CN110657838B - 一种动压流速复合传感器 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种动压流速复合传感器。该复合传感器包括：双孔式动压传感单元、纤毛式流速传感单元、耐压壳体和信号调理电路；双孔式动压传感单元和纤毛式流速传感单元均嵌在耐压壳体的上表面；纤毛式流速传感单元的纤毛式传感元件向上延伸出耐压壳体的表层；信号调理电路位于耐压壳体内部；双孔式动压传感单元与纤毛式流速传感单元的信号输出端均连接到信号调理电路的信号输入端；双孔式动压传感单元用于测量耐压壳体表面的水流的动压；纤毛式流速传感单元用于测量耐压壳体表面的水流的流速。本发明的动压流速复合传感器，能够实现传感器表面水流的动压和流速的复合检测。

Description

一种动压流速复合传感器

技术领域

本发明涉及水下流场参数测量技术领域，特别是涉及一种动压流速复合传感器。

背景技术

目前水下航行器在航行过程中，在某些特殊场合下需要准确测量航行器周围的流场信息，以实现水下避障、隐身航行等功能。流场参数不仅要实时测量，还需要动压，流速信息的高灵敏度分布式感知，为航行器提供准确的流场信息。因此，水下流场参数的精确检测和传感器的阵列化设计具有重要的实用价值。

侧线是鱼类和水生两栖类所特有的感觉器官，按照其形态不同分为两类：体表侧线及管道侧线。鱼类的侧线器官详见附图1所示。管道侧线位于体侧的皮肤下面，以一系列侧线孔穿过头骨及鳞片，并与外界相通，管内充满粘液，感觉器浸埋在粘液里；体表侧线位于皮肤表面。管道侧线用来测量头尾向的动态压力，体表侧线用来测量背腹向的水流速，侧线器感受周围流场的变化，具有趋流向的定位作用，同时还能测定物体的远近位置。基于此，现有技术中出现大量仿生鱼类侧线的水下流场参数测量传感器。例如胡桥等人发明的一种水下仿生侧线感知阵列(专利公开号CN108362334A)其方案是流速传感器和压强传感器都封装在管道内部，仅能测量管道内部的流速。

发明内容

本发明的目的是提供一种动压流速复合传感器，实现传感器表面水流的动压和流速的复合检测。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

一种动压流速复合传感器，包括：双孔式动压传感单元、纤毛式流速传感单元、耐压壳体和信号调理电路；

所述双孔式动压传感单元和所述纤毛式流速传感单元均嵌在所述耐压壳体的上表面；所述纤毛式流速传感单元的纤毛式传感元件向上延伸出所述耐压壳体的表层；所述信号调理电路位于所述耐压壳体内部；

所述双孔式动压传感单元与所述纤毛式流速传感单元的信号输出端均连接到所述信号调理电路的信号输入端；

所述双孔式动压传感单元用于测量所述双孔式动压传感单元耐压壳体表面的水流的动压；所述纤毛式流速传感单元用于测量所述耐压壳体表面的水流的流速。

可选的，所述双孔式动压传感单元的内部开设有水流通道，在所述双孔式动压传感单元的顶部开设有两个孔；所述水流通道的两端分别连接到两个所述孔；在所述水流通道的底部设置有延伸方向与所述水流通道的延伸方向相同的悬臂梁；在所述水流通道的底部开设有凹槽；所述悬臂梁的一端与所述水流通道的底部固定连接，另一端悬空在所述凹槽上；所述悬臂梁的悬空的一端的上表面固定有柱状体；所述悬臂梁的与所述水流通道的底部固定连接的一端的上下两侧固定有第一金属电极；所述第一金属电极通过引线连接到所述信号调理电路；所述第一金属电极用于将所述悬臂梁的应变转换成电信号。

可选的，所述纤毛式流速传感器包括纤毛式传感元件和夹持底座；所述夹持底座嵌入所述耐压壳体；所述纤毛式传感元件沿竖直方向固定在所述夹持底座上且向上延伸出所述耐压壳体的上表面；在所述纤毛式传感元件的根部两侧固定有第二金属电极；所述第二金属电极通过引线连接到所述信号调理电路；所述第二金属电极用于将所述纤毛式传感元件的应变转换成电信号。

可选的，所述纤毛式传感元件为片状结构；两个所述孔之间的连线与所述片状结构的厚度方向相互垂直。

可选的，所述双孔式动压传感单元与所述纤毛式流速传感单元之间的距离大于最小预设间隙。

可选的，所述纤毛式传感元件的表面涂覆有一层具有防水性的且弹性模量低于所述纤毛式传感元件的弹性模量的硅凝胶。

可选的，所述纤毛式传感元件与所述悬臂梁的材质均为离子交换聚合金属材料。

可选的，所述柱状体的材质为聚甲基丙烯酸甲酯。

可选的，所述双孔式动压传感单元和所述纤毛式流速传感单元的数量相同且均为多个；多个所述双孔式动压传感单元沿两个所述孔的连线方向依次等间距排列成一排；多个所述纤毛式流速传感单元等间距排列成一排且排列方向与多个所述双孔式动压传感单元的排列方向平行；每个所述双孔式动压传感单元的一侧对应设置有一个所述纤毛式流速传感单元。

可选的，相邻的两个所述双孔式动压传感单元之间的间距等于相邻的两个所述纤毛式流速传感单元之间的间距。

根据本发明提供的具体实施例，本发明公开了以下技术效果：本发明所公开的动压流速复合传感器，双孔式动压传感单元和纤毛式流速传感单元均嵌在耐压壳体的上表面；纤毛式流速传感单元的纤毛式传感元件向上延伸出耐压壳体的表层，从而通过双孔式动压传感单元实现耐压壳体表面的水流的动压的检测，通过纤毛式流速传感单元实现耐压壳体表面的水流的流速的检测，从而实现传感器表面水流的动压和流速的复合检测。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明背景技术中鱼类的侧线器官图；

图2为本发明实施例动压流速复合传感器的框架结构图；

图3为本发明实施例动压流速复合传感器的整体结构图；

图4为本发明实施例动压流速复合传感器的正视图；

图5为本发明实施例动压流速复合传感器的俯视图；

图6为本发明实施例动压流速复合传感器的左视图；

图7为本发明实施例动压流速复合传感器中双孔式动压传感单元的结构图；

图8为本发明实施例动压流速复合传感器中双孔式动压传感单元的原理图；

图9为本发明实施例动压流速复合传感器中纤毛式流速传感器的原理图；

图10为本发明实施例动压流速复合传感器中纤毛式流速传感器的剖面图；

图11为本发明实施例动压流速复合传感器中偶极子定位实验的工作原理图；

图12为本发明实施例动压流速复合传感器的偶极子振动条件下X轴上动压及流速理论幅值曲线；

图13为本发明实施例动压流速复合传感器的偶极子振动条件下Y轴上动压及流速理论幅值曲线；

图14为本发明实施例动压流速复合传感器中偶极子定位实验的第一组实验结果图；

图15为本发明实施例动压流速复合传感器中偶极子定位实验的第二组实验结果图；

图16为本发明实施例动压流速复合传感器中双孔式动压传感单元分辨率测试实验的工作原理图；

图17为本发明实施例动压流速复合传感器中双孔式动压传感单元分辨率测试实验的实际测量结果与理论结果的对比曲线；

图18为本发明实施例动压流速复合传感器中纤毛式流速传感单元分辨率测试实验的工作原理图；

图19为本发明实施例动压流速复合传感器中纤毛式流速传感单元分辨率测试实验的实际测量结果与理论结果的对比曲线。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

图2为本发明实施例动压流速复合传感器的框架结构图。

图3为本发明实施例动压流速复合传感器的整体结构图。

图4为本发明实施例动压流速复合传感器的正视图。

图5为本发明实施例动压流速复合传感器的俯视图。

图6为本发明实施例动压流速复合传感器的左视图。

参见图2～图6，该动压流速复合传感器，包括：多个双孔式动压传感单元2、多个纤毛式流速传感单元3、耐压壳体1和信号调理电路4；

双孔式动压传感单元2和纤毛式流速传感单元3均嵌在耐压壳体1的上表面；纤毛式流速传感单元3的纤毛式传感元件10向上延伸出耐压壳体1的表层。信号调理电路4位于耐压壳体1内部。本发明的动压流速复合传感器可以用于水下航行器的表面。

多个双孔式动压传感单元2依次等间距排列成一排；多个纤毛式流速传感单元3等间距排列成一排且排列方向与多个双孔式动压传感单元2的排列方向平行；每个双孔式动压传感单元2的一侧对应设置有一个纤毛式流速传感单元3。

以双孔式动压传感单元2的排列方向为X轴，与竖直方向为Z轴，以与X轴垂直的水平方向为Y轴。由图可知，双孔式动压传感单元2和纤毛式流速传感单元3均沿X轴方向排列，纤毛式流速传感单元3位于双孔式动压传感单元2的Y轴方向。优选的，在耐压壳体1的上表面沿X轴方向开设有两排凹槽，双孔式动压传感单元2和纤毛式流速传感单元3分别嵌入到其中的一排凹槽中。

信号调理电路4位于双孔式动压传感单元2和纤毛式流速传感单元3的下方。

相邻的两个双孔式动压传感单元2之间的间距等于相邻的两个纤毛式流速传感单元3之间的间距。

双孔式动压传感单元2与纤毛式流速传感单元3的信号输出端均连接到信号调理电路4的信号输入端。信号调理电路4连接到数据采集卡。

双孔式动压传感单元2与纤毛式流速传感单元3之间的距离大于最小预设间隙，防止纤毛式流速传感单元3的纤毛结构对双孔式动压传感单元2的动压测量造成干扰。

耐压壳体1采用能够承受10MPa以上水压的壳体，从而起到稳定的封装和保护作用。本实施例中的耐压壳体1通过机械加工的方式获得，预先加工好腔体和端面的放置传感单元的凹槽，并且在腔体与表面之间为引线12开孔，在加工过程中，耐压壳体1外表面的棱边均圆角处理，使耐压壳体1对周围流场干扰降到最小。

双孔式动压传感单元2用于测量耐压壳体1表面的水流的动压；纤毛式流速传感单元3用于测量耐压壳体1表面的水流的流速。

图7为本发明实施例动压流速复合传感器中双孔式动压传感单元的结构图。

图8为本发明实施例动压流速复合传感器中双孔式动压传感单元的原理图。

参见图7和图8，双孔式动压传感单元2的内部开设有水流通道5，水流通道5的形状为U型。且水流通道5的两端开口朝上。在双孔式动压传感单元2的顶部开设有两个孔；两个孔均为圆形孔。水流通道5的两端分别连接到两个孔。两个孔与耐压壳体1上表面平齐，从而将双孔式动压传感单元2完全嵌入到耐压壳体1表层以内。在水流通道5的底部设置有延伸方向与水流通道5的延伸方向相同的悬臂梁6；在水流通道5的底部开设有凹槽9；悬臂梁6的一端与水流通道5的底部固定连接，另一端悬空在凹槽9上。凹槽9用于为悬臂梁6的振动提供下部空间。悬臂梁6的悬空的一端的上表面固定有柱状体8；柱状体8的材质为聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)。悬臂梁6的材质为离子交换聚合金属材料。凹槽9设置在水流通道5的中间段，柱状体8也位于水流通道5的中间段。悬臂梁6的与水流通道5的底部固定连接的一端的上下两侧固定有第一金属电极7；第一金属电极7通过引线12连接到信号调理电路4；第一金属电极7用于将悬臂梁6的应变转换成电信号。与第一金属电极7连接的引线12从双孔式动压传感单元2的底部穿过双孔式动压传感单元2从而连接到信号调理电路4。

当双孔式动压传感单元2附近的压力发生变化时，双孔式动压传感单元2的两个孔之间会产生动态压力差，压力带动悬臂梁6发生弯曲，第一金属电极7随悬臂梁6弯曲产生动态电信号，从而能够测量传感器表面沿X轴方向的压力梯度。柱状体8的作用是增大悬臂梁6与水流通道5内液体的接触面积，同时降低悬臂梁6的整体刚度，从而增大悬臂梁6的应变，起到大幅提高双孔式动压传感单元2的灵敏度的作用。

图9为本发明实施例动压流速复合传感器中纤毛式流速传感器的原理图。

图10为本发明实施例动压流速复合传感器中纤毛式流速传感器的剖面图。

参见图9图10，纤毛式流速传感器包括纤毛式传感元件10和夹持底座11；夹持底座11嵌入耐压壳体1。夹持底座11完全嵌入到耐压壳体1表层以内。纤毛式传感元件10沿竖直方向固定在夹持底座11上且向上延伸出耐压壳体1的上表面。在纤毛式传感元件10的根部两侧固定有第二金属电极15；第二金属电极15通过引线12连接到信号调理电路4；第二金属电极15用于将纤毛式传感元件10的应变变化转换成电信号。夹持底座11的中央具有向下凹陷的矩形槽13；纤毛式传感元件10的根部固定在矩形槽13中；矩形槽13的两个侧壁嵌入到耐压壳体1上，矩形槽13中填充有防水材料14，从而将第二金属电极15密封在矩形槽13中，防止第二金属电极15与水接触。与第二金属电极15连接的引线12从矩形槽13的底部穿过矩形槽13从而连接到信号调理电路4。

纤毛式传感元件10为片状结构；片状结构的截面为矩形，截面矩形的长宽比为10～20。双孔式动压传感单元2的两个孔之间的连线与片状结构的厚度方向(即矩形截面的宽度方向)相互垂直，即纤毛式传感元件10沿Y轴方向振动，从而使得双孔式动压传感单元2与纤毛式流速传感单元3的检测方向与双孔式动压传感单元2的检测方向相互垂直。

两个第二金属电极15固定在片状结构的两个宽侧面上。

纤毛式传感元件10的表面涂覆有一层具有防水性的且弹性模量低于纤毛式传感元件10的弹性模量的硅凝胶Ecoflex。该硅凝胶隔水性能好，杨氏模量小，能保证纤毛式传感元件10在高压环境下长期稳定工作，同时纤毛式传感元件10的弯曲刚度几乎不变，保持高灵敏特性。

纤毛式传感元件10的材质为离子交换聚合金属材料。

当耐压壳体1外部沿Y轴方向的流速发生变化时，纤毛式传感元件10在流速的作用下产生动态偏移，从而在纤毛式传感元件10的根部产生应变，使第二金属电极15产生动态电信号，从而能够实现对耐压壳体1外部沿Y轴方向的流速的测量。

本实施例的信号调理电路4用于对电信号进行放大和滤波处理。

本实施例的动压流速复合传感器能够测量的参数包括动态压力、沿X轴方向的压力梯度和沿Y轴方向的流速。同时，将沿Y轴方向的流速和沿X轴方向的压力梯度二者融合，实现水下目标的定位并提高定位精度。优选的，双孔式动压传感单元2与纤毛式流速传感单元3的数量均为3个或3个以上。

作为一种可选的方式，第一金属电极7和第二金属电极15均为压阻传感元件，在应变作用下，压阻传感元件的电阻发生变化，信号调理电路4通过检测电阻的变化从而实现对应变的检测。

下面以偶极子振动小球作为定位目标对本发明的水下目标定位效果进行说明：

通过偶极子振动能够模拟水中物体振动形成一种标准型流场，偶极子结构包括一个已知直径的小球。当偶极子以确定的频率、振幅、振动方向及驱动方式在水中有规律地振动时，以振动小球为中心，周围流场的动压分布、流速分布均可通过流体力学计算求出。同样，通过感知流场的动压与流速信息，可以计算出振动小球的相对坐标，这一方法在原理上可以验证动压流速复合传感器具备探测与定位水中振动物体的功能。

图11为本发明实施例动压流速复合传感器中偶极子定位实验的工作原理图。

参见图11，给定动压流速复合传感器的空间坐标系，在此坐标系中，振动小球16直径为25mm，Z轴坐标为100mm，X与Y坐标均为零，给定偶极子振动条件：振动频率为40Hz，振幅为0.55mm，振动方向为沿Y轴方向，驱动方式为正弦振动。在此条件下，X轴上动压及流速理论幅值曲线如图12所示，Y轴上动压及流速理论幅值曲线如图13所示。

在第一组实验中，给定振动小球的Y轴坐标为零，在空间坐标系的XZ平面内选取6个点，在所给定的偶极子振动条件下进行实验，动压流速复合传感器通过感知动压及流速信号对振动小球进行定位。

在第二组实验中，给定振动小球的Z轴坐标为10cm，在空间坐标系的XY平面内选取6个点，在所给定的偶极子振动条件下进行实验，动压流速复合传感器通过感知动压及流速信号对振动小球进行定位。

两组实验的结果如图14、图15所示，图中方块代表振动小球的实际坐标，顶点朝下的三角形代表只利用双孔式动压传感单元感知信号定位的结果，顶点朝上的三角形代表只利用纤毛式流速传感单元感知信号定位的结果，圆圈代表动压流速复合感知信号定位的结果。由图14和图15可以看出：

第一，利用动压流速复合感知方法进行定位的准确度要高于单独利用动压或流速感知进行定位，这是因为在复合感知过程中，双孔式动压传感单元与纤毛式流速传感单元可以互相校准，抵消部分系统误差，因此准确度更高。

第二，利用动压流速复合感知方法进行定位的方差要高于单独利用动压或流速感知进行定位，这是因为在复合感知过程中，双孔式动压传感单元与纤毛式流速传感单元同时采集可以通过信号处理的方法削弱传感单元自身的漂移带来的影响，并且降低信号噪音，提高整体稳定性，因此方差要更小。

图16为本发明实施例动压流速复合传感器中双孔式动压传感单元分辨率测试实验的工作原理图。

图17为本发明实施例动压流速复合传感器中双孔式动压传感单元分辨率测试实验的实际测量结果与理论结果的对比曲线。

如图16所示，采用偶极子振动小球实验来验证双孔式动压传感单元的分辨率特性。给定振动小球振动方向为正对水流通道的孔，在上述所给定的偶极子振动条件下进行实验，通过控制振动小球距离水流通道的其中一个孔的直线距离L，来调节双孔式动压传感单元所受的动态压力。动态压力信号经双孔式动压传感单元传输至信号调理电路，经放大、滤波处理后接入数据采集卡。

如图17所示，偶极子振动小球实验结果中，横坐标为直线距离L，纵坐标为双孔式动压传感单元表面动态压力幅值。带有圆形标记的线表示双孔式动压传感单元表面理论压力幅值，带有方形标记的线表示双孔式动压传感单元表面测量压力幅值，通过两线对比可以看出，双孔式动压传感单元精度良好，分辨率可以达到1Pa。

图18为本发明实施例动压流速复合传感器中纤毛式流速传感单元分辨率测试实验的工作原理图。

图19为本发明实施例动压流速复合传感器中纤毛式流速传感单元分辨率测试实验的实际测量结果与理论结果的对比曲线。

如图18所示，采用偶极子振动小球实验来验证纤毛式流速传感单元的分辨率特性。给定振动小球振动方向为纤毛摆动方向，在上述所给定的偶极子振动条件下进行实验，通过控制振动球距离纤毛式流速传感元件尖端的距离D，来调节纤毛式流速传感单元所受的动态流速。动态流速信号经纤毛式流速传感单元传输至信号调理电路，经放大、滤波处理后接入数据采集卡。

如图19所示，偶极子振动小球实验结果中，横坐标为直线距离D，纵坐标为纤毛式流速传感单元表面动态流速幅值。带有圆形标记的线表示纤毛式流速传感单元表面理论流速幅值，带有方形标记的线表示纤毛式流速传感单元表面测量流速幅值，通过两线对比可以看出，纤毛式流速传感单元精度良好，分辨率可以达到1mm/s。

根据本发明提供的具体实施例，本发明公开了以下技术效果：

(1)本发明提供的耐压壳体，可以承受10MPa以上的高压，能够在深海、湖泊等实际水下环境中保护传感器正常工作。

(2)本发明提供的动压流速复合传感器，传感单元之间可通过力学模型互相校准降低系统误差，通过后期数据处理可以削弱信号漂移与噪音水平，与单独动压或流速阵列相比，传感精度更高。并且具备探测与定位水中振动物体的功能。

(3)本发明提供的动压流速复合传感器，双孔式动压传感单元有“高通低阻”的特性，对高频信号具有更强的感知能力，纤毛式流速传感单元保持了低频感知能力，两者结合，可以增强综合感知能力，互补性强。

(4)本发明提供的双孔式动压传感单元，分辨率可达到1Pa，能够准确测出沿X轴向的动态压力与压力梯度。并且该双孔式动压传感单元结构简单，灵敏度高，能够在海洋、湖泊等实际水环境中稳定工作。

(5)本发明提供的纤毛式流速传感单元，分辨率可达到1mm/s，能够准确测出沿Y轴方向的流体流速。纤毛表面涂敷硅凝胶，结构简单，能够在海洋、湖泊等实际水环境中稳定工作。

(6)本发明提供的动压流速复合传感器，双孔式动压传感单元和纤毛式流速传感单元均嵌在耐压壳体的上表面；纤毛式流速传感单元的纤毛式传感元件向上延伸出耐压壳体的上表面，从而通过双孔式动压传感单元实现耐压壳体表面的水流的动压的检测，通过纤毛式流速传感单元实现耐压壳体表面的水流的流速的检测，从而实现传感器表面水流的动压和流速的复合检测。

本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (9)

1.一种动压流速复合传感器，其特征在于，包括：双孔式动压传感单元、纤毛式流速传感单元、耐压壳体和信号调理电路；

所述双孔式动压传感单元和所述纤毛式流速传感单元均嵌在所述耐压壳体的上表面；所述纤毛式流速传感单元的纤毛式传感元件向上延伸出所述耐压壳体的表层；所述信号调理电路位于所述耐压壳体内部；

所述双孔式动压传感单元与所述纤毛式流速传感单元的信号输出端均连接到所述信号调理电路的信号输入端；

所述双孔式动压传感单元用于测量所述耐压壳体表面的水流的动压；所述纤毛式流速传感单元用于测量所述耐压壳体表面的水流的流速；

所述双孔式动压传感单元的内部开设有水流通道，在所述双孔式动压传感单元的顶部开设有两个孔；所述水流通道的两端分别连接到两个所述孔；

所述纤毛式传感元件为片状结构；两个所述孔之间的连线与所述片状结构的厚度方向相互垂直。

2.根据权利要求1所述的动压流速复合传感器，其特征在于，在所述水流通道的底部设置有延伸方向与所述水流通道的延伸方向相同的悬臂梁；在所述水流通道的底部开设有凹槽；所述悬臂梁的一端与所述水流通道的底部固定连接，另一端悬空在所述凹槽上；所述悬臂梁的悬空的一端的上表面固定有柱状体；所述悬臂梁的与所述水流通道的底部固定连接的一端的上下两侧固定有第一金属电极；所述第一金属电极通过引线连接到所述信号调理电路；所述第一金属电极用于将所述悬臂梁的应变转换成电信号。

3.根据权利要求1所述的动压流速复合传感器，其特征在于，所述纤毛式流速传感单元包括纤毛式传感元件和夹持底座；所述夹持底座嵌入所述耐压壳体；所述纤毛式传感元件沿竖直方向固定在所述夹持底座上且向上延伸出所述耐压壳体的上表面；在所述纤毛式传感元件的根部两侧固定有第二金属电极；所述第二金属电极通过引线连接到所述信号调理电路；所述第二金属电极用于将所述纤毛式传感元件的应变转换成电信号。

4.根据权利要求1所述的动压流速复合传感器，其特征在于，所述双孔式动压传感单元与所述纤毛式流速传感单元之间的距离大于最小预设间隙。

5.根据权利要求3所述的动压流速复合传感器，其特征在于，所述纤毛式传感元件的表面涂覆有一层具有防水性的且弹性模量低于所述纤毛式传感元件的弹性模量的硅凝胶。

6.根据权利要求2所述的动压流速复合传感器，其特征在于，所述纤毛式传感元件与所述悬臂梁的材质均为离子交换聚合金属材料。

7.根据权利要求2所述的动压流速复合传感器，其特征在于，所述柱状体的材质为聚甲基丙烯酸甲酯。

8.根据权利要求1～7中任意一项所述的动压流速复合传感器，其特征在于，所述双孔式动压传感单元和所述纤毛式流速传感单元的数量相同且均为多个；多个所述双孔式动压传感单元沿两个所述孔的连线方向依次等间距排列成一排；多个所述纤毛式流速传感单元等间距排列成一排且排列方向与多个所述双孔式动压传感单元的排列方向平行；每个所述双孔式动压传感单元的一侧对应设置有一个所述纤毛式流速传感单元。

9.根据权利要求8所述的动压流速复合传感器，其特征在于，相邻的两个所述双孔式动压传感单元之间的间距等于相邻的两个所述纤毛式流速传感单元之间的间距。

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