CN109473864A - 一种高精度固定波长激光器 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种高精度固定波长激光器,其包括:激光器芯片、准直透镜、部分反射镜、若干全反射镜、光隔离器、光学准直器、波长锁定探测器,所述部分反射镜包括反射面及透射面,所述激光器芯片、所述准直透镜、所述部分反射镜的透射面、所述光隔离器及所述光学准直器形成第一光路,所述激光器芯片、所述准直透镜、若干所述全反射镜及所述波长锁定探测器形成第二光路。该高精度固定波长激光器通过部分反射镜将大部分光输出,小部分光反射到所述波长锁定探测器,并通过波长锁定探测器、温控回路将激光器的波长锁定,锁波精度高,高于普通波长锁定器至少两个数量级。
Description
技术领域
本发明涉及检测技术领域,具体涉及一种高精度固定波长激光器。
背景技术
在进行检测时,有时会需要使用高精度固定波长激光器,然而在现有的技术中,目前的波长锁定器很少有用到气体波长上,常规波长锁定器都是用光学方法进行波长锁定,比较好的锁定精度在10pm级,对于气体检测来说锁定精度还是达不到需求。
发明内容
本发明的目的是针对上述现状,提供一种高精度固定波长激光器,以解决上述问题。
本发明采用的技术方案为:一种高精度固定波长激光器,包括激光器芯片、准直透镜、一部分反射镜、若干全反射镜、光隔离器、光学准直器、波长锁定探测器,所述部分反射镜包括反射面及透射面,所述激光器芯片、所述准直透镜、所述部分反射镜的透射面、所述光隔离器及所述光学准直器形成第一光路,所述激光器芯片、所述准直透镜、若干所述全反射镜及所述波长锁定探测器形成第二光路。
本发明的效果是:该高精度固定波长激光器通过部分反射镜将大部分光输出,小部分光反射到所述波长锁定探测器,并通过波长锁定探测器、温控回路将激光器的波长锁定,锁波精度高,高于普通波长锁定器至少两个数量级。
附图说明
图1所示为本发明提供的高精度固定波长激光器的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图介绍本发明的高精度固定波长激光器:
如图1所示,为本发明提供的一种高精度固定波长激光器,其包括壳体1、激光器芯片2、准直透镜3、一部分反射镜4、若干全反射镜5、光隔离器6、光学准直器7、波长锁定探测器8、温度传感器9、背光探测器10、导热基板11、制冷器12,所述激光器芯片2、所述准直透镜3、所述部分反射镜4、若干所述全反射镜5、所述光隔离器6、所述光学准直器7、所述波长锁定探测器8、所述温度传感器9、所述背光探测器10、所述导热基板11、所述制冷器12设置在所述壳体1内。
所述部分反射镜4包括反射面及透射面,所述激光器芯片2、所述准直透镜3、所述部分反射镜4的透射面、所述光隔离器6及所述光学准直器7形成第一光路。
所述激光器芯片2、所述准直透镜3、若干所述全反射镜5及所述波长锁定探测器8形成第二光路。
所述激光器芯片2发出的光经过所述准直透镜3准直后经过所述部分反射镜4的透射面透射及所述部分反射镜4的反射面反射,被透射的光依次经过所述光隔离器6及所述光学准直器7,并被所述光学准直器7输出;被反射的光依次通过若干所述全反射镜5反射后进入所述波长锁定探测器8,进行波长检测。
所述温度传感器9设置在所述激光器芯片2一侧,并用于检测所述激光器芯片2的温度。
所述背光探测器10靠近所述光器芯片2的背光面且与所述光器芯片2的背光面形成倾斜角度,与所述第二光路不相互干扰。
所述激光器芯片2、所述准直透镜3、所述部分反射镜4、若干所述全反射镜5、所述光隔离器6、所述波长锁定探测器8、所述温度传感器9、所述背光探测器10设置在所述导热基板11上,所述制冷器12设置在所述导热基板11与所述壳体1之间。
所述壳体1填充有气体。
优选的,所述气体的浓度小于10%。
所述部分反射镜4的作用为反射部分光并透射部分光。
优选的,所述部分反射镜4的反射率为5%,透射率为95%。
所述壳体1上设有若干固定孔13。
所述光学准直器7上套设有一保护套14。
工作原理:激光器芯片出光通过准直透镜准直,经过所述部分反射镜4,反射的少量光经多个全反射镜5反射增加光程,通过波长锁定探测器、温度传感器、导热基板及制冷器将激光器的波长锁定;透射的大部分光进入所述光学准直器7输出。
该高精度固定波长激光器通过部分反射镜将大部分光输出,小部分光反射到所述波长锁定探测器,并通过波长锁定探测器、温控回路将激光器的波长锁定,锁波精度高,高于普通波长锁定器至少两个数量级。
以上所述仅为本发明的较佳实施例,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种高精度固定波长激光器,其特征在于,其包括:激光器芯片、准直透镜、一部分反射镜、若干全反射镜、光隔离器、光学准直器、波长锁定探测器,所述部分反射镜包括反射面及透射面,所述激光器芯片、所述准直透镜、所述部分反射镜的透射面、所述光隔离器及所述光学准直器形成第一光路,所述激光器芯片、所述准直透镜、若干所述全反射镜及所述波长锁定探测器形成第二光路。
2.根据权利要求1所述的高精度固定波长激光器,其特征在于,还包括温度传感器,所述温度传感器设置在所述激光器芯片一侧,并用于检测所述激光器芯片的温度。
3.根据权利要求2所述的高精度固定波长激光器,其特征在于,还包括壳体、背光探测器、导热基板、制冷器,所述激光器芯片、所述准直透镜、所述部分反射镜、若干所述全反射镜、所述光隔离器、所述光学准直器、所述波长锁定探测器、所述温度传感器、所述背光探测器、所述导热基板、所述制冷器设置在所述壳体内。
4.根据权利要求3所述的高精度固定波长激光器,其特征在于,所述激光器芯片、所述准直透镜、所述部分反射镜、若干所述全反射镜、所述光隔离器、所述波长锁定探测器、所述温度传感器、所述背光探测器设置在所述导热基板上,所述制冷器设置在所述导热基板与所述壳体之间。
5.根据权利要求4所述的高精度固定波长激光器,其特征在于,所述背光探测器靠近所述光器芯片的背光面且与所述光器芯片的背光面形成倾斜角度,与所述第二光路不相互干扰。
6.根据权利要求5所述的高精度固定波长激光器,其特征在于,所述壳体填充有气体。
7.根据权利要求6所述的高精度固定波长激光器,其特征在于,所述部分反射镜4的作用为反射部分光并透射部分光。
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