CN109735823A - 一种具有电路保护功能的激光诱导pvd设备 - Google Patents

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CN109735823A CN201811653940.5A CN201811653940A CN109735823A CN 109735823 A CN109735823 A CN 109735823A CN 201811653940 A CN201811653940 A CN 201811653940A CN 109735823 A CN109735823 A CN 109735823A
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邹朝圣
廖亚琳
林荣川
马肃霜
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Abstract

本发明公开了一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备,涉及PVD设备技术领域,该具有电路保护功能的激光诱导PVD设备,包括:固定卡头,固定卡头的顶部活动连接卡接头的外侧,固定卡头的顶部固定连接保护件的底部,固定卡头的底部活动连接吊杆的外侧,吊杆的两侧一端均开设有凹槽。该具有电路保护功能的激光诱导PVD设备,通过固定卡头保证了PVD设备的稳定,方便PVD设备高度的调整,通过螺纹板与螺纹筒的连接方便了固定卡头的更换,方便吊起不同规格的PVD设备,通过橡胶杆可以降低PVD设备在吊起时产生的下坠力,保证了PVD设备的安全,通过限位杆加固了吊杆的稳定,通过欠压保护模块可以有效的保护PVD设备电路的安全。

Description

一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备
技术领域
本发明涉及PVD设备技术领域,具体为一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备。
背景技术
物理气相沉积((PVD)是指利用物理过程实现物质转移,将原子或分子由溅射阴极或者蒸镀源转移到基材表面上的过程。当前PVD设备在利用普通吊耳进行吊装时,由于普通吊具的结构设计不合理,在吊装过程中容易损坏PVD设备,且普通吊具受限于厂房高度。
在中国发明专利申请公开说明书CN206345599U中公开的CVD/PVD设备专用吊具,该CVD/PVD设备专用吊具,解决了当前市场对于CVD及PVD设备的吊装问题,整体结构设计合理,能够在不同的厂房高度环境中使用,解决了因厂房高度不够造成的对设备无法吊装的问题。但是,该CVD/PVD设备专用吊具,在使用时会产生晃动,且牢固性不太理想容易造成设备损坏。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本发明提供了一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备,解决了现有PVD设备吊具使用时会产生晃动,且牢固性不太理想容易造成设备损坏的问题。
(二)技术方案
为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:
一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备,包括:
固定卡头,所述固定卡头的顶部活动连接卡接头的外侧,所述固定卡头的顶部固定连接保护件的底部,所述固定卡头的底部活动连接吊杆的外侧,所述吊杆的两侧顶部均开设有凹槽;
固定架,固定架的两端分别与固定卡头的两侧内壁固定连接,所述固定架的顶部固定连接螺纹筒的底部,螺纹筒的顶部与固定卡头的内顶壁固定连接,所述螺纹筒的内部活动连接有螺纹板;
所述固定架的底部两端均通过销轴活动连接连动杆的顶部,所述连动杆的底部一侧固定连接橡胶杆的一端,所述连动杆的底部通过销轴活动连接卡板的顶部,所述卡板的底部两端均固定连接海绵垫的顶部;
框架,所述框架的一侧开设有活动槽,所述活动槽的内部固定连接有滑动杆,所述活动槽的内底壁固定连接弹簧的底部,弹簧环绕在滑动杆的外表面,所述滑动杆的外侧活动连接滑动套的内部,所述滑动套的一侧固定连接有限位杆的一端;
电源,所述电源的输出端电连接接主控室的输入端,主控室的内部设置有主控CPU和信号收发模块,所述主控室的连接端双向信号连接PVD电路的连接端,PVD电路的内部设置有无线收发模块、电路开关、PVD设备和欠压保护模块。
可选的,所述吊杆的顶部位于固定卡头的内部;
所述卡接头与保护件活动连接。
可选的,所述卡接头的底部位于螺纹筒的内部,卡接头的底部与螺纹板的顶部固定连接。
可选的,所述螺纹板的两端分别与螺纹筒的两侧内壁活动连接,螺纹板的底部与固定架的顶部贴合连接。
可选的,所述橡胶杆的另一端与固定架的底部固定连接;
所述卡板的底部与吊杆的顶部固定连接。
可选的,所述海绵垫的底部与框架的顶部一侧贴合连接;
所述框架的另一侧与固定卡头的内侧壁固定连接。
可选的,所述弹簧与滑动杆活动连接,弹簧的顶部与滑动套的底部固定连接。
可选的,所述滑动套的顶部与活动槽是内顶壁贴合连接;
所述限位杆的另一端与凹槽固定连接。
可选的,所述主控CPU的输出端电连接信号收发模块的输入端;
所述无线收发模块的输出端电连接电路开关的输入端。
可选的,所述电路开关的输出端电连接PVD设备的输入端;
所述PVD设备的输出端电连接欠压保护模块的输入端;
所述欠压保护模块的输出端电连接无线收发模块的输入端。
(三)有益效果
本发明提供了一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备,具备以下有益效果:
(1)、该具有电路保护功能的激光诱导PVD设备,一方面,通过固定卡头保证了PVD设备的稳定,方便PVD设备高度的调整,方便PVD设备的使用,通过螺纹板与螺纹筒的连接方便了固定卡头的更换,方便吊起不同规格的PVD设备,增加了固定卡头的实用性。
(2)、该具有电路保护功能的激光诱导PVD设备,另一方面,通过橡胶杆可以降低PVD设备在吊起时产生的下坠力,保证了PVD设备的安全,通过限位杆加固了吊杆的稳定,通过欠压保护模块可以有效的保护PVD设备电路的安全,增加了PVD设备电路的安全性。
附图说明
图1为本发明的模块连接示意图;
图2为本发明结构示意图;
图3为本发明的固定卡头结构剖视示意图;
图4为本发明的吊钩结构剖视示意图。
图中:1-固定卡头,2-卡接头,3-保护件,4-吊杆,5-凹槽,6-固定架,7-螺纹筒,8-螺纹板,9-连动杆,10-橡胶杆,11-卡板,12-海绵垫,13-框架,14-活动槽,15-滑动杆,16-弹簧,17-滑动套,18-限位杆,19-电源,20-主控室,21-主控CPU,22-信号收发模块,23-PVD电路,24-无线收发模块,25-电路开关,26-PVD设备,27-欠压保护模块,28-吊钩,29-吊钩套。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接;可以是机械连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
请参阅图1-4,本发明提供一种技术方案:
一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备,包括:
固定卡头1,固定卡头1的顶部活动连接卡接头2的外侧,固定卡头1的顶部固定连接保护件3的底部,固定卡头1的底部活动连接吊杆4的外侧,吊杆4的两侧顶部均开设有凹槽5,通过限位杆18加固了吊杆4的稳定;
固定架6,固定架6的两端分别与固定卡头1的两侧内壁固定连接,固定架6的顶部固定连接螺纹筒7的底部,螺纹筒7的顶部与固定卡头1的内顶壁固定连接,螺纹筒7的内部活动连接有螺纹板8;
固定架6的底部两端均通过销轴活动连接连动杆9的顶部,连动杆9的底部一侧固定连接橡胶杆10的一端,连动杆9的底部通过销轴活动连接卡板11的顶部,卡板11的底部两端均固定连接海绵垫12的顶部;
框架13,框架13的一侧开设有活动槽14,活动槽14的内部固定连接有滑动杆15,活动槽14的内底壁固定连接弹簧16的底部,弹簧16环绕在滑动杆15的外表面,滑动杆15的外侧活动连接滑动套17的内部,滑动套17的一侧固定连接有限位杆18的一端;
电源19,电源19的输出端电连接接主控室20的输入端,主控室20的内部设置有主控CPU21和信号收发模块22,主控室20的连接端双向信号连接PVD电路23的连接端,PVD电路23的内部设置有无线收发模块24、电路开关25、PVD设备26和欠压保护模块27,需要进一步说明的是,本发明中的PVD设备26为现有案例CN 104746010 A中公开的设备,并不是本使用新型的改进点,本发明中的欠压保护模块27为现有案例CN 207625285 U中公开的设备,并不是本使用新型的改进点,通过固定卡头1保证了PVD设备26的稳定,方便PVD设备26高度的调整,方便PVD设备26的使用,通过螺纹板8与螺纹筒7的连接方便了固定卡头1的更换,方便吊起不同规格的PVD设备26,增加了固定卡头1的实用性,通过橡胶杆10可以降低PVD设备26在吊起时产生的下坠力,保证了PVD设备26的安全,通过欠压保护模块27可以有效的保护PVD设备电路的安全,增加了PVD设备电路的安全性,吊杆4的底部固定连接吊钩28的一端,吊钩28的外表面固定连接吊钩套29的内表面,通过吊钩28将PVD设备26吊起固定,保证PVD设备26的与固定卡头1之间的固定,方便固定卡头1的使用,通过吊钩套29可以防止吊钩28长时间使用腐蚀氧化,增加了吊钩28的使用寿命,增加了吊钩28的安全性。
作为本发明的一种可选技术方案:
吊杆4的顶部位于固定卡头1的内部;
卡接头2与保护件3活动连接,方便吊杆4和卡接头2的使用。
作为本发明的一种可选技术方案:
卡接头2的底部位于螺纹筒7的内部,卡接头2的底部与螺纹板8的顶部固定连接,方便了卡接头2带动螺纹板8旋转,方便固定卡头1的拆卸。
作为本发明的一种可选技术方案:
螺纹板8的两端分别与螺纹筒7的两侧内壁活动连接,螺纹板8的底部与固定架6的顶部贴合连接,方便螺纹板8的使用,限制螺纹板8的下降范围。
作为本发明的一种可选技术方案:
橡胶杆10的另一端与固定架6的底部固定连接,保证橡胶杆10力时能够正常拉伸;
卡板11的底部与吊杆4的顶部固定连接,保证吊杆4的稳定,方便吊杆4的使用。
作为本发明的一种可选技术方案:
海绵垫12的底部与框架13的顶部一侧贴合连接,降低卡板11在下降时与框架13碰撞产生的力;
框架13的另一侧与固定卡头1的内侧壁固定连接,保证框架13的固定,方便框架13的使用。
作为本发明的一种可选技术方案:
弹簧16与滑动杆15活动连接,弹簧16的顶部与滑动套17的底部固定连接,方便弹簧16受力压缩产生弹力。
作为本发明的一种可选技术方案:
滑动套17的顶部与活动槽14是内顶壁贴合连接,限制滑动套17的互动范围;
限位杆18的另一端与凹槽5固定连接,方便吊杆4带动滑动套17挤压弹簧16。
作为本发明的一种可选技术方案:
主控CPU21的输出端电连接信号收发模块22的输入端;
无线收发模块24的输出端电连接电路开关25的输入端,通过信号收发模块22和无线收发模块24传递主控CPU21发出的指令。
作为本发明的一种可选技术方案:
电路开关25的输出端电连接PVD设备26的输入端;
PVD设备26的输出端电连接欠压保护模块27的输入端;
欠压保护模块27的输出端电连接无线收发模块24的输入端,当PVD设备26出现故障时就会通过欠压保护模块27向主控CPU21发出信号,主控CPU21就会通过无线收发模块24控制电路开关25关闭。
该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接,并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。
综上所述,该具有电路保护功能的激光诱导PVD设备,当PVD设备26出现故障时,欠压保护模块27就会通过无线收发模块24向主控CPU21发送信号,主控CPU21就会通过PVD设备26的状况进行调整或通过信号收发模块22控制电路开关25断开电路,防止PVD设备26损坏,当拆卸固定卡头1时,旋转卡接头2,螺纹板8就会通过卡接头2的旋转脱离螺纹筒7,当螺纹板8脱离螺纹筒7后将固定卡头1更换,当吊起PVD设备26时,吊杆4就会通过PVD设备26产生的力拉动连动杆9和橡胶杆10,使橡胶杆10拉伸产生拉力,同时吊杆4还会通过滑动套17和限位杆18挤压弹簧16使其产生弹力,通过弹簧16的弹力和橡胶杆10的拉力保证PVD设备26的安全。
需要说明的是,在本发明中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备,其特征在于,包括:
固定卡头(1),所述固定卡头(1)的顶部活动连接卡接头(2)的外侧,所述固定卡头(1)的顶部固定连接保护件(3)的底部,所述固定卡头(1)的底部活动连接吊杆(4)的外侧,所述吊杆(4)的两侧顶部均开设有凹槽(5);
固定架(6),固定架(6)的两端分别与固定卡头(1)的两侧内壁固定连接,所述固定架(6)的顶部固定连接螺纹筒(7)的底部,螺纹筒(7)的顶部与固定卡头(1)的内顶壁固定连接,所述螺纹筒(7)的内部活动连接有螺纹板(8);
所述固定架(6)的底部两端均通过销轴活动连接连动杆(9)的顶部,所述连动杆(9)的底部一侧固定连接橡胶杆(10)的一端,所述连动杆(9)的底部通过销轴活动连接卡板(11)的顶部,所述卡板(11)的底部两端均固定连接海绵垫(12)的顶部;
框架(13),所述框架(13)的一侧开设有活动槽(14),所述活动槽(14)的内部固定连接有滑动杆(15),所述活动槽(14)的内底壁固定连接弹簧(16)的底部,弹簧(16)环绕在滑动杆(15)的外表面,所述滑动杆(15)的外侧活动连接滑动套(17)的内部,所述滑动套(17)的一侧固定连接有限位杆(18)的一端;
电源(19),所述电源(19)的输出端电连接接主控室(20)的输入端,主控室(20)的内部设置有主控CPU(21)和信号收发模块(22),所述主控室(20)的连接端双向信号连接PVD电路(23)的连接端,PVD电路(23)的内部设置有无线收发模块(24)、电路开关(25)、PVD设备(26)和欠压保护模块(27)。
2.根据权利要求1所述的一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备,其特征在于:
所述吊杆(4)的顶部位于固定卡头(1)的内部;
所述卡接头(2)与保护件(3)活动连接。
3.根据权利要求1所述的一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备,其特征在于:
所述卡接头(2)的底部位于螺纹筒(7)的内部,卡接头(2)的底部与螺纹板(8)的顶部固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备,其特征在于:
所述螺纹板(8)的两端分别与螺纹筒(7)的两侧内壁活动连接,螺纹板(8)的底部与固定架(6)的顶部贴合连接。
5.根据权利要求1所述的一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备,其特征在于:
所述橡胶杆(10)的另一端与固定架(6)的底部固定连接;
所述卡板(11)的底部与吊杆(4)的顶部固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备,其特征在于:
所述海绵垫(12)的底部与框架(13)的顶部一侧贴合连接;
所述框架(13)的另一侧与固定卡头(1)的内侧壁固定连接。
7.根据权利要求1所述的一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备,其特征在于:
所述弹簧(16)与滑动杆(15)活动连接,弹簧(16)的顶部与滑动套(17)的底部固定连接。
8.根据权利要求1所述的一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备,其特征在于:
所述滑动套(17)的顶部与活动槽(14)是内顶壁贴合连接;
所述限位杆(18)的另一端与凹槽(5)固定连接。
9.根据权利要求1所述的一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备,其特征在于:
所述主控CPU(21)的输出端电连接信号收发模块(22)的输入端;
所述无线收发模块(24)的输出端电连接电路开关(25)的输入端。
10.根据权利要求1所述的一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备,其特征在于:
所述电路开关(25)的输出端电连接PVD设备(26)的输入端;
所述PVD设备(26)的输出端电连接欠压保护模块(27)的输入端;
所述欠压保护模块(27)的输出端电连接无线收发模块(24)的输入端。
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