CN109932607A

CN109932607A - 空间辐射环境强电磁场诱发静电放电试验系统

Info

Publication number: CN109932607A
Application number: CN201910304668.8A
Authority: CN
Inventors: 胡小锋; 原青云; 魏明; 谢喜宁; 王雷; 张建平
Original assignee: Army Engineering University of PLA
Current assignee: Army Engineering University of PLA
Priority date: 2019-04-16
Filing date: 2019-04-16
Publication date: 2019-06-25
Anticipated expiration: 2039-04-16
Also published as: CN109932607B

Abstract

本发明公开了一种空间辐射环境强电磁场诱发静电放电试验系统，涉及静电放电测量装置技术领域。所述实验装置包括供电装置、控制装置以及实验装置，所述控制装置用于控制所述实验装置以及供电装置进行工作，所述供电装置用于为所述控制装置以及实验装置提供工作电源；所述实验装置包括真空容器，所述真空容器上设置有等离子源接口，电子束接口，高压电极法兰接口，抽真空接口以及放气阀接口，相应的所述接口上设置有与其相应的实验装置。所述实验装置能够模拟空间辐射的多种环境，功能多样，使用方便。

Description

空间辐射环境强电磁场诱发静电放电试验系统

技术领域

本发明涉及静电放电测量装置技术领域，尤其涉及一种空间辐射环境强电磁场诱发静电放电试验系统。

背景技术

处在空间等离子体环境中的航天器，表面材料、器件与等离子体相互作用将不断积累电荷，可使其表面产生数千伏特甚至近万伏特的负电位，当航天器表面的电位超过介质的击穿电场时，会产生静电放电，静电放电产生的强电流脉冲和高压电场脉冲，容易被航天器母线或电子元器件耦合，造成航天器电源烧毁、电路逻辑输出错误等瞬态干扰，严重的会引起器件开路、短路、晶体管增益下降、CMOS集成电路金属引线烧毁和栅氧化层击穿等现象，使得航天器敏感器件及组件出现损坏或者误操作，甚至导致航天器飞行任务失败。

强电磁场诱发静电放电是指航天器表面材料、电缆以及某些特殊结构部件等低充电电位区域在外界强电磁场作用下被诱导发生的静电放电过程。一般情况下，航天器表面低充电电位敏感区域的电场较弱，电子能量低于分子、原子电离能，碰撞电离概率较低，当受到强电磁场作用时，激发低气压气体产生稠密等离子体，从而降低放电阈值并诱发产生静电电荷泄放。掌握强电磁场对低气压条件下等离子体的影响和作用机理，对于研究空间装备强电磁场诱发静电放电规律具有重要意义。

建立强电磁场辐射环境下诱发静电放电试验方法是开展强电磁场诱发静电放电规律和防护方法研究的前提。目前，国内缺乏强电磁场与空间环境相互作用的试验条件，无法开展空间辐射环境下强电磁场诱发静电放电规律研究，因此，需要建立强电磁场辐射环境和空间辐射环境同时作用下的诱发放电试验系统，不仅要能够开展静电放电、高功率微波、核电磁脉冲、超宽带等电磁脉冲及连续波等强电磁场辐射实验研究，而且还需要同时解决高真空环境获得、放电样品制作以及放电参数和效应的实时监测等问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是如何提供一种能够模拟空间辐射的多种环境，功能多样，使用方便的强电磁场辐照环境下诱发静电放电试验系统。

为解决上述技术问题，本发明所采取的技术方案是：一种空间辐射环境强电磁场诱发静电放电试验系统，其特征在于：包括供电装置、控制装置以及实验装置，所述控制装置用于控制所述实验装置以及供电装置进行工作，所述供电装置用于为所述控制装置以及实验装置提供工作电源；所述实验装置包括真空容器，所述真空容器上设置有等离子源接口，电子束接口，高压电极法兰接口，支撑架连接接口，抽真空接口以及放气阀接口，所述等离子源接口上连接有等离子提供装置，用于向所述真空容器内提供等离子；所述电子束接口上连接有电子束提供装置，用于向真空容器内提供电子束；所述高压电极法兰接口上连接高压绝缘柱，所述高压绝缘柱内设置有高压电极；所述支撑架连接接口上设置有可调节的支撑架；所述抽真空接口上设置有抽真空设备，用于对所述真空容器进行抽真空处理；所述放气阀接口上设置有放气阀，用于使所述真空容器与外界的空气相连通。

进一步的技术方案在于：所述真空容器包括位于上侧的石英玻璃筒以及位于下侧的不锈钢容器部，所述石英玻璃筒的上端开口通过具有O型圈密封的高密度环氧平板进行密封，所述不锈钢容器部的下侧设置有支撑腿，所述等离子源接口，电子束接口，高压电极法兰接口，支撑架连接接口，抽真空接口以及放气阀接口位于所述不锈钢容器部上。

进一步的技术方案在于：所述抽真空接口包括机械泵接口、分子泵接口以及真空测量接口，所述抽真空设备包括机械泵、分子泵、真空测量仪以及水冷机，所述机械泵位于所述机械泵接口上，所述分子泵位于所述分子泵接口上，通过所述机械泵以及分子泵配合对所述真空容器进行抽真空，所述水冷机用于为分子泵降温，所述真空测量仪用于测量所述真空容器内的真空度。

进一步的技术方案在于：所述等离子提供装置包括微波电源、调配器以及等离子体源，所述微波电源与所述调配器的电源输入端连接，用于为所述调配器提供工作电源，所述调配器的输出端经同轴电缆与所述等离子体源连接，所述等离子体源位于所述等离子源接口上。

进一步的技术方案在于：所述实验装置包括等离子测量装置，所述等离子测量装置包括等离子测量探针和朗缪尔探针自动测量装置，所述等离子测量探针通过位于支撑架连接接口内的可调支架设置在所述真空容器内，所述自动测量装置位于所述真空容器外，与所述等离子测量探针电连接。

进一步的技术方案在于：所述实验装置包括静电放电装置，所述静电放电装置包括电流传感器，所述电流传感器位于高压电极上，电位计位于支撑架连接接口内的可调支架上，通过示波器和频谱计配合测量放电次数、强度和频谱；用测试天线捕获放电脉冲，接收的信号送到数字存储示波器进行显示，以观察放电波形和能量大小，记录放电次数；电流传感器与示波器、频谱计配合测量放电电流、放电频谱。

进一步的技术方案在于：所述实验装置包括强电磁脉冲诱发放电装置，所述诱发放电装置包括针电极和板电极，所述针电极和板电极分别通过连接杆固定在所述真空容器内的顶部，所述针电极的外侧端部通过高压引线与一个所述高压电极连接，该高压电极与高压电源连接，所述针电极的内侧端部与所述板电极相对设置，所述板电极通过接地引线与另一个所述高压电极连接，该高压电极接地。

进一步的技术方案在于：所述实验装置包括连续波诱发放电装置，所述连续波诱发放电装置包括第一金属电极、第二金属电极和介质材料，所述介质材料通过连接杆固定在所述真空容器内的顶部，所述第一金属电极和第二金属电极固定在所述介质材料的下表面，且第一金属电极与第二金属电极的内侧端部保持有放电距离，第一金属电极经高压引线与其中的一个高压电极连接，该高压电极接高压电源，第二金属电极经接地引线与另一个高压电极连接，该高压电极接地。

优选的，所述电子束提供装置包括微型微波ECR等离子体阴极电子束源。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：所述系统依据空间辐射环境特点，在解决复杂结构静电放电参数测量手段的基础上，设计并研制适合于放电试验样品安装以及参数测量的真空环境系统，该试验系统主要真空容器、真空获得系统、等离子体源及设备诊断和参数测量装置等装置，能够进行多种功能试验，功能多样，使用方便。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

图1是本发明实施例所述系统中真空容器部分的结构示意图；

图2是本发明实施例所述系统放置到屏蔽笼的结构示意图；

图3是本发明实施例所述系统中等离子源的结构示意图；

图4是本发明实施例所述系统中靶流随气流量变化关系图；

图5是本发明实施例所述系统中等离子提供装置的安装结构示意图；

图6是本发明实施例所述系统中等离子测量装置的安装结构示意图；

图7是本发明实施例所述系统中高压绝缘柱的的安装结构示意图；

图8是本发明实施例所述系统中静电放电放电实验装置的安装结构示意图；

图9是本发明实施例所述系统中强电磁脉冲诱发放电实验装置的安装结构示意图；

图10是本发明实施例所述系统中连续波诱发放电实验装置的安装结构示意图；

图11是本发明实施例所述系统中电子束提供装置的结构示意图；

图12是本发明实施例所述系统中供电装置的结构示意图；

其中：1、供电装置；2、真空容器；2-1、石英玻璃筒；2-2、不锈钢容器部；3、等离子源接口；4、电子束接口；5、高压电极法兰接口；6、电子束提供装置；7、高压绝缘柱；8、机械泵接口；9、分子泵接口；10、调配器；11、等离子体源；12、同轴电缆；13、可调支架；14、电位计；15、针电极；16、板电极；17、连接杆；18、高压引线；19、第一金属电极；20、第二金属电极；21、介质材料；22、等离子测量探针。

具体实施方式

下面结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

总体的，所述系统依据空间辐射环境特点，在解决复杂结构静电放电参数测量手段的基础上，设计并研制适合于放电试验样品安装以及参数测量的真空环境系统，该试验系统主要真空容器、真空获得系统、等离子体源及设备诊断和参数测量装置等装置。

具体的，本发明公开了一种空间辐射环境强电磁场诱发静电放电试验系统，包括供电装置1、控制装置以及实验装置。所述控制装置用于控制所述实验装置以及供电装置进行工作，所述供电装置用于为所述控制装置以及实验装置提供工作电源；所述实验装置包括真空容器2，所述真空容器2上设置有等离子源接口3，电子束接口4，高压电极法兰接口5，支撑架连接接口，抽真空接口以及放气阀接口，所述等离子源接口3上连接有等离子提供装置，用于向所述真空容器内提供等离子；所述电子束接口4上连接有电子束提供装置6，用于向真空容器2内提供电子束；所述高压电极法兰接口5上连接高压绝缘柱7，所述高压绝缘柱7内设置有高压电极；所述支撑架连接接口上设置有可调节的支撑架；所述抽真空接口上设置有抽真空设备，用于对所述真空容器进行抽真空处理；所述放气阀接口上设置有放气阀，用于使所述真空容器与外界的空气相连通。

如图1所示，所述真空容器2包括位于上侧的石英玻璃筒2-1以及位于下侧的不锈钢容器部2-2，所述石英玻璃筒2-1的上端开口通过具有O型圈密封的高密度环氧平板进行密封，所述不锈钢容器部2-2的下侧设置有支撑腿2-3，所述等离子源接口3，电子束接口4，高压电极法兰接口5，支撑架连接接口，抽真空接口以及放气阀接口位于所述不锈钢容器部上。石英玻璃筒2-1为圆柱形，尺寸：φ400×700mm；材料：石英玻璃(φ400×480mm)及不锈钢（Φ400×230mm）。

基于该试验系统是研究空间辐射环境，需要电磁波透过真空容器壁进入真空腔体，因此，真空容器主体部分需用透波材料制作，主体部分选用石英玻璃材料；真空容器的下半部分采用不锈钢制作。空间的气压比地面低得多，为了模拟空间环境，首先要将气压范围调节接近空间环境；根据对真空容器的要求，真空容器主体部分采用石英玻璃，为了受力状态好，采用圆筒形。石英玻璃的顶端用透波的高密度环氧平板用O型圈密封，底端与不锈钢法兰连接，用O形圈密封；真空容器的下半部分采用不锈钢容器，不锈钢容器开有接分子泵接口，等离子体源接口、电子束接口、高压电极法兰接口、静电探针接口、电阻规接口、电离规接口、放气阀接口、门（门的开口尺寸145×120mm）等。图2是所述系统放置到屏蔽笼的结构示意图。

进一步的，所述抽真空接口包括机械泵接口8、分子泵接口9以及真空测量接口。所述抽真空设备包括机械泵、分子泵、真空测量仪以及水冷机，所述机械泵位于所述机械泵接口8上，所述分子泵位于所述分子泵接口9上，通过所述机械泵以及分子泵配合对所述真空容器进行抽真空，所述水冷机用于为分子泵降温，所述真空测量仪用于测量所述真空容器2内的真空度。

具体的，该项技术要求如下：

1）极限真空度：优于6.65×10^-3Pa；

2）分子泵：FF 160/700，可满足抽气需要。FF 160/700分子泵需配前级泵机械泵：FX32；抽速：8L/s。

3）真空测量仪：ZDF-5227复合真空计，测量范围：1×10⁵-1×10^-5Pa；涵盖了真空容器抽充气的气压范围，满足于测量1×10⁵-10^-3Pa的技术要求。

4）冷水机：AK26，制冷量2.7kW，试验系统中发热量主要来源于分子泵，发热量仅数百W。制冷量达2.7kW,完全满足分子泵等的正常工作需要，并留有一定余量供其他需冷却水的设备使用。

进一步的，所述等离子提供装置包括微波电源、调配器10以及等离子体源11。所述微波电源与所述调配器10的电源输入端连接，用于为所述调配器提供工作电源，所述调配器10的输出端经同轴电缆12与所述等离子体源11连接，所述等离子体源11位于所述等离子源接口3上。

1）等离子体源类型：微波电子回旋共振；

2）系统中等离子体密度：不低于10¹²m^-3；

3）能量：可达3eV（电子温度）。

航天器在轨运行时，受到空间环境的作用，特别是存在等离子体环境，将诱发航天器表面充放电。为了航天器的安全运转，必需深入研究航天器表面充放电的规律。为此，在真空容器中产生符合要求参数的等离子体就是技术关键。

为了保证空间真空环境是高真空度，除了配用足够大抽速的分子泵外，等离子体源的运行气压必需很低。因为微波电子回旋共振型等离子体源运行气压，所以，技术要求提出等离子体源类型为微波电子回旋共振。为了保证满足此要求，在微波ECR等离子体源中，选用运行气压很低的微波ECR等离子体源（如图3所示），图4是一组靶流随气流量变化的关系曲线。

通常，等离子体源是用金属构成的，为了在真空容器中尽量没有金属器件，等离子体源拟从真空容器一端向真空容器中注入等离子体。为了达到系统中等离子体密度不低于10¹²m^-3，等离子体源本身的密度要足够高。微波ECR等离子体源本身就是高密度等离子体源，其源中密度一般可大于1×10¹⁶m^-3。如图5所示，源距放电装置的距离大约400mm。根据等离子体的扩散规律，等离子体源中的等离子体经过400mm扩散，其密度可以超过10¹²m^-3。

由于微波ECR等离子体运行气压低，产生的等离子体电子温度（能量）一般都超过3eV。当微波ECR等离子体经过一段距离的扩散，等离子体电子温度会有所降低。由于扩散距离400mm比较短，所以到达真空容器中部的等离子体电子温度可达3eV。等离子提供装置包括微波电源和微波传输系统，具体请参见图5。

进一步的，所述实验装置包括等离子测量装置，所述等离子测量装置包括等离子测量探针22和朗缪尔探针自动测量装置，所述等离子测量探针通过位于支撑架连接接口内的可调支架13设置在所述真空容器2内，所述自动测量装置位于所述真空容器外，与所述等离子测量探针电连接。

具体的如图6所示，在试验系统出厂之前进行统调时，将等离子测量探针放置在电极的位置（平面探针支持架上下可调，可调最大范围110mm，支撑架底部配磁流体可左右旋转），采用中科大产的朗缪尔探针自动测量系统，探针所在位置的等离子体电子密度和温度，饱和离子流，以及电子密度和温度随等离子体源的参数的变化关系。并做出等离子体电子密度与饱和离子流的关系曲线。到用户进行实验时，采用数字表显示和记录饱和离子流，即可推算出等离子体密度的数值。

进一步的，所述实验装置包括静电放电装置，所述静电放电装置包括电流传感器，所述电流传感器位于高压电极上，电位计14位于支撑架连接接口内的可调支架13上，通过示波器和频谱计配合测量放电次数、强度和频谱；用测试天线捕获放电脉冲，接收的信号送到数字存储示波器进行显示，以观察放电波形和能量大小，记录放电次数；电流传感器与示波器、频谱计配合测量放电电流、放电频谱。

在进行静电放电的过程中，静电放电装置包括两根中心距为170mm的高压绝缘柱，如图7所示；对地耐压可达50kV。高压绝缘柱上可连接：电流或电位计探头；针板电极和金属电极等。

将电流传感器（如图8所示）安装在高压电极上，电位计支撑架上下可调，可调最大范围110mm，支撑架底部配磁流体可左右旋转，与用户自备的示波器、频谱计配合测量放电次数、强度、频谱。用测试天线捕获放电脉冲，接受的信号送到数字存储示波器进行显示，以观察放电波形和能量大小，记录放电次数。

电流传感器与示波器、频谱计配合测量放电电流、放电频谱。试验采用的是泰克（Tektronix）公司的CT-1电流探头，宽带25 kHz- 1 GHz，上升时间350ps。灵敏度为5mV/1mA，最大峰值脉冲电流12A，传播延时3.25ns。

放电阈值电压可通过电位计、微安表配合示波器测量并计算得到。试验时，将气压等参数调节到指定值，在真空罐内放电试样的电极端施加高压，利用微安表在低端测量放电电流值；逐渐升高电压，并同时测量放电电流值。将试验所测电压和电流值绘制成曲线，基于I-U曲线法即可获得此气压下的放电阈值电压。改变气压等条件参数，并重复上述步骤，即可获得不同气压等参数下放电阈值电压。

进一步的，如图9所示，所述实验装置包括强电磁脉冲诱发放电装置，所述诱发放电装置包括针电极15和板电极16。所述针电极15和板电极16分别通过连接杆17固定在所述真空容器2内的顶部，所述针电极15的外侧端部通过高压引线18与一个所述高压电极连接，该高压电极与高压电源连接，所述针电极15的内侧端部与所述板电极16相对设置，所述板电极16通过接地引线与另一个所述高压电极连接，该高压电极接地。优选的，针直径：1mm，长50mm，一端为针尖，接高压引线；板φ100mm，厚1mm，接地引线。将针板电极安装在高压电极上，在真空容器中主要是在试验平台上安装针-板电极，将试验系统至于强电磁脉冲环境下试验。

进一步的，所述实验装置包括连续波诱发放电装置，如图10所示，所述连续波诱发放电装置包括第一金属电极19、第二金属电极20和介质材料21。所述介质材料21通过连接杆17固定在所述真空容器2内的顶部，所述第一金属电极19和第二金属电极20固定在所述介质材料21的下表面，且第一金属电极19与第二金属电极20的内侧端部保持有放电距离，第一金属电极19经高压引线18与其中的一个高压电极连接，该高压电极接高压电源，第二金属电极20经接地引线与另一个高压电极连接，该高压电极接地。将试验系统至于连续波环境下试验。

电子束源实验装置：

1）束中心电子束流密度：最大可达100nA/cm²；

2）电子束能量：最高可达-30keV。

电子束源的总体结构参见图11所示。产生电子部分采用阴极加热的技术方案。将阴极置于负高压上（最高可达30kV）。其组成单元包括如下：等离子体产生单元；电子束引出和加速单元；负高压电源单元；电子产生单元；阴极加热产生电子；电子束引出和加速单元；电子束引出和加速单元由阴极和阳极，以及两者之间的绝缘环构成。绝缘环能保证在引出电子束时能耐压30kV以上。

负高压电源技术参数：输入电压：220 V交流；输出电压：-5-30 kV直流连续可调；电流：可达1mA，具有短路过流保护和软启动功能；电压调节方式：电位器调节，具有485接口；显示精度：电压四位半，电流3位半；纹波：小于2%；输出稳定度：小于1%；时漂：小于1%；负载调整率：小于等于0.5%；使用环境：温度-10℃~+50℃；阴极加热电源：浮在30kV高压电源上，输出电压：10V，电流10A。

试验系统可以采用手动控制和触摸屏控制两种操作模式。

触摸屏控制具有连锁保护功能，对于装置运行过程中出现的异常情况，能够及时进行报警；方便进行设备系统的调试、测试；保证设备系统运行参数的稳定性；提高整个实验装置的自动化水平，提升设备系统的运行效率，降低实验人员的劳动强度，提高工作效率。试验系统所用电源设备安装在一台1.8 m高的标准机柜里，如图12所示。

现场手动控制：适用于用户现场设备单元的测试、验收、维护、维修，系统的调试、功能测试等场合，或应急实验。全部由人工操作，各设备相互之间没有任何的连锁保护功能。

解锁手动控制：可通过操作控制屏界面，对现场的各设备单元进行操作控制，如设备的开关、启停，输出信号大小的调节等。适用于计算机网络测控系统调试、维护、维修的场合，各设备相互之间没有任何的连锁保护功能。

连锁手动控制：在解锁手动控制功能的基础上，增加了各设备间的连锁保护功能，亦即某设备的启动条件不具备，该设备通过计算机启动不了。该方式适用于整个设备系统调试通过，进行一些探索性研究实验，或进行运行工艺摸索阶段。

全自动控制：在连锁手动控制功能的基础上，适用于系统运行稳定，工艺成熟，进行一些重复性的验证、测试实验的场合。该方式采用“一键启动”、“一键停止”，系统运行效率高。

系统急停与复位：在系统运行过程中，出现紧急情况或突发性的事故，需要紧急处理，则通过对“系统急停”按钮的操作，保证整个设备系统按照设定的程序进行处理，以保障设备系统的安全，尽量降低或避免损失。

系统急停以后，除了“复位”按钮，对触摸屏界面上的任何操作，均是无效的，以避免误操作产生更坏的影响。在系统恢复正常以后，通过对“复位”按钮的操作，触摸屏界面上的操作功能，才能恢复正常。

显示功能：用户登录界面显示；主控操作界面显示；设备及系统状态显示；设备运行参数显示；实时曲线显示；测量数据及测量结果显示；各运行设备操作控制界面。

报警功能：设备故障报警；参数越限报警；连锁失效报警。

Claims

1.一种空间辐射环境强电磁场诱发静电放电试验系统，其特征在于：包括供电装置（1）、控制装置以及实验装置，所述控制装置用于控制所述实验装置以及供电装置进行工作，所述供电装置用于为所述控制装置以及实验装置提供工作电源；所述实验装置包括真空容器（2），所述真空容器（2）上设置有等离子源接口（3），电子束接口（4），高压电极法兰接口（5），支撑架连接接口，抽真空接口以及放气阀接口，所述等离子源接口（3）上连接有等离子提供装置，用于向所述真空容器内提供等离子；所述电子束接口（4）上连接有电子束提供装置（6），用于向真空容器（2）内提供电子束；所述高压电极法兰接口（5）上连接高压绝缘柱（7），所述高压绝缘柱（7）内设置有高压电极；所述支撑架连接接口上设置有可调节的支撑架；所述抽真空接口上设置有抽真空设备，用于对所述真空容器进行抽真空处理；所述放气阀接口上设置有放气阀，用于使所述真空容器与外界的空气相连通。

2.如权利要求1所述的空间辐射环境强电磁场诱发静电放电试验系统，其特征在于：所述真空容器（2）包括位于上侧的石英玻璃筒（2-1）以及位于下侧的不锈钢容器部（2-2），所述石英玻璃筒（2-1）的上端开口通过具有O型圈密封的高密度环氧平板进行密封，所述不锈钢容器部（2-2）的下侧设置有支撑腿（2-3），所述等离子源接口（3），电子束接口（4），高压电极法兰接口（5），支撑架连接接口，抽真空接口以及放气阀接口位于所述不锈钢容器部上。

3.如权利要求1所述的空间辐射环境强电磁场诱发静电放电试验系统，其特征在于：所述抽真空接口包括机械泵接口（8）、分子泵接口（9）以及真空测量接口，所述抽真空设备包括机械泵、分子泵、真空测量仪以及水冷机，所述机械泵位于所述机械泵接口（8）上，所述分子泵位于所述分子泵接口（9）上，通过所述机械泵以及分子泵配合对所述真空容器进行抽真空，所述水冷机用于为分子泵降温，所述真空测量仪用于测量所述真空容器（2）内的真空度。

4.如权利要求1所述的空间辐射环境强电磁场诱发静电放电试验系统，其特征在于：所述等离子提供装置包括微波电源、调配器（10）以及等离子体源（11），所述微波电源与所述调配器（10）的电源输入端连接，用于为所述调配器提供工作电源，所述调配器（10）的输出端经同轴电缆（12）与所述等离子体源（11）连接，所述等离子体源（11）位于所述等离子源接口（3）上。

5.如权利要求1所述的空间辐射环境强电磁场诱发静电放电试验系统，其特征在于：所述实验装置包括等离子测量装置，所述等离子测量装置包括等离子测量探针（22）和朗缪尔探针自动测量装置，所述等离子测量探针通过位于支撑架连接接口内的可调支架（13）设置在所述真空容器（2）内，所述自动测量装置位于所述真空容器外，与所述等离子测量探针电连接。

6.如权利要求1所述的空间辐射环境强电磁场诱发静电放电试验系统，其特征在于：所述实验装置包括静电放电装置，所述静电放电装置包括电流传感器，所述电流传感器位于高压电极上，电位计（14）位于支撑架连接接口内的可调支架（13）上，通过示波器和频谱计配合测量放电次数、强度和频谱；用测试天线捕获放电脉冲，接收的信号送到数字存储示波器进行显示，以观察放电波形和能量大小，记录放电次数；电流传感器与示波器、频谱计配合测量放电电流、放电频谱。

7.如权利要求1所述的空间辐射环境强电磁场诱发静电放电试验系统，其特征在于：所述实验装置包括强电磁脉冲诱发放电装置，所述诱发放电装置包括针电极（15）和板电极（16），所述针电极（15）和板电极（16）分别通过连接杆（17）固定在所述真空容器（2）内的顶部，所述针电极（15）的外侧端部通过高压引线（18）与一个所述高压电极连接，该高压电极与高压电源连接，所述针电极（15）的内侧端部与所述板电极（16）相对设置，所述板电极（16）通过接地引线与另一个所述高压电极连接，该高压电极接地。

8.如权利要求1所述的空间辐射环境强电磁场诱发静电放电试验系统，其特征在于：所述实验装置包括连续波诱发放电装置，所述连续波诱发放电装置包括第一金属电极（19）、第二金属电极（20）和介质材料（21），所述介质材料（21）通过连接杆（17）固定在所述真空容器（2）内的顶部，所述第一金属电极（19）和第二金属电极（20）固定在所述介质材料（21）的下表面，且第一金属电极（19）与第二金属电极（20）的内侧端部保持有放电距离，第一金属电极（19）经高压引线（18）与其中的一个高压电极连接，该高压电极接高压电源，第二金属电极（20）经接地引线与另一个高压电极连接，该高压电极接地。

9.如权利要求1所述的空间辐射环境强电磁场诱发静电放电试验系统，其特征在于：所述电子束提供装置包括微型微波ECR等离子体阴极电子束源。