CN109633857A - 外圆对称次镜柔性安装结构 - Google Patents

外圆对称次镜柔性安装结构 Download PDF

Info

Publication number
CN109633857A
CN109633857A CN201910049134.5A CN201910049134A CN109633857A CN 109633857 A CN109633857 A CN 109633857A CN 201910049134 A CN201910049134 A CN 201910049134A CN 109633857 A CN109633857 A CN 109633857A
Authority
CN
China
Prior art keywords
secondary mirror
supporting block
outer circle
flexible
briquetting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201910049134.5A
Other languages
English (en)
Inventor
任建岳
刘小涵
杨光
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CHANGCHUN AOPU OPTO-ELECTRONIC TECHNOLOGY Co Ltd
Original Assignee
CHANGCHUN AOPU OPTO-ELECTRONIC TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by CHANGCHUN AOPU OPTO-ELECTRONIC TECHNOLOGY Co Ltd filed Critical CHANGCHUN AOPU OPTO-ELECTRONIC TECHNOLOGY Co Ltd
Priority to CN201910049134.5A priority Critical patent/CN109633857A/zh
Publication of CN109633857A publication Critical patent/CN109633857A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/1822Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Telescopes (AREA)

Abstract

本发明提供了一种外圆对称次镜柔性安装结构,包括次镜框架、支撑块和调节组件,所述次镜框架形成有用于容纳次镜的次镜腔室,所述次镜腔室的内壁上设置有凹槽,所述支撑块设置于所述凹槽内,所述支撑块包括刚性支撑块和柔性支撑块,且所述刚性支撑块与所述柔性支撑块沿所述次镜的径向对称设置,所述调节组件贯穿所述次镜框架后伸入所述凹槽并与所述支撑块的第一侧面连接,所述支撑块的与所述第一侧面相对的第二侧面与所述次镜紧密接触,通过所述调节组件调节所述第二侧面与所述次镜腔室内壁的距离。本发明适用于立式或卧式次镜的定位、安装与拆卸,一体化的安装设计便于后期医疗设备的维修。

Description

外圆对称次镜柔性安装结构
技术领域
本发明涉及医疗器械光学元件定位技术领域,尤其涉及一种外圆对称次镜柔性安装结构。
背景技术
随着医疗健康事业的发展,稀有细胞和痕量病原微生物的快速、准确检测是生命科学、生物安全等领域中的迫切需求,而现有的检测时间长,一般都在几十个小时到十几个小时。而采用离轴三反光学系统和显微成像技术的医疗检测设备,检测时间可以控制在10小时以内,分辨率达到为0.35um,高于国内外的同行业检测设备。
大口径、长焦距、高分辨率的离轴三反光学系统,次镜是对位置精度最为敏感的光学元件,其轴向位置对像面位置的变化具有非常大的放大作用。把离轴三反光学系统应用于医疗检测设备面临的主要困难是采用小F数物像等距共轭且结构紧凑,光学系统经次镜上下方的出入射光线距离很近,采用传统圆对称安装结构无法实现,且现有安装具有结构复杂,稳定性差,装调难度大等问题。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种外圆对称次镜柔性安装结构,旨在解决现有技术中次镜的安装结构复杂和装调难度大的问题。
为实现上述目的,本发明提出的外圆对称次镜柔性安装结构,包括次镜框架、支撑块和调节组件,所述次镜框架形成有用于容纳次镜的次镜腔室,所述次镜腔室的内壁上设置有凹槽,所述支撑块设置于所述凹槽内,所述支撑块包括刚性支撑块和柔性支撑块,且所述刚性支撑块与所述柔性支撑块沿所述次镜的径向对称设置,所述调节组件贯穿所述次镜框架后伸入所述凹槽并与所述支撑块的第一侧面连接,所述支撑块的与所述第一侧面相对的第二侧面与所述次镜紧密接触,通过所述调节组件调节所述第二侧面与所述次镜腔室内壁的距离。
优选地,所述支撑块的所述第二侧面的形状与所述次镜的侧壁形状适配。
优选地,所述次镜框架的与入射光线对应的一端设置有压块和软垫,所述压块连接于所述次镜框架上,所述压块的一侧伸入所述次镜腔室并与所述次镜的径向平面相对设置,所述软垫设置于所述次镜与所述压块之间。
优选地,所述压块和所述软垫的数量均为多个,且一一对应设置。
优选地,所述刚性支撑块和所述柔性支撑块的数量均为两个,所述压块的数量为三个,其中两个所述压块相对其中两个支撑块布置,另一个所述压块布置于剩余两个所述支撑块之间。
优选地,所述调节组件包括顶丝和定位销钉,所述支撑块的远离所述次镜的第一侧面上设置有定位孔,所述定位销钉与所述定位孔配合,所述顶丝的伸入所述凹槽的一端与所述支撑块接触,通过所述顶丝的移动控制所述支撑块沿所述次镜的径向移动,所述定位销钉定位所述支撑块。
优选地,所述次镜框架包括定位底板和镜筒,所述镜筒连接于所述定位底板上,所述次镜设置于所述镜筒内,所述凹槽设置于所述镜筒的内壁上。
优选地,所述镜筒的靠近所述定位底板的一端设置有定位块,所述次镜设置于所述定位块上。
优选地,与所述定位底板连接有安装调整板,所述安装调整板和所述定位底板上均设置有腰形孔,所述腰形孔内设置有连接所述安装调整板和所述定位底板的连接螺栓。
优选地,所述支撑块与所述次镜框架通过点胶固化连接。
本发明的技术方案中,设置柔性支撑块和刚性支撑块,柔性支撑块和刚性支撑块的第二侧面与次镜紧密接触,且调节组件能够调节第二侧面与次镜腔室内壁的距离,从而实现了次镜在其径向平面的位置调节,以使得次镜与主镜室同轴。同时,柔性支撑块和刚性支撑块相对次镜的径向对称设置,使得柔性支撑块和刚性支撑块对次镜产生的应力能够相互抵消,实现次镜的低应力组合体。另外,通过次镜腔室、刚性支撑块、柔性支撑块和调整组件等实现了次镜的柔性安装及径向平面的微量调整的要求,结构简单,安装方便。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
图1为本发明实施例中外圆对称次镜柔性安装结构的正视图;
图2为本发明实施例中外圆对称次镜柔性安装结构的俯视图;
图3为图2中C-C处的剖视图;
图4为本发明实施例中提供的外圆对称次镜柔性安装结构的立体图。
附图标号说明:
标号 名称 标号 名称
100 外圆对称次镜柔性安装结构 122 柔性支撑块
110 次镜框架 130 压块
111 镜筒 140 调节组件
112 定位底板 141 顶丝
113 安装调整板 142 定位销钉
114 定位块
120 支撑块 160 螺钉
121 刚性支撑块
本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
需要说明,本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等,如果该特定姿态发生改变时,则该方向性指示也相应地随之改变。
另外,在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三个等,除非另有明确具体的限定。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“连接”、“固定”等应做广义理解,例如,“固定”可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
另外,本发明各个实施例之间的技术方案可以相互结合,但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础,当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在,也不在本发明要求的保护范围之内。
本发明的主要目的是提供一种外圆对称次镜柔性安装结构,旨在解决现有次镜的安装结构复杂和装调难度大的问题。
请参照图1至图4,本发明实施例提供的一种外圆对称次镜柔性安装结构100,包括次镜框架110、支撑块120和调节组件140,次镜框架110形成有用于容纳次镜的次镜腔室,次镜腔室的内壁上设置有凹槽,支撑块120设置于凹槽内。支撑块120包括柔性支撑块122和刚性支撑块121,且刚性支撑块121与柔性支撑块122沿次镜的径向对称设置。调节组件140贯穿次镜框架110后伸入凹槽中并与支撑块120的第一侧面连接,支撑块120的与第一侧面相对的第二侧面与次镜紧密接触。通过调节组件140能够调节支撑块120的第二侧面与次镜腔室内壁的距离。
需要说明的是,外圆对称次镜柔性安装结构100至少包括有两个支撑块120,其中一个支撑块120由刚性材料制成为刚性支撑块121,其中一个支撑块120由柔性材料制成为柔性支撑块122。此外,外圆对称次镜柔性安装结构100还可以包括多块支撑块120,且其中刚性支撑块121和柔性支撑块122成对设置。在优选实施例中,支撑块120的数量为四个,即柔性支撑块122和刚性支撑块121的数量均为两个,且成对的柔性支撑块122和刚性支撑块121沿次镜的径向对称设置,两组支撑块120的设置有利于实现在次镜径向平面内的两个垂直方向上的微位移。可以理解的是,在安装过程中,次镜的侧壁与次镜腔室的内壁相对设置,次镜的镜面与次镜腔室的轴线垂直设置,且次镜的镜面面对光线射入的方向设置,即次镜的镜面为次镜的入光面。调节组件140从次镜框架110的外部贯穿次镜框架110后伸入凹槽内与支撑块120连接,支撑块120与调节组件140连接的侧面为第一侧面,与第一侧面相对的为第二侧面。支撑块120的第二侧面与次镜的侧壁紧密接触。安装时,通过调整调节组件140使得支撑块120沿次镜的径向方向移动,以改变支撑块120的第二侧面与次镜框架110内壁之间的距离,从而使得次镜在次镜腔室内发生微位移,使得次镜的轴线得到不断的调整。需要说明的是,次镜通过次镜框架110安装于光学设备内,如望远镜。
在本实例中,本发明的技术方案中,设置柔性支撑块122和刚性支撑块121,柔性支撑块122和刚性支撑块121的第二侧面与次镜紧密接触,且调节组件140能够调节第二侧面与次镜腔室内壁的距离,从而实现了次镜在其径向平面的位置调节,以调整次镜与主镜室的位置关系。同时,柔性支撑块122和刚性支撑块121相对次镜的径向对称设置,使得柔性支撑块122和刚性支撑块121对次镜产生的应力能够相互抵消,实现次镜的低应力组合体。另外,通过次镜腔室、刚性支撑块121、柔性支撑块122和调节组件140等实现了次镜的柔性安装及径向平面的微量调整的要求,安装结构简单方便,且能满足安装精度要求。
可以理解的是,支撑块120的第二侧面的形状与次镜的侧壁形状适配。优选地,次镜为圆柱形,对应地,支撑块120的第二侧面的弧面,即说明刚性支撑块121和柔性支撑块122的第二侧面均为弧面,且弧面尺寸与次镜的侧壁适配。此时,刚性支撑块121和柔性支撑块122的第二侧面的圆心与次镜的圆心重合。采用支撑块120的第二侧面的形状与次镜的侧壁形状适配的技术方案有助于保证调整精度。
在优选实施例中,柔性支撑块122内设置多个空隙,且空隙的延伸方向与次镜的轴线平行。空隙的设置可以增强柔性支撑块122的柔性,提高次镜在径向平面的调整范围。
参见图2和图3,为了防止次镜从次镜腔室内脱出以及次镜在轴向方向上的定位,次镜框架110的与入射光线对应的一端设置有压块130和软垫,即压块130和软垫靠近次镜的镜面设置。压块130连接于次镜框架110上,且压块130的一侧伸入次镜腔室并与次镜的径向平面相对设置,即压块130的伸入次镜腔室的一侧与次镜的镜面相对,以防止次镜从次镜腔室内脱出,同时也实现了次镜在其轴向方向上的定位。软垫设置于压块130和次镜之间,一方面可以防止压块130划伤次镜的入光面,另一方面通过软垫和次镜镜面柔性接触,压块130压在软垫上时压块130的压力被软垫吸收,次镜镜面不会受到压块130产生的压力,有利于保护次镜。
为了保证次镜在轴向方向的定位精度,压块130和软垫的数量均为多个,且压块130与软垫一一对应设置。优选地,压块130和软垫的数量均为三个,通过三个定位压块130实现面定位。
在一具体实施例中,刚性支撑块121和柔性支撑块122的数量均为两个,压块130的数量为三个,其中两个压块130相对其中两个支撑块120布置,另一个压块130布置与剩余两个支撑块120之间。优选地,两个刚性支撑块121相邻设置,两个柔性支撑块122相邻设置,其中两个压块130分别设置于两个刚性支撑块121的与入射光对应的一端,即压块130压设在刚性支撑块121上,另一压块130设置于两个柔性支撑块122之间。三个压块130的形状可以相同也可以不同。在本实施例中,压块130通过螺钉160连接在次镜框架110上。可选地,压块130的靠近次镜的一端的形状为弧形。需要注意的是,压块130遮挡次镜的边沿,以影响次镜的正常功能。压块130固定之后,对螺钉160处进行点胶固化,保证连接稳定性。
在本发明一具体实施例中,调节组件140包括顶丝141和定位销钉142,支撑块120的远离次镜的第一侧面上设置有定位孔,定位销钉142与定位孔配合,顶丝141的伸入凹槽的一端与支撑块120接触,通过顶丝141的移动控制支撑块120沿定位销移动。可以理解的是,次镜框架110上设置有贯穿次镜框架110且与凹槽连通的螺纹孔,且顶丝141的外螺纹与螺纹孔配合,旋进或者旋出顶丝141能够带动支撑块120沿次镜的径向进行微位移。通过调节相对的刚性支撑块121和柔性支撑块122的调节组件140能够调整次镜在次镜腔室的位置。刚性支撑块121和柔性支撑块122的位置确定好后用定位销钉142插入定位孔进行定位。
在其他实施例中,调节组件140还可以是调节螺丝,此时由凹槽对支撑块120进行定位,由调节螺丝带动支撑块120进行微位移。
需要说明的是,当所有支撑块120通过调节组件140定位之后,通过点胶固化与次镜腔室连接形成一体,以保证次镜定位的稳定性,实现支撑块120与次镜框架110的一体式结构,保证次镜在重力、温度等作用下具有较好的面形精度。
在一具体实施例中,参见图2和图3,次镜框架110包括定位底板112和镜筒111,镜筒111连接于定位底板112上,次镜设置于镜筒111内,凹槽设于镜筒111的内壁上。进一步地,镜筒111的靠近定位底板112的一端设置有定位块114,次镜设置于定位块114上,通过定位块114和压块130来对次镜在其轴向方向上进行定位。在优选地实施例中,定位块114的数量为3个,且定位块114的延伸方向与次镜的轴线垂直,三个定位块114的设置能够实现三点定位,且易加工。定位块114与镜筒111可以一体成型也可以采取连接件连接。
在其他实施例中,还可以由定位底板112和压块130配合来实现次镜在其轴向方向上的定位,而省去定位块114。
另外,与定位底板112连接的还有安装调整板113,安装调整板113沿次镜径向方向设置于定位底板112的两侧上,安装调整板113和定位底板112上均设置有腰形孔,腰形孔内设置有安装调整板113和定位底板112的连接螺栓。腰形孔的设置,使得通过设置连接螺栓在腰形孔中的位置调整调整板与定位底板112的连接位置,实现在次镜框架110在次镜径向平面上的微位移的调整。
此外,可以理解的是,安装调整板113上也设置有腰形孔(图中未示出),并通过腰形孔将外圆对称次镜柔性安装结构100安装于光学设备上。通过安装调整板113桑的腰形孔的设计进一步实现次镜框架110在次镜径向平面的微位移的调整。需要说明的是,安装调整板113与光学设备匹配的腰形孔的长边方向与安装调整板113与定位底板112匹配的腰形孔的长边方向垂直,以实现在径向平面上两个垂直方向的微位移。
本外圆对称次镜柔性安装结构100的安装方法,包括以下步骤:1)将次镜和次镜框架110水平放置在光学装调专用平台上;2)将次镜缓慢放入次镜腔室底部的支撑块120上,用顶丝141调整刚性支撑块121和柔性支撑块122的对心位置,实现次镜的中心与主镜室圆心同轴,并打定位销钉142固定,实现次镜在径向平面的定位;3)将软垫与镜面柔性接触,压块130压设在软垫上,并用紧固螺钉160固定压块130,实现次镜轴向定位;4)连接安装调整板113和定位底板112,并将连接螺栓调整至腰形孔的合适位置后,紧固连接螺栓将安装调整板113和定位底板112定位;5)将安装调整板113安装于光学设备上,调整连接螺栓在安装调整板113上的腰形孔的位置后,紧固连接螺栓以将调整安装板安装于光学设备上。
本实施例中的外圆对称次镜安装的结构有限元分析模型,分析结果中整体的最大线位移为1.769E-4,次镜面形rms为0.252nm,完全满足光学设计精度要求。本发明适用于立式或卧式次镜的定位、安装与拆卸,一体化的安装设计便于后期医疗设备的维修,且次镜的位置精度由次镜腔室及定位底板112、安装调整板113等的加工精度保证,降低了装调复杂性和装调难度;采用柔性支撑与刚性支撑一一相对,彼此之间支撑应力相互抵消,从而实现次镜的低应力组合体,次镜与次镜腔室一体化结构保证次镜在重力、温度等载荷作用下具有较好的面形精度;通过次镜腔室、刚性支撑、柔性支撑和安装调整板113等实现了次镜的柔性安装及微量调整的要求,结构简单,安装方便。
以上仅为本发明的优选实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是在本发明的发明构思下,利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换,或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种外圆对称次镜柔性安装结构,其特征在于,包括次镜框架、支撑块和调节组件,所述次镜框架形成有用于容纳次镜的次镜腔室,所述次镜腔室的内壁上设置有凹槽,所述支撑块设置于所述凹槽内,所述支撑块包括刚性支撑块和柔性支撑块,且所述刚性支撑块与所述柔性支撑块沿所述次镜的径向对称设置,所述调节组件贯穿所述次镜框架后伸入所述凹槽并与所述支撑块的第一侧面连接,所述支撑块的与所述第一侧面相对的第二侧面与所述次镜紧密接触,通过所述调节组件调节所述第二侧面与所述次镜腔室内壁的距离。
2.如权利要求1所述的外圆对称次镜柔性安装结构,其特征在于,所述支撑块的所述第二侧面的形状与所述次镜的侧壁形状适配。
3.如权利要求1所述的外圆对称次镜柔性安装结构,其特征在于,所述次镜框架的与入射光线对应的一端设置有压块和软垫,所述压块连接于所述次镜框架上,所述压块的一侧伸入所述次镜腔室并与所述次镜的径向平面相对设置,所述软垫设置于所述次镜与所述压块之间。
4.如权利要求3所述的外圆对称次镜柔性安装结构,其特征在于,所述压块和所述软垫的数量均为多个,且一一对应设置。
5.如权利要求3所述的外圆对称次镜柔性安装结构,其特征在于,所述刚性支撑块和所述柔性支撑块的数量均为两个,所述压块的数量为三个,其中两个所述压块相对其中两个支撑块布置,另一个所述压块布置于剩余两个所述支撑块之间。
6.如权利要求1至5中任一项所述的外圆对称次镜柔性安装结构,其特征在于,所述调节组件包括顶丝和定位销钉,所述支撑块的远离所述次镜的第一侧面上设置有定位孔,所述定位销钉与所述定位孔配合,所述顶丝的伸入所述凹槽的一端与所述支撑块接触,通过所述顶丝的移动控制所述支撑块沿所述次镜的径向移动,所述定位销钉定位所述支撑块。
7.如权利要求1至5中任一项所述的外圆对称次镜柔性安装结构,其特征在于,所述次镜框架包括定位底板和镜筒,所述镜筒连接于所述定位底板上,所述次镜设置于所述镜筒内,所述凹槽设置于所述镜筒的内壁上。
8.如权利要求7所述的外圆对称次镜柔性安装结构,其特征在于,所述镜筒的靠近所述定位底板的一端设置有定位块,所述次镜设置于所述定位块上。
9.如权利要求7所述的外圆对称次镜柔性安装结构,其特征在于,与所述定位底板连接有安装调整板,所述安装调整板和所述定位底板上均设置有腰形孔,所述腰形孔内设置有连接所述安装调整板和所述定位底板的连接螺栓。
10.如权利要求1至5中任一项所述的外圆对称次镜柔性安装结构,其特征在于,所述支撑块与所述次镜框架通过点胶固化连接。
CN201910049134.5A 2019-01-18 2019-01-18 外圆对称次镜柔性安装结构 Pending CN109633857A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910049134.5A CN109633857A (zh) 2019-01-18 2019-01-18 外圆对称次镜柔性安装结构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910049134.5A CN109633857A (zh) 2019-01-18 2019-01-18 外圆对称次镜柔性安装结构

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN109633857A true CN109633857A (zh) 2019-04-16

Family

ID=66062115

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910049134.5A Pending CN109633857A (zh) 2019-01-18 2019-01-18 外圆对称次镜柔性安装结构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109633857A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110634372A (zh) * 2019-09-29 2019-12-31 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种光学系统装调策略验证系统
CN111025524A (zh) * 2019-12-23 2020-04-17 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种带有柔性支撑的空间反射镜的设计方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103792645A (zh) * 2014-01-24 2014-05-14 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种小型反射镜超高力热稳定性支撑结构
CN104216237A (zh) * 2014-08-26 2014-12-17 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种解耦的光刻投影物镜中透镜偏心调节装置
CN104849858A (zh) * 2015-05-18 2015-08-19 西安交通大学 旋转中心处于反射面的快速偏转反射镜控制机构及方法
CN108152913A (zh) * 2017-12-14 2018-06-12 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种镜筒及调整主次镜同轴度的方法
CN209446876U (zh) * 2019-01-18 2019-09-27 长春奥普光电技术股份有限公司 外圆对称次镜柔性安装结构

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103792645A (zh) * 2014-01-24 2014-05-14 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种小型反射镜超高力热稳定性支撑结构
CN104216237A (zh) * 2014-08-26 2014-12-17 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种解耦的光刻投影物镜中透镜偏心调节装置
CN104849858A (zh) * 2015-05-18 2015-08-19 西安交通大学 旋转中心处于反射面的快速偏转反射镜控制机构及方法
CN108152913A (zh) * 2017-12-14 2018-06-12 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种镜筒及调整主次镜同轴度的方法
CN209446876U (zh) * 2019-01-18 2019-09-27 长春奥普光电技术股份有限公司 外圆对称次镜柔性安装结构

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
严从林: ""反射镜支撑结构设计与分析"", 中国优秀硕士学位论文全文数据库(工程科技II辑), 30 November 2013 (2013-11-30), pages 16 - 23 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110634372A (zh) * 2019-09-29 2019-12-31 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种光学系统装调策略验证系统
CN111025524A (zh) * 2019-12-23 2020-04-17 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种带有柔性支撑的空间反射镜的设计方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109633857A (zh) 外圆对称次镜柔性安装结构
CN106405787B (zh) 一种用于反射镜光学元件的角度调整装置
CN103064195B (zh) 一种非共轴光学系统的装调方法
CN113109950B (zh) 光学防抖弹性支撑机构、防抖和透镜驱动装置及摄像装置、电子设备
CN108196378B (zh) 一种卡式光学系统装调方法
CN111045186A (zh) 一种自带支撑基准结构的sic反射镜
CN106236121A (zh) 一种多模态成像系统的对准调节装置及其对准调节方法
CN209446876U (zh) 外圆对称次镜柔性安装结构
Smedley et al. Sphinx: a massively multiplexed fiber positioner for MSE
CN208847452U (zh) 光学镜头的间距偏心和波前像差一体化测量装置
CN103487911B (zh) 离轴光学元件精密定位调整装置
CN109991712B (zh) 一种u型折转光路装调装置及方法
CN204064613U (zh) 一种多通道光电系统光轴一致性调整装置
CN107147834B (zh) 一种监控产品成像模组装置
CN110855856A (zh) 基于组成马达光学组件的多群组光学镜头的装配方法
CN104034220B (zh) 大长度线纹计量器具自动校准系统及方法
CN217687539U (zh) 一种红外焦平面探测器测试系统
CN106842482B (zh) 一种透镜安装组件和光学设备
CN103119492A (zh) 具有用于在保持件中安装并调节光学组件的稳定元件的光学仪器以及稳定元件的安装方法
CN203069863U (zh) 一种用于棱镜反射器中像点与反射器基准点重合的调整装置
CN202041187U (zh) 一种轴系校中激光靶
CN202916480U (zh) 实现偏轴球面反射镜曲率半径中心精确定位系统
CN109029935A (zh) 光学镜头的间距偏心和波前像差一体化测量装置
CN112683178B (zh) 用于光学镜头与光电探测器装配的垫片厚度确定方法
CN117203563A (zh) 光学防抖机构、透镜驱动装置和摄像装置及电子设备

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination