CN109891287A - 集成型光模块的光轴调整方法、制造方法以及光轴调整装置 - Google Patents

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Abstract

集成型光模块的光轴调整方法包括：使导入到封装内的入射光的波长变化，通过第1及第2受光元件分别检测由第1及第2滤波器分波的光来测定输出电流的测定工序；根据相对于入射光的波长变化的输出电流的变化来检测第1及第2光的中心波长的检测工序；将第1及第2光的中心波长和第1及第2滤波器的设计透过波长进行比较，将各自的差值设为第1及第2波长偏移的工序；以及调整光分波器的位置以使第1及第2波长偏移的总和变小的调整工序。

Description

集成型光模块的光轴调整方法、制造方法以及光轴调整装置
技术领域
本发明涉及集成型光模块的光轴调整方法、制造方法以及光轴调整装置，特别是涉及用于将入射光分波为波长不同的多个光的光分波器的光轴调整方法、具备该光分波器的集成型光模块的制造方法以及光轴调整装置。
背景技术
近年来，光通信的通信速度增大，要求具有高通信速度、更小型且功耗低的光通信模块。因此，正在开发如下的小型且具有高通信速度的集成型光通信模块(以下，称为“集成型光模块”。)：在一个光通信模块内安装多个受光元件，为了使这些受光元件受光，将从一个光纤输出的波分复用的光分波为不同波长的多个光，通过各受光元件将光信号转换为电信号。
在以往的光通信模块中，相对于一个光通信模块，受光元件也是一个，相对于该一个受光元件进行来自光纤的输出光的光轴调整，在由受光元件从光信号转换得到的电信号的电流值达到最佳的位置固定光通信模块和光纤。与此相对，在集成型光模块中，在一个集成型光模块内安装多个受光元件，需要进行用于使从光纤输出的波分复用光分波为波长不同的多个光而使各受光元件受光的光轴调整。因此，需要进行与安装在集成型光模块内的受光元件的数量相应的次数的光轴调整。
与此相对，在专利文献1所记载的方法中，准备光分波器，该光分波器具备多个波长滤波器并将入射的光信号分波为不同波长的多个信号光，以与光轴调整用的外部光源的光轴垂直的角度为基准，按照基准角度与设计角度的差值决定了光分波器的位置之后，测定各受光元件的受光信号，对光分波器的位置进行微调。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2016-18016号公报
发明内容
发明所要解决的课题
但是，根据光分波器的波长滤波器的安装精度等，有时即使对准通过一个波长滤波器的光的光轴，通过其他波长滤波器的光的光轴也会偏移，需要与受光元件的个数相应地反复进行光轴调整来使光分波器的位置最优化，存在光轴调整的次数增加、光学元件的装配时间变长的问题。
因此，本发明的目的在于提供一种能够以较少的次数高精度地进行光轴调整的集成型光模块的光轴调整方法、制造方法以及光轴调整装置。
用于解决课题的手段
本发明是一种集成型光模块的光轴调整方法，该集成型光模块在封装内具备光分波器和第1及第2受光元件，该光分波器将入射光分波为适合于第1受光元件的受光波长波段的第1光和适合于第2受光元件的受光波长波段的第2光，该第1及第2受光元件分别接收第1及第2光，其特征在于，该光轴调整方法包括：
准备具有第1及第2受光元件的封装的工序；
检测出第1滤波器与入射光垂直的位置，以其角度为基准以设计角度将具备第1及第2滤波器的光分波器配置在封装内的工序；
使导入到封装内的入射光的波长变化，通过第1及第2受光元件分别检测由第1及第2滤波器分波后的光来测定输出电流的测定工序；
根据相对于入射光的波长变化的输出电流的变化来检测第1及第2光的中心波长的检测工序；
将第1及第2光的中心波长与第1及第2滤波器的设计透过波长进行比较，将各自的差值设为第1及第2波长偏移的工序；以及
调整光分波器的位置以使第1及第2波长偏移的总和变小的调整工序。在此对第1、第2受光元件进行了记载，但由于对第3以后的受光元件也能够应用光轴调整方法，因此受光元件的数量并不限定于此。光轴调整不限于受光元件的数量，能够通过将一组光的中心波长与滤波器的设计透过波长进行比较并使波长偏移变小来进行调整。
另外，本发明也是一种集成型光模块的制造方法，其特征在于，包括在光轴调整后在进行了光轴调整的位置将光分波器粘接于封装的粘接工序。
另外，本发明也是一种集成型光模块的光轴调整装置，该集成型光模块在封装内具备将入射光分波为波长不同的第1及第2光的光分波器和分别接收第1光及第2光的第1及第2受光元件，其特征在于，包括：
工作台，其载置并固定安装有第1及第2受光元件的封装；
把持机构，其在封装内把持具备第1及第2滤波器的光分波器；
光源，其供给入射光；
反射返回光测定机，其检测入射光从第1滤波器反射的光；
电流测量设备，其通过第1及第2受光元件检测第1及第2光，根据检测出的光得到输出电流；以及
PC单元，其根据入射光的波长和输出电流来检测第1及第2光的中心波长，将第1及第2光的中心波长与第1及第2滤波器的设计透过波长进行比较，将各自的差值设为第1及第2波长偏移，计算使第1及第2波长偏移的总和变小的光分波器的位置，
基于PC单元的计算结果，把持机构使光分波器移动。在此对第1、第2受光元件进行了记载，但由于对第3以后的受光元件也能够应用光轴调整方法，因此受光元件的数量并不限定于此。也能够进行仅使第1波长偏移变小的光轴调整或使也包含第3以后的波长偏移在内的总和变小的光轴调整。
发明效果
在本发明的集成型光模块的光轴调整方法中，能够进行测定受光元件的输出电流值并使其组合达到最佳的光轴调整。因此，能够削减光轴调整的次数并且进行高精度的光轴调整。
附图说明
图1是本发明的实施方式1的光轴调整装置的立体图。
图2是表示本发明的实施方式1的光轴调整装置的结构的框图。
图3是表示本发明的实施方式1的集成型光模块的光轴调整方法的流程图。
图4是在本发明的实施方式1中进行光轴调整的集成型光模块的俯视图。
图5是表示在本发明的实施方式1的受光元件中使光的波长变化时的输出电流的变化的图表。
图6是表示本发明的实施方式1的受光元件的输出电流的调芯前曲线和基准曲线的图表。
图7是表示本发明的实施方式1的从光分波器透过的波长的设计值的偏移和光轴角度的偏移的关系的图表。
图8是表示本发明的实施方式1的受光元件的输出电流的调芯后曲线和基准曲线的图表。
图9是表示本发明的实施方式1的两个受光元件的输出电流的调芯前曲线和基准曲线的图表。
图10是表示本发明的实施方式1的两个受光元件的输出电流的调芯后曲线和基准曲线的图表。
图11是本发明的实施方式2的光轴调整装置的立体图。
图12是表示本发明的实施方式2的光轴调整装置的结构的框图。
图13是表示本发明的实施方式2的集成型光模块的制造工序的流程图。
图14是本发明的实施方式3的光轴调整装置的立体图。
图15是表示本发明的实施方式3的光轴调整装置的结构的框图。
图16是表示本发明的实施方式3的集成型光模块的制造工序的流程图。
图17是表示在本发明的实施方式3的光分波器中从光纤出射的光最发生反射的情况下的光分波器的设置角度的俯视图。
图18是表示本发明的实施方式3的光分波器的角度和从光纤出射的光被光分波器的滤波器反射的光损失的图表。
具体实施方式
实施方式1
图1是整体用100表示的本发明的实施方式1的光轴调整装置的立体图。另外，图2是表示光轴调整装置100的结构的框图。在图1、2中，相同附图标记表示相同或相当的部位。
如图1所示，光轴调整装置100具有工作台20和位置及角度的调整机构5、10。工作台20例如由上表面为水平的金属板构成，在其上方载置并固定成为光轴调整的对象的集成型光模块4。
调整机构5具有把持机构12，通过该把持机构12把持搭载于集成型光模块4的内部的光分波器40。调整机构5能够进行相互正交的X轴、Y轴以及Z轴方向的动作、以及绕X轴、Y轴以及Z轴的旋转，由此，调整由把持机构12把持的光分波器40的位置及角度。
调整机构10具有把持机构11，通过该把持机构11把持准直器3。调整机构10也能够进行相互正交的X轴、Y轴以及Z轴方向的动作、以及绕X轴、Y轴以及Z轴的旋转，由此，调整由把持机构11把持的准直器3的位置及角度。
光源1通过光纤与准直器3连接，供给光轴调整用的光。从光源1供给的光通过准直器3成为平行的光。
在集成型光模块4中的受光元件41上通过配线6连接有电流测量设备7，通过受光元件41将入射的光转换为输出电流，通过电流测量设备7对其进行检测。
如图2所示，光轴调整装置100具备PC单元9，存储向光源1发送的波长数据、由电流测量设备7测定的电流数据。
下面，使用图3对光轴调整方法进行说明。图3是表示本发明的实施方式1的光轴调整方法的流程图，光轴调整方法包括以下所示的S10～S14这五个步骤。
[步骤S10]
将集成型光模块4的封装43固定在水平的工作台20上的规定的位置。如图4所示，集成型光模块4由作为框体部分的封装43、安装在封装43的内部的多个受光元件41、以及将入射光分波为不同波长的多个光的光分波器40构成。在图4中，记载了受光元件41为四个的情况，但受光元件41的数量并不限定于此。
在该时刻，受光元件41固定于封装43，但光分波器40不固定于封装43，而是由调整机构5的把持机构12把持。
该光分波器40由例如由玻璃构成的透明的主体部42、以及在主体部42的两侧以平行的方式相向配置的滤波器(透明光学元件)44和反射板45构成。滤波器44具有根据光的入射角度而仅使特定波长波段的光透过并使除此以外的波长波段的光反射的光学滤波器的功能，将入射光分波为不同波长的多个光。滤波器44安装有与受光元件41的个数相同的数量。在图4中，设置有四个滤波器44a、44b、44c、44d，在光以相同的入射角度入射的情况下，各自透过的波长波段不同。因此，能够将入射到集成型光模块4的波分复用光分波为不同波长的四个光，使其入射到四个受光元件41。
例如，在规定的入射角度下，滤波器44a透过的光的波长波段为1293.5nm～1297.5nm。另外，在相同的入射角度下，透过的光的波长波段在滤波器44b中为1298.0nm～1302.0nm，在滤波器44c中为1302.5nm～1306.5nm，在滤波器44d中为1307.0nm～1311.0nm。在滤波器44a～44d中，除此之外的波长的光不透过而是反射。
另外，如果入射角度变化1.0deg，则该透过波长波段的中心值移动0.7nm。具体而言，在某入射角度αdeg下滤波器44a的透过波长波段的中心值为1295.5nm的情况下，在入射角度变化为α+1.0deg时，透过波长波段的中心值从1295.5nm移动到1296.2nm。另外，透过波长波段整体上向长波长侧移动到1294.2nm～1298.2nm。此时，产生本来应该在滤波器44b中透过的1298.0nm～1298.2nm的波长的光会在相邻的滤波器44a中透过这样的问题。除此之外，还产生因反射角度的偏移而导致的光路的位置偏移的问题。因此，对光分波器40的光轴调整要求较高的精度。
在四个受光元件41上分别连接有配线6，通过电流测量设备7测定受光元件41的输出电流值。
[步骤S11]
使从光源1供给的光经由光纤入射到准直器3。准直器3由把持机构11把持。准直器3的位置和角度由调整机构10调整。例如，在图4中，准直器3的位置和角度调整成使接收透过了滤波器44d的光的受光元件41d的输出电流值达到最大的位置和角度。从光源1供给的光，通过由把持机构11以成为规定的位置和角度的方式把持的准直器3，入射到集成型光模块4的封装43的内部。
[步骤S12]
通过调整机构5对由把持机构12把持的光分波器40的位置和角度进行调整，通过准直器3入射到封装43的内部的入射光向光分波器40入射。通过以上的调整，决定除了水平方向的旋转角度以外的光分波器40的位置、角度。
接着，在该状态下，使从光源1发出的光的波长变化，检测通过光分波器40而入射到受光元件41的光。例如，如图4所示，在入射光的波长为λ1的情况下，入射光仅透过滤波器44d，不透过其他滤波器44a～44c，入射光入射到受光元件41d并被检测。另外，在入射光的波长为λ2的情况下，入射光被滤波器44d反射之后，再被反射板45反射，透过滤波器44c而入射到受光元件41c并被检测。同样，波长λ3、λ4的入射光分别透过滤波器44b、44a，被受光元件41b、41a检测。
图5是表示在受光元件中使光的波长变化时的输出电流的变化的图表，横轴表示受光波长，纵轴表示输出电流。受光波长与输出电流的关系成为如图5所示的凸型的曲线，将该曲线称为输出电流曲线。
受光元件41接收的光是透过了位于该受光元件前方的滤波器44的光。安装于光分波器40的主体部42的滤波器44仅透过特定的入射角度下特定波长波段的光，使除此以外的波长波段的光反射。因此，通过使波长变化，透过滤波器44的光的量发生变化，受光元件41接收的光的波段发生变化。透过了滤波器44的光由受光元件41受光，作为输出电流由电流测量设备7进行测定，并作为输出电流值数据由PC单元9获取。
另外，从光源1供给的光的波长由测量设备8测定，作为波长数据由PC单元9获取。结果，能够由PC单元9输出如图5所示的输出电流曲线。
[步骤S13]
根据在步骤S12中得到的测定结果，计算光分波器40的水平方向(在图4中为与纸面平行的方向)的角度的偏移，进行光分波器40的角度的调整。图6是与图5同样地表示输出电流曲线的图表。在图6中，虚线A1是按照集成型光模块4的设计的基准曲线，实线A2是实际测定的调芯前曲线。基准曲线A1表示由受光元件41得到的输出电流值和透过了受光元件41的前方的滤波器44的光的波长的理想的关系。
在步骤S13中，对于两个曲线A1、A2，求出曲线的中心波长。在此，设曲线A1、A2的平坦部分的中央的波长为中心波长λA1、λA2，但例如也可以将最大波长设为中心波长。
接着，计算中心波长λA1、λA2从滤波器44的设计值的偏移。根据该中心波长的偏移，计算滤波器44透过的光的波长波段的偏移。
图7是表示中心波长的偏移与入射角度相对于滤波器的偏移的关系的图表，横轴表示中心波长的偏移，纵轴表示入射角度的偏移。预先获取图7的关系。对于透过四个滤波器44的光而得到的波长的偏移与角度的偏移的关系为线性的关系，以同一直线状表示。根据图7，求出与中心波长的偏移对应的入射角度相对于滤波器44的偏移。
接着，调整光分波器40的水平方向的角度，以便修正所求出的入射角度的偏移。具体而言，根据由PC单元9求出的入射角度的偏移，使由调整机构5的把持机构12把持的光分波器40在水平面内旋转，调整水平方向的角度。
图8是表示本发明的实施方式1的受光元件的输出电流的调芯后曲线和基准曲线的图表，实线是修正了光分波器40的入射角度偏移后的调芯后曲线A3，虚线是与图6相同的基准曲线A1。如图8所示，调芯后曲线A3的中心波长λA3与基准曲线A1的中心波长λA1非常接近。与基准曲线A1的中心波长λA1之差越接近0，越能够进行高精度的光轴调整。
同样，通过改变从光源1供给的光的波长，对透过了各滤波器44a、44b、44c、44d的光来计算基准曲线的中心波长与测定出的调芯前曲线的中心波长的偏移。图9表示关于两个滤波器的基准曲线(虚线)和调芯前曲线(实线)。在图9中，示出关于两个滤波器的曲线，但也可以根据受光元件的数量而同时表示其他数量的曲线。
对于多个曲线，也使用图7的关系计算各自的中心波长的偏移，基于此偏移来调整光分波器40的角度。图10表示对于透过了两个滤波器44的光，修正了光分波器40的角度偏移后的调芯后曲线(实线)和基准曲线(虚线)。对于透过了两个滤波器的光，中心波长的偏移均变小。
在此，理想地，能够通过对一个滤波器计算角度的偏移并基于该值修正光分波器的角度来修正所有滤波器。然而，实际上，由于相对于光分波器40的主体部42，滤波器44的固定角度不一致，所以即使基于根据一个滤波器44计算出的角度的偏移进行修正，也不一定能够对所有的滤波器44进行最佳的修正。
因此，在本发明的实施方式1中，计算角度的修正量，以使根据由多个滤波器44得到的输出电流曲线而计算出的角度偏移的组合达到最小。具体而言，使用如下方法：对于对多个受光元件41计算出的中心波长的偏移，使用使偏移的值的平方和达到最小的最小二乘法来计算整个集成型光模块的中心波长的偏移，并基于该值，根据图7计算光分波器40的角度偏移。
结果，能够使多个受光元件41的输出电流曲线形状和基准曲线形状的偏移在整体上最小。
此外，计算整个集成型光模块的中心波长的偏移的方法不限于最小二乘法，只要是例如简单平均法那样的各受光元件的输出电流曲线形状与基准曲线形状的偏差处于设计范围内的方法，也可以使用其他方法。
图10是使用最小二乘法计算整个集成型光模块的中心波长的偏移并基于该值修正了光分波器40的角度偏移的图，对于透过了两个滤波器的光，偏移变小。
这样，与以往对各受光元件41修正光分波器40的安装角度偏移而反复进行与受光元件41的数量相应的光轴调整、或者选择受光元件的一个来进行光轴调整相比，在本发明中，能够进行使所有受光元件41的输出电流值的组合达到最佳的光轴调整。结果，能够削减光轴调整次数而缩短调整时间，并且能够对多个元件进行高精度的光轴调整。但是，即使不使所有受光元件41的输出电流值的组合达到最佳，通过仅第1受光元件的波长deg或第1、第2受光元件的波长偏移的总和达到最小的光轴调整，也能够缩短调整时间，并且能够对作为对象的元件进行高精度的光轴调整。
[步骤S14]
在步骤S14中，将进行了光轴调整的光分波器40粘接于集成型光模块4的封装43。粘接方法例如为使进行了光轴调整的光分波器40暂时移动到封装43的外部，在其底面涂布在照射紫外线时固化的树脂(紫外线固化性树脂)。接着，返回到光轴调整后的位置，照射紫外线而使树脂固化，将光分波器40固定于集成型光模块4的封装43。
在步骤14中，为了在使光分波器40从进行了光轴调整的位置移动之后返回到原来的位置，从调整机构5读取光轴调整后的光分波器40的位置、角度的坐标数据，并保存于PC单元。然后，在涂布了树脂之后，基于所保存的坐标数据，使光分波器40返回到原来的位置，在该状态下照射紫外线而固定。
优选在将光分波器40粘接于集成型光模块4的封装43之后进行检查。检查如下这样进行：将如图10所示的各受光元件41的输出电流曲线形状和基准曲线形状进行比较，根据透过了滤波器44的光的波长波段的中心值的偏移，再次计算滤波器44的安装角度偏移，判断该值是否处于产品的设计规格的范围内。
在以上的工序中，在进行了光分波器40的光轴调整的状态下，将光分波器40固定在封装43内。
实施方式2
图11是整体用200表示的本发明的实施方式2的光轴调整装置的立体图。另外，图12是表示光轴调整装置200的结构的框图。在图11、12中，与图1、2相同的附图标记表示相同或相当的部位。
在本发明的实施方式2的光轴调整装置200中，作为光源1，使用发光波长不同的多个光源1a、1b、1c、1d，从该光源供给的光由例如光合波器那样的光学元件2合波，入射到准直器3。其他结构与图1、2所示的实施方式1的光轴调整装置100相同。
也就是说，如图11所示，本发明的实施方式2的光轴调整装置200包括使发出的光的波长变化的多个(图11中为四台)光源1(1a、1b、1c、1d)、以及将从光源1发出的多个光进行合波的光学元件(合波器)2，由光学元件2合波后的光经由光纤进入准直器3。通过了准直器3的光入射到光分波器40，被分波为透过各个滤波器44的光，入射到各个受光元件41而进行检测。在图11、12中，入射到滤波器44的光分波为波长不同的四个光，由各受光元件41检测。调整光分波器40的角度，以使由多个受光元件41检测出的输出电流值达到最佳。
下面，使用图13对光轴调整方法进行说明。图13是表示本发明的实施方式2的光轴调整方法的流程图，光轴调整方法包括以下所示的S20～S24这五个步骤。
[步骤S20]
步骤S20是与实施方式1的步骤S10相同的工序，将集成型光模块4的封装43固定在光轴调整装置200的工作台20上。
[步骤S21]
通过调整机构5对由把持机构12把持的光分波器40的位置和角度进行调整，由光学元件2进行合波并通过准直器3而入射到封装43的内部的入射光向光分波器40入射。在光轴调整装置200中，作为光源1使用具有不同波长的多个光源，从多个光源供给的波长不同的光由光学元件2合波，进入准直器3。在图12中，从四个光源得到的光的波长分别与通过设置于光分波器40的各个滤波器44而由四个受光元件接收的波长对应。其他工序与实施方式1的步骤S11相同。
[步骤S22]
使包含在光中的各个波长变化，通过各受光元件41检测输出电流的变化。例如在使光源1a、1b、1c、1d的波长为λa、λb、λc、λd的情况下，要改变的波长仅需在λa、λb、λc、λd的附近即可。另外，也能够同时进行四个不同波长的变化。
其他工序与实施方式1的步骤S22相同，由此，对于由各受光元件41获取的光，得到如图6那样的基准曲线与调芯前曲线的关系，根据图7的图表，求出各滤波器44的偏移角度。然后，对于所有的滤波器44，例如使用最小二乘法计算光分波器的旋转角度，以使偏移角度最优化。
[步骤S24]
与实施方式1的步骤S24同样地，在封装43的规定位置固定光分波器40，之后进行检查工序。
在以上的工序中，在进行了光分波器40的光轴调整的状态下，将光分波器40固定在封装43内。
在本发明的实施方式2的光轴调整法中，能够使从波长不同的多个光源1a、1b、1c、1d供给的光的波长仅在分别对应的滤波器能够透过的波长附近变化，能够在短时间内进行利用受光元件的输出信号测定。另外，由于使用包含多个波长的光，所以能够通过多个受光元件同时进行输出信号的测定，能够缩短测定时间。
实施方式3
图14是整体用300表示的本发明的实施方式3的光轴调整装置的立体图，图15是表示光轴调整装置300的结构的框图。另外，图16是表示本发明的实施方式3的集成型光模块的光轴调整方法的流程图，图17是集成型光模块的俯视图。在图14、15、17中，与图1、2、4相同的附图标记表示相同或相当的部位。
在本发明的实施方式3的光轴调整装置300中，从光源1供给的光经由反射返回光测定机50入射到准直器3。其他结构与图1、2所示的实施方式1的光轴调整装置100相同。
也就是说，如图14所示，在本发明的实施方式3的光轴调整装置300中，从使发出的光的波长变化的光源1发出的光经由反射返回光测定机50进入准直器3。经由反射返回光测定机50通过了准直器3的光入射到光分波器40。然后，被光分波器40的滤波器44反射的光经由准直器3由反射返回光测定机50检测。在检测出了使因反射导致的光损失达到最小的光分波器40的设置角度之后，使光分波器40以分波器主体部42的中心为旋转轴相对移动，以使光分波器40达到设置设计角度。准直器3也通过调整机构10移动与因旋转产生的滤波器44的相对移动量相应的量，抵消光轴偏移。作为最终调整，调整光分波器40的角度，以使由多个受光元件41检测出的输出电流值达到最佳。
下面，使用图16对光轴调整方法进行说明。图16是表示本发明的实施方式3的光轴调整方法的流程图，光轴调整方法包括以下所示的S30～S36这七个步骤。
[步骤S30]
步骤S30是与实施方式1的步骤S10相同的工序，将集成型光模块4的封装43固定在光轴调整装置300的工作台20上。
[步骤S31]
进行与实施方式1的步骤S11相同的工序，通过调整机构10调整了准直器3的位置和角度之后，调整准直器3的位置以便通过在分波器主体部42中的折射而抵消光轴位置偏移。然后，通过调整机构5对由把持机构12把持的光分波器40的位置和角度进行调整，使经由反射返回光测定机50通过准直器3入射到封装43的内部的入射光向光分波器40入射。
[步骤S32]
如图17所示，从光源1发光并经由反射返回光测定机50而通过准直器3入射到光分波器40的滤波器44d的光被滤波器44d反射，在通过了准直器3之后，由反射返回光测定机50检测光损失。根据检测出的光损失以及表示光分波器的角度和反射光的光损失的图18的图表，求出光分波器40与入射的光垂直、光损失最小的角度。
[步骤S33]
如图17所示，使光合波器40从光损失变得最小的基准角度，以主体部42的中心为旋转轴，相对旋转移动与设置设计角度相应的量，然后使准直器3也移动与因旋转产生的滤波器44的相对移动量相应的量，配置成抵消光轴偏移。
例如，使主体部42旋转设置设计角度7deg而产生的光轴偏移在水平方向上为200μm，因此，使滤波器44在水平方向上移动200μm以消除光轴偏移。
[步骤S34]
步骤S34是与实施方式1的步骤S12相同的工序，使包含在光中的各个波长变化，通过各受光元件41检测输出电流的变化。
[步骤S35]
步骤S35是与实施方式1的步骤S13相同的工序，由此，对于由各受光元件41获取的光，得到如图6那样的基准曲线与调芯前曲线的关系，根据图7的图表，求出各滤波器44的偏移角度。然后，对于所有的滤波器44，例如使用最小二乘法计算光分波器的旋转角度，以使偏移角度最优化。
[步骤S36]
与实施方式1的步骤S24同样地，在封装43的规定位置固定光分波器40，之后进行检查工序。
在以上的工序中，在进行了光分波器40的光轴调整的状态下，将光分波器40固定在封装43内。
在本发明的实施方式3的光轴调整法中，能够以从光源1供给的光被光分波器40的滤波器44d反射的光的损失变得最小的光分波器的角度为基准，调整到调芯完成角度附近的设置设计角度，之后的通过利用受光元件的输出信号测定进行的波长偏移计算由于缩短入射光的波长变化幅度而能够在短时间内进行。
附图标记说明
1光源；2光学元件；3准直器；4集成型光模块；5调整机构；6配线；7电流测量设备；8测量设备；9 PC单元；10调整机构；11、12把持机构；40光分波器；41受光元件；42主体部；43封装；44滤波器；45反射板；50反射返回光测定机；100、200、300光轴调整装置。

Claims (11)

1.一种光轴调整方法，是在封装内具备光分波器和至少第1受光元件及第2受光元件的集成型光模块的光轴调整方法，所述光分波器将入射光分波为波长不同的至少第1光和第2光，所述第1光适合于第1受光元件的受光波长波段，所述第2光适合于第2受光元件的受光波长波段，所述第1受光元件及第2受光元件分别接收第1光及第2光，其特征在于，所述光轴调整方法包括：
使导入到封装内的入射光的波长变化，通过第1受光元件及第2受光元件分别检测由第1滤波器及第2滤波器分波的光来测定输出电流的测定工序；
根据相对于入射光的波长变化的输出电流的变化来检测第1光及第2光的中心波长的检测工序；
将第1光及第2光的中心波长和第1滤波器及第2滤波器的设计透过波长进行比较，将各自的差值设为第1波长偏移及第2波长偏移的工序；以及
调整光分波器的位置以使第1波长偏移及第2波长偏移的总和变小的调整工序。
2.根据权利要求1所述的光轴调整方法，其特征在于，
所述入射光由能够使波长变化的单一波长的光构成，
所述测定工序是在包含第1波长及第2波长的波长区域中使入射光的波长变化的工序。
3.根据权利要求1所述的光轴调整方法，其特征在于，
所述入射光包含第1波长及第2波长的光，
所述测定工序是在包含第1波长的波长区域和包含第2波长的波长区域中分别使入射光的波长变化的工序。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的光轴调整方法，其特征在于，
所述入射光由能够使波长变化到第1波长波段以外的波长波段的光构成，
所述测定工序是检测从光分波器的第1滤波器反射的光、并以与入射光垂直的角度为基准将光分波器调整到设计角度的工序。
5.根据权利要求3所述的光轴调整方法，其特征在于，
使所述第1波长的光在包含第1波长的波长区域中变化的工序和使所述第2波长的光在包含第2波长的波长区域中变化的工序同时进行。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的光轴调整方法，其特征在于，
所述调整工序是调整光分波器的位置以使第1波长偏移的值及第2波长偏移的值的平方和达到最小的工序。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的光轴调整方法，其特征在于，
所述调整工序是以与固定有所述受光元件的封装的底面垂直的轴为中心使所述光分波器旋转的工序。
8.一种集成型光模块的制造方法，其特征在于，
包括在利用权利要求1至7中任一项所述的光轴调整方法进行了光轴调整后在进行了光轴调整的位置将所述光分波器粘接于所述封装的粘接工序。
9.根据权利要求7所述的集成型光模块的制造方法，其特征在于，所述粘接工序是在所述光分波器与所述封装的底面之间涂布紫外线固化性树脂、并照射紫外线而使紫外线固化性树脂固化的工序。
10.一种光轴调整装置，是在封装内设置有光分波器和第1受光元件及第2受光元件的集成型光模块的光轴调整装置，所述光分波器将入射光分波为波长不同的第1光及第2光，所述第1受光元件及第2受光元件分别接收第1光及第2光，其特征在于，所述光轴调整装置包括：
工作台，其载置并固定安装有第1受光元件及第2受光元件的封装；
把持机构，其在封装内把持具备第1滤波器及第2滤波器的光分波器；
光源，其供给入射光；
电流测量设备，其通过第1受光元件及第2受光元件检测第1光及第2光，根据检测出的光得到输出电流；以及
PC单元，其根据入射光的波长和输出电流来检测第1光及第2光的中心波长，将第1光及第2光的中心波长和第1滤波器及第2滤波器的设计透过波长进行比较，将各自的差值设为第1波长偏移及第2波长偏移，计算使第1波长偏移及第2波长偏移的总和变小的光分波器的位置，
基于PC单元的计算结果，把持机构使光分波器移动。
11.根据权利要求10所述的光轴调整装置，其特征在于，
所述光源包括供给的光的波长不同的第1光源及第2光源。
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