔性支撑单元所在的直线相互垂直。以距支撑基座3较远的一组柔性支撑单元为上柔性支撑单元组，距支撑基座3较近的一组柔性支撑单元为下柔性支撑单元组，上柔性支撑单元组的上端块21上设有用于与反射镜1连接的连接孔。两组柔性支撑单元通过连接梁连接，连接梁与上柔性支撑单元组的下端块25以及下柔性支撑单元组的上端块21连接。由于两组柔性支撑单元相互垂直，因此柔性支撑结构2可绕两个相互垂直的轴线转动，实现了反射镜1的二维摆动。

驱动器分别驱动上柔性支撑单元组和下柔性支撑单元组，使得反射镜1可同时相对上柔性支撑单元组的簧片中心线以及下柔性支撑单元组的簧片中心线上下摆动。

在上述实施例的基础上，二维快速反射镜还可以包括用于发射检测激光的激光器6，传感器可以为PSD位置传感器5；反射镜1包括用于反射外部光源的大反射镜和安装于大反射镜背面的小反射镜，小反射镜与大反射镜平行，且小反射镜可随大反射镜同步摆动，以便PSD位置传感器5根据小反射镜的偏转角度获取大反射镜的偏转角度。

需要进行说明的是，在二维快速传感器中，为了适应二维检测的需要，优选的，可以将PSD位置传感器5设置为正方形。

需要进行说明的是，本申请文件中第一连接孔和第二连接孔以及第一安装孔和第二安装孔中的第一和第二仅用于区分位置的不同，而不含对顺序的限定。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

以上对本发明所提供的一维快速反射镜、二维快速反射镜及其柔性支撑结构进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以对本发明进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。

Claims (10)

1.一种柔性支撑结构，其特征在于，包括至少两个用于连接反射镜(1)与支撑基座(3)的柔性支撑单元，所述柔性支撑单元包括用于与所述反射镜(1)连接的上端块(21)、用于与所述支撑基座(3)连接的下端块(25)以及两个簧片(22)，两个所述簧片(22)交错设置于所述上端块(21)与所述下端块(25)之间，两个所述簧片(22)的中心线重合，且所述上端块(21)、所述下端块(25)沿两个所述簧片(22)的中心线对称分布；

所述柔性支撑单元的所述簧片(22)的中心线均共线。

2.根据权利要求1所述的柔性支撑结构，其特征在于，所述簧片(22)上设有至少一个第一连接孔，所述上端块(21)上设有与所述第一连接孔配合的第一安装孔，所述簧片(22)与所述上端块(21)通过螺栓连接；

所述簧片(22)上设有至少一个第二连接孔，所述下端块(25)上设有与所述第二连接孔配合的第二安装孔，所述簧片(22)与所述下端块(25)通过螺栓连接。

3.根据权利要求2所述的柔性支撑结构，其特征在于，所述簧片(22)为C形簧片。

4.根据权利要求3所述的柔性支撑结构，其特征在于，所述C形簧片上设有两个第一安装孔和两个第二安装孔，且所述第一安装孔与所述第二安装孔关于所述C形簧片的中心线对称。

5.根据权利要求1-4任一项所述的柔性支撑结构，其特征在于，所述上端块(21)与所述簧片(22)的接触面均为斜面，且两斜面与所述支撑基座(3)的夹角相同。

6.根据权利要求1-4任一项所述的柔性支撑结构，其特征在于，所述柔性支撑单元的数量为两个。

7.一种一维快速反射镜，其特征在于，包括反射镜(1)、支撑基座(3)、驱动所述反射镜(1)摆动的驱动器、检测反射镜(1)角度位置的传感器、控制所述驱动器的控制器以及连接所述反射镜(1)与所述支撑基座(3)的柔性支撑结构(2)，所述柔性支撑结构(2)为权利要求1-6任一项所述的柔性支撑结构。

8.根据权利要求7所述的一维快速反射镜，其特征在于，还包括用于发射检测激光的激光器(6)，所述传感器为PSD位置传感器(5)；

所述反射镜(1)包括用于反射外部光源的大反射镜和安装于所述大反射镜背面的小反射镜，所述小反射镜与所述大反射镜平行，且所述小反射镜可随所述大反射镜同步摆动，以便所述PSD位置传感器(5)根据所述小反射镜的偏转角度获取所述大反射镜的偏转角度。

9.一种二维快速反射镜，其特征在于，包括反射镜(1)、支撑基座(3)、驱动所述反射镜(1)摆动的驱动器、检测反射镜(1)角度位置的传感器、控制所述驱动器的控制器以及连接所述反射镜(1)与所述支撑基座(3)的柔性支撑结构(2)，所述柔性支撑结构(2)呈十字形且包括四个柔性支撑单元，所述柔性支撑单元为权利要求1-6任一项所述的柔性支撑单元。

10.根据权利要求9所述的二维快速反射镜，其特征在于，还包括用于发射检测激光的激光器(6)，所述传感器为PSD位置传感器(5)；

所述反射镜(1)包括用于反射外部光源的大反射镜和安装于所述大反射镜背面的小反射镜，所述小反射镜与所述大反射镜平行，且所述小反射镜可随所述大反射镜同步摆动，以便所述PSD位置传感器(5)根据所述小反射镜的偏转角度获取所述大反射镜的偏转角度。

Images