CN109499090A - 一种具有控制材料处理环境功能的升华仪 - Google Patents

Abstract

本发明涉及了一种具有控制材料处理环境功能的升华仪，包括：升华仪本体、密封舱、第一抽真空装置、第二抽真空装置以及清洁气体供应装置。上述升华仪本体的出口与密封舱的内腔相连通，且通过进口隔挡板实现与密封舱内腔的连通或关闭。清洁气体供应装置、第一抽真空装置均与密封舱的内腔相连通。第二抽真空装置与升华仪本体的内腔相连通。通过第一抽真空装置使得密封舱的内腔处于真空状态，与此同时，通过第二抽真空装置使得升华仪本体的内腔亦处于真空状态，经热处理后的材料由升华仪本体进入密封舱的内腔之后，关闭进口隔挡板，而后借用清洁气体供应装置向密封舱充入清洁气体，从而避免了材料自身与空气、水分等发生接触而导致的氧化、锈蚀现象。

Description

一种具有控制材料处理环境功能的升华仪

技术领域

本发明涉及升华仪技术领域，特别涉及一种具有控制材料处理环境功能的升华仪。

背景技术

随着科学技术的发展，常常借用升华仪进行提纯从而完成一些苛刻的实验研究。例如在生物医药、医疗卫生、微电子以及特殊化学、生物实验等领域。然而，经过处理后的材料在离开炉口后、封装之前会不可避免地与空气、水分等接触，对材料自身造成氧化、锈蚀等。目前，市面上未存在有关上述问题的解决方案或设备。因而，亟待技术人员解决上述问题。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种结构设计简单，制造成本低廉、操作简单的具有控制材料处理环境功能的升华仪。

为了解决上述技术问题，本发明涉及了一种具有控制材料处理环境功能的升华仪，包括：升华仪本体、密封舱、第一抽真空装置、第二抽真空装置以及清洁气体供应装置。上述升华仪本体的出口与密封舱的内腔相连通，且通过进口隔挡板实现与密封舱内腔的连通或关闭。清洁气体供应装置、第一抽真空装置均与密封舱的内腔相连通。第二抽真空装置与升华仪本体的内腔相连通。通过第一抽真空装置使得密封舱的内腔处于真空状态，与此同时，通过第二抽真空装置使得升华仪本体的内腔亦处于真空状态，经热处理后的材料由升华仪本体进入密封舱的内腔之后，关闭进口隔挡板，而后借用清洁气体供应装置向密封舱充入清洁气体。

进一步的，具有控制材料处理环境功能的升华仪还包括第一真空度检测装置以及第二真空度检测装置，分别用来适配于密封舱、升华仪本体。

更进一步的，具有控制材料处理环境功能的升华仪还包括第一报警器、第二报警器，分别用来接收第一真空度检测装置、第二真空度检测装置的检测信号。

进一步的，具有控制材料处理环境功能的升华仪还包括水分检测装置、氧气检测装置和/或灰尘检测装置。

更进一步的，具有控制材料处理环境功能的升华仪还包括出口过渡舱、第三抽真空装置。该出口过渡舱设置于密封舱的侧面，且通过出口隔挡板实现与密封舱的连通或关闭。第三抽真空装置与出口过渡舱相连通。在出口过渡舱设置有与其内腔相连通的放气阀。

更进一步的，具有控制材料处理环境功能的升华仪还包括第三真空度检测装置，其适配于所述出口过渡舱。

更进一步的，具有控制材料处理环境功能的升华仪还包括第三报警器，其实时接收所述第二真空度检测装置的检测信号。

更进一步的，所述清洁气体为惰性保护气体

通过采用上述技术方案进行设置，经过处理后的材料在进行正式封装前或表面特征分析时不能与空气、水分等相接触，从而从根源上避免了其自身发生氧化、锈蚀等现象，进而确保其封装质量以及分析结果的准确性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明中具有控制材料处理环境功能的升华仪第一种实施方式的结构示意图。

图2是本发明中具有控制材料处理环境功能的升华仪第二种实施方式的结构示意图。

1-密封舱；2-升华仪本体；21-进口隔挡板；3-第一抽真空装置；4-第二抽真空装置；5-清洁气体供应装置；6-第一真空度检测装置；7-第二真空度检测装置；8-第一报警器；9-第二报警器；10-出口过渡舱；101-出口隔挡板；11-第三抽真空装置；12-放气阀；13-第三真空度检测装置；14-第三报警器；15-静电消除装置。

具体实施方式

下面结合具体实施例，对本发明的内容做进一步的详细说明。

材料经过升华仪处理后，在进行正式封装前或表面特征分析时会不可避免与空气、水分发生接触，从而影响其封装质量以及分析结果的准确性。为了解决上述问题，图1示出了本发明中具有控制材料处理环境功能的升华仪第一种实施方式的结构示意图。该升华仪由升华仪本体2、密封舱1、第一抽真空装置3、第二抽真空装置4以及清洁气体供应装置5等几部分构成，其中，升华仪本体2的出口与密封舱1的内腔相连通，且通过进口隔挡板21实现与密封舱1内腔的连通或关闭。清洁气体供应装置5、第一抽真空装置3均与密封舱1的内腔相连通。第二抽真空装置4与升华仪本体2的内腔相连通。通过第一抽真空装置3使得密封舱1的内腔处于真空状态，与此同时，通过第二抽真空装置4使得升华仪本体2的内腔亦处于真空状态，经热处理后的材料由升华仪本体2进入密封舱1的内腔之后，关闭进口隔挡板21，而后借用清洁气体供应装置5向密封舱1充入清洁气体。这样一来，从根源上避免了材料自身发生氧化、锈蚀等现象，进而确保其具有较好的封装质量以及分析结果的准确性。

在此需要说明的是，在上述实施例中对材料进行正式封装或表面特征分析须采用自动化设备。当然，也可以采用人工方式进行操作，需要在密封舱1的侧壁上设置密封手套(类似于手套箱设置的手套)。相应地，密封舱1设置为透明状，优选由玻璃制得。

作为上述升华仪的进一步优化，上述具有控制材料处理环境功能的升华仪还可以配置水分检测装置、氧气检测装置和/或灰尘检测装置(图中未示出)，实时地对其内腔的水分、氧气以及灰尘含量进行检测，为进行下一步的具体操作提供参考。

作为上述升华仪的进一步优化，还包括与对密封舱1的内腔压力进行测量的第一真空度检测装置6以及与升华仪本体2的内腔压力进行测量的第二真空度检测装置7，从而便于实时地掌控密封舱1以及升华仪本体2的真空度变化。更进一步的，为了提醒工作人员进行及时进行后续操作，还设置有第一报警器8、第二报警器9，分别用来接收第一真空度检测装置6、第二真空度检测装置7的检测信号。

图2示出了本发明中具有控制材料处理环境功能的升华仪第二种实施方式的结构示意图，其与第一种实施例的区别点在于，第二种实施例中还额外设置有出口过渡舱10以及与其相适配的第三抽真空装置11，从而有效地防止材料移出时空气倒灌入密封舱。出口过渡舱10设置于密封舱1的左侧面或有侧面，且通过出口隔挡板101实现与密封舱1的连通或关闭。在出口过渡舱10设置有与其内腔相连通的放气阀12。为了便于对出口过渡舱10内的真空度进行实时监测，还设置有与其相适配的第三真空度检测装置13。

该升华仪的具体操作过程如下：1)首先确认进口隔挡板21、出口隔挡板101均处于关闭状态；2)材料放置于升华仪本体2内，并通过第二抽真空装置4抽空升华仪本体2内的空气；3)通过第一抽真空装置3对密封舱1进行抽真空处理；4)确认密封舱1的真空度和升华仪本体2的真空度相一致或差别不大后，打开进口隔挡板21，随后工作人员使用操作手套将材料移入密封舱1，且关闭进口隔挡板21；5)通过清洁气体供应装置5向密封舱1内注入清洁气体、惰性气体等，并使密封舱1的内腔处于标准大气压状态；6)对材料进行封装或表面特征分析；7)封装或表面特征分析完毕后，通过第一抽真空装置3对密封舱1再次进行抽真空处理，与此同时，通过第三抽真空装置11对出口过渡舱10进行抽真空处理，确认两者内腔的真空度一致或差别不大时，打开出口隔挡板101；8)工作人员使用操作手套将材料移出出口过渡舱10，随后关闭出口隔挡板101；9)打开出口过渡舱101的放气阀12，即完成操作。

类似于第一种实施例，在第二种实施例中升华仪也设置有第三报警器14，用来实时接收第三真空度检测装置13的检测信号。

最后，为了便于出去材料自身存在的静电，还可以在密封舱1内设置有静电消除装置15，从而消除静电现象对封装或者表面特征分析造成的不良影响。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (8)

1.一种具有控制材料处理环境功能的升华仪，包括：升华仪本体，其特征在于，还包括密封舱、第一抽真空装置、第二抽真空装置以及清洁气体供应装置；所述升华仪本体的出口与所述密封舱的内腔相连通，且通过进口隔挡板实现与所述密封舱内腔的连通或关闭；所述清洁气体供应装置以及所述第一抽真空装置均与所述密封舱的内腔相连通；所述第二抽真空装置与所述升华仪本体的内腔相连通；通过所述第一抽真空装置使得所述密封舱的内腔处于真空状态，与此同时，通过所述第二抽真空装置使得所述升华仪本体的内腔亦处于真空状态，经热处理后的材料由所述升华仪本体进入所述密封舱的内腔之后，关闭所述进口隔挡板，而后借用所述清洁气体供应装置向所述密封舱充入清洁气体。

2.根据权利要求1所述的具有控制材料处理环境功能的升华仪，其特征在于，还包括第一真空度检测装置、第二真空度检测装置，分别适配于所述密封舱、所述升华仪本体。

3.根据权利要求2所述的具有控制材料处理环境功能的升华仪，其特征在于，还包括第一报警器、第二报警器，分别用来实时接收所述第一真空度检测装置、第二真空度检测装置的检测信号。

4.根据权利要求1所述的具有控制材料处理环境功能的升华仪，其特征在于，还包括水分检测装置、氧气检测装置和/或灰尘检测装置。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的具有控制材料处理环境功能的升华仪，其特征在于，还包括：出口过渡舱、第三抽真空装置；所述出口过渡舱设置于所述密封舱的侧面，且通过出口隔挡板实现其与所述密封舱的连通或关闭；所述第三抽真空装置与所述出口过渡舱相连通；在所述出口过渡舱设置有与其内腔相连通的放气阀。

6.根据权利要求5所述的具有控制材料处理环境功能的升华仪，其特征在于，还包括第三真空度检测装置，其适配于所述出口过渡舱。

7.根据权利要求6所述的具有控制材料处理环境功能的升华仪，其特征在于，还包括第三报警器，其实时接收所述第三真空度检测装置的检测信号。

8.根据权利要求5所述的具有控制材料处理环境功能的升华仪，其特征在于，所述清洁气体为惰性保护气体。