CN109764971B - 柔性温度传感器及其制作方法和柔性设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种柔性温度传感器及其制作方法和柔性设备，所述柔性温度传感器包括：柔性基板，柔性基板上设有电极；混合液体，混合液体设于柔性基板上并与电极接触，混合液体包括离子液体和多孔导电黑色颗粒材料；保护板，保护板设在柔性基板的设有混合液体的一侧，以保护混合液体。根据本发明的柔性温度传感器，通过在柔性基板上设有离子液体和多孔导电黑色颗粒材料的混合液体，便于柔性温度传感器的制作，有利于实现精确的温度检测，混合液体作为一种流体，其流动性保障了一定区域内的连续性，不会出现拉伸弯折时断裂的情况，因此可以用于柔性设备的设计。

Description

柔性温度传感器及其制作方法和柔性设备
技术领域
本发明涉及传感器技术领域，尤其是涉及一种柔性温度传感器、柔性温度传感器的制作方法以及设有上述柔性温度传感器的柔性设备。
背景技术
相关技术中，随着物联网概念的日渐普及，传感器市场再次迎来快速发展机遇。温度传感器作为传感器中的重要一类，占整个传感器总需求量的15％以上，因此温度传感器市场广阔。热电阻式温度传感器是一种常用的温度传感器产品，可以利用导体或半导体的电阻值随温度变化而变化的原理进行测温，具有性能稳定、使用灵活、可靠性高等优点。
目前大部分热电阻式温度传感器是以金属制作的，最常用的热电阻有铂热电阻和铜热电阻，然而，这些传感器采用非柔性材料制成，只能测量表面平整的物体的温度，生物兼容性不好，且需要额外的传感器封装。另外，相关技术中的柔性温度传感器还存在制作复杂、检测灵敏度低的不足。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种柔性温度传感器，所述柔性温度传感器的柔性好且制作简单。
本发明的另一个目的在于提出一种柔性温度传感器的制作方法。
本发明的再一个目的在于提出一种柔性设备，所述柔性设备包括上述的柔性温度传感器。
根据本发明第一方面实施例的柔性温度传感器，包括：柔性基板，所述柔性基板上设有电极；混合液体，所述混合液体设于所述柔性基板上并与所述电极接触，所述混合液体包括离子液体和多孔导电黑色颗粒材料；保护板，所述保护板设在所述柔性基板的设有所述混合液体的一侧，以保护所述混合液体。
根据本发明实施例的柔性温度传感器，通过在柔性基板上设有离子液体和多孔导电黑色颗粒材料的混合液体，便于柔性温度传感器的制作，有利于实现精确的温度检测。所述混合液体作为一种流体，其流动性保障了一定区域内的连续性，不会出现拉伸弯折时断裂的情况，因此可以用于柔性设备的设计。
另外，根据本发明上述实施例的柔性温度传感器还具有如下附加的技术特征：
根据本发明的一些实施例，所述离子液体与多孔导电黑色颗粒材料在真空状态下混合。
根据本发明的一些实施例，所述多孔导电黑色颗粒材料为二维类石墨烯碳化钛、石墨烯纳米碳管或空心镍粉球。
根据本发明的一些实施例，所述离子液体为1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-己基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-苄基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-辛基-3-甲基咪唑醋酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑醋酸盐和1-乙基-3-甲基咪唑醋酸盐中的任一种。
进一步地，所述柔性基板包括聚合物基板、超薄玻璃基板、不锈钢基板、纸质基板或生物复合薄膜基板。
更进一步地，所述电极为沉积在所述柔性基板上的金属薄膜。
进一步地，所述金属薄膜包括钼薄膜、铝薄膜、铜薄膜或银薄膜。
可选地，所述保护板包括聚合物基板、超薄玻璃基板、不锈钢基板、纸质基板或生物复合薄膜基板。
根据本发明的一些实施例，所述柔性基板上设有挡墙，所述混合液体设于所述挡墙所围合的区域内以阻挡所述混合液体流动。
在本发明的一些实施例中，所述柔性温度传感器还包括芯片，所述芯片与所述电极相连，所述芯片用于测量电流以处理温度变化与所述电流的相互关系。
根据本发明第二方面实施例的柔性温度传感器的制作方法，所述柔性温度传感器为上述所述的柔性温度传感器，所述柔性温度传感器的制作方法包括：步骤S1：在所述柔性基板上沉积金属薄膜，经曝光、刻蚀形成电极；步骤S2：将所述混合液体喷墨打印或喷涂在所述柔性基板上，并使所述混合液体与所述电极接触；步骤S3：在所述柔性基板上贴合保护板。
进一步地，所述保护板与所述柔性基板通过粘附剂粘结。
根据本发明的一些实施例，所述制作方法还包括：步骤S4：在所述电极上绑定芯片。
具体地，所述芯片通过导电胶与所述电极相连。
根据本发明第三方面实施例的柔性设备，包括上述所述的柔性温度传感器。
本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1是根据本发明实施例的柔性温度传感器的一个示意图；
图2是根据本发明实施例的柔性温度传感器的另一个示意图；
图3是根据本发明实施例的柔性温度传感器的再一个示意图；
图4是根据本发明实施例的柔性温度传感器的又一个示意图；
图5是根据本发明实施例的柔性温度传感器中多孔导电黑色颗粒材料的示意图，图5中示出的是二维类石墨烯碳化钛的微观结构示意图；
图6是根据本发明实施例的柔性温度传感器的制作方法的一个流程图；
图7是根据本发明实施例的柔性设备的一个示意图。
附图标记：
柔性温度传感器 100，
柔性基板 1，电极 11，挡墙 12，
混合液体 2，
保护板 3，
芯片 4，
柔性设备 200。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
下面结合附图描述根据本发明实施例的柔性温度传感器100。
参照图4并结合图1至图3，根据本发明第一方面实施例的柔性温度传感器100，包括：柔性基板1、混合液体2以及保护板3。
具体而言，柔性基板1上设有电极11；混合液体2设于柔性基板1上并与电极11接触，混合液体2包括离子液体和多孔导电黑色颗粒材料；保护板3设在柔性基板1的设有混合液体2的一侧，以保护混合液体2。
例如，柔性基板1上可以设有电极11；混合液体2设于柔性基板1上，所述混合液体2可以通过喷墨打印或喷涂等方式设在所述柔性基板1上，并且混合液体2可以与电极11接触，这样可以实现所述混合液体2与电极11之间的电连接。混合液体2包括离子液体和多孔导电黑色颗粒材料；保护板3设在柔性基板1的设有混合液体2的一侧，这样可以通过保护板3保护混合液体2。
其中，所述离子液体与所述多孔导电黑色颗粒材料的比例可以根据不同灵敏度要求的柔性温度传感器100而具体设置，这对本领域的技术人员来说是可以理解的。
所述离子液体是指在室温或接近室温下呈现液态的、完全由阴阳离子所组成的盐，也称为低温熔融盐。离子液体具有不挥发、不可燃、导电性强、热容大、蒸汽压小、性质稳定，对许多无机盐和有机物有良好的溶解性等优点，在电化学、有机合成、催化、分离等领域被广泛的应用。其中部分离子液体电导性对温度敏感，随温度变化电导性显著变化，因此可以用于精确的温度检测，而作为一种流体，其流动性保障了一定区域内的连续性，不会出现拉伸弯折时断裂的情况，因此可以用于柔性设备200(例如医疗检测设备或穿戴设备等)的设计。
多孔导电黑色颗粒材料，具有显著的多层空结构，首先可以和离子液体充分接触，其次可以形成黑体空腔效应，高效吸收热量，并及时将热量传递给所述离子液体，以增强所述离子液体感受外界温度变化敏感性，提升检测精确性。
根据本发明实施例的柔性温度传感器100，通过在柔性基板上1上设有离子液体和多孔导电黑色颗粒材料的混合液体2，便于柔性温度传感器100的制作，有利于实现精确的温度检测，所述混合液体2作为一种流体，其流动性保障了一定区域内的连续性，不会出现拉伸弯折时断裂的情况，因此可以用于柔性设备200的设计。
根据本发明的一些实施例，离子液体与多孔导电黑色颗粒材料可以在真空状态下混合。由此，通过使离子液体与多孔导电黑色颗粒材料在真空状态下混合，可以使离子液体与多孔导电黑色颗粒材料的混合更加充分，从而有利于提高柔性温度传感器100的检测灵敏度。
当然，在一些可选的实施例中，离子液体与多孔导电黑色颗粒材料也可以在非真空状态下混合。
根据本发明的一些实施例，多孔导电黑色颗粒材料可以为例如二维类石墨烯碳化钛、石墨烯纳米碳管或空心镍粉球等。由此，有利于保证柔性温度传感器100的检测灵敏度。
例如，二维类石墨烯碳化钛(Ti3C2)具有金属导电性且结合了陶瓷的优良结构和化学稳定性,具有作为储能电极、超级电容器、Li离子电池、气体传感的潜能被广泛研究。二维类石墨烯碳化钛固体颗粒状，微观是二维层片状，片与片之间呈现多孔，具有很大的比表面积，如图5所示。
根据本发明一个具体实施例的柔性温度传感器100，主要使用离子液体和多层的碳化钛(例如二维类石墨烯碳化钛)来制备。本发明采用离子液体和二维类石墨烯碳化钛(Ti3C2)混合液体，通过喷墨打印制备柔性温度传感器100，具有制作简单、检测灵敏度高的优势，适用于长时间连续的温度精确测定，可用于医疗检测设、穿戴设备等场合。
根据本发明的一些实施例，所述离子液体可以为1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-己基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-苄基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-辛基-3-甲基咪唑醋酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑醋酸盐和1-乙基-3-甲基咪唑醋酸盐中的任一种。
例如，所述离子液体为1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐，或所述离子液体为1-己基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐，或所述离子液体为1-苄基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐，或所述离子液体为1-辛基-3-甲基咪唑醋酸盐，或所述离子液体为1-丁基-3-甲基咪唑醋酸盐，或所述离子液体为1-乙基-3-甲基咪唑醋酸盐。需要说明的是，上述描述只是所述离子液体的几个优选实施例，不能理解为对本发明的限制。
进一步地，柔性基板1可以包括聚合物基板、超薄玻璃基板、不锈钢基板、纸质基板或生物复合薄膜基板。可选地，保护板3包括聚合物基板、超薄玻璃基板、不锈钢基板、纸质基板或生物复合薄膜基板。由此可以按需选择柔性基板1和保护板3的具体材质形式，有利于保证柔性温度传感器100的柔性。
这里，需要说明的是，所述超薄玻璃基板指的是厚度在50μm以下的玻璃基板。柔性基板1和柔性基板3可以选用相同的材质，当然，柔性基板1和柔性基板3也可以选用不同的材质。
更进一步地，电极11可以为沉积在柔性基板1上的金属薄膜。例如，电极11可以为金属薄膜，所述金属薄膜可以沉积在柔性基板1上。进一步可选地，所述金属薄膜可以包括钼薄膜、铝薄膜、铜薄膜或银薄膜等。所述金属薄膜的具体形式可以根据实际需要适应性选择。
根据本发明的一些实施例，参照图4，柔性基板1上可以设有挡墙12，混合液体2设于挡墙12所围合的区域内以阻挡混合液体2流动。例如，在一些可选的实施例中，挡墙12可以呈封闭的环形，这样可以在挡墙12的内侧限定出容纳空间，便于在所述容纳空间内设置混合液体2，并且，通过挡墙12还有利于阻挡混合液体2流动，保证柔性温度传感器100的使用可靠性。
当然，在一些可选的实施例中，柔性基板1上也可以不设置挡墙12，这对本领域的技术人员来说是可以理解的。
在本发明的一些实施例中，如图4所示，柔性温度传感器100还可以包括芯片4，芯片4与电极11相连，芯片4用于测量电流以处理温度变化与所述电流的相互关系。由此，通过芯片4可以测量电流大小，处理温度变化与电流大小的相互关系，从而实现温度监控。
下面结合附图描述根据本发明的柔性温度传感器100的几个具体实施例。
实施例一：
参照图4并结合图1至图3，根据本发明第一方面实施例的柔性温度传感器100，包括：柔性基板1、混合液体2、保护板3以及芯片4。
具体而言，柔性基板1上设有电极11；混合液体2设于柔性基板1上并与电极11接触，混合液体2包括离子液体和多孔导电黑色颗粒材料；保护板3设在柔性基板1的设有混合液体2的一侧，以保护混合液体2。
根据本发明实施例的柔性温度传感器100，通过在柔性基板上1上设有离子液体和多孔导电黑色颗粒材料的混合液体2，便于柔性温度传感器100的制作，有利于实现精确的温度检测，所述混合液体2作为一种流体，其流动性保障了一定区域内的连续性，不会出现拉伸弯折时断裂的情况，因此可以用于柔性设备200的设计。
根据本发明的一些实施例，离子液体与多孔导电黑色颗粒材料可以在真空状态下混合。由此，通过使离子液体与多孔导电黑色颗粒材料在真空状态下混合，可以使离子液体与多孔导电黑色颗粒材料的混合更加充分，从而有利于提高柔性温度传感器100的检测灵敏度。
根据本发明的一些实施例，多孔导电黑色颗粒材料可以为例如二维类石墨烯碳化钛、石墨烯纳米碳管或空心镍粉球等。由此，有利于保证柔性温度传感器100的检测灵敏度。
根据本发明的一些实施例，所述离子液体可以为1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-己基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-苄基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-辛基-3-甲基咪唑醋酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑醋酸盐和1-乙基-3-甲基咪唑醋酸盐中的任一种。
进一步地，柔性基板1可以包括聚合物基板、超薄玻璃基板、不锈钢基板、纸质基板或生物复合薄膜基板。可选地，保护板3包括聚合物基板、超薄玻璃基板、不锈钢基板、纸质基板或生物复合薄膜基板。由此可以按需选择柔性基板1和保护板3的具体材质形式，有利于保证柔性温度传感器100的柔性。
更进一步地，电极11可以为沉积在柔性基板1上的金属薄膜。例如，电极11可以为金属薄膜，所述金属薄膜可以沉积在柔性基板1上。进一步可选地，所述金属薄膜可以包括钼薄膜、铝薄膜、铜薄膜或银薄膜等。所述金属薄膜的具体形式可以根据实际需要适应性选择。
在本发明的一些实施例中，如图4所示，芯片4与电极11相连，芯片4用于测量电流以处理温度变化与所述电流的相互关系。由此，通过芯片4可以测量电流大小，处理温度变化与电流大小的相互关系，从而实现温度监控。
实施例二：
实施例二与实施例一的结构大致相同，区别在于，实施例二中的柔性温度传感器100中，在柔性基板1上设有挡墙12。
具体而言，根据本发明的一些实施例，参照图4，柔性基板1上可以设有挡墙12，混合液体2设于挡墙12所围合的区域内以阻挡混合液体2流动。例如，在一些可选的实施例中，挡墙12可以呈封闭的环形，这样可以在挡墙12的内侧限定出容纳空间，便于在所述容纳空间内设置混合液体2，并且，通过挡墙12还有利于阻挡混合液体2流动，保证柔性温度传感器100的使用可靠性。
根据本发明第一方面实施例的柔性温度传感器100具有以下优点：
其一，所述离子液体的电导率随温度升高而显著变大，可用于温度的精确检测；同时，所述离子液体作为一种流体，使得柔性温度传感器100具有柔性可拉伸的性能。
其二，多孔导电黑色颗粒材料例如二维类石墨烯碳化钛为黑色吸热导电材料，具有显著的多层空结构，首先可以和离子液体充分接触，其次可以形成黑体空腔效应，高效吸收热量，并及时将热量传递给所述离子液体，以增强所述离子液体感受外界温度变化敏感性，提升检测精确性。
其三，本发明通过喷墨打印或喷涂等方式制备柔性温度传感器100，有利于降低制备成本，可实现大面积生产。
根据本发明第一方面实施例的柔性温度传感器100，采用离子液体和多孔导电黑色颗粒材料例如二维类石墨烯碳化钛(Ti3C2)形成混合液体，可以通过喷墨打印或喷涂所述混合液体制备柔性温度传感器100，具有制作简单、检测灵敏度高的优势，适用于长时间连续的温度精确测定，可用于医疗检测设备或穿戴设备等场合。
参照图6，根据本发明第二方面实施例的柔性温度传感器的制作方法，包括：步骤S1：在柔性基板上沉积金属薄膜，经曝光、刻蚀形成电极；步骤S2：将混合液体喷墨打印或喷涂在柔性基板上，并使混合液体与电极接触；步骤S3：在柔性基板上贴合保护板。由此，便于所述柔性温度传感器的制作且有利于降低成本。
进一步地，所述保护板与所述柔性基板可以通过粘附剂粘结。由此，通过所述粘附剂可以实现所述保护板与所述柔性基板之间的可靠连接，保证所述柔性温度传感器的使用可靠性。
例如，所述柔性基板可以包括聚合物基板、超薄玻璃基板、不锈钢基板、纸质基板或生物复合薄膜基板。可选地，所述保护板可以包括聚合物基板、超薄玻璃基板、不锈钢基板、纸质基板或生物复合薄膜基板。由此可以按需选择所述柔性基板和所述保护板的具体材质形式，有利于保证柔性温度传感器100的柔性。
这里，需要说明的是，所述超薄玻璃基板指的是厚度在50μm以下的玻璃基板。所述柔性基板和所述柔性基板可以选用相同的材质，当然，所述柔性基板和所述柔性基板也可以选用不同的材质。
在本发明的一些实施例中，所述柔性温度传感器的制作方法还可以包括步骤S4：在电极上绑定芯片。
根据本发明的一些实施例，所述芯片可以通过导电胶与所述电极相连。由此，通过所述导电胶易于实现所述芯片与所述电极之间的连接，从而便于通过所述芯片测量电流大小，处理温度变化与电流大小的相互关系，进而实现温度监控。
下面描述根据本发明柔性温度传感器的制作方法的一个具体实施例，其中，所述多孔导电黑色颗粒材料可以为二维类石墨烯碳化钛。
具体地，步骤S1：选用聚合物基板、超薄玻璃基板、不锈钢基板、纸质基板、生物复合薄膜基板等作为柔性基板，在所述柔性基板上沉积钼(Mo)、铝(Al)、铜(Cu)、银(Ag)等金属薄膜，然后曝光、刻蚀形成电极，如图1所示。
步骤S2：将所述离子液体和所述二维类石墨烯碳化钛在真空状态下进行混合，使二者充分结合形成混合液体。然后在完成步骤S1的基板上面喷墨打印或喷涂所述离子液体和所述二维类石墨烯碳化钛的混合液体，确保所述混合液体与电极相接触，如图2所示。
其中，所述离子液体优选1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-己基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-苄基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-辛基-3-甲基咪唑醋酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑醋酸盐和1-乙基-3-甲基咪唑醋酸盐中的任一种。二维类石墨烯碳化钛为未剥离固定颗粒状，具有显著的多层结构。
步骤S3：在完成步骤2的基板上贴合保护板(如图3所示)，所述保护板优选聚合物基板、超薄玻璃基板、不锈钢基板、纸质基板、生物复合薄膜基板等；
步骤S4：在完成步骤3的基板电极绑定芯片，如图4所示。所述芯片用于测量电流大小，处理温度变化与电流的相互关系，从而实现温度监控。
当所述多孔导电黑色颗粒材料为其他材料例如石墨烯纳米碳管或空心镍粉球等时，所述柔性温度传感器的制作方法可以参照所述多孔导电黑色颗粒材料为二维类石墨烯碳化钛时所述柔性温度传感器的制作方法，在此不再赘述。
参照图7，根据本发明第三方面实施例的柔性设备200，包括上述所述的柔性温度传感器100。柔性设备200可以为例如医疗检测设备或穿戴设备等。由此，通过在柔性设备200上设置上述第一方面实施例的柔性温度传感器100，有利于提高柔性设备200的使用性能。
根据本发明实施例的柔性温度传感器100、柔性设备200的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (13)

1.一种柔性温度传感器，其特征在于，包括：
柔性基板，所述柔性基板上设有电极；
混合液体，所述混合液体设于所述柔性基板上并与所述电极接触，所述混合液体包括离子液体和多孔导电黑色颗粒材料；
保护板，所述保护板设在所述柔性基板的设有所述混合液体的一侧，以保护所述混合液体；
所述离子液体与多孔导电黑色颗粒材料在真空状态下混合；
所述柔性基板上设有挡墙，所述混合液体设于所述挡墙所围合的区域内以阻挡所述混合液体流动。
2.根据权利要求1所述的柔性温度传感器，其特征在于，所述多孔导电黑色颗粒材料为二维类石墨烯碳化钛、石墨烯纳米碳管或空心镍粉球。
3.根据权利要求1-2中任一项所述的柔性温度传感器，其特征在于，所述离子液体为1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-己基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-苄基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-辛基-3-甲基咪唑醋酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑醋酸盐和1-乙基-3-甲基咪唑醋酸盐中的任一种。
4.根据权利要求3所述的柔性温度传感器，其特征在于，所述柔性基板包括聚合物基板、超薄玻璃基板、不锈钢基板、纸质基板或生物复合薄膜基板。
5.根据权利要求4所述的柔性温度传感器，其特征在于，所述电极为沉积在所述柔性基板上的金属薄膜。
6.根据权利要求5所述的柔性温度传感器，其特征在于，所述金属薄膜包括钼薄膜、铝薄膜、铜薄膜或银薄膜。
7.根据权利要求3所述的柔性温度传感器，其特征在于，所述保护板包括聚合物基板、超薄玻璃基板、不锈钢基板、纸质基板或生物复合薄膜基板。
8.根据权利要求3所述的柔性温度传感器，其特征在于，所述柔性温度传感器还包括芯片，所述芯片与所述电极相连，所述芯片用于测量电流以处理温度变化与所述电流的相互关系。
9.一种根据权利要求1-8中任一项所述的柔性温度传感器的制作方法，其特征在于，包括：
步骤S1：在柔性基板上沉积金属薄膜，经曝光、刻蚀形成电极；
步骤S2：将所述混合液体喷墨打印或喷涂在所述柔性基板上，并使所述混合液体与所述电极接触；
步骤S3：在所述柔性基板上贴合保护板。
10.根据权利要求9所述的柔性温度传感器的制作方法，其特征在于，所述保护板与所述柔性基板通过粘附剂粘结。
11.根据权利要求9所述的柔性温度传感器的制作方法，其特征在于，所述制作方法还包括：
步骤S4：在所述电极上绑定芯片。
12.根据权利要求11所述的柔性温度传感器的制作方法，其特征在于，所述芯片通过导电胶与所述电极相连。
13.一种柔性设备，其特征在于，包括根据权利要求1-8中任一项所述的柔性温度传感器。
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