CN110608688A - 一种靶材垂直度检测装置 - Google Patents

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何建进
陈江伟
何凌男
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Suzhou Techn-Tec Photoelectric Materials Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical means
    • G01B11/26Measuring arrangements characterised by the use of optical means for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes

Abstract

本发明公开了一种靶材垂直度检测装置,包括底座和透光台,底座和透光台的两侧间安装升降机构,底座上安装多个照明灯,透光台顶部两个邻边间安装固定定位块,透光台顶部另两个邻边处均安装固定板,固定板两端开有导向孔,导向孔内套接导向杆,导向杆一端连接活动定位块,固定板外壁上安装推动气缸,推动气缸的推杆连接活动定位块的外壁。靶材的两个邻边紧贴固定定位块的两个内壁,推动气缸推动活动定位块,活动定位块将靶材的另两个邻边定位压紧,便于对不同大小的靶材固定,照明灯的光线从透光台底部照射到靶材四边,便于人眼观察,通过升降机构带动透光台升降,调节透光台高度,便于控制靶材与照明灯间距,便于对不同高度的靶材进行检测观察。

Description

一种靶材垂直度检测装置
技术领域
本发明涉及靶材技术领域,具体为一种靶材垂直度检测装置。
背景技术
靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源,常见的靶材具有圆柱和矩形结构,对于矩形靶材而言,在靶材制造出后需要对靶材外壁的垂直度进行检测,目前的检测方式都是直接将靶材放在检测台上采用量具进行检测,检测时靶材容易移动,且常常借助检测台上方的台灯等光线进行观察,观察时头部容易遮挡光线,导致观察点视线偏暗,且通过上方台灯照射无法将靶材四周外壁均照亮,不利于人眼观察,为此我们提出一种靶材垂直度检测装置用于解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种靶材垂直度检测装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种靶材垂直度检测装置,包括底座和透光台,所述底座上四角处均固定安装固定座,所述透光台的底部四角均固定安装导向柱,所述导向柱滑动卡接在固定座的内腔中,所述底座和透光台的两侧间安装升降机构,所述底座上固定安装多个照明灯,所述透光台顶部两个邻边间固定安装固定定位块,所述透光台顶部另两个邻边处均固定安装固定板,所述固定板两端开有导向孔,所述导向孔内滑动套接导向杆,所述导向杆靠近固定定位块的一端贯穿导向孔并固定连接活动定位块,所述导向孔间的固定板外壁上固定安装推动气缸,所述推动气缸的推杆贯穿固定板并固定连接活动定位块的外壁。
优选的,所述透光台为透明亚克力板,所述照明灯为多个LED等,且多个LED等沿底座顶面均匀分布,所述照明灯的灯光竖直向上。
优选的,所述固定定位块的L型结构,且固定定位块的两边内壁相互垂直,两个所述固定板分别平行于L型结构的固定定位块的两个内壁,所述导向孔和导向杆的直径相同,且导向孔和导向杆的轴线均垂直于固定板。
优选的,所述升降机构包括固定套和滑动套,所述底座的两侧顶部均固定安装固定套,所述透光台的两侧底部均固定安装滑动套,所述滑动套滑动套接在固定套内,所述滑动套的内腔通过螺纹结构套接升降螺杆,所述升降螺杆的底部转动贯穿底座的顶部并固定连接蜗轮,所述固定套底部的底座内开有安装槽,所述安装槽内转动套接蜗杆,所述蜗杆的两端分别啮合底座两侧的蜗轮。
优选的,所述滑动套位于透光台侧壁中点处,所述固定套的内壁开有限位槽,所述滑动套接的外壁底部固定安装限位块,所述限位块滑动卡接在限位槽内,所述蜗杆的一端转动贯穿底座的侧壁并固定安装手轮。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:通过固定定位块的两侧内壁对靶材两个邻边和一角进行初步定位,推动气缸推动活动定位块,活动定位块通过导向杆和导向孔导向平行与固定定位块的两侧壁移动,从而对靶材的另两个邻边定位压紧,便于对不同大小的靶材定位固定,便于检测和观察;照明灯光线从透光台底部照射,且照明灯分布面积大于固定定位块和固定板间面积,从而对靶材进行完全照射,且避免观察时头部遮挡光线,便于人眼观察;通过蜗杆同时带动底座两侧的蜗轮转动,从而使得底座两侧的升降螺柱同时转动,则滑动套同时沿固定套滑动,从而带动透光台快速升降,便于调节靶材距离照明灯的距离,便于对不同高度的靶材进行检测观察;滑动套位于透光台侧壁中点处,从而使得透光台升降时两侧受力更均衡,升降更平稳,且通过限位块和限位槽对滑动套进行限位,确保滑动套与固定套保持连接。
附图说明
图1为本发明结构示意图;
图2为本发明升降机构处主视剖面结构示意图;
图3为本发明底座处俯视剖面结构示意图。
图中:1底座、2透光台、3固定座、4导向柱、5升降机构、51固定套、52滑动套、53升降螺柱、54蜗轮、55蜗杆、56安装槽、6固定定位块、7固定板、8活动定位块、9导向孔、10导向杆、11推动气缸、12照明灯、13限位槽、14限位块、15手轮。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-3,本发明提供一种技术方案:一种靶材垂直度检测装置,包括底座1和透光台2,底座1上四角处均固定安装固定座3,透光台2的底部四角均固定安装导向柱4,导向柱4滑动卡接在固定座3的内腔中,底座1和透光台2的两侧间安装升降机构5,底座1上固定安装多个照明灯12,透光台2顶部两个邻边间固定安装固定定位块6,透光台2顶部另两个邻边处均固定安装固定板7,固定板7两端开有导向孔9,导向孔9内滑动套接导向杆10,导向杆10靠近固定定位块6的一端贯穿导向孔9并固定连接活动定位块8,导向孔9间的固定板7外壁上固定安装推动气缸11,推动气缸11的推杆贯穿固定板7并固定连接活动定位块8的外壁。将靶材的两个邻边紧贴固定定位块6的两个内壁,且靶材一角与固定定位块6转角重合,推动气缸11推动活动定位块8,活动定位块8通过导向杆10和导向孔9导向平行与固定定位块6的两侧壁移动,从而对靶材的另两个邻边定位压紧,便于对不同大小的靶材固定,照明灯12的光线从透光台2底部照射到靶材四边,便于人眼观察,并通过升降机构5带动透光台2升降,从而调节透光台2高度,便于对不同高度的靶材进行检测观察。
透光台2为透明亚克力板,照明灯12为多个LED等,且多个LED等沿底座1顶面均匀分布,照明灯12的灯光竖直向上,多个LED等光垂直透光台2底部照射,从而将靶材底部完全照亮。
固定定位块6的L型结构,且固定定位块6的两边内壁相互垂直,两个固定板7分别平行于L型结构的固定定位块6的两个内壁,导向孔9和导向杆10的直径相同,且导向孔9和导向杆10的轴线均垂直于固定板7,确保活动定位块8通过导向杆10和导向孔9导向后与固定定位块6内壁平行,从而对矩形靶材进行定位固定。
升降机构5包括固定套51和滑动套52,底座1的两侧顶部均固定安装固定套51,透光台2的两侧底部均固定安装滑动套52,滑动套52滑动套接在固定套51内,滑动套52的内腔通过螺纹结构套接升降螺杆53,升降螺杆53的底部转动贯穿底座1的顶部并固定连接蜗轮55,固定套51底部的底座1内开有安装槽56,安装槽56内转动套接蜗杆55,蜗杆55的两端分别啮合底座1两侧的蜗轮54,转动蜗杆55,使得底座两侧的蜗轮54同时转动,蜗轮54带动升降螺柱53转动,升降螺柱53通过螺纹结构带动滑动套52沿固定套51滑动,从而带动透光台2快速升降。
滑动套52位于透光台2侧壁中点处,从而使得透光台2升降时两侧受力更均衡,升降更平稳,固定套51的内壁开有限位槽13,滑动套接52的外壁底部固定安装限位块14,限位块14滑动卡接在限位槽13内,通过限位块14和限位槽13对滑动套52进行限位,避免滑动套52滑出固定套51,蜗杆55的一端转动贯穿底座1的侧壁并固定安装手轮15,便于转动蜗杆55。
工作原理:本发明使用时,将靶材的两个邻边紧贴固定定位块6的两个内壁,且靶材一角与固定定位块6转角重合,推动气缸11推动活动定位块8,活动定位块8通过导向杆10和导向孔9导向平行与固定定位块6的两侧壁移动,从而对靶材的另两个邻边定位压紧,便于对不同大小的靶材固定,照明灯12的光线从透光台2底部照射到靶材四边,便于人眼观察,手动转动手轮15,手轮15带动蜗杆55转动,蜗杆55同时带动底座1两侧的蜗轮54转动,蜗轮54带动升降螺柱53转动,升降螺柱53通过螺纹结构带动滑动套52沿固定套51滑动,从而带动透光台2快速升降,便于调节靶材距离照明灯12的距离,便于对不同高度的靶材进行检测观察。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种靶材垂直度检测装置,包括底座(1)和透光台(2),其特征在于:所述底座(1)上四角处均固定安装固定座(3),所述透光台(2)的底部四角均固定安装导向柱(4),所述导向柱(4)滑动卡接在固定座(3)的内腔中,所述底座(1)和透光台(2)的两侧间安装升降机构(5),所述底座(1)上固定安装多个照明灯(12),所述透光台(2)顶部两个邻边间固定安装固定定位块(6),所述透光台(2)顶部另两个邻边处均固定安装固定板(7),所述固定板(7)两端开有导向孔(9),所述导向孔(9)内滑动套接导向杆(10),所述导向杆(10)靠近固定定位块(6)的一端贯穿导向孔(9)并固定连接活动定位块(8),所述导向孔(9)间的固定板(7)外壁上固定安装推动气缸(11),所述推动气缸(11)的推杆贯穿固定板(7)并固定连接活动定位块(8)的外壁。
2.根据权利要求1所述的一种靶材垂直度检测装置,其特征在于:所述透光台(2)为透明亚克力板,所述照明灯(12)为多个LED等,且多个LED等沿底座(1)顶面均匀分布,所述照明灯(12)的灯光竖直向上。
3.根据权利要求1所述的一种靶材垂直度检测装置,其特征在于:所述固定定位块(6)的L型结构,且固定定位块(6)的两边内壁相互垂直,两个所述固定板(7)分别平行于L型结构的固定定位块(6)的两个内壁,所述导向孔(9)和导向杆(10)的直径相同,且导向孔(9)和导向杆(10)的轴线均垂直于固定板(7)。
4.根据权利要求1所述的一种靶材垂直度检测装置,其特征在于:所述升降机构(5)包括固定套(51)和滑动套(52),所述底座(1)的两侧顶部均固定安装固定套(51),所述透光台(2)的两侧底部均固定安装滑动套(52),所述滑动套(52)滑动套接在固定套(51)内,所述滑动套(52)的内腔通过螺纹结构套接升降螺杆(53),所述升降螺杆(53)的底部转动贯穿底座(1)的顶部并固定连接蜗轮(55),所述固定套(51)底部的底座(1)内开有安装槽(56),所述安装槽(56)内转动套接蜗杆(55),所述蜗杆(55)的两端分别啮合底座(1)两侧的蜗轮(54)。
5.根据权利要求4所述的一种靶材垂直度检测装置,其特征在于:所述滑动套(52)位于透光台(2)侧壁中点处,所述固定套(51)的内壁开有限位槽(13),所述滑动套接(52)的外壁底部固定安装限位块(14),所述限位块(14)滑动卡接在限位槽(13)内,所述蜗杆(55)的一端转动贯穿底座(1)的侧壁并固定安装手轮(15)。
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