CN110608870A - 一种转镜矩阵的测试装置及方法 - Google Patents

Abstract

本申请实施例公开了一种转镜矩阵的测试装置及方法，该测试装置包括信号源矩阵，用于产生第一光信号；转镜矩阵，与所述信号源矩阵对应设置，用于在施加第n组电压时，反射所述第一光信号形成第n组第二光信号，其中，n为小于或等于N的正整数，N为所述电压的总组数；图像模组，用于对所述第n组第二光信号形成第n图像；处理模组，与所述图像模组相连，用于基于所述第n图像，确定出所述第n组电压所对应所述转镜矩阵的第n转角；并基于至少两组所述电压与各所述电压所对应转角，确定所述转镜矩阵在所施加电压和所述转镜矩阵的转角之间的对应关系。

Description

一种转镜矩阵的测试装置及方法

技术领域

本发明涉及微光机电装置领域，尤其涉及一种转镜矩阵的测试装置及方法。

背景技术

通信业带的快速发展是基于光纤通信技术的问世和发展，光纤传输的业务量占目前世界通信业务大部分的份额，光纤已经在长途干线网和本地中继网中广泛使用。近几年互联网业务飞速发展增长，自动交换光网络(automatic switched optical networks，ASON)的核心节点由光交叉连接(optical cross connect，OXC)设备构成，二维微机电系统转镜(Micro Electro Mechanical System Optical Switch，MEMS OSW)为OXC中的关键部分。在应用MEMS OSW过程中，需要测试MEMS OSW的转角。然而，现有的转角测试采用的是人工测试，存在测试效率低的问题。

发明内容

本申请实施例期望提供一种转镜矩阵的测试装置及方法。

本发明的技术方案是这样实现的：

本申请实施例提供一种转镜矩阵的测试装置，所述装置包括：

信号源矩阵，用于产生第一光信号；

转镜矩阵，与所述信号源矩阵对应设置，用于在施加第n组电压时，反射所述第一光信号形成第n组第二光信号，其中，n为小于或等于N的正整数，N为所述电压的总组数；

图像模组，用于对所述第n组第二光信号形成第n图像；

处理模组，与所述图像模组相连，用于基于所述第n图像，确定出所述第n组电压所对应所述转镜矩阵的第n转角；并基于至少两组所述电压与各所述电压所对应转角，确定所述转镜矩阵在所施加电压和所述转镜矩阵的转角之间的对应关系。

在一种实施例中，所述图像模组包括：

感光面板，设置有栅格坐标，用于基于所述第n组第二光信号形成第n组光斑；

图像生成组件，用于生成包含有所述第n组光斑在所述感光面板上位置的第n图像。

在一种实施例中，所述处理模组，具体用于获取所述第n图像的第n组光斑在所述第n组图像中的第n组位置数据；并根据所述第n组位置数据、预设的基准位置数据和预设的转镜矩阵到图像模组之间的垂直距离，确定所述第n组电压所对应所述转镜矩阵的第n转角。

在一种实施例中，所述处理模组，还具体用于对至少两组所述电压与各所述电压所对应转角进行线性拟合，确定所述转镜矩阵在所施加电压和所述转镜矩阵的转角之间的对应关系。

在一种实施例中，所述信号源矩阵的设置方向与所述转镜矩阵的设置方向呈45度角，所述转镜矩阵的设置方向与所述图像模组的设置方向呈45度角。

本申请实施例提供一种转镜矩阵的测试方法，所述方法包括：

基于施加第n组电压时转镜矩阵反射信号源矩阵产生的第一光信号，形成第n组第二光信号；

采集所述第n组第二光信号，形成第n图像；

基于所述第n图像，确定出所述第n组电压所对应所述转镜矩阵的第n转角；

基于至少两组所述电压与各所述电压所对应转角，确定所述转镜矩阵在所施加电压和所述转镜矩阵的转角之间的对应关系。

在一种实施例中，所述采集所述第n组第二光信号，形成第n图像，包括：

基于所述图像模组的感光面板作用于所述第n组第二光信号，形成第n组光斑；

基于所述图像模组的图像生成组件，生成包含有所述第n组光斑在所述感光面板上位置的第n图像，其中，所述感光面板上设置有栅格坐标。

在一种实施例中，所述基于所述第n图像，确定出所述第n组电压所对应所述转镜矩阵的第n转角，包括：

获取所述第n图像的第n组光斑在所述第n组图像中的第n组位置数据；

基于所述第n组位置数据、预设的基准位置数据和所述转镜矩阵到所述图像模组之间的垂直距离，确定所述第n组电压所对应所述转镜矩阵的第n转角。

在一种实施例中，所述基于所述第n组位置数据、预设的基准位置数据和所述转镜矩阵到所述图像模组之间的垂直距离，确定所述第n组电压所对应所述转镜矩阵的第n转角，包括：

所述基于所述第n组位置数据的第一方向位置数据、预设的基准位置数据和预设的转镜矩阵到图像模组之间的垂直距离，确定所述第n组电压所对应所述转镜矩阵的第三方向第n转角；

所述基于所述第n组位置数据的第二方向位置数据、预设的基准位置数据和预设的转镜矩阵到图像模组之间的垂直距离，确定第n组电压所对应所述转镜矩阵的第四方向第n转角；

所述基于至少两组所述电压与各所述电压所对应转角，确定所述转镜矩阵在所施加电压和所述转镜矩阵的转角之间的对应关系，包括：

基于至少两组所述电压与各所述电压所对应第三方向转角，确定所述转镜矩阵在所施加电压和所述转镜矩阵的第三方向转角之间的对应关系；

基于至少两组所述电压与各所述电压所对应第四方向转角，确定所述转镜矩阵在所施加电压和所述转镜矩阵的第四方向转角之间的对应关系；

其中，第一方向与第二方向为相互垂直的方向，第三方向与第四方向为相互垂直的方向。

在一种实施例中，所述基于至少两组所述电压与各所述电压所对应转角，确定所述转镜矩阵在所施加电压和所述转镜矩阵的转角之间的对应关系，包括：

对至少两组所述电压与各所述电压所对应转角进行线性拟合，确定所述转镜矩阵在所施加电压和所述转镜矩阵的转角之间的对应关系。

本申请实施例提出的一种转镜矩阵的测试装置及方法，装置包括：信号源矩阵，用于产生第一光信号；转镜矩阵，与信号源矩阵对应设置，用于在施加第n组电压时，反射第一光信号形成第n组第二光信号，其中，n为小于或等于N的正整数，N为电压的总组数；图像模组，用于对第n组第二光信号形成第n图像；处理模组，与图像模组相连，用于基于第n图像，确定出第n组电压所对应转镜矩阵的第n转角；并基于至少两组电压与各电压所对应转角，确定转镜矩阵在所施加电压和转镜矩阵的转角之间的对应关系。也就是说，本申请实施例不仅能够根据在测试过程中根据当前施加的电压及基于采集图像自动计算出转镜矩阵的转角，还能够自动计算转镜矩阵在所施加电压和转镜矩阵的转角之间的对应关系，如此，能够实现智能化测试，提高了测试效率。

附图说明

图1为本申请实施例提出的一种转镜矩阵的测试装置示意图一；

图2为本申请实施例提出的一种转镜矩阵的测试装置示意图二；

图3为本申请实施例提出的一种转镜矩阵的测试流程示意图一；

图4为本申请实施例提出的一种转镜矩阵的测试流程示意图二；

图5为本申请实施例提出的示例性地转镜矩阵的测试流程示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述，所描述的实施例不应视为对本发明的限制，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中所使用的术语只是为了描述本申请实施例的目的，不是旨在限制本发明。

图1为本申请实施例提出的一种转镜矩阵的测试装置示意图。如图1所示，本申请实施例提出一种转镜矩阵的测试装置，该测试装置10包括：

信号源矩阵11，用于产生第一光信号；

转镜矩阵12，与信号源矩阵对应设置，用于在施加第n组电压时，反射第一光信号形成第n组第二光信号，其中，n为小于或等于N的正整数，N为电压的总组数；

图像模组13，用于对第n组第二光信号形成第n图像；

处理模组14，与图像模组相连，用于基于第n图像，确定出第n组电压所对应转镜矩阵的第n转角；并基于至少两组电压与各电压所对应转角，确定转镜矩阵在所施加电压和转镜矩阵的转角之间的对应关系。

本申请实施例中，上述信号源矩阵为光源矩阵包括多个光源；这些光源按照预定排序方式进行排列形成矩阵。该光源矩阵可包括：矩形的光源矩阵和/或圆形的光源矩阵。该光源矩阵中的光源能够同时产生多束光信号，进而信号源矩阵产生的第一光信号为由该光源矩阵产生的多束光信号构成的。上述转镜矩阵是由多个转镜组成的，该转镜是一种光学转换部件，能够对入射光进行反射，以实现光束传输线路的偏转。

上述信号源矩阵与转镜矩阵是对应设置的，也就是说，信号源矩阵中的每一个信号源均对应转镜矩阵中的一个转镜，该转镜便会对该信号源产生的光信号进行反射。因此，在设置测试装置过程中，可以根据转镜矩阵中转镜的个数来设置信号源矩阵中信号源个数。

示例性地，在设置转镜矩阵和信号源矩阵的过程中，可以设置转镜矩阵中转镜的个数为400，对应地信号源中信号源个数也可以设置为400。

本公开实施例中，转镜矩阵中的转镜能够在坐标系中的两个垂直方向发生角度变化，进而在转镜矩阵的转镜上施加不同方向的电压，转镜矩阵中的转镜会产生不同方向的转角。

示例性地，转镜矩阵包括但不限于MEMS芯片转镜矩阵。

在测试转镜矩阵的过程中，经过不同转角的转镜反射第一光信号能够形成不同的第二光信号，因此，可以通过在转镜中施加N组电压，来得到转镜的N组转角，并基于转镜的N组转角对入射的第一光信号进行反射，形成对应的N组第二光信号。其中，可以采用步进的方式设置施加在转镜上的N组电压。

示例性地，可以设置一个初始电压和一个电压步长，设置施加在转镜上的第一组电压为初始电压，设置施加在转镜上的第二组电压为初始电压与电压步长的电压和，设置施加在转镜上的第三组电压为初始电压与两个电压步长的电压和，依次步进N-1次，便可以通过逐步增加电压的方式，得到每次施加在转镜上的N组电压，从而测试到不同的施加电压作用于转镜产生的不同转角。

本申请实施例中，转镜矩阵的转角不同，转镜矩阵反射第一光信号形成的第二光信号也不同，图像模组通过成像的形式采集第二光信号生成图像。此时的图像能够反映第二光信号经过不同转角下的反射情况，进而在测试过程中，基于图像，可以确定出第n组电压所对应转镜矩阵的第n转角。也就是说，通过在转镜矩阵施加N组电压，便可以得到N组电压对应的转镜矩阵的N组转角，进而可以确定转镜矩阵在所施加电压和转角之间的对应关系。

上述电压的总组数N可以根据实际需要进行设置，例如可以设置50次，以得到更加精确地转镜矩阵在所施加电压和转角之间的对应关系。

可以理解的是，通过上述测试装置可以自动计算转镜矩阵在所施加电压和转镜矩阵的转角之间的对应关系，实现了智能化测试，提高了测试效率。

在一种实施例中，如图2所示，图像模组13包括：

感光面板13a，设置有栅格坐标，用于基于第n组第二光信号形成第n组光斑；

图像生成组件13b，用于生成包含有第n组光斑在感光面板上位置的第n图像。

本公开实施例中，感光面板是设置有栅格坐标，第二光信号射在感光面板上会形成光斑，并基于该栅格坐标能够确定该光斑的位置。图像生成组件对准感光面板生成图像。

示例性地，该图像模组可以为CCD相机，该CCD相机自带具有坐标系的感光面板，能够直接在CCD相机中生成包括有第n组光斑位置数据的图像。

该图像模组还可以是由屏幕和普通相机组成的，该屏幕上设置有坐标，能够基于第二光信号形成光斑，普通相机对准屏幕生成包括有第n组光斑位置数据的图像。

在一种实施例中，处理模组，具体用于获取第n图像的第n组光斑在第n组图像中的第n组位置数据；并根据第n组位置数据、预设的基准位置数据和预设的转镜矩阵到图像模组之间的垂直距离，确定第n组电压所对应转镜矩阵的第n转角。

本公开实施例中，预设的基准位置数据可以为转镜矩阵在调平状态下时反射第一光信号形成的光斑在图像中的位置数据。转镜矩阵到图像模组之间的垂直距离可以为转镜矩阵到图像模组中感光面板的垂直距离。

由于转镜矩阵中的转镜可能存在加工误差，在调平状态下的转镜矩阵中各个转镜的施加电压可能并不相同，因此，在获取基准位置数据的过程中，可以先调平转镜矩阵中四个角的转镜，记录四个角的转镜对应的四个施加电压，取该四个施加电压的平均电压值，通过该平均电压值逐一的调整转镜矩阵中除该四个角转镜的其他转镜的状态，以得到调平状态下的转镜矩阵，进而基于调平状态下的转镜矩阵能够得到基准位置数据。

本公开实施例中，第n组图像中的第n组位置数据包括第一方向位置数据和第二方向位置数据；转镜矩阵基于不同方向电压能够不同方向的转角，即转镜矩阵基于第三方向电压和第四方向电压能够产生第三方向转角和第四方向转角。

在一种实施例中，根据第n组位置数据、预设的基准位置数据和转镜矩阵到图像模组之间的垂直距离，确定第n组电压所对应转镜矩阵的第n转角，包括：

基于第n组位置数据的第一方向位置数据、预设的基准位置数据和预设的转镜矩阵到图像模组之间的垂直距离，确定第n组电压所对应转镜矩阵的第三方向第n转角；

基于第n组位置数据的第二方向位置数据、预设的基准位置数据和预设的转镜矩阵到图像模组之间的垂直距离，确定第n组电压所对应转镜矩阵的第四方向第n转角。

对应地，在一种实施例中，基于至少两组电压与各电压所对应转角，确定转镜矩阵在所施加电压和转镜矩阵的转角之间的对应关系，包括：

基于至少两组电压与各电压所对应第三方向转角，确定转镜矩阵在所施加电压和转镜矩阵的第三方向转角之间的对应关系；

基于至少两组电压与各电压所对应第四方向转角，确定转镜矩阵在所施加电压和转镜矩阵的第四方向转角之间的对应关系。

上述第一方向和第二方向为相互垂直的方向。例如，该第一方向可以为坐标系中X轴的方向；该第二方向可以为坐标系中Y轴的方向。

上述第三方向和第四方向为相互垂直的方向。例如，该第三方向可以为转镜矩阵所在坐标系中X轴的方向；该第四方向可以为坐标系中Y轴的方向。

本申请实施例中，可以通过第一转角计算模型来确定第n组电压所对应转镜矩阵的第三方向第n转角。该第一转角计算模型如下：

其中，Agl_{ij_x_n}为第三方向第n转角，A为转镜矩阵的坐标，X_{ij_n}为第n组位置数据的第一方向位置数据，X_{ij_s}为调平状态下的第一方向位置数据，Dis_ij为转镜矩阵到图像模组之间的垂直距离。

本申请实施例中，可以通过第二转角计算模型来确定第n组电压所对应转镜矩阵的第四方向第n转角。该第二转角计算模型如下：

其中，Agl_{ij_y_n}为第四方向第n转角，A为转镜矩阵的坐标，X_{ij_s}为调平状态下的位置数据，Y_{ij_n}为第n组位置数据的第二方向位置数据，Y_{ij_s}为调平状态下的第二方向位置数据，Dis_ij为转镜矩阵到图像模组之间的垂直距离。

在一种实施例中，处理模组，还具体用于对至少两组电压与各电压所对应转角进行线性拟合，确定转镜矩阵在所施加电压和转镜矩阵的转角之间的对应关系。

在得到至少两组电压与各电压所对应转角之后，为了能够得到各组数据之间的规律，可以采用线性拟合的方式确定至少两组电压与各电压所对应转角的函数关系。

示例性地，该线性拟合的方式包括但不限于最小二乘法。

至少两组电压与各电压所对应转角的函数关系，能够更加直观的反映转镜矩阵中电压与对应转角之间的关系，便在后续应用转镜矩阵偏转光束的过程中，能够通过控制转镜的施加电压来控制转镜矩阵中各转角。

在一种实施例中，信号源矩阵的设置方向与转镜矩阵的设置方向呈45度角，转镜矩阵的设置方向与图像模组的设置方向呈45度角。

为了更好的理解上述实施例，下面对测试装置确定转镜矩阵在所施加电压和转镜矩阵的转角之间的对应关系进行举例说明。

假设测试装置中有n行m列的转镜矩阵，该n行m列的转镜矩阵A为：

对应地，在调平状态下该n行m列的转镜矩阵A对应的基准位置数据Co_s为：

测量测试装置中转镜矩阵中各个转镜到图像模组的垂直距离Dis为：

通过上述第一转角计算模型(1)，可以计算得到M组电压与各电压所对应第三方向转角Agl_X为：

通过上述第二转角计算模型(2)，可以计算得到M组电压与各电压所对应第四方向转角Agl_Y为：

对N组电压与各电压所对应的第三方向转角进行线性拟合，可以计算得到转镜矩阵A在所施加电压和转镜矩阵的第三方向转角之间的对应关系Agl_X为：

对N组电压与各电压所对应的第四方向转角进行线性拟合，可以计算得到转镜矩阵在所施加电压和转镜矩阵的第四方向转角之间的对应关系Agl_Y为：

通过上述举例可以看出，本申请提供的测试装置能够自动地计算出转镜矩阵在所施加电压和转镜矩阵的转角之间的对应关系，提高了测试效率；并且通过计算得到的对应关系，能够实现精确地控制转镜矩阵的转角。

图3为本申请实施例提出的一种转镜矩阵的测试流程示意图一。如图3所示，本申请实施例提出的一种转镜矩阵的测试方法，该方法包括：

S101、基于施加第n组电压时转镜矩阵反射信号源矩阵产生的第一光信号，形成第n组第二光信号。

S102、采集所述第n组第二光信号，形成第n图像。

S103、基于所述第n图像，确定出所述第n组电压所对应所述转镜矩阵的第n转角。

S104、基于至少两组所述电压与各所述电压所对应转角，确定所述转镜矩阵在所施加电压和所述转镜矩阵的转角之间的对应关系。

通过该测试方法能够自动地计算出至少转镜矩阵在所施加电压和转镜矩阵的转角之间的对应关系，提高了测试效率，同时在转镜矩阵维度比较大的情况下能够批量的进行计算，也进一步提高了测试效率。

在一种实施例中，如图4所示，采集所述第n组第二光信号，形成第n图像，包括：

S102a、基于所述图像模组的感光面板作用于所述第n组第二光信号，形成第n组光斑；

S102b、基于所述图像模组的图像生成组件，生成包含有所述第n组光斑在所述感光面板上位置的第n图像，其中，所述感光面板上设置有栅格坐标。

感光面板上设置有坐标，通过第二光信号在感光面板上形成光斑，再对准感光面板生成图像，得到生成包含有光斑在感光面板上位置的图像，便于后续通过识别图像来得到光斑的位置数据。

在一种实施例中，基于所述第n图像，确定出所述第n组电压所对应所述转镜矩阵的第n转角，包括：

获取所述第n图像的第n组光斑在所述第n组图像中的第n组位置数据；

基于所述第n组位置数据、预设的基准位置数据和所述转镜矩阵到所述图像模组之间的垂直距离，确定所述第n组电压所对应所述转镜矩阵的第n转角。

施加不同电压下转镜具有不同转角，转镜矩阵在不同转角下在感光面板上形成不同位置的光斑，因此，可以通过位置数据计算得到转角的变化。由于图像能够反映光斑位置关系，因此，为了计算光斑的位置数据，可以通过图像模组生成的图像，来确定光斑的位置数据，进而计算得到施加电压所对应转镜矩阵的转角。

本申请实施例提出了一种通过光斑的位置数据来计算转角的方式，如此，通过简单的测试装置便可以计算出转角。

在一种实施例中，基于所述第n组位置数据、预设的基准位置数据和所述转镜矩阵到所述图像模组之间的垂直距离，确定所述第n组电压所对应所述转镜矩阵的第n转角，包括：

所述基于所述第n组位置数据的第一方向位置数据、预设的基准位置数据和预设的转镜矩阵到图像模组之间的垂直距离，确定所述第n组电压所对应所述转镜矩阵的第三方向第n转角；

所述基于所述第n组位置数据的第二方向位置数据、预设的基准位置数据和预设的转镜矩阵到图像模组之间的垂直距离，确定第n组电压所对应所述转镜矩阵的第四方向第n转角；

所述基于至少两组所述电压与各所述电压所对应转角，确定所述转镜矩阵在所施加电压和所述转镜矩阵的转角之间的对应关系，包括：

基于至少两组所述电压与各所述电压所对应第三方向转角，确定所述转镜矩阵在所施加电压和所述转镜矩阵的第三方向转角之间的对应关系；

基于至少两组所述电压与各所述电压所对应第四方向转角，确定所述转镜矩阵在所施加电压和所述转镜矩阵的第四方向转角之间的对应关系；

其中，第一方向与第二方向为相互垂直的方向，第三方向与第四方向为相互垂直的方向。

通过光斑的位置数据，能够自动计算得到转镜矩阵在所施加电压和转镜矩阵在不同方向转角之间的对应关系，提高了测试效率，也适用于大的转镜矩阵。

在一种实施例中，基于至少两组所述电压与各所述电压所对应转角，确定所述转镜矩阵在所施加电压和所述转镜矩阵的转角之间的对应关系，包括：

对至少两组所述电压与各所述电压所对应转角进行线性拟合，确定所述转镜矩阵在所施加电压和所述转镜矩阵的转角之间的对应关系。

如图5所示，为了更好的理解上述实施例，本申请实施例提出示例性地转镜矩阵的测试步骤，具体步骤如下：

S201、搭建测试环境，打开矩阵光源；

S202、按设定电压步长遍历转镜矩阵的X轴电压和Y轴电压；

S203、转镜矩阵反射第一光信号形成第二光信号；

S204、图像模组基于第二光信号生成图像；

S205、处理模组获取图像中光斑的位置数据；

S206、处理模组基于光斑的位置数据，确定各电压所对应转角；

S207、对至少两组电压与各电压所对应转角进行线性拟合，确定转镜矩阵在所施加电压和转镜矩阵的转角之间的对应关系。

本公开实施例中，转镜矩阵中的转镜施加X轴电压产生X轴转角，施加Y轴电压产生Y轴转角。因此，在测试过程中，可以先按设定电压步长遍历转镜矩阵的X轴电压来确定光斑的至少两组位置数据，进而可以得到至少两组X轴电压和各X轴电压对应的X轴转角；按最小二乘法拟合电压与各电压所对应X轴转角，便可以获得转镜矩阵在所施加电压和转镜矩阵的X轴转角之间的对应关系。

在得到转镜矩阵在所施加电压和转镜矩阵的X轴转角之间的对应关系之后，可以恢复X轴初始电压，按设定电压步长遍历转镜矩阵的Y轴电压，以确定光斑的至少两组位置数据，进而可以得到至少两组Y轴电压和各Y轴电压对应的Y轴转角；按最小二乘法拟合电压与各电压所对应Y轴转角，便可以获得转镜矩阵在所施加电压和转镜矩阵的Y轴转角之间的对应关系。

通过上述测试方法能够自动地获取转镜矩阵在所施加电压和转镜矩阵的X轴转角之间的对应关系以及转镜矩阵在所施加电压和转镜矩阵的Y轴转角之间的对应关系。

应理解，说明书通篇中提到的“一种实施例”或“一实施例”意味着与实施例有关的特定特征、结构或特性包括在本发明的至少一个实施例中。因此，在整个说明书各处出现的“在一种实施例中”或“在一实施例中”未必一定指相同的实施例。此外，这些特定的特征、结构或特性可以任意适合的方式结合在一个或多个实施例中。应理解，在本发明的各种实施例中，上述各过程的序号的大小并不意味着执行顺序的先后，各过程的执行顺序应以其功能和内在逻辑确定，而不应对本申请实施例的实施过程构成任何限定。上述本申请实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。

在发明中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。

在本发明所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的设备和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的设备实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，如：多个单元或组件可以结合，或可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另外，所显示或讨论的各组成部分相互之间的耦合、或直接耦合、或通信连接可以是通过一些接口，设备或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性的、机械的或其它形式的。

上述作为分离部件说明的单元可以是、或也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是、或也可以不是物理单元；既可以位于一个地方，也可以分布到多个网络单元上；可以根据实际的需要选择其中的部分或全部单元来实现本申请实施例方案的目的。

另外，在本发明各实施例中的各功能单元可以全部集成在一个处理单元中，也可以是各单元分别单独作为一个单元，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中；上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用硬件加软件功能单元的形式实现。

以上所述，仅为本发明的实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种转镜矩阵的测试装置，其特征在于，所述装置包括：

信号源矩阵，用于产生第一光信号；

转镜矩阵，与所述信号源矩阵对应设置，用于在施加第n组电压时，反射所述第一光信号形成第n组第二光信号，其中，n为小于或等于N的正整数，N为所述电压的总组数；

图像模组，用于对所述第n组第二光信号形成第n图像；

处理模组，与所述图像模组相连，用于基于所述第n图像，确定出所述第n组电压所对应所述转镜矩阵的第n转角；并基于至少两组所述电压与各所述电压所对应转角，确定所述转镜矩阵在所施加电压和所述转镜矩阵的转角之间的对应关系。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述图像模组包括：

感光面板，设置有栅格坐标，用于基于所述第n组第二光信号形成第n组光斑；

图像生成组件，用于生成包含有所述第n组光斑在所述感光面板上位置的第n图像。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述处理模组，具体用于获取所述第n图像的第n组光斑在所述第n组图像中的第n组位置数据；并根据所述第n组位置数据、预设的基准位置数据和预设的转镜矩阵到图像模组之间的垂直距离，确定所述第n组电压所对应所述转镜矩阵的第n转角。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述处理模组，还具体用于对至少两组所述电压与各所述电压所对应转角进行线性拟合，确定所述转镜矩阵在所施加电压和所述转镜矩阵的转角之间的对应关系。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述信号源矩阵的设置方向与所述转镜矩阵的设置方向呈45度角，所述转镜矩阵的设置方向与所述图像模组的设置方向呈45度角。

6.一种转镜矩阵的测试方法，其特征在于，所述方法包括：

基于施加第n组电压时转镜矩阵反射信号源矩阵产生的第一光信号，形成第n组第二光信号；

采集所述第n组第二光信号，形成第n图像；

基于所述第n图像，确定出所述第n组电压所对应所述转镜矩阵的第n转角；

基于至少两组所述电压与各所述电压所对应转角，确定所述转镜矩阵在所施加电压和所述转镜矩阵的转角之间的对应关系。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述采集所述第n组第二光信号，形成第n图像，包括：

基于所述图像模组的感光面板作用于所述第n组第二光信号，形成第n组光斑；

基于所述图像模组的图像生成组件，生成包含有所述第n组光斑在所述感光面板上位置的第n图像，其中，所述感光面板上设置有栅格坐标。

8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述基于所述第n图像，确定出所述第n组电压所对应所述转镜矩阵的第n转角，包括：

获取所述第n图像的第n组光斑在所述第n组图像中的第n组位置数据；

基于所述第n组位置数据、预设的基准位置数据和所述转镜矩阵到所述图像模组之间的垂直距离，确定所述第n组电压所对应所述转镜矩阵的第n转角。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述基于所述第n组位置数据、预设的基准位置数据和所述转镜矩阵到所述图像模组之间的垂直距离，确定所述第n组电压所对应所述转镜矩阵的第n转角，包括：

所述基于所述第n组位置数据的第一方向位置数据、预设的基准位置数据和预设的转镜矩阵到图像模组之间的垂直距离，确定所述第n组电压所对应所述转镜矩阵的第三方向第n转角；

所述基于所述第n组位置数据的第二方向位置数据、预设的基准位置数据和预设的转镜矩阵到图像模组之间的垂直距离，确定第n组电压所对应所述转镜矩阵的第四方向第n转角；

所述基于至少两组所述电压与各所述电压所对应转角，确定所述转镜矩阵在所施加电压和所述转镜矩阵的转角之间的对应关系，包括：

基于至少两组所述电压与各所述电压所对应第三方向转角，确定所述转镜矩阵在所施加电压和所述转镜矩阵的第三方向转角之间的对应关系；

基于至少两组所述电压与各所述电压所对应第四方向转角，确定所述转镜矩阵在所施加电压和所述转镜矩阵的第四方向转角之间的对应关系；

其中，第一方向与第二方向为相互垂直的方向，第三方向与第四方向为相互垂直的方向。

10.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述基于至少两组所述电压与各所述电压所对应转角，确定所述转镜矩阵在所施加电压和所述转镜矩阵的转角之间的对应关系，包括：

对至少两组所述电压与各所述电压所对应转角进行线性拟合，确定所述转镜矩阵在所施加电压和所述转镜矩阵的转角之间的对应关系。