CN109945850A - 一种mems陀螺仪 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种MEMS陀螺仪，包括：第一框架、第二框架、第三框架、第四框架、第一梁、第二梁、第三梁、第四梁、第五梁、第六梁、第七梁、第八梁、第九梁、第十梁、第十一梁、第十二梁、第十三梁、第十四梁、第一梳齿电极、第二梳齿电极、第三梳齿电极、第四梳齿电极、第五梳齿电极、第六梳齿电极、第七梳齿电极、第八梳齿电极、第九梳齿电极、第十梳齿电极、第十一梳齿电极、第十二梳齿电极、第十三梳齿电极、第十四梳齿电极以及第一锚点、第二锚点、第三锚点、第四锚点；该陀螺仪可有效抑制加速度和振动引起的测量误差，从而提高器件性能；该结构电极排布方式可抑制检测电极静电力的不利影响，也有利于提高器件的性能。

Description

一种MEMS陀螺仪

技术领域

本发明涉及运动检测装置领域，具体地，涉及一种MEMS陀螺仪。

背景技术

微机械陀螺仪结构基于Coriolis力原理工作，外界角速度将驱动方向的能量耦合到检测方向上引起检测质量块运动，从而实现角速度测量。但是，检测方向上的加速度和振动也会引起检测质量块运动，从而干扰正常的角速度信号，引起测量误差。因此，需要采取措施抑制加速度和振动的影响。

发明内容

本发明提出了一种MEMS陀螺仪结构，该陀螺仪结构采用音叉式结构且检测电极采用中心对称分布，可有效抑制加速度和振动引起的测量误差，从而提高器件性能。此外，该结构电极排布方式可抑制检测电极静电力的不利影响，也有利于提高器件的性能。

本发明包括了一种MEMS陀螺仪结构，该结构的特点是：1、该结构采用音叉式结构且其中包括四组检测电极，音叉式结构和特殊的检测电极排布共同作用可抑制Y方向加速度和振动的不利影响；2、Y轴同侧的两组检测电极分别关于X轴对称；3、Y轴同侧的两组检测电极作用在检测框架上的静电力大小相等，方向相反，相互抵消，可抑制检测电极静电力的影响；3、X轴同侧的两组检测电极的锚点分别电气连通。

为实现上述发明目的，本申请提供了一种MEMS陀螺仪，所述MEMS陀螺仪包括：第一框架、第二框架、第三框架、第四框架、第一梁、第二梁、第三梁、第四梁、第五梁、第六梁、第七梁、第八梁、第九梁、第十梁、第十一梁、第十二梁、第十三梁、第十四梁、第一梳齿电极、第二梳齿电极、第三梳齿电极、第四梳齿电极、第五梳齿电极、第六梳齿电极、第七梳齿电极、第八梳齿电极、第九梳齿电极、第十梳齿电极、第十一梳齿电极、第十二梳齿电极、第十三梳齿电极、第十四梳齿电极以及第一锚点、第二锚点、第三锚点、第四锚点；第一梁和第三梁的一端均与第一框架的左侧面连接，第一梁的另一端和第三梁的另一端分别与第一锚点和第三锚点连接；第二梁和第四梁一端均与第二框架的右侧面连接，第二梁的另一端和第四梁一端的另一端分别与第二锚点和第四锚点连接；第五梁、第六梁、第七梁、第八梁,将第一框架与第三框架连接,第三框架位于第一框架内；第九梁、第十梁、第十一梁、第十二梁将第二框架与第四框架连接，第四框架位于第二框架内；第十三梁的两端分别与第一框架的右侧和第二框架的左侧连接，第十四梁的两端分别与第一框架的右侧和第二框架的左侧连接；第一框架与第二框架、第三框架与第四框架关于Y轴对称；第一梳齿电极和第四梳齿电极均与第一框架的左侧面连接；第二梳齿电极和第五梳齿电极均与第二框架的右侧面连接；第二梳齿电极与第一梳齿电极关于Y轴对称，第五梳齿电极与第四梳齿电极关于Y轴对称；第三梳齿电极的两侧分别与第一框架的右侧面和第二框架的左侧面连接，第六梳齿电极的两侧分别与第一框架的右侧面和第二框架的左侧面连接；第七梳齿电极、第八梳齿电极、第十一梳齿电极、第十二梳齿电极位于第三框架内，第七梳齿电极的两侧、第八梳齿电极的两侧、第十一梳齿电极的两侧、第十二梳齿电极的两侧分别与第三框架的左右内壁连接；第九梳齿电极、第十梳齿电极、第十三梳齿电极、第十四梳齿电极位于第四框架内，第九梳齿电极的左右两侧、第十梳齿电极的左右两侧、第十三梳齿电极的左右两侧、第十四梳齿电极的左右两侧分别与第四框架的左右内壁连接；第七梳齿电极与第八梳齿电极、第十一梳齿电极与第十二梳齿电极、第九梳齿电极与第十梳齿电极、第十三梳齿电极与第十四梳齿电极均关于X轴对称。

进一步的，第一梳齿电极和第四梳齿电极的结构相同，均包括若干个第一梳齿单元，第一梳齿单元包括：2个第一子梳齿、1个第二子梳齿、第二锚点；2个第一子梳齿的一端均与第五锚点连接，2个第一子梳齿的另一端均向第一框架延伸；第二子梳齿一端与第一框架连接，第二子梳齿另一端向2个第一子梳齿之间部分的第五锚点延伸，第二子梳齿与上下两个第一子梳齿在竖直方向具有重叠部分，且第二子梳齿距离2个第一子梳齿的竖直距离相等，若干个第一梳齿单元的第五锚点在竖直方向依次连接组成第一梳齿电极或第四梳齿电极。

进一步的，第二梳齿电极和第五梳齿电极的结构相同，均包括若干个第二梳齿单元，第二梳齿单元包括：2个第三子梳齿、1个第四子梳齿、第六锚点；2个第三子梳齿的一端均与第六锚点连接，2个第三子梳齿的另一端均向第二框架延伸；第四子梳齿一端与第二框架连接，第四子梳齿另一端向2个第三子梳齿之间部分的第六锚点延伸，第四子梳齿与上下两个第三子梳齿在竖直方向具有重叠部分，且第四子梳齿距离2个第三子梳齿的竖直距离相等，若干个第二梳齿单元的第六锚点在竖直方向依次连接组成第二梳齿电极或第五梳齿电极。

进一步的，第三梳齿电极和第六梳齿电极结构相同，均包括若干个第三梳齿单元，第三梳齿单元包括：4个第五子梳齿、2个第六子梳齿、第七锚点；2个第五子梳齿与第七锚点的左侧连接，另外2个第五子梳齿与第七锚点的右侧连接；其中1个第六子梳齿的一端与第一框架的右侧内壁连接，该第六子梳齿的另一端向左侧2个第五子梳齿之间部分的第六锚点左侧延伸，该第六子梳齿与左侧上下两个第五子梳齿在竖直方向具有重叠部分，且该第六子梳齿距离左侧2个第五子梳齿的竖直距离相等；另外1个第六子梳齿的一端与第二框架的右侧内壁连接，该第六子梳齿的另一端向右侧2个第五子梳齿之间部分的第六锚点右侧延伸，该第六子梳齿与右侧上下两个第五子梳齿在竖直方向具有重叠部分，且该第六子梳齿距离右侧2个第五子梳齿的竖直距离相等；若干个第三梳齿单元的第七锚点在竖直方向依次连接组成第三梳齿电极或第六梳齿电极。

进一步的，第七梳齿电极、第十一梳齿电极、第十梳齿电极、第十四梳齿电极均包括若干个第四梳齿单元，第四梳齿单元包括：4个第七子梳齿、2个第八子梳齿、第八锚点；2个第七子梳齿与第八锚点的左侧连接，另外2个第七子梳齿与第八锚点的右侧连接；其中1个第八子梳齿的一端与第三框架的左侧内壁连接，该第八子梳齿的另一端向左侧2个第七子梳齿之间部分的第八锚点左侧延伸，该第八子梳齿与上下两个第七子梳齿在竖直方向具有重叠部分，且该第八子梳齿距离左侧上方第七子梳齿的竖直距离小于该第八子梳齿距离左侧下方第七子梳齿的竖直距离；另外1个第八子梳齿的一端与第三框架的右侧内壁连接，该第八子梳齿的另一端向右侧2个第七子梳齿之间部分的第八锚点右侧延伸，该第八子梳齿与上下两个第七子梳齿在竖直方向具有重叠部分，且该第八子梳齿距离右侧上方第七子梳齿的竖直距离小于该第八子梳齿距离右侧下方第七子梳齿的竖直距离；若干个第四梳齿单元的第八锚点在竖直方向依次连接组成第七梳齿电极或第十一梳齿电极或第十梳齿电极或第十四梳齿电极。

进一步的，第八梳齿电极、第十二梳齿电极、第九梳齿电极、第十三梳齿电极均包括若干个第五梳齿单元，第五梳齿单元包括：4个第九子梳齿、2个第十子梳齿、第九锚点；2个第九子梳齿与第九锚点的左侧连接，另外2个第九子梳齿与第九锚点的右侧连接；其中1个第十子梳齿的一端与第四框架的左侧内壁连接，该第十子梳齿的另一端向左侧2个第九子梳齿之间部分的第九锚点左侧延伸，该第十子梳齿与上下两个第九子梳齿在竖直方向具有重叠部分，且该第十子梳齿距离左侧上方第九子梳齿的竖直距离大于该第十子梳齿距离左侧下方第九子梳齿的竖直距离；另外1个第十子梳齿的一端与第四框架的右侧内壁连接，该第十子梳齿的另一端向右侧2个第九子梳齿之间部分的第九锚点右侧延伸，该第十子梳齿与上下两个第九子梳齿在竖直方向具有重叠部分，且该第十子梳齿距离右侧上方第九子梳齿的竖直距离大于该第十子梳齿距离右侧下方第九子梳齿的竖直距离；若干个第五梳齿单元的第九锚点在竖直方向依次连接组成第八梳齿电极或第十二梳齿电极或第九梳齿电极或第十三梳齿电极。

进一步的，第九梳齿电极与第八梳齿电极相同、第十梳齿电极与第七梳齿电极相同、第十三梳齿电极与第十二梳齿电极相同、第十四梳齿电极与第十一梳齿电极相同。

进一步的，第七梳齿电极与第八梳齿电极关于X轴对称，第十一梳齿电极与第十二梳齿电极关于X轴对称；第九梳齿电极与第十梳齿电极关于X轴对称，第十三梳齿电极与第十四梳齿电极关于X轴对称。

进一步的，第七梳齿电极与第九梳齿电极、第八梳齿电极与第十梳齿电极、第十一梳齿电极与第十三梳齿电极、第十二梳齿电极与第十四梳齿电极的锚点分别电气连通。

进一步的，第七梳齿电极、第八梳齿电极、第九梳齿电极、第十梳齿电极锚点上的电压相同。

进一步的，MEMS陀螺仪的上下两半部分关于X轴对称。

本申请提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：

本申请中的陀螺仪结构采用音叉式结构，可有效抑制加速度和振动引起的测量误差，从而提高器件性能。进一步的，本申请中的结构电极排布方式可抑制检测电极静电力的不利影响，也有利于提高器件的性能。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本发明实施例的限定；

图1是本申请中MEMS陀螺仪的结构示意图；

图2是本申请中单元6a'的结构示意图；

图3是本申请中单元8a'的结构示意图；

图4是本申请中单元8b'的结构示意图。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本发明的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本发明进行进一步的详细描述。需要说明的是，在相互不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是，本发明还可以采用其他不同于在此描述范围内的其他方式来实施，因此，本发明的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

如图1所示，本发明MEMS陀螺仪结构由框架1a,1b,2a,2b；梁3a,3b,3c,3d,4a,4b,4c,4d,4e,4f,4g,4h,5a,5b；梳齿电极6a,6b,6c,7a,7b,7c,8a,8b,8c,8d,9a,9b,9c,9d以及锚点10a,10b,10c,10d组成。梁3a，3b，3c，3d将框架1a，1b与锚点10a，10b，10c，10d连接；梁4a,4b,4c,4d将框架1a与框架2a连接,框架2a位于框架1a内；梁4e,4f,4g,4h将框架1b与框架2b连接，框架2b位于框架1b内；梁5a,5b将框架1a，1b连接，框架1a，1b分别位于梁5a(5b)的左右两侧；框架1a与1b，框架2a与2b关于Y轴对称；电极6a,7a位于框架1a的左侧，如图2所示为结构6a的一个单元6a'，6a可由若干组6a'组成，6a'由梳齿6a1,6a2,6a3和锚点6a4组成，6a2和框架1a相连，6a1,6a3分别位于6a2上下两侧，6a1,6a3与6a4相连，梳齿6a1,6a2之间的间距与梳齿6a2,6a3之间的间距相等；电极7a与电极6a的单元结构相同；电极6b,7b位于框架1b的右侧，电极6b与6a关于Y轴对称,电极7b与7a关于Y轴对称；电极6c,7c位于框架1a与1b之间，电极6c,7c的结构与电极6a的结构类似；电极8a，8b,9a,9b位于框架2a内侧，电极8c,8d,9c,9d位于框架2b内侧；电极8a由若干组单元8a'组成，如图3所示，8a'由梳齿8a1,8a2,8a3和锚点8a4组成，梳齿8a2与框架2a相连，梳齿8a1,8a3分别位于8a2的上下两侧，8a1,8a3与锚点8a4相连，8a1与8a2之间的间距小于8a2与8a3之间的间距；电极9a由若干组单元8a'组成；电极8b由若干组单元8b'组成，如图4所示，8b'由梳齿8b1,8b2,8b3和锚点8b4组成，梳齿8b2与框架2a相连，梳齿8b1,8b3分别位于8b2的上下两侧，8b1,8b3与锚点8b4相连，8b1与8b2之间的间距大于8b2与8b3之间的间距；电极9b由若干组单元8b'组成；8a与8b关于X轴对称，9a与9b关于X轴对称；8c与8b相同，8d与8a相同，9c与9b相同，9d与9a相同，8c与8d,9c与9d分别关于X轴对称；电极8a与8c,8b与8d，9a与9c,9b与9d的锚点分别电气连通；8a,8b,8c,8d锚点上的电压相同。

该结构工作时，电极6a,6b施加电压V₁，电极6c上施加电压V₂＝-V₁。在静电力作用下，框加1a，2a一起沿X方向运动，框架1b,2b一起沿X方向运动，框架1a,2a和框架1b,2b的运动方向相反。电极7a,7b,7c可检测框架1a，1b在X方向运动的位移。当有角速度时，在Coriolis力作用下框架2a，2b沿Y方向运动，框架2a与2b的运动方向相反。电极8a，8b可检测框架2a在Y方向运动的位移，电极8c,8d可检测框架2b在Y方向运动的位移。由于结构的对称性以及电气连通关系，当框架2a向+Y运动时,框架2b向-Y方向运动，电极8a，8c的电容变化为+ΔC，电极8b，8d的电容变化为-ΔC，则电极8a与8b之间的电容变化之差为4ΔC，反之亦然，从而达到检测角速度的目的。电极9a，9b上可施加相位相反的电压可实现检测闭环控制。

当受到加速度或振动影响时，框架2a和2b的运动方向相同，理想情况下，若电极8a的电容变化为+ΔC，电极8c的电容变化则为-ΔC，由于8a与8c电气连通，8a上的电容变化为0。同样情况下，则8b的电容变化为-ΔC，电极8d的电容变化为+ΔC，由于8b与8d电气连通，8b上的电容变化也为0。总上所述，该结构可以抑制加速度和振动的影响。

另一方面，由于静电力的存在，框架2a受到电极8a+Y方向的作用力F₁，受到电极8b-Y方向的静电力F₂，由于8a,8b电压相同，结构对称，因此，F₁＝F₂，二者相互抵消。同理，框架2b受到的8c,8d的静电力也相互抵消。总上所述，该结构可抑制检测电极静电力的影响。

尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (8)

1.一种MEMS陀螺仪，其特征在于，所述MEMS陀螺仪包括：第一框架(1a)、第二框架(1b)、第三框架(2a)、第四框架(2b)、第一梁(3a)、第二梁(3b)、第三梁(3c)、第四梁(3d)、第五梁(4a)、第六梁(4b)、第七梁(4c)、第八梁(4d)、第九梁(4e)、第十梁(4f)、第十一梁(4g)、第十二梁(4h)、第十三梁(5a)、第十四梁(5b)、第一梳齿电极(6a)、第二梳齿电极(6b)、第三梳齿电极(6c)、第四梳齿电极(7a)、第五梳齿电极(7b)、第六梳齿电极(7c)、第七梳齿电极(8a)、第八梳齿电极(8b)、第九梳齿电极(8c)、第十梳齿电极(8d)、第十一梳齿电极(9a)、第十二梳齿电极(9b)、第十三梳齿电极(9c)、第十四梳齿电极(9d)以及第一锚点(10a)、第二锚点(10b)、第三锚点(10c)、第四锚点(10d)；第一梁(3a)和第三梁(3c)的一端均与第一框架(1a)的左侧面连接，第一梁(3a)的另一端和第三梁(3c)的另一端分别与第一锚点(10a)和第三锚点(10c)连接；第二梁(3b)和第四梁(3d)一端均与第二框架(1b)的右侧面连接，第二梁(3b)的另一端和第四梁(3d)一端的另一端分别与第二锚点(10b)和第四锚点(10d)连接；第五梁(4a)、第六梁(4b)、第七梁(4c)、第八梁(4d),将第一框架(1a)与第三框架(2a)连接,第三框架(2a)位于第一框架(1a)内；第九梁(4e)、第十梁(4f)、第十一梁(4g)、第十二梁(4h)将第二框架(1b)与第四框架(2b)连接，第四框架(2b)位于第二框架(1b)内；第十三梁(5a)的两端分别与第一框架(1a)的右侧和第二框架(1b)的左侧连接，第十四梁(5b)的两端分别与第一框架(1a)的右侧和第二框架(1b)的左侧连接；第一框架(1a)与第二框架(1b)、第三框架(2a)与第四框架(2b)关于Y轴对称；第一梳齿电极(6a)和第四梳齿电极(7a)均与第一框架(1a)的左侧面连接；第二梳齿电极(6b)和第五梳齿电极(7b)均与第二框架(1b)的右侧面连接；第二梳齿电极(6b)与第一梳齿电极(6a)关于Y轴对称，第五梳齿电极(7b)与第四梳齿电极(7a)关于Y轴对称；第三梳齿电极(6c)的两侧分别与第一框架(1a)的右侧面和第二框架(1b)的左侧面连接，第六梳齿电极(7c)的两侧分别与第一框架(1a)的右侧面和第二框架(1b)的左侧面连接；第七梳齿电极(8a)、第八梳齿电极(8b)、第十一梳齿电极(9a)、第十二梳齿电极(9b)位于第三框架(2a)内，第七梳齿电极(8a)的两侧、第八梳齿电极(8b)的两侧、第十一梳齿电极(9a)的两侧、第十二梳齿电极(9b)的两侧分别与第三框架(2a)的左右内壁连接；第九梳齿电极(8c)、第十梳齿电极(8d)、第十三梳齿电极(9c)、第十四梳齿电极(9d)位于第四框架(2b)内，第九梳齿电极(8c)的左右两侧、第十梳齿电极(8d)的左右两侧、第十三梳齿电极(9c)的左右两侧、第十四梳齿电极(9d)的左右两侧分别与第四框架(2b)的左右内壁连接；第七梳齿电极(8a)与第八梳齿电极(8b)、第十一梳齿电极(9a)与第十二梳齿电极(9b)、第九梳齿电极(8c)与第十梳齿电极(8d)、第十三梳齿电极(9c)与第十四梳齿电极(9d)均关于X轴对称。

2.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，第七梳齿电极(8a)、第十一梳齿电极(9a)、第十梳齿电极(8d)、第十四梳齿电极(9d)均包括若干个第四梳齿单元，第四梳齿单元包括：4个第七子梳齿、2个第八子梳齿、第八锚点；其中2个第七子梳齿与第八锚点的左侧连接，另外2个第七子梳齿与第八锚点的右侧连接；其中1个第八子梳齿的一端与第三框架(2a)的左侧内壁连接，该第八子梳齿的另一端向左侧2个第七子梳齿之间部分的第八锚点左侧延伸，该第八子梳齿与上下两个第七子梳齿在竖直方向具有重叠部分，且该第八子梳齿距离左侧上方第七子梳齿的竖直距离小于该第八子梳齿距离左侧下方第七子梳齿的竖直距离；另外1个第八子梳齿的一端与第三框架(2a)的右侧内壁连接，该第八子梳齿的另一端向右侧2个第七子梳齿之间部分的第八锚点右侧延伸，该第八子梳齿与上下两个第七子梳齿在竖直方向具有重叠部分，且该第八子梳齿距离右侧上方第七子梳齿的竖直距离小于该第八子梳齿距离右侧下方第七子梳齿的竖直距离；若干个第四梳齿单元的第八锚点在竖直方向依次连接组成第七梳齿电极(8a)或第十一梳齿电极(9a)或第十梳齿电极(8d)或第十四梳齿电极。

3.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，第八梳齿电极(8b)、第十二梳齿电极(9b)、第九梳齿电极(8c)、第十三梳齿电极(9c)均包括若干个第五梳齿单元，第五梳齿单元包括：4个第九子梳齿、2个第十子梳齿、第九锚点；其中2个第九子梳齿与第九锚点的左侧连接，另外2个第九子梳齿与第九锚点的右侧连接；其中1个第十子梳齿的一端与第四框架(2b)的左侧内壁连接，该第十子梳齿的另一端向左侧2个第九子梳齿之间部分的第九锚点左侧延伸，该第十子梳齿与上下两个第九子梳齿在竖直方向具有重叠部分，且该第十子梳齿距离左侧上方第九子梳齿的竖直距离大于该第十子梳齿距离左侧下方第九子梳齿的竖直距离；另外1个第十子梳齿的一端与第四框架(2b)的右侧内壁连接，该第十子梳齿的另一端向右侧2个第九子梳齿之间部分的第九锚点右侧延伸，该第十子梳齿与上下两个第九子梳齿在竖直方向具有重叠部分，且该第十子梳齿距离右侧上方第九子梳齿的竖直距离大于该第十子梳齿距离右侧下方第九子梳齿的竖直距离；若干个第五梳齿单元的第九锚点在竖直方向依次连接组成第八梳齿电极(8b)或第十二梳齿电极(9b)或第九梳齿电极(8c)或第十三梳齿电极(9c)。

4.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，第九梳齿电极(8c)与第八梳齿电极(8b)相同、第十梳齿电极(8d)与第七梳齿电极(8a)相同、第十三梳齿电极(9c)与第十二梳齿电极(9b)相同、第十四梳齿电极(9d)与第十一梳齿电极(9a)相同。

5.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，第七梳齿电极(8a)与第八梳齿电极(8b)关于X轴对称，第十一梳齿电极(9a)与第十二梳齿电极(9b)关于X轴对称；第九梳齿电极(8c)与第十梳齿电极(8d)关于X轴对称，第十三梳齿电极(9c)与第十四梳齿电极(9d)关于X轴对称。

6.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，第七梳齿电极(8a)与第九梳齿电极(8c)、第八梳齿电极(8b)与第十梳齿电极(8d)、第十一梳齿电极(9a)与第十三梳齿电极(9c)、第十二梳齿电极(9b)与第十四梳齿电极(9d)的锚点分别电气连通。

7.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，第七梳齿电极(8a)、第八梳齿电极(8b)、第九梳齿电极(8c)、第十梳齿电极(8d)锚点上的电压相同。

8.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，MEMS陀螺仪的上下两半部分关于X轴对称。