CN109817761A - 一种多波长激光分时消融太阳能电池介质膜的方法及系统 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种多波长激光分时消融太阳能电池介质膜的方法及系统，采用至少2个同轴的不同波长的激光，依次分时对太阳能电池介质膜进行消融，一个周期内，每个激光按照一定的出光时间间隔轮流出光一次，使得该周期内所有激光形成的光斑重叠；每个激光的能量密度高于所对应消融材料的损伤阈值，且每个激光的波长小于所对应消融材料的截止吸收波长。本发明采用多波长的方法，先利用一个波长激光破坏电池片表面钝化层，减小其对下一个波长激光的反射，能更好的发挥下一个波长激光的消融能力，从而提升加工速度，因此在两种波长激光器的协同作用下提升效率及产能。
Description
技术领域
本发明属于光伏技术领域，具体涉及一种多波长激光分时消融太阳能电池介质膜的方法及系统。
背景技术
在高效晶硅电池工艺中，常采用不同的介质层作为钝化膜或者减反膜，钝化硅片表面界面态，减少表面复合，提高电池转换效率。同时钝化膜常作为掩蔽层，阻挡扩散，形成不同的扩散区或者金属接触区。激光消融工艺具有简化流程，使用成本低，操作灵活，安全稳定等优点而被广泛采用。然而，针对特定介质层，单一波长激光器消融效果有局限性。
例如，背钝化电池中的背钝化膜层一般由氧化铝和氮化硅、氧化铝和氧化硅或掺杂多晶硅和氧化硅组成，一般的氧化铝厚度为5-20nm，氮化硅厚度范围为70-220nm，常见的氧化铝厚度在10nm，氮化硅厚度在70-100nm时，背钝化膜呈淡蓝色，为进一步改善表面钝化效果，部分厂家增加抛光工艺，使得背钝化膜对可见光波段的光反射率高于其它波段；一般的氧化铝厚度为5-20nm，氧化硅厚度范围为80-200nm，常见的氧化铝厚度为10nm，氧化硅厚度在70-100nm时，背钝化膜呈淡蓝色；一般的掺杂多晶硅厚度为50-200nm，氧化硅厚度为1-50nm，常见的氧化硅厚度为2nm，使得背钝化膜颜色为灰紫色。实际激光消融应用中，常采用均能被晶硅类电池片选择性吸收的355nm、532nm或808-1064nm波长的激光对介质膜进行消融。其中808-1064nm激光波长较长穿透性好，可兼顾光学吸收和穿透深度，但是加工时热影响较大，损伤较为严重，影响电池电性能，增加太阳能电池隐裂风险；355nm-532nm激光加工热影响小，但容易被电池片表面钝化层反射造成能量的损失，造成消融不彻底，影响后续金属化工艺，影响电性能。
发明内容
本发明要解决的技术问题是：提供一种多波长激光分时消融太阳能电池介质膜的方法及系统，有效提高晶体硅太阳能电池消融效果。
本发明为解决上述技术问题所采取的技术方案为：一种多波长激光分时消融太阳能电池介质膜的方法，其特征在于：采用至少2个同轴的不同波长的激光，依次分时对太阳能电池介质膜进行消融，一个周期内，每个激光按照一定的出光时间间隔轮流出光一次，使得该周期内所有激光形成的光斑重叠；每个激光的能量密度高于或等于所对应消融材料的损伤阈值，且每个激光的波长小于所对应消融材料的截止吸收波长。
按上述方法，采用同轴的第一波长激光和第二波长激光，分时对太阳能电池介质膜进行消融；其中，第一波长激光先作用在太阳能电池介质膜上，第二波长激光后作用在太阳能电池介质膜上；
第一波长激光的波长大于第二波长激光的波长；第一波长激光和第二波长激光具有一定的出光时间间隔，使得两次形成的光斑重叠。
按上述方法，第一波长激光和第二波长激光的功率可调，第一波长激光和第二波长激光的光斑尺寸通过扩束镜放大倍数调节。
按上述方法，第一波长激光的波长范围为808-1064nm，第二波长激光的波长为355-532nm。
按上述方法，第一波长激光的聚焦光斑尺寸范围为第二波长激光光斑尺寸的30％-80％。
按上述方法，所述的第一波长激光的聚焦光斑尺寸范围为第二波长激光光斑尺寸的73％。
按上述方法，第一波长激光和第二波长激光的出光时间间隔范围为1ns至0.27D/v；其中D为第二波长激光的光斑直径，v为扫描系统的加工速度。
按上述方法，本方法适用于在晶硅类电池片上做：PERC、PERL、MWT、IBC、SE、LIR、边绝缘、划片或制绒工艺。
按上述方法，所述的第一层材料为氧化铝或掺杂多晶硅，所述的第二层材料为氮化硅或氧化硅。
一种用于实现所述的多波长激光分时消融太阳能电池介质膜的方法的系统，其特征在于：本系统包括至少2个激光器、合束器、扫描单元和控制器；其中，
激光器分别用于输出不同波长的激光，所有不同波长的激光经合束器合束同轴后，再经扫描单元发射到工作台面的太阳能电池片上；
所述的控制器用于控制激光器的功率和出光时序。
按上述系统，所述的激光器为第一激光器和第二激光器；其中，
第一激光器和第二激光器分别用于输出第一波长激光和第二波长激光，第一波长激光和第二波长激光经合束器合束同轴后，再经扫描单元发射到工作台面的太阳能电池片上。
按上述系统，本系统还包括与激光器数量相同的电动变倍扩束镜，分别用于调节对应激光器输出的激光在合束之前的放大倍数，从而调节对应激光的光斑尺寸；电动变倍扩束镜由控制器控制。
按上述系统，所述的合束器和扫描单元之间设有至少一个多波长全反镜，用于调整激光的方向从而进入所述的扫描单元。
本发明的有益效果为：采用多波长的方法，先利用一个波长激光破坏电池片表面钝化层，减小其对下一个波长激光的反射，能更好的发挥下一个波长激光的消融能力，从而提升加工速度，因此在两种波长激光器的协同作用下提升效率及产能。
附图说明
图1为本发明一实施例的系统原理图。
图2为本发明对比例2的光斑消融表象图，图2a为显示光斑的平面图，图2b为显示光斑高低深度差异的3D图，图2c为显示光斑剖面深度的横截面图。
图3为本发明对比例4的光斑消融表象图，图3a为显示光斑的平面图，图3b为显示光斑高低深度差异的3D图，图3c为显示光斑剖面深度的横截面图。
图4为本发明实施例1的光斑消融表象图，图4a为显示光斑的平面图，图4b为显示光斑高低深度差异的3D图，图4c为显示光斑剖面深度的横截面图。
图中：1、第一激光器；2、第二激光器；3、第一电动变倍扩束镜；4、第二电动变倍扩束镜；5、合束器；6、多波长全反镜；7、振镜；8、消色差场镜；9、太阳能电池片；10、工作台面；11、控制器。
具体实施方式
下面结合具体实例和附图对本发明做进一步说明。
本发明提供一种多波长激光分时消融太阳能电池介质膜的方法，采用同轴的第一波长激光和第二波长激光，依次分时对太阳能电池介质膜进行消融。其中，第一波长激光先作用在太阳能电池介质膜上，第二波长激光后作用在太阳能电池介质膜上，第一波长激光和第二波长激光具有一定的时间间隔，使得两次形成的光斑重叠。两个激光的能量密度均高于或等于所对应消融材料的损伤阈值，且两个激光的波长均小于所对应消融材料的截止吸收波长。第一波长激光的波长大于第二波长激光的波长，优选第一波长激光的波长范围为808-1064nm，优选第二波长激光的波长为355nm-532nm。第一波长激光的聚焦光斑尺寸范围为第二波长激光光斑尺寸的30％-80％，优选73％。
本实施例采用双波长的方法，先利用波长808-1064nm的第一波长激光对晶硅太阳能电池片的介质膜进行消融，能够消融最外层至最里面的基层，但此时光斑尺寸较小；然后快速换成波长355nm-532nm的第二波长激光，在原光斑的基础上进行二次消融，此时光斑尺寸变大。通过这种方式，在两种波长协同作用下，充分利用晶硅类电池片对两种波长的吸收特性，提升效率及产能。
本实施例仅以2个波长激光为例，根据此思想，实际可根据需要采用多个不同波长的激光进行消融。由于本方法是利用多波长分时消融的方法，因此适用于在晶硅类电池片上做需要消融的工艺，例如PERC、PERL、MWT、IBC、SE、LIR、边绝缘、划片和制绒等。太阳能电池介质膜材料除了氮化硅和氧化铝，也可以是掺杂多晶硅(50-200nm)和SiOx(1-50nm)。
为实现上述多波长激光分时消融太阳能电池介质膜的方法，本实施例提供系统如图1所示，包括第一激光器1、第二激光器2、合束器5(如RONA-SMITH的BC系列合束器)、扫描单元和控制器11(如低频卡)。其中，第一激光器1和第二激光器2分别用于输出第一波长激光和第二波长激光，合束器5用于将第一波长激光和第二波长激光合束同轴后，经扫描单元发射到工作台面10的太阳能电池片9上；所述的控制器11用于控制第一激光器1和第二激光器2的功率和出光时序，此外，本发明可以与工作台面10的多维运动共用同一个控制器11，从而更好的联动。合束器5将其中一种波长的激光全透，另一种波长的激光全反，从而将第一波长激光和第二波长激光合成具有同轴性质的一束激光，合束方式可使用长波长透射、短波长反射或长波长反射、短波长透射两种。扫描单元由具有对双波长全反射的振镜7和透射的场镜8组成，其中振镜7包含了独立控制x轴及y轴运动路径的两个镜片，场镜8优选具有消色差的功能的场镜，加工幅面随着场镜焦距的增长而增加。
优选的，本系统还包括第一电动变倍扩束镜3和第二电动变倍扩束镜4，设置在合束器5之前，分别用于调节第一激光器1和第二激光器2输出的第一波长激光和第二波长激光在合束之前的放大倍数，从而调节第一波长激光和第二波长激光的光斑尺寸；第一电动变倍扩束镜3和第二电动变倍扩束镜4均由控制器11控制，可无接触独立调整放大倍数，聚焦光斑成像计算公式为：d1＝(4M2λf)/πd2，M2为激光器的光束质量因子，λ为激光器的波长，f为聚焦镜的焦距，d1为形成的光斑直径，d2为光束直径。采用电动变倍扩束镜，使得后续在改变目标聚焦光斑时可在光路密封腔外操作，大大减小了光路污染的可能，从而提升光学系统的稳定性及寿命。
本实施例中，所述的合束器和扫描单元之间设有一个多波长全反镜6，用于调整激光的方向从而进入所述的扫描单元。根据本系统各部件的方位，可在激光光路中增加若干多波长全反镜，使得激光准确入射到对应的部件中。
第一波长激光和第二波长激光的能量密度不低于加工材料的损伤阈值，即晶硅太阳能电池片介质膜的损伤阈值。由于太阳能电池片表面膜层厚度在纳米级别，因此其损伤阈值主要由硅决定，硅的禁带宽度为1.1eV，截止吸收波长为1.1μm，在355nm、532nm、808nm、1064nm波长作用下的损伤阈值对应为0.25J/cm2、0.81J/cm2、2.84J/cm2、4.7J/cm2。
这样设置不仅增加了后作用激光的吸收，更使得最终的消融尺寸及边缘热影响区域仅受后作用的激光控制。
第一波长激光的聚焦光斑尺寸范围为第二波长激光光斑尺寸范围的30％-80％。这样设置是为了减少第一波长激光的热影响，由于激光光束能量成高斯分布，对于单个脉冲而言，低于峰值1/e2的能量将转换为热影响区，因此先作用的激光光斑最佳尺寸为后作用激光光斑的73％，这样可以使得热影响降到最低。
在晶硅太阳能电池加工的技术领域中，通常要求激光光斑直径在20-60μm，因此，第二波长激光的光斑尺寸根据需要选择20-60μm，第一波长激光的光斑尺寸选择第一波长激光光斑尺寸的30％-80％，优选为73％。光斑尺寸可以通过更改扩束镜放大倍数实现。
控制系统如低频卡可以控制第一波长激光先作用在晶硅电池片上，第二波长激光后作用在晶硅电池片上，时间过长会造成两光斑分离。按照加工速度v范围为20-35m/s，二者出光的时间间隔范围为1ns-1μs，因此最优时间间隔为1ns至0.27D/v；其中D为第二波长激光的光斑直径，v为扫描系统的加工速度。
以下给出实施例和对比例，说明本发明的效果。
实施例及对比例的参数设置见下表：
实施例1采用本发明方法对晶硅太阳能电池片进行激光消融，本实施例的晶硅太阳能电池片的第一层材料为厚度10nm的氧化铝，第二层材料为厚度150nm的氮化硅。第一波长激光的波长为1064nm，单点能量选择40μJ，光斑直径为24μm；第二波长激光的波长为532nm，单点能量选择27μJ，光斑直径为33μm。加工速度选择25m/s，设置两激光作用时间间隔为1ns。光斑消融表象如图4所示，光斑直径为33μm，深度为1.51μm；对比可知，1064nm激光的能量高于钝化膜阈值，在其协同作用下，532nm激光器的穿透能力得到提升，使得消融深度得到提升，有利于提升产能及设备稳定性。
实施例2采用本发明方法对晶硅太阳能电池片进行激光消融，本实施例的晶硅太阳能电池片的第一层材料为厚度10nm的氧化铝，第二层材料为厚度150nm的氮化硅。第一波长激光的波长为1064nm，单点能量选择40μJ，光斑直径为24μm；第二波长激光的波长为355nm，单点能量选择12μJ，光斑直径为38μm。加工速度选择25m/s，设置两激光作用时间间隔为1ns，最终光斑直径为38μm，深度为0.4μm；对比可知，1064nm激光的能量高于钝化膜阈值，在其协同作用下，355nm激光器的穿透能力得到提升，使得消融深度得到提升，有利于提升产能及设备稳定性。
实施例3采用本发明方法对晶硅太阳能电池片进行激光消融，本实施例的晶硅太阳能电池片的第一层材料为厚度10nm的氧化铝，第二层材料为厚度150nm的氮化硅。第一波长激光的波长为808nm，单点能量选择23μJ，光斑直径为24μm；第二波长激光的波长为532nm，单点能量选择27μJ，光斑直径为33μm。加工速度选择25m/s，设置两激光作用时间间隔为1ns。最终光斑直径为33μm，深度为1.45μm；对比可知，808nm激光的能量高于钝化膜阈值，在其协同作用下，532nm激光器的穿透能力得到提升，使得消融深度得到提升，有利于提升产能及设备稳定性。
实施例4采用本发明方法对晶硅太阳能电池片进行激光消融，本实施例的晶硅太阳能电池片的第一层材料为厚度10nm的氧化铝，第二层材料为厚度150nm的氮化硅。第一波长激光的波长为1064nm，单点能量选择40μJ，光斑直径为24μm；第二波长激光的波长为532nm，单点能量选择27μJ，光斑直径为33nn。加工速度选择25m/s，设置两激光作用时间间隔为178ns。光斑直径为33μm，深度为1.4μm；对比可知，1064nm激光的能量高于钝化膜阈值，在加工过程中两激光间隔时间增加使得两光束同心情况变差，使得消融深度提升变弱，但在一定范围内仍然有利于提升设备性能。
实施例5采用本发明方法对晶硅太阳能电池片进行消融测试实验，本实施例的晶硅太阳能电池片的第一层材料为厚度10nm的氧化铝，第二层材料为厚度150nm的氮化硅。第一波长激光的波长为1064nm，单点能量选择20μJ；第二波长激光的波长为532nm，单点能量选择27μJ，加工速度为25m/s，设置两激光作用时间间隔为1ns，光斑直径为33μm，深度为1.35μm；对比可知，采用双波长进行消融时，第一束激光光斑尺寸过小使得532nm激光器的穿透能力提升不明显，稍利于提升产能及设备稳定性。
实施例6采用本发明方法对晶硅太阳能电池片进行消融测试实验，本实施例的晶硅太阳能电池片的第一层材料为厚度10nm的氧化铝，第二层材料为厚度150nm的氮化硅。第一波长激光的波长为1064nm，单点能量选择90μJ；第二波长激光的波长为532nm，单点能量60μJ，加工速度为25m/s。设置两激光作用时间间隔为1ns，光斑直径为50μm，深度为1.65μm；对比可知，采用双波长进行消融时，532nm激光器的穿透能力显著提升，利于提升产能及设备稳定性。
实施例7采用本发明方法对晶硅太阳能电池片进行消融测试实验，本实施例的晶硅太阳能电池片的第一层材料为厚度10nm的氧化铝，第二层材料为厚度150nm的氮化硅。第一波长激光的波长为1064nm，单点能量7μJ；第二波长激光的波长为532nm，单点能量27μJ，加工速度为25m/s。设置两激光作用时间间隔为1ns，光斑直径为33μm，深度为1.31μm；对比可知，采用双波长进行消融时，第一束激光光斑尺寸太小使得532nm激光器的穿透能力无提升，不利于提升产能及设备稳定性。
实施例8采用本发明方法对晶硅太阳能电池片进行消融测试实验，本实施例的晶硅太阳能电池片的第一层材料为厚度10nm的氧化铝，第二层材料为厚度150nm的氮化硅。第一波长激光的波长为1064nm，单点能量50μJ；第二波长激光的波长为532nm，单点能量27μJ，加工速度为25m/s。设置两激光作用时间间隔为1ns，光斑直径为35μm，深度为1.52μm；对比可知，采用双波长进行消融时，第一束激光光斑尺寸过大，虽使得532nm激光器的穿透能力有明显提升，但光斑大小受第一束激光影响而变大，这样使得光斑大小不可控且存在隐裂风险，不利于提升设备稳定性。
对比例1在单独采用3倍扩束镜，355nm波长的激光器对晶硅太阳能电池片进行消融测试实验，12μJ时光斑直径为38μm，深度不可测。本实施例的晶硅太阳能电池片的第一层材料为厚度10nm的氧化铝，第二层材料为厚度150nm的氮化硅。
对比例2在单独采用2倍扩束镜，532nm波长的激光器对晶硅太阳能电池片进行消融测试实验，27μJ时光斑表象如图2所示，光斑直径为33μm，深度为1.3μm。本实施例的晶硅太阳能电池片的第一层材料为厚度10nm的氧化铝，第二层材料为厚度150nm的氮化硅。
对比例3在单独采用2倍扩束镜，808nm波长的激光器对晶硅太阳能电池片进行消融测试实验，23μJ时光斑直径为24μm，深度不可测。本实施例的晶硅太阳能电池片的第一层材料为厚度10nm的氧化铝，第二层材料为厚度150nm的氮化硅。
对比例4采用1.2倍扩束镜，1064nm波长的激光器对晶硅太阳能电池片进行消融测试实验，40μJ时光斑表象如图3所示，此时能量超本实施例的晶硅太阳能电池片的第一层材料为厚度10nm的氧化铝，第二层材料为厚度150nm的氮化硅。过钝化膜阈值，光斑直径为24μm，深度不可测。
对比例5采用本发明方法对晶硅太阳能电池片进行消融测试实验，本实施例的晶硅太阳能电池片的第一层材料为厚度10nm的氧化铝，第二层材料为厚度150nm的氮化硅。第一波长激光的波长为1064nm，单点能量10μJ；第二波长激光的波长为532nm，单点能量27μJ，加工速度为25m/s，设置两激光作用时间间隔为150ns，最终光斑直径为33μm，深度为1.3μm。对比可知，采用双波长进行消融时，1064nm激光作用能量低于钝化膜加工阈值时，532nm激光器的消融深度并未得到提升。不利于提升设备的产能及稳定性。
对比例6采用本发明方法对晶硅太阳能电池片进行消融测试实验，本实施例的晶硅太阳能电池片的第一层材料为厚度10nm的氧化铝，第二层材料为厚度150nm的氮化硅。第一波长激光的波长为1064nm，单点能量40μJ；第二波长激光的波长为532nm，单点能量27μJ，加工速度为25m/s。设置两激光作用时间间隔为250ns，最终光斑圆度变差，最长直径为35μm，最短直径为33μm，深度为1.35μm；对比可知，采用双波长进行消融时，1064nm激光的能量高于钝化膜阈值，但由于两激光作用间隔时间超过178ns[(33μm*0.27/2)/25m/s]，最终光斑圆度变差，532nm激光器的穿透能力提升不明显，未充分提升产能及设备稳定性。
对比例7本实施例的晶硅太阳能电池片的第一层材料为厚度10nm的氧化铝，第二层材料为厚度150nm的氮化硅。单独采用波长为1064nm的激光，单点能量100μJ，此时能量超过钝化膜阈值，最终光斑直径为38μm，深度0.4μm。
对比例8采用本发明方法对晶硅太阳能电池片进行消融测试实验，本实施例的晶硅太阳能电池片的第一层材料为厚度10nm的氧化铝，第二层材料为厚度150nm的氮化硅。第一波长激光的波长为1064nm，单点能量100μJ；第二波长激光的波长为532nm，单点能量27μJ，加工速度为25m/s。设置两激光作用时间间隔为150ns，最终光斑长直径为42μm，短直径为33μm，深度1.55μm。对比可知，采用双波长进行消融时，1064nm激光作用能量大于钝化膜阈值过多时，最终消融尺寸受第一光束影响，光斑圆度变差，影响工艺效果。
本发明采用双波长的方法，先利用808-1064nm激光破坏电池片表面钝化层，减小其对355nm-532nm激光的反射，能更好的发挥后续355nm-532nm激光的消融能力。由于可以独立控制两激光的功率及扩束镜放大倍数，因此膜的损伤程度和穿透深度可控；同时在两种波长协同作用下，充分利用晶硅类电池片对两种波长的吸收特性，可减小消融时对355nm-532nm激光所需功率的要求，因为相同功率的红外1064nm激光器的价格及稳定性均优于355nm、532nm激光器，且功率越低的355nm、532nm激光器越稳定，亦有利于往更高频率发展，从而提升加工速度，因此在两种波长激光器的协同作用下，可提升效率及产能。
以上实施例仅用于说明本发明的设计思想和特点，其目的在于使本领域内的技术人员能够了解本发明的内容并据以实施，本发明的保护范围不限于上述实施例。所以，凡依据本发明所揭示的原理、设计思路所作的等同变化或修饰，均在本发明的保护范围之内。
Claims (13)
1.一种多波长激光分时消融太阳能电池介质膜的方法，其特征在于：采用至少2个同轴的不同波长的激光，依次分时对太阳能电池介质膜进行消融，一个周期内，每个激光按照一定的出光时间间隔轮流出光一次，使得该周期内所有激光形成的光斑重叠；每个激光的能量密度不低于所对应消融材料的损伤阈值，且每个激光的波长小于所对应消融材料的截止吸收波长。
2.根据权利要求1所述的多波长激光分时消融太阳能电池介质膜的方法，其特征在于：采用同轴的第一波长激光和第二波长激光，分时对太阳能电池介质膜进行消融；其中，
第一波长激光先作用在太阳能电池介质膜上，第二波长激光后作用在太阳能电池介质膜上；
第一波长激光的波长大于第二波长激光的波长；第一波长激光和第二波长激光具有一定的出光时间间隔，使得两次形成的光斑重叠。
3.根据权利要求2所述的多波长激光分时消融太阳能电池介质膜的方法，其特征在于：第一波长激光和第二波长激光的功率可调，第一波长激光和第二波长激光的光斑尺寸通过扩束镜放大倍数调节。
4.根据权利要求2所述的多波长激光分时消融太阳能电池介质膜的方法，其特征在于：第一波长激光的波长范围为808-1064nm，第二波长激光的波长为355-532nm。
5.根据权利要求2所述的多波长激光分时消融太阳能电池介质膜的方法，其特征在于：第一波长激光的聚焦光斑尺寸范围为第二波长激光光斑尺寸的30%-80%。
6.根据权利要求5所述的多波长激光分时消融太阳能电池介质膜的方法，其特征在于：所述的第一波长激光的聚焦光斑尺寸范围为第二波长激光光斑尺寸的73%。
7.根据权利要求2所述的多波长激光分时消融太阳能电池介质膜的方法，其特征在于：第一波长激光和第二波长激光的出光时间间隔范围为1ns至0.27D/v；其中D为第二波长激光的光斑直径，v为扫描系统的加工速度。
8.根据权利要求1所述的多波长激光分时消融太阳能电池介质膜的方法，其特征在于：本方法适用于在晶硅类电池片上做：PERC、PERL、MWT、IBC、SE、LIR、边绝缘、划片或制绒工艺。
9.根据权利要求2所述的多波长激光分时消融太阳能电池介质膜的方法，其特征在于：所述的第一层材料为氧化铝或掺杂多晶硅，所述的第二层材料为氮化硅或氧化硅。
10.一种用于实现权利要求1所述的多波长激光分时消融太阳能电池介质膜的方法的系统，其特征在于：本系统包括至少2个激光器、合束器、扫描单元和控制器；其中，
激光器分别用于输出不同波长的激光，所有不同波长的激光经合束器合束同轴后，再经扫描单元发射到工作台面的太阳能电池片上；
所述的控制器用于控制激光器的功率和出光时序。
11.根据权利要求10所述的系统，其特征在于：所述的激光器为第一激光器和第二激光器；其中，
第一激光器和第二激光器分别用于输出第一波长激光和第二波长激光，第一波长激光和第二波长激光经合束器合束同轴后，再经扫描单元发射到工作台面的太阳能电池片上。
12.根据权利要求10或11所述的系统，其特征在于：本系统还包括与激光器数量相同的电动变倍扩束镜，分别用于调节对应激光器输出的激光在合束之前的放大倍数，从而调节对应激光的光斑尺寸；电动变倍扩束镜由控制器控制。
13.根据权利要求10或11所述的系统，其特征在于：所述的合束器和扫描单元之间设有至少一个多波长全反镜，用于调整激光的方向从而进入所述的扫描单元。
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