CN109514419A - 一种精密双面研磨机上定盘调心机构 - Google Patents
一种精密双面研磨机上定盘调心机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109514419A CN109514419A CN201811573065.XA CN201811573065A CN109514419A CN 109514419 A CN109514419 A CN 109514419A CN 201811573065 A CN201811573065 A CN 201811573065A CN 109514419 A CN109514419 A CN 109514419A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fixed disk
- bearing
- disk
- core
- regulating mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 32
- 239000002223 garnet Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000005303 weighing Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 14
- 210000004907 gland Anatomy 0.000 claims description 10
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 3
- 238000000227 grinding Methods 0.000 abstract description 4
- 239000013065 commercial product Substances 0.000 abstract description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 abstract description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 8
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000013467 fragmentation Methods 0.000 description 2
- 238000006062 fragmentation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- -1 fragmentation Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012797 qualification Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/005—Control means for lapping machines or devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/34—Accessories
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
本发明涉及研磨/抛光机的结构领域，具体涉及一种精密双面研磨机上定盘调心机构。包括上定盘、气缸与十字铰链；十字铰链通过上盘支撑杆设于上定盘上端面，十字铰链中心通过调心内圈销轴固设有轴承座；轴承座内装设有轴承，连接轴装设于轴承内；连接轴顶端通过称重传感器连接上盘固定杆，称重传感器可采用常见市售产品。上盘固定杆顶部连接气缸的活塞杆。本发明装置可以承受轴向载荷、径向载荷和轴向与径向同时存在的联合负载，从而实现上定盘的调心能力和受力均匀，保证了上定盘与下定盘工作面柔性连接，从而使两工作面完全贴合，进而保证加工工件的平面度与平行度要求。
Description
技术领域
本发明涉及研磨/抛光机的结构领域，具体涉及一种精密双面研磨机上定盘调心机构。
背景技术
精密双面研磨机工作原理是通过上下两研磨盘绕中心作回转运动，利用研磨液对工件表面进行双面磨削加工。压力控制方面，常规方式是采用多段压力，压力段由气路控制压力大小，但这样在压力切换时会产生冲击，从而出现工件受力不均碎片现象。另一方面，由于系统压力控制有一个波动范围，使加工工艺参数(压力、研磨时间、转度以及研磨液粒度、浓度、流量)和加工效率有所改变。同时目前此类设备已趋向高效率、高精密或超高精密方向发展，而设备上下定盘的贴合度对加工产品品质影响很大，会导致上下表面研磨不均匀，去除材料不一致等，从而导致产品的合格率低，破片，碎片等现象。若采用上下定盘刚性连接，其加工成本很高，平面度和平行度无法保证，因此必须采用一种上定盘具有自动调心和压力反馈互补的闭环控制系统，以保证上下定盘柔性接触，达到两工作面吻合度，平行度和压力精确控制的目的。
发明内容
本发明要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种精密双面研磨机上定盘调心机构。
为解决上述技术问题，本发明采用的解决方案是：
提供一种精密双面研磨机上定盘调心机构，包括上定盘、气缸与十字铰链；
十字铰链通过上盘支撑杆设于上定盘上端面，十字铰链中心通过调心内圈销轴固设有轴承座；轴承座内装设有轴承，连接轴装设于轴承内；连接轴顶端通过称重传感器连接上盘固定杆，称重传感器可采用常见市售产品。上盘固定杆顶部连接气缸的活塞杆。
作为一种改进，十字铰链包括相互套设的调心机构内圈与调心机构外圈；调心机构内圈内装设轴承座，调心机构内圈与调心机构外圈间设有一组轴承，并用压盖调整轴承间隙。
作为一种改进，轴承座与调心内圈销轴通过销连接。
作为一种改进，上盘固定杆上设有用于定位的圆螺母，用于定位、限位的铜垫圈、紧定螺钉和配重块。
作为一种改进，气缸底端设有气缸固定板。
作为一种改进，连接轴上设有用于定位的圆螺母，用于定位、限位的铜垫圈和紧定螺钉。
作为一种改进，轴承座上方设有密封圈，用于隔液密封，密封圈设有压盖，用于保护密封圈不脱落。
作为一种改进，轴承座下方设有密封圈和压盖，防止轴承与外界接触，保存润滑油泄露。
与现有技术相比，本发明的技术效果是：
1、可以承受轴向载荷、径向载荷和轴向与径向同时存在的联合负载，从而实现上定盘的调心能力和受力均匀，保证了上定盘与下定盘工作面柔性连接，从而使两工作面完全贴合，进而保证加工工件的平面度与平行度要求。
2、本发明中压力传感器连接气缸和下定盘，通过压力控制上下定盘压力线性变化。同时配重块调整盘面平整度，使下定盘下落与工件接触时整个平面接触，能保护加工零件不在结合瞬间破片。
附图说明
图1为发明的上盘结构示意图；
图2为十字铰链与连接轴连接方式；
图3为十字铰链结构剖视图。
图中：1-气缸；2-气缸固定板；3-上盘固定杆；4-连接轴；5-称重传感器；6-轴承座；7-十字铰链；8-调心机构外圈；9-配重块；10-上盘支撑杆；11-上定盘；12、20-螺钉；13、17、21-压盖；14、18-轴承；15-调心机构内圈；16-调心内圈销轴；19-销。
具体实施方式
下面结合附图，对本发明的具体实施方式进行详细描述。
如图1所示，一种精密双面研磨机上定盘调心机构，包括上定盘11、气缸1与十字铰链7；
十字铰链7通过上盘支撑杆10设于上定盘11上端面，十字铰链7中心通过调心内圈销轴16固设有轴承座6；轴承座6上方设有密封圈，用于隔液密封，密封圈设有压盖17，用于保护密封圈不脱落。轴承座6下方设有密封圈和压盖21，防止轴承与外界接触，保存润滑油泄露。轴承座6内装设有轴承，连接轴4装设于轴承内；连接轴4上设有用于定位的圆螺母，用于定位、限位的铜垫圈和紧定螺钉。连接轴4顶端通过称重传感器5连接上盘固定杆3，上盘固定杆3上设有用于定位的圆螺母，用于定位、限位的铜垫圈、紧定螺钉和配重块9。上盘固定杆3顶部连接气缸1的活塞杆。气缸1底端设有气缸固定板2。
如图2-3所示，十字铰链7包括相互套设的调心机构内圈15与调心机构外圈8；调心机构内圈15内装设轴承座6，轴承座6与调心内圈销轴16通过销19连接。调心机构内圈15与调心机构外圈8间设有一组轴承，并用压盖13调整轴承间隙。
本发明的原理为：
通过气缸1对上定盘11的压力控制，使上定盘11向下运动，确保上定盘11工作面和下定盘工作面柔性自动完全贴合，同时十字铰链7调心机构可以承载轴向负载，径向载荷和轴向负载，径向载荷并存的联合负载，确保上定盘系统能承受各种变相载荷。且压力为闭环控制，能自动消除上盘系统压力不稳现象。同时设有配重块9，进行盘面调平工作，可以实现盘面与工件面接触，能保护工件不在接触瞬间碎片。
以上的仅是本发明的实施例，方案中公知的具体结构及特性等常识在此未作过多描述。应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本发明结构的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些也应该视为本发明的保护范围，这些都不会影响本发明实施的效果和专利的实用性。本申请要求的保护范围应当以其权利要求的内容为准，说明书中的具体实施方式等记载可以用于解释权利要求的内容。
Claims (8)
1.一种精密双面研磨机上定盘调心机构，其特征在于，包括上定盘、气缸与十字铰链；
所述十字铰链通过上盘支撑杆设于上定盘上端面，十字铰链中心通过调心内圈销轴固设有轴承座；轴承座内装设有轴承，连接轴装设于轴承内；连接轴顶端通过称重传感器连接上盘固定杆，上盘固定杆顶部连接气缸的活塞杆。
2.根据权利要求1所述的机构，其特征在于，所述十字铰链包括相互套设的调心机构内圈与调心机构外圈；调心机构内圈内装设所述轴承座，调心机构内圈与调心机构外圈间设有一组轴承，并用压盖调整轴承间隙。
3.根据权利要求1所述的机构，其特征在于，所述轴承座与调心内圈销轴通过销连接。
4.根据权利要求1所述的机构，其特征在于，所述上盘固定杆上设有用于定位的圆螺母，用于定位、限位的铜垫圈、紧定螺钉和配重块。
5.根据权利要求1所述的机构，其特征在于，所述气缸底端设有气缸固定板。
6.根据权利要求1所述的机构，其特征在于，所述连接轴上设有用于定位的圆螺母，用于定位、限位的铜垫圈和紧定螺钉。
7.根据权利要求1所述的机构，其特征在于，所述轴承座上方设有密封圈，用于隔液密封，密封圈设有压盖，用于保护密封圈不脱落。
8.根据权利要求1所述的机构，其特征在于，所述轴承座下方设有密封圈和压盖，防止轴承与外界接触，防止润滑油泄露。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811573065.XA CN109514419A (zh) | 2018-12-21 | 2018-12-21 | 一种精密双面研磨机上定盘调心机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811573065.XA CN109514419A (zh) | 2018-12-21 | 2018-12-21 | 一种精密双面研磨机上定盘调心机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109514419A true CN109514419A (zh) | 2019-03-26 |
Family
ID=65796877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201811573065.XA Pending CN109514419A (zh) | 2018-12-21 | 2018-12-21 | 一种精密双面研磨机上定盘调心机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN109514419A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110103074A (zh) * | 2019-05-11 | 2019-08-09 | 复旦大学 | 一种基于铰链结构的中空型调心调平机构 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3139753U (ja) * | 2007-12-13 | 2008-02-28 | 株式会社島津製作所 | 両面研磨機 |
| CN104772701A (zh) * | 2015-03-27 | 2015-07-15 | 苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司 | 一种双面抛光机的上盘万向调心加载机构 |
| CN205438162U (zh) * | 2015-12-30 | 2016-08-10 | 浙江森永光电设备有限公司 | 用于研磨抛光设备上的精确配重机构 |
| CN106041722A (zh) * | 2016-07-19 | 2016-10-26 | 苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司 | 一种上盘万向调心加载机构 |
| CN107877338A (zh) * | 2017-11-01 | 2018-04-06 | 湖南宇晶机器股份有限公司 | 单面抛光机用抛光头装置 |
| CN209408213U (zh) * | 2018-12-21 | 2019-09-20 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 精密双面研磨机上定盘调心机构 |
-
2018
- 2018-12-21 CN CN201811573065.XA patent/CN109514419A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3139753U (ja) * | 2007-12-13 | 2008-02-28 | 株式会社島津製作所 | 両面研磨機 |
| CN104772701A (zh) * | 2015-03-27 | 2015-07-15 | 苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司 | 一种双面抛光机的上盘万向调心加载机构 |
| CN205438162U (zh) * | 2015-12-30 | 2016-08-10 | 浙江森永光电设备有限公司 | 用于研磨抛光设备上的精确配重机构 |
| CN106041722A (zh) * | 2016-07-19 | 2016-10-26 | 苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司 | 一种上盘万向调心加载机构 |
| CN107877338A (zh) * | 2017-11-01 | 2018-04-06 | 湖南宇晶机器股份有限公司 | 单面抛光机用抛光头装置 |
| CN209408213U (zh) * | 2018-12-21 | 2019-09-20 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 精密双面研磨机上定盘调心机构 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110103074A (zh) * | 2019-05-11 | 2019-08-09 | 复旦大学 | 一种基于铰链结构的中空型调心调平机构 |
| CN110103074B (zh) * | 2019-05-11 | 2024-04-23 | 复旦大学 | 一种基于铰链结构的中空型调心调平机构 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3527465A (en) | Rotary packing for use in rotary machines and more particularly in pumps | |
| KR100642879B1 (ko) | 양면동시 연삭방법, 양면동시 연삭기, 양면동시 래핑방법및 양면동시 래핑기 | |
| CN209408213U (zh) | 精密双面研磨机上定盘调心机构 | |
| CN100398897C (zh) | 径向回转接头 | |
| CN104625765A (zh) | 一种高精度微小型空气静压转台 | |
| JPS6347952B2 (zh) | ||
| CN109514419A (zh) | 一种精密双面研磨机上定盘调心机构 | |
| CN104772701B (zh) | 一种双面抛光机的上盘万向调心加载机构 | |
| CN103029037A (zh) | 一种密封环加工预变形力加载夹具及其加载方式 | |
| CN110170889A (zh) | 一种用于铝合金件的三角振动打磨工艺 | |
| CN102581367A (zh) | 一种带轴向限位装置的铣削刀具 | |
| JP6205054B2 (ja) | 工具研削盤のスピンドル | |
| CN105643453B (zh) | 一种适用于装夹推力轴承的平衡块的磨削工装 | |
| CN108051298A (zh) | 用于多规格螺母的保载试验夹具 | |
| CN101597873B (zh) | 固定面的安装装置及其安装方法 | |
| US4219202A (en) | Axial mechanical seal | |
| CN106112631A (zh) | 锥环加工用履式无心夹具及其定位调整工装工艺 | |
| CN106736636B (zh) | 多类型油垫复合支承重型静压转台 | |
| CN111365480B (zh) | 传动机构外置式陶瓷双芯可调缩孔 | |
| CN206763941U (zh) | 一种导水机构内外环加工装置 | |
| US2693761A (en) | Axial adjustment for pump bearings | |
| CN208803995U (zh) | 一种用于齿轮油泵的定位销孔 | |
| CN106401979B (zh) | 带有径向调整机构的大型挖泥船泥泵的机械密封装置 | |
| US3056962A (en) | Apparatus for maintaining a predetermined air gap between a transducer head and a record medium in a magnetic data storage device | |
| CN114623239B (zh) | 机械密封及其密封端面变形程度的调节方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |