CN110161037A - 一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置 - Google Patents

一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置 Download PDF

Info

Publication number
CN110161037A
CN110161037A CN201910368207.7A CN201910368207A CN110161037A CN 110161037 A CN110161037 A CN 110161037A CN 201910368207 A CN201910368207 A CN 201910368207A CN 110161037 A CN110161037 A CN 110161037A
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser
damage
target
light
peak power
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201910368207.7A
Other languages
English (en)
Inventor
金光勇
王頔
张巍
王耀德
蔡继兴
马遥
苑博识
魏智
李昌立
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Changchun University of Science and Technology
Original Assignee
Changchun University of Science and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Changchun University of Science and Technology filed Critical Changchun University of Science and Technology
Priority to CN201910368207.7A priority Critical patent/CN110161037A/zh
Publication of CN110161037A publication Critical patent/CN110161037A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8809—Adjustment for highlighting flaws

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

本发明公开了一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置，包括：三维电控目标靶台、激光损伤时刻监测系统、损伤用激光器系统和程控计算机。本发明提供了一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置，既适用于透明材料损伤阈值特性的测试，也适用于非透明材料损伤阈值特性的测试；既适用于单脉冲激光1‑on‑1模式，也适用于脉冲串激光S‑on‑1激光模式损伤阈值的判定；既可以实现ns秒级时间分辨的激光损伤时刻判定，也可以实现飞秒级时间分辨的激光损伤时刻判定。

Description

一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置
技术领域
本发明涉及光学设备技术领域，更具体的说是涉及一种高峰值功率脉冲损伤阈值自动测试装置。
背景技术
随着激光技术的发展，高峰值功率脉冲激光在激光打标、激光打孔、激光内雕等领域越来越成为加工行业的宠儿，其应用领域越来越宽。在激光领域，特别是高峰值功率激光领域，一个重要的因素是光学元件是否能够承受强激光辐射；在激光加工领域，材料的激光损伤阈值决定了加工激光参数的选择。因此，在激光应用中，如何在线、迅速、准确地判定高峰值脉冲激光的激光损伤阈值，一直是激光与物质相互作用领域的主要研究内容之一。
对于激光损伤的测试，国际上颁布了ISO-11254-1(激光和激光设备光学表面激光导致损伤阀值的测定第1部分：1-on-1试验)和ISO11254-2(测定的光学表面的激光诱导损伤阈值第2部分：S-ON-1试验)，对激光损伤的判定进行了规范。标准中规定使用100-150倍的显微镜对激光辐照后的光学元件和光学薄膜进行观察，以判断是否发生损伤。1996年，我国行业研究者，综合了上述两个国际标准，颁布了国家标准GB/T16601-1996(光学表面激光损伤阈值测试方法第1部分：1对1测试)，该标准规定了对激光损伤的检测，是在激光辐照前后，各测试点均应用微分相衬显微镜检测其表面，其放大倍率不小于150倍。上述这些方法，存在很多弊端：
(1)只适合于小块、薄样品激光损伤的测试；
(2)属于事后测试，激光辐照后，将样品拿下来进行测试，同时需要对激光损伤区域进行事先标记，无法实现自动测试；
(3)只适合于脉冲激光或者固定功率和辐照时间的连续激光和超连续激光，无法实现连续激光和超连续激光损伤临界的判定；
(4)采用人工方式，会带来很多不确定性的因素。首先频繁使样品往来于损伤测试靶台和显微镜载物台，样品表面会带来划伤，同时劳动强度大，浪费人力；其次，要在100-150倍的显微镜下观察，区域小，事先标记和损伤点寻找、对准难度大；人工主观评判激光损伤及其程度，主观性强，因人而异。
因此，基于上述测试方法存在的问题，国内的许多研究者，根据各自的需求，发展了很多测试方法。1996年，中科院上海光机所报道了基于诺曼斯基偏光干涉仪和CCD相机的判断光学材料破坏方法；1998年，又报道了基于He-Ne激光器、刀口仪、光电二极管和示波器的激光损伤判定方法。2004年，国防科技大学报道了基于高速PIN光电探测器和示波器，实时监测透射光脉冲和经过延时的散射光脉冲，通过透射光脉冲的畸变，作为透明材料损伤判断的依据。2010年，西北工业大学分析了影响前向散射法判断光学薄膜损伤的因素。2014年，西北工业大学提出了声学法判别薄膜损伤的研究方法。2016年，南京理工大学提出了基于光纤光谱仪探测激光诱导等离子体来判别脉冲激光对目标的损伤。2018年，长春理工大学报道了基于CCD成像的薄膜损伤判别方法。
上述这些方法，对于脉冲激光损伤、固定功率和时间条件下的连续和超连续激光的损伤，完全适合，但是无法适用于高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试和精确判据。
因此，如何提供一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置是本领域技术人员亟需解决的问题。
发明内容
有鉴于此，本发明提供了一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置，既适用于透明材料损伤阈值特性的测试，也适用于非透明材料损伤阈值特性的测试；既适用于单脉冲激光1-on-1模式，也适用于脉冲串激光S-on-1激光模式损伤阈值的判定；既可以实现ns秒级时间分辨的激光损伤时刻判定，也可以实现飞秒级时间分辨的激光损伤时刻判定。
为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：
一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置，包括：三维电控目标靶台、激光损伤时刻监测系统、损伤用激光器系统和程控计算机；
所述损伤用激光器系统包括：损伤激光聚焦系统、激光扩束系统、损伤用激光器及其激光电源以及损伤瞄准用激光器及其电源，所述损伤瞄准用激光器和所述损伤用激光器同轴，且所述损伤瞄准用激光器发出的可见光瞄准激光以及所述损伤用激光器发出的损伤激光依次经过所述激光扩束系统和所述损伤激光聚焦系统聚焦到所述靶材的同一点上；
所述激光损伤时刻监测系统包括：聚焦透镜一、聚焦透镜二、激光扩束镜、指示光激光器、双色反射镜、窄带滤光片、聚焦透镜三、光电探测器、前放及比较电路、计时计算机和照明光激光器；所述指示光激光器发出的指示光经所述激光扩束镜调整到合适宽度后，再依次经过所述双色反射镜、所述聚焦透镜二和所述聚焦透镜一聚焦到所述三维电控目标靶台上的靶材激光损伤区域，且与所述损伤瞄准用激光器发出的损伤激光指示光重合；所述照明光激光器发出的照明激光与所述损伤瞄准用激光器发出的损伤激光指示光重合，实现系统的瞄准；所述光电探测器时刻接收所述照明光激光器的散射波信号；
从所述三维电控目标靶台到所述光电探测器的光路轴线之间依次设置有所述聚焦透镜一、所述聚焦透镜二、所述双色反射镜、所述窄带滤光片和所述聚焦透镜三；
所述计时计算器触发所述程控计算机；所述程控计算机控制所述三维电控目标靶台；且程控计算机控制所述激光电源，从而控制所述损伤用激光器的输出能量；
所述光电探测器、所述前放及比较电路、所述计时计算机和所述照明激光器依次电连接；所述光电探测器和所述前放及比较电路，根据所述照明激光器的散射光信号，给出高或低电平信息，以标识所述三维电控目标靶台上靶材表面的激光损伤。
优选的，所述三维电控目标靶台包括：X方向移动控制模块、Y方向移动控制模块、Z方向移动控制模块、靶台控制箱和靶材卡具，所述X方向移动控制模块和所述Y方向移动控制模块，控制沿损伤用激光横向位置，以调整激光对靶材的损伤区域，所述Z方向移动控制模块，控制沿损伤用激光纵向位置，以调整损伤激光对靶材损伤区域的聚焦情况；所述靶台控制箱包括所述X方向移动控制模块、所述Y方向移动控制模块和所述Z方向移动控制模块的驱动，所述靶材卡具用于固定待损伤靶材。
优选的，所述指示光激光器为连续的可见光激光器。
优选的，所述照明光激光器为可见光激光器，且波长与所述指示光激光器的波长不同。
优选的，所述双色反射镜与光路轴线成一角度，对所述指示光激光器发出的指示光全反射或大部分反射，而对所述照明光激光器发出的照明光全透射。
优选的，所述窄带滤光片的波段与所述照明光激光器发出的照明光波长相匹配。
优选的，所述计时计算机根据所述照明光激光器散射光信号的变化产生高或低电平信息，触发所述程控计算机，控制所述损伤用激光器系统，终止激光发射。
优选的，所述三维电控目标靶材在损伤用激光焦点及其附近。
经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本发明公开提供了一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置，工作时，通过程控计算机按照预设好的程序，设置损伤用激光器的输出的单脉冲能量，设置三维电控目标靶台的移动步长和移动步数，控制触发程控计算机产生触发损伤激光器工作的脉冲信号。每移动一个位置，按照激光能量增加的步长增加能量，同时触发损伤用激光器出光，作用目标靶材。当目标靶材损伤时，靶材表面的损伤点将引起监测激光损伤的照明激光器散射特性发生变化，光电探测器通过光电变换，预示着材料被激光损伤。此时，将变化的激光散射特性信息送至处理单元和程控计算机，停止激光辐射，根据程控计算机控制的发射激光能量，确定目标材料的激光损伤阈值特性。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
图1附图为本发明提供的高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置的整体结构示意图。
图2附图为本发明提供的三维电控目标靶台的具体结构图。
图3附图为本发明提供的激光损伤时刻监测系统的具体结构图。
图4附图为本发明提供的损伤用激光器系统的具体结构图。
其中，各附图标记为：
100-三维电控目标靶台，200-激光损伤时刻监测系统，300-损伤用激光器系统，400-程控计算机；101-X方向控制模块，102-Y方向控制模块，103-Z方向控制模块，104-靶台控制箱，105-靶材卡具；201-聚焦透镜一，202-聚焦透镜二，203-激光扩束镜，204-指示光激光器，205-双色反射镜，206-窄带滤光片，207-聚焦透镜，208-光电探测器，209-前放及比较电路，210-计时计算机，211-照明光激光器，301-损伤激光聚焦系统，302-激光扩束系统，303-损伤激光器，304-激光电源，305-损伤瞄准用激光器。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明实施例公开了一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置，包括：三维电控目标靶台100、激光损伤时刻监测系统200、损伤用激光器系统300和程控计算机400；
损伤用激光器系统300包括：损伤激光聚焦系统301、激光扩束系统302、损伤用激光器303及其激光电源304，以及损伤瞄准用激光器305及其电源，损伤瞄准用激光器305和损伤用激光器303同轴，且损伤瞄准用激光器305发出的可见光瞄准激光以及损伤用激光器303发出的损伤激光依次经过激光扩束系统302和损伤激光聚焦系统301聚焦到靶材的同一点上；
激光损伤时刻监测系统200包括：聚焦透镜一201、聚焦透镜二202、激光扩束镜203、指示光激光器204、双色反射镜205、窄带滤光片206、聚焦透镜三207、光电探测器208、前放及比较电路209、计时计算机210和照明光激光器211；指示光激光器204发出的指示光经激光扩束镜203调整到合适宽度后，再依次经过双色反射镜205、聚焦透镜二202和聚焦透镜一201聚焦到三维电控目标靶台100上的靶材激光损伤区域，且与损伤瞄准用激光器305发出的损伤激光指示光重合；照明光激光器211发出的照明激光与损伤瞄准用激光器303发出的损伤激光指示光重合，实现系统的瞄准；光电探测器208时刻接收照明光激光器211的散射波信号；
当三维电控目标靶台100表面出现损伤，将引起照明光激光器211的散射波发生变化，使光电探测器208转换的电信号电平增加，使前放及比较电路209给出高或低电平，触发计时计算机210，给程控计算机400发出停止激光辐照信号，停止激光辐照，根据程控计算机400的控制结果，给出三维电控目标靶台100的脉冲激光损伤阈值。
从三维电控目标靶台100到光电探测器208的光路轴线之间依次设置有聚焦透镜一201、聚焦透镜二202、双色反射镜205、窄带滤光片206和聚焦透镜三207；
计时计算器210触发程控计算机400；程控计算机400控制三维电控目标靶台100；且程控计算机400控制激光电源304，从而控制损伤用激光器303的输出能量；
光电探测器208、前放及比较电路209、计时计算机210和照明激光器211依次电连接；光电探测器208和前放及比较电路209，根据照明激光器211的散射光信号，给出高或低电平信息，以标识三维电控目标靶台100上靶材表面的激光损伤。
为了进一步地优化上述技术方案，三维电控目标靶台100包括：X方向移动控制模块101、Y方向移动控制模块102、Z方向移动控制模块103、靶台控制箱104和靶材卡具105，X方向移动控制模块101和Y方向移动控制模块102控制沿损伤用激光横向位置，以调整激光对靶材的损伤区域，Z方向移动控制模块103控制沿损伤用激光纵向位置，以调整损伤激光对靶材损伤区域的聚焦情况；靶台控制箱104包括X方向移动控制模块101、Y方向移动控制模块102和Z方向移动控制模块103的驱动，靶材卡具105用于待损伤靶材。
其中，X方向移动控制模块和Y方向移动控制模块102控制水平位置，Z方向移动控制模块控制沿损伤用激光纵向位置，实现损伤用激光光斑大小，即能量密度的控制。
为了进一步地优化上述技术方案，指示光激光器204为连续的可见光激光器，其出射光发散角较小，经过激光扩束镜203扩束后，为具有较小发射角的类平行光。
为了进一步地优化上述技术方案，照明光激光器211为可见光激光器，且波长与指示光激光器204的波长不同，
为了进一步地优化上述技术方案，双色反射镜205与光路轴线成一角度，对指示光激光器204发出的指示光全反射或大部分反射，而对照明光激光器211发出的照明光全透射。
为了进一步地优化上述技术方案，窄带滤光片206的波段与照明光激光器211发出的照明光波长相匹配，带宽尽可能小。
为了进一步地优化上述技术方案，计时计算机210根据照明光激光器211散射光信号的变化产生高或低电平信息，触发程控计算机400，控制损伤用激光器系统300，终止激光发射。
为了进一步地优化上述技术方案，三维电控目标靶材100在损伤用激光焦点及其附近。
本发明公开的高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置的测试采用半分逼近法，主要包括以下步骤：
首先固定损伤用激光器系统300较大的激光输出能量I0，辐照三维电控目标靶材台100，如果三维电控目标靶台100损伤，改变激光的单脉冲输出能量I1为初始值I0的一半，程控计算机400按预设好的程序控制三维电控目标靶台100上靶材的位置，同时产生触发信号，触发损伤用激光器系统300发出激光脉冲，如果三维电控目标靶台100损伤，继续减小激光能量到I1的一半，如果三维电控目标靶台100没有损伤，增加激光能量到I0的四分之三，以此类推，每次改变激光能量一半，直到目标靶材刚好损伤。
本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (8)

1.一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置，其特征在于，包括：三维电控目标靶台(100)、激光损伤时刻监测系统(200)、损伤用激光器系统(300)和程控计算机(400)；
所述损伤用激光器系统(300)包括：损伤激光聚焦系统(301)、激光扩束系统(302)、损伤用激光器(303)及其激光电源(304)以及损伤瞄准用激光器(305)及其电源，所述损伤瞄准用激光器(305)和所述损伤用激光器(303)同轴，且所述损伤瞄准用激光器(305)发出的可见光瞄准激光和所述损伤用激光器(303)发出的损伤激光依次经过所述激光扩束系统(302)和所述损伤激光聚焦系统(301)聚焦到所述靶材的同一点上；
所述激光损伤时刻监测系统(200)包括：聚焦透镜一(201)、聚焦透镜二(202)、激光扩束镜(203)、指示光激光器(204)、双色反射镜(205)、窄带滤光片(206)、聚焦透镜三(207)、光电探测器(208)、前放及比较电路(209)、计时计算机(210)和照明光激光器(211)；所述指示光激光器(204)发出的指示光经所述激光扩束镜(203)调整到合适宽度后，再依次经过所述双色反射镜(205)、所述聚焦透镜二(202)和所述聚焦透镜一(201)聚焦到所述三维电控目标靶台(100)上的靶材激光损伤区域，且与所述损伤瞄准用激光器(305)发出的损伤激光指示光重合；所述照明光激光器(211)发出的照明激光与所述损伤瞄准用激光器(305)发出的损伤激光指示光重合，实现系统的瞄准；所述光电探测器(208)时刻接收所述照明光激光器(211)的散射波信号；
从所述三维电控目标靶台(100)到所述光电探测器(208)的光路轴线之间依次设置有所述聚焦透镜一(201)、所述聚焦透镜二(202)、所述双色反射镜(205)、所述窄带滤光片(206)和所述聚焦透镜三(207)；
所述计时计算器(210)触发所述程控计算机(400)；所述程控计算机(400)控制所述三维电控目标靶台(100)；且程控计算机(400)控制所述激光电源(304)，从而控制所述损伤用激光器(303)的输出能量和开关；
所述光电探测器(208)、所述前放及比较电路(209)、所述计时计算机(210)和所述照明激光器(211)依次电连接；所述光电探测器(208)和所述前放及比较电路(209)，根据所述照明激光器(211)的散射光信号，给出高或低电平信息，以标识所述三维电控目标靶台(100)上靶材表面的激光损伤。
2.根据权利要求1所述的一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置，其特征在于，所述三维电控目标靶台(100)包括：X方向移动控制模块(101)、Y方向移动控制模块(102)、Z方向移动控制模块(103)、靶台控制箱(104)和靶材卡具(105)，所述X方向移动控制模块(101)和所述Y方向移动控制模块(102)控制沿损伤用激光横向位置，以调整损伤激光对靶材的损伤区域，所述Z方向移动控制模块(103)控制沿损伤用激光纵向位置，以调整损伤激光对靶材损伤区域的聚焦情况；所述靶台控制箱(104)包括所述X方向移动控制模块(101)、所述Y方向移动控制模块(102)和所述Z方向移动控制模块(103)的驱动，所述靶材卡具(105)用于固定待损伤靶材。
3.根据权利要求1所述的一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置，其特征在于，所述指示光激光器(204)为连续的可见光激光器。
4.根据权利要求3所述的一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置，其特征在于，所述照明光激光器(211)为可见光激光器，且波长与所述指示光激光器(204)的波长不同。
5.根据权利要求4所述的一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置，其特征在于，所述双色反射镜(205)与光路轴线成一角度，对所述指示光激光器(204)发出的指示光全反射或大部分反射，而对所述照明光激光器(211)发出的照明光全透射。
6.根据权利要求5所述的一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置，其特征在于，所述窄带滤光片(206)的波段与所述照明光激光器(211)发出的照明光波长相匹配。
7.根据权利要求1所述的一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置，其特征在于，所述计时计算机(210)根据所述照明光激光器(211)散射光信号的变化产生高或低电平信息，触发所述程控计算机(400)，控制所述损伤用激光器系统(300)，改变激光能量或者终止激光发射。
8.根据权利要求1所述的一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置，其特征在于，所述三维电控目标靶材(100)在损伤用激光焦点及其附近。
CN201910368207.7A 2019-05-05 2019-05-05 一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置 Pending CN110161037A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910368207.7A CN110161037A (zh) 2019-05-05 2019-05-05 一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910368207.7A CN110161037A (zh) 2019-05-05 2019-05-05 一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN110161037A true CN110161037A (zh) 2019-08-23

Family

ID=67633393

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910368207.7A Pending CN110161037A (zh) 2019-05-05 2019-05-05 一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110161037A (zh)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102393383A (zh) * 2011-11-07 2012-03-28 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 辐照密度高均匀性的ArF激光薄膜元件损伤测试装置
CN106770311A (zh) * 2016-11-22 2017-05-31 山东大学 一种晶体激光预处理与点对点损伤测试装置及测试方法
CN106872068A (zh) * 2016-12-19 2017-06-20 中北大学 一种光学薄膜损伤过程中表面温度的实时测量装置
CN106964893A (zh) * 2017-05-15 2017-07-21 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 用于光学元件的激光预处理装置及处理方法
CN107727584A (zh) * 2017-09-25 2018-02-23 国网重庆市电力公司电力科学研究院 一种高压开关内气体在线监测方法
CN107870162A (zh) * 2017-11-01 2018-04-03 电子科技大学 提高光学元件在纳秒三倍频激光辐照下损伤阈值的方法
CN108519218A (zh) * 2018-03-19 2018-09-11 中国科学院上海光学精密机械研究所 光学元件多波长激光损伤测试与分析系统
CN109668838A (zh) * 2018-11-13 2019-04-23 浙江大学 一种可同时检测光学元件表面和亚表面缺陷的装置及方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102393383A (zh) * 2011-11-07 2012-03-28 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 辐照密度高均匀性的ArF激光薄膜元件损伤测试装置
CN106770311A (zh) * 2016-11-22 2017-05-31 山东大学 一种晶体激光预处理与点对点损伤测试装置及测试方法
CN106872068A (zh) * 2016-12-19 2017-06-20 中北大学 一种光学薄膜损伤过程中表面温度的实时测量装置
CN106964893A (zh) * 2017-05-15 2017-07-21 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 用于光学元件的激光预处理装置及处理方法
CN107727584A (zh) * 2017-09-25 2018-02-23 国网重庆市电力公司电力科学研究院 一种高压开关内气体在线监测方法
CN107870162A (zh) * 2017-11-01 2018-04-03 电子科技大学 提高光学元件在纳秒三倍频激光辐照下损伤阈值的方法
CN108519218A (zh) * 2018-03-19 2018-09-11 中国科学院上海光学精密机械研究所 光学元件多波长激光损伤测试与分析系统
CN109668838A (zh) * 2018-11-13 2019-04-23 浙江大学 一种可同时检测光学元件表面和亚表面缺陷的装置及方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110161042A (zh) 一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试方法
CN101666745B (zh) 具有自调整校准功能的激光感生光谱测量装置及控制方法
CN103033488B (zh) 可实时观察监测z扫描光学非线性测量装置和方法
US7535555B2 (en) Distance measurement device and distance measurement method
CN106770311B (zh) 一种晶体激光预处理与点对点损伤测试装置及测试方法
CN104142316B (zh) 结合预烧蚀和再加热的三脉冲libs探测系统
CN104374763A (zh) 一种可调再加热双脉冲激光诱导击穿光谱装置
CN216622173U (zh) 一种遥测式激光诱导击穿光谱检测系统
CN106872415A (zh) 结合显微成像的多波长样品光限幅性能的测量装置和测量方法
CN109406453A (zh) 一种改进的z扫描测量方法
CN107782718A (zh) 便携式激光诱导击穿光谱分析装置
CN105890753B (zh) 拉曼光谱仪自动对焦系统
CN110514595A (zh) 具有光束控制功能的光学测量装置
CN204214783U (zh) 一种可调再加热双脉冲激光诱导击穿光谱装置
CN103903967B (zh) 一种激光退火装置及方法
US7265840B2 (en) Coupling method for coupling high power optical beams into an optical waveguide
CN113634877A (zh) 一种激光加工装置及方法
CN102589848B (zh) 光学薄膜损伤阈值的测试系统
CN110161037A (zh) 一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置
CN112595493B (zh) 一种激光损伤阈值和非线性吸收的共靶面测量装置和方法
CN110161039A (zh) 一种高功率连续激光损伤阈值自动测试装置
CN110161040A (zh) 一种自动测试高功率连续激光损伤阈值的方法
CN110161041A (zh) 一种在线监测激光损伤时刻的测试装置
CN109668906A (zh) 一种用于测定光学膜层激光损伤阈值的测量方法及装置
CN104814828A (zh) 确定激光在角膜组织中聚焦位置的飞秒激光系统及方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20190823

RJ01 Rejection of invention patent application after publication