CN110555186B - 一种确定介质窗微放电二次电子数目的方法 - Google Patents
一种确定介质窗微放电二次电子数目的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110555186B CN110555186B CN201910672840.5A CN201910672840A CN110555186B CN 110555186 B CN110555186 B CN 110555186B CN 201910672840 A CN201910672840 A CN 201910672840A CN 110555186 B CN110555186 B CN 110555186B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- electric field
- direct current
- macro
- time
- dielectric window
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F17/00—Digital computing or data processing equipment or methods, specially adapted for specific functions
- G06F17/10—Complex mathematical operations
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Data Mining & Analysis (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Pure & Applied Mathematics (AREA)
- Mathematical Optimization (AREA)
- Algebra (AREA)
- Computational Mathematics (AREA)
- Databases & Information Systems (AREA)
- Software Systems (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mathematical Analysis (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
一种确定介质窗微放电二次电子数目的方法,首先对二次电子发射的能量和角度进行随机处理,根据初始直流电场和射频场确定电子与介质的碰撞能量,获得二次电子发射系数,根据二次电子产额更新介质表面的累积电荷,并更新直流电场。在微放电分析中采用多个电子进行平均处理,并考虑了直流电场的动态变化,获得动态直流场和射频场耦合作用下的介质窗微放电二次电子数目的变化过程。
Description
技术领域
本发明涉及一种确定介质窗微放电二次电子数目的方法,属于微波器件微放电领域。
背景技术
随着卫星通信技术向高功率的方向发展,要求空间微波部件承受的功率越来越高,在地面试验中对介质窗的功率要求持续提升。介质窗在高功率微波和地面测试系统中广泛应用。介质窗两侧分别是空气和真空,射频电场沿介质表面分布,会在介质窗真空一侧引发微放电。
介质微放电效应是制约介质窗功率容量的重要因素,介质的存在使得微波部件在发生微放电时,在介质表面累积电荷,会产生直流电场,电子受射频场和直流电场的共同作用,使得介质微放电的数值模拟与金属显著不同,而对介质窗进行微放电分析对工程设计具有重要指导意义。
国际上对介质窗微放电进行了研究,对二次电子发射的角度和速度进行随机处理,给出了介质微放电的敏感曲线,但是其采用固定的直流电场,而实际的介质微放电过程中,直流电场是随着二次电子的倍增随时间变化的,目前的方法没有考虑感应电荷动态变化对微放电过程的影响,分析误差大。
发明内容
本发明的技术解决问题是:克服现有技术的不足,提供了一种确定介质窗微放电二次电子数目的方法,考虑了由于二次电子发射导致介质表面累积电荷的动态变化,计入了动态变化直流电场和射频电场对电子的耦合作用的二次电子数目变化过程。
本发明的技术解决方案是:一种确定介质窗微放电二次电子数目的方法,通过下述方式实现:
(1)对二次电子发射的能量和角度进行随机处理,确定每个宏粒子的出射速度和出射角度;
(2)根据初始直流电场和射频场确定电子与介质的碰撞能量,获得二次电子发射系数;
(3)根据二次电子发射系数更新介质表面的累积电荷量,并更新直流电场;
(4)利用所述的射频场和更新后的直流电场确定电子与介质的碰撞能量,获得二次电子发射系数,从步骤(3)开始重复执行,直至达到预设的次数;
(5)采用多个电子进行平均处理的方式确定介质窗微放电二次电子数目。
优选的,所述步骤(2)通过下述方式实现:
根据入射能量和角度获得二次电子发射系数SEY(1,j);
上述,-e为电子电量,m为电子质量,Erf0、ω、θ分别为射频场的幅度、角频率和相位,j=1…NN,NN为宏粒子数目。
优选的,所述步骤(3)直流电场首次更新时公式如下:
Edc(1,j)=Edc+eN0(SEY(1,j)-1)/2Aε0
之后每次直流电场的更新公式如下:
Edc(i,j)=Edc(i-1,j)+Q(i-1,j)(SEY(i,j)-1)/2Aε0
其中,Edc为初始直流电场,eN0为初始时刻宏粒子的电荷量,A为给定介质窗面积,ε0为真空的介电常数,SEY(1,j)为步骤(2)中计算的二次电子发射系数;Q(i-1,j)为上一次的介质表面累积电荷量。
优选的,所述的步骤(4)中二次电子系数通过下述方式确定:
根据入射能量和角度获得二次电子发射系数SEY(i,j)。
优选的,所述步骤(5)通过下述方式实现:
(5.1)将所有电量和直流电场平均分配到整时刻t'(ii)并进行初始化;
(5.2)对于每一个宏粒子回到介质窗表面的时间t(i,j),获得满足不等式t'(k)<t(i,j)≤t'(k+1)的整时刻t'(k)、t'(k+1);
(5.3)针对上述获得的每组t'(k)、t(i,j)、t'(k+1),通过累积的方式确定整时刻t'(k)、t'(k+1)下的电量和直流电场;
(5.4)对每个整时刻下所有宏粒子的电量和直流电场进行平均,确定介质窗微放电二次电子数目。
优选的,所述的将所有电量和直流电场平均分配到整时刻并初始化具体为:
T=max{t(i,j)}朝大方向取整
整时刻t'(ii)=ii,ii=0,1,2…T,
初始化宏粒子电量Q'(ii)=0;直流电场Edc'(ii)=0;Q'(0)=NN*e*N0。
优选的,所述步骤(5.3)通过下述赋值公式进行累积计算:
Q'(k+1)=Q'(k+1)+(t'(k+1)-t(i,j))*Q(i,j)
Q'(k)=Q'(k)+(t(i,j)-t'(k))*Q(i,j)
Edc'(k+1)=Edc'(k+1)+(t'(k+1,j)-t(i,j))*Edc(i,j)
Edc'(k)=Edc'(k)+(t(i,j)-t'(k,j))*Edc(i,j)
其中,Q(i,j)为第i次迭代计算下宏粒子j的电量;Edc(i,j)为第i次迭代下宏粒子j的直流电场。
优选的,所述步骤(5)通过下述方式实现:
(5.1)将所有电量和直流电场分配到时刻t'(ii)并进行初始化;
(5.2)对于每一个宏粒子回到介质窗表面的时间t(i,j),获得满足不等式t'(k-1)<t(i,j)≤t'(k)的时刻t'(k-1)、t'(k);
(5.3)针对上述获得的每组t'(k-1)、t(i,j)、t'(k),通过替换的方式确定时刻t'(k)下的电量和直流电场以及时刻早于t'(k)但电量和直流电场为0时刻的电量和直流电场;
(5.4)对每个时刻下所有宏粒子的电量和直流电场进行平均,确定介质窗微放电二次电子数目。
优选的,所述的将所有电量和直流电场分配到时刻并初始化具体为:
T=max{t(i,j)}朝大方向取整
时刻t'(ii)=0.1*ii,ii=0,1,2…10*T,
初始化宏粒子电量Q'(ii,j)=0;直流电场Edc'(ii,j)=0;Q'(0,j)=e*N0。
优选的,所述步骤(5.3)通过下述赋值公式进行计算:
Q'(k,j)=Q(i,j)
Edc'(k,j)=Edc(i,j)
对于时刻早于t'(k)但电量和直流电场为0时刻的电量和直流电场,采用最靠近t'(k)的非0的Q'(ii,j)和Edc'(ii,j)的值进行替换;
其中,Q(i,j)为第i次迭代计算下宏粒子j的电量;Edc(i,j)为第i次迭代下宏粒子j的直流电场。
优选的,根据步骤(5)的计算结果绘制电子数目随时间的变化曲线以及直流电场随时间的变化曲线。
本发明与现有技术相比有益效果为:
(1)本发明方法考虑了介质窗微放电过程中由于二次电子发射导致的直流电场动态变化,计入了动态直流场和射频场对电子的耦合作用,获得动态直流场和射频场耦合作用下的介质窗微放电二次电子数目的变化过程,为介质窗微放电分析提供了有效手段;
(2)本发明采用多个宏粒子的平均电量变化情况来代表电子的随机特性,避免了由单个宏粒子无法有效表示电子的随机特性,有效克服了单个宏粒子方法的缺陷。
附图说明
图1为本发明流程图;
图2为本发明实施例中介质窗微放电的电子运动过程示意图;
图3为本发明实施例中介质窗微放电不同射频电场条件下二次电子数目随时间的变化曲线;
图4为本发明实施例中介质窗微放电不同射频电场条件下直流电场随时间的变化曲线。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式进行详细的阐述。
如图1所示为本发明的流程图,由图1可知,本发明提供的一种确定介质窗微放电二次电子数目的方法,如图2所示,主要步骤如下:
(1)给定介质窗材料的二次电子发射系数,设定宏粒子数为NN,给定迭代步数M,初始直流电场Edc,电磁波的电场为Erf=Erf0sin(ωt+θ),给定介质窗面积A,对每一个宏粒子j执行步骤(2)-(5),j=1....NN:
(3)i=1,根据出射速度、角度和初始直流电场计算宏粒子回到介质窗表面的时间,t(1,j)=Δt(1,j),其法向入射速度为计算宏粒子的切向入射速度宏粒子的入射角度入射能量/>根据入射能量和角度获得二次电子发射系数SEY(1,j),宏粒子电量Q(1,j)=e*N0*SEY(1,j),直流电场为Edc(1,j)=Edc+eN0(SEY(1,j)-1)/2Aε0。
(4)i=i+1,根据二次电子发射的能量和角度的概率分布函数随机给定宏粒子的出射速度v0(i,j)和出射角度根据出射速度和直流电场计算宏粒子回到介质窗表面的时间,/>其法向入射速度为/>计算宏粒子的切向入射速度宏粒子的入射角度入射能量/>根据入射能量和角度获得二次电子发射系数SEY(i,j),宏粒子电量Q(i,j)=Q(i-1,j)*SEY(i,j),直流电场为Edc(i,j)=Edc(i-1,j)+Q(i-1,j)(SEY(i,j)-1)/2Aε0。
(5)判断i≥M,如果否,前往步骤(4),如果是执行步骤(6)
本例中给出一种更优的计算介质窗微放电二次电子数目的方式,记为方式二,具体为:
(5.1)将所有电量和直流电场平均分配到整时刻t'(ii)并进行初始化;
T=max{t(i,j)}朝大方向取整
t'(ii)=ii,ii=0,1,2…T,
Q'(ii)=0;Edc'(ii)=0;ii=0,1,2…T
Q'(0)=NN*e*N0
(5.2)对于每一个宏粒子回到介质窗表面的时间t(i,j),获得满足不等式t'(k)<t(i,j)≤t'(k+1)的整时刻t'(k)、t'(k+1);
(5.3)针对上述获得的每组t'(k)、t(i,j)、t'(k+1),通过累积的方式确定整时刻t'(k)、t'(k+1)下的电量和直流电场;具体采用如下赋值公式进行累积计算:
Q'(k+1)=Q'(k+1)+(t'(k+1)-t(i,j))*Q(i,j)
Q'(k)=Q'(k)+(t(i,j)-t'(k))*Q(i,j)
Edc'(k+1)=Edc'(k+1)+(t'(k+1,j)-t(i,j))*Edc(i,j)
Edc'(k)=Edc'(k)+(t(i,j)-t'(k,j))*Edc(i,j)
下面给出的是一种相对上述方式二更优的一种计算介质窗微放电二次电子数目的方式,具体步骤如下:
(5.1)将所有电量和直流电场分配到时刻t'(ii)并进行初始化;
T=max{t(i,j)}朝大方向取整
时刻t'(ii)=0.1*ii,ii=0,1,2…10*T,
初始化宏粒子电量Q'(ii,j)=0;直流电场Edc'(ii,j)=0;Q'(0,j)=e*N0。
(5.2)对于每一个宏粒子回到介质窗表面的时间t(i,j),获得满足不等式t'(k-1)<t(i,j)≤t'(k)的时刻t'(k-1)、t'(k);
(5.3)针对上述获得的每组t'(k-1)、t(i,j)、t'(k),通过替换的方式确定时刻t'(k)下的电量和直流电场以及时刻早于t'(k)但电量和直流电场为0时刻的电量和直流电场;
所述步骤(5.3)通过下述赋值公式进行计算:
Q'(k,j)=Q(i,j)
Edc'(k,j)=Edc(i,j)
对于时刻早于t'(k)但电量和直流电场为0时刻的电量和直流电场,采用最靠近t'(k)的非0的Q'(ii,j)和Edc'(ii,j)的值进行替换;
其中,Q(i,j)为第i次迭代计算下宏粒子j的电量;Edc(i,j)为第i次迭代下宏粒子j的直流电场。
实施例
该方法适用于电磁波穿过介质窗时发生微放电的情形,此处以二次电子发射系数为3,Emax=420eV的介质窗为例介绍该方法的实现过程。宏粒子数NN=104,迭代步数M=900,Edc=0.15MV/m,射频场Erf0为0.5、0.8、1.5MV/m,f为1GHz,初始相位θ=0,介质窗面积A=4cm2。Eom=2.1eV,N0=1,电子的出射能量和角度满足如下概率密度函数:
根据上述方式三确定的电子数目随时间的变化曲线如图3所示,直流场的动态变化导致空间电子个数出现了饱和振荡的现象,直流电场随时间的变化曲线如图4所示。
本发明说明书中未作详细描述的内容属本领域技术人员的公知技术。
Claims (14)
1.一种确定介质窗微放电二次电子数目的方法,其特征在于通过下述方式实现:
(1)对二次电子发射的能量和角度进行随机处理,确定每个宏粒子的出射速度和出射角度;
(2)根据初始直流电场和射频场确定电子与介质的碰撞能量,获得二次电子发射系数;
(3)根据二次电子发射系数更新介质表面的累积电荷量,并更新直流电场;
(4)利用所述的射频场和更新后的直流电场确定电子与介质的碰撞能量,获得二次电子发射系数,从步骤(3)开始重复执行,直至达到预设的次数;
(5)采用多个电子进行平均处理的方式确定介质窗微放电二次电子数目。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于:所述步骤(3)直流电场首次更新时公式如下:
Edc(1,j)=Edc+eN0(SEY(1,j)-1)/2Aε0
之后每次直流电场的更新公式如下:
Edc(i,j)=Edc(i-1,j)+Q(i-1,j)(SEY(i,j)-1)/2Aε0
其中,Edc为初始直流电场,eN0为初始时刻宏粒子的电荷量,A为给定介质窗面积,ε0为真空的介电常数,SEY(1,j)为步骤(2)中计算的二次电子发射系数;Q(i-1,j)为上一次的介质表面累积电荷量。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述步骤(5)通过下述方式实现:
(5.1)将所有电量和直流电场平均分配到整时刻t'(ii)并进行初始化;
(5.2)对于每一个宏粒子回到介质窗表面的时间t(i,j),获得满足不等式t'(k)<t(i,j)≤t'(k+1)的整时刻t'(k)、t'(k+1);
(5.3)针对上述获得的每组t'(k)、t(i,j)、t'(k+1),通过累积的方式确定整时刻t'(k)、t'(k+1)下的电量和直流电场;
(5.4)对每个整时刻下所有宏粒子的电量和直流电场进行平均,确定介质窗微放电二次电子数目。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于:所述的将所有电量和直流电场平均分配到整时刻并初始化具体为:
T=max{t(i,j)}朝大方向取整
整时刻t'(ii)=ii,ii=0,1,2…T,
初始化宏粒子电量Q'(ii)=0;直流电场Edc'(ii)=0;Q'(0)=NN*e*N0;
其中,宏粒子数为NN,起始时刻t=0时宏粒子的电荷量为e*N0。
7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于:所述步骤(5.3)通过下述赋值公式进行累积计算:
Q'(k+1)=Q'(k+1)+(t'(k+1)-t(i,j))*Q(i,j)
Q'(k)=Q'(k)+(t(i,j)-t'(k))*Q(i,j)
Edc'(k+1)=Edc'(k+1)+(t'(k+1,j)-t(i,j))*Edc(i,j)
Edc'(k)=Edc'(k)+(t(i,j)-t'(k,j))*Edc(i,j)
其中,Q(i,j)为第i次迭代计算下宏粒子j的电量;Edc(i,j)为第i次迭代下宏粒子j的直流电场。
10.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述步骤(5)通过下述方式实现:
(5.1)将所有电量和直流电场分配到时刻t'(ii)并进行初始化;
(5.2)对于每一个宏粒子回到介质窗表面的时间t(i,j),获得满足不等式t'(k-1)<t(i,j)≤t'(k)的时刻t'(k-1)、t'(k);
(5.3)针对上述获得的每组t'(k-1)、t(i,j)、t'(k),通过替换的方式确定时刻t'(k)下的电量和直流电场以及时刻早于t'(k)但电量和直流电场为0时刻的电量和直流电场;
(5.4)对每个时刻下所有宏粒子的电量和直流电场进行平均,确定介质窗微放电二次电子数目。
11.根据权利要求10所述的方法,其特征在于:所述的将所有电量和直流电场分配到时刻并初始化具体为:
T=max{t(i,j)}朝大方向取整
时刻t'(ii)=0.1*ii,ii=0,1,2…10*T,
初始化宏粒子电量Q'(ii,j)=0;直流电场Edc'(ii,j)=0;Q'(0,j)=e*N0。
12.根据权利要求10所述的方法,其特征在于:所述步骤(5.3)通过下述赋值公式进行计算:
Q'(k,j)=Q(i,j)
Edc'(k,j)=Edc(i,j)
对于时刻早于t'(k)但电量和直流电场为0时刻的电量和直流电场,采用最靠近t'(k)的非0的Q'(ii,j)和Edc'(ii,j)的值进行替换;
其中,Q(i,j)为第i次迭代计算下宏粒子j的电量;Edc(i,j)为第i次迭代下宏粒子j的直流电场。
14.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:根据步骤(5)的计算结果绘制电子数目随时间的变化曲线以及直流电场随时间的变化曲线。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910672840.5A CN110555186B (zh) | 2019-07-24 | 2019-07-24 | 一种确定介质窗微放电二次电子数目的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910672840.5A CN110555186B (zh) | 2019-07-24 | 2019-07-24 | 一种确定介质窗微放电二次电子数目的方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN110555186A CN110555186A (zh) | 2019-12-10 |
CN110555186B true CN110555186B (zh) | 2023-06-06 |
Family
ID=68735771
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201910672840.5A Active CN110555186B (zh) | 2019-07-24 | 2019-07-24 | 一种确定介质窗微放电二次电子数目的方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN110555186B (zh) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1116516A (ja) * | 1997-06-23 | 1999-01-22 | Hitachi Ltd | ブラウン管およびその製造方法 |
CN109060854A (zh) * | 2018-06-29 | 2018-12-21 | 西安空间无线电技术研究所 | 一种周期性孔隙介质表面二次电子发射特性确定方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6828730B2 (en) * | 2002-11-27 | 2004-12-07 | Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Microdischarge photodetectors |
CN108920732B (zh) * | 2018-03-28 | 2022-08-12 | 西安空间无线电技术研究所 | 一种介质材料加载微波部件微放电阈值快速确定方法 |
-
2019
- 2019-07-24 CN CN201910672840.5A patent/CN110555186B/zh active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1116516A (ja) * | 1997-06-23 | 1999-01-22 | Hitachi Ltd | ブラウン管およびその製造方法 |
CN109060854A (zh) * | 2018-06-29 | 2018-12-21 | 西安空间无线电技术研究所 | 一种周期性孔隙介质表面二次电子发射特性确定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110555186A (zh) | 2019-12-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Rossnagel et al. | Current–voltage relations in magnetrons | |
US4521286A (en) | Hollow cathode sputter etcher | |
US8163652B2 (en) | Plasma processing method and plasma processing device | |
US7385183B2 (en) | Substrate processing apparatus using neutralized beam and method thereof | |
Schulze et al. | Charge dynamics in capacitively coupled radio frequency discharges | |
US7791260B2 (en) | Gas-fed hollow cathode keeper and method of operating same | |
Jiang et al. | Implicit and electrostatic particle-in-cell/Monte Carlo model in two-dimensional and axisymmetric geometry: II. Self-bias voltage effects in capacitively coupled plasmas | |
Bogaerts et al. | Hybrid modeling of a capacitively coupled radio frequency glow discharge in argon: Combined Monte Carlo and fluid model | |
CN110555186B (zh) | 一种确定介质窗微放电二次电子数目的方法 | |
Horwitz | Hollow cathode reactive sputter etching—A new high‐rate process | |
Naaman et al. | An electron multiplier capable of working at low vacuum: The microsphere plate | |
US5434469A (en) | Ion generator with ionization chamber constructed from or coated with material with a high coefficient of secondary emission | |
Yumoto et al. | Electron energy distribution of glow-like discharge in nitrogen at very high E/n conditions | |
RU2716133C1 (ru) | Источник быстрых нейтральных молекул | |
Minea et al. | PIC-MCC simulation of a rf planar magnetron discharge and comparison with experiment | |
CN109060854B (zh) | 一种周期性孔隙介质表面二次电子发射特性确定方法 | |
Yonemura et al. | Self-consistent particle-in-cell/Monte Carlo simulation of RF magnetron discharges of oxygen/argon mixture: Effects of partial pressure ratio | |
JPH11345803A (ja) | プラズマ発生加工方法およびプラズマ発生加工装置 | |
RU2071992C1 (ru) | Способ обработки изделий источником ионов | |
Tong et al. | Numerical study of dual-frequency capacitively-coupled discharges in electronegative SF6 | |
Nguyen et al. | Evaluation of ion Beam behavior in 50 W class RF ion thruster | |
Wang | Radio frequency voltage division between two plasma sheaths in the Gaseous Electronics Conference reference cell | |
RU2817564C1 (ru) | Источник быстрых атомов для травления диэлектриков | |
Nagayama et al. | Neutral and charged particle simulation of a RF argon plasma | |
Keidar et al. | Plasma drift and nonuniformity effects in plasma immersion ion implantation |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |