CN109387162A - 一种平面平行度批量测量方法 - Google Patents

一种平面平行度批量测量方法 Download PDF

Info

Publication number
CN109387162A
CN109387162A CN201811498736.0A CN201811498736A CN109387162A CN 109387162 A CN109387162 A CN 109387162A CN 201811498736 A CN201811498736 A CN 201811498736A CN 109387162 A CN109387162 A CN 109387162A
Authority
CN
China
Prior art keywords
auto
detected element
parallelism
collimation collimator
plane
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201811498736.0A
Other languages
English (en)
Inventor
孔小辉
李安然
郑媛
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Luoyang Institute of Electro Optical Equipment AVIC
Original Assignee
Luoyang Institute of Electro Optical Equipment AVIC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Luoyang Institute of Electro Optical Equipment AVIC filed Critical Luoyang Institute of Electro Optical Equipment AVIC
Priority to CN201811498736.0A priority Critical patent/CN109387162A/zh
Publication of CN109387162A publication Critical patent/CN109387162A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes

Abstract

本发明提出一种平面平行度批量测量方法,通过一台自准直平行光管和被测元件之间的位置关系,能实现平行度的快速精确测定,适用于所有的需要测试平面平行度的元件,无材料限制,所需设备简单,前期调整建立好基准位置后,测量过程不需要调整,每次测量时,被测元件仅靠自身重力保证自身位置,使其中一面紧贴基准面,无需调整,大大提高了测量效率,将零件测量时间由小时缩短到秒,本方法应用广泛,实用性强,非接触式测量,能实现平行度的快速精确的批量化检测。

Description

一种平面平行度批量测量方法
技术领域
本发明涉及光学测量技术领域,具体为一种用于光学加工和机械加工中的玻璃平板或结构件平面平行度的批量测量方法。
背景技术
在光学加工和机械加工领域,常常需要加工平板玻璃如光窗、滤光片、平面反射镜等元件,机械加工上也会加工一类高精度结构件,对零件各面之间的平行度有严格要求,如光窗直接影响传感器光轴平行性,需要精确测量两个使用面之间的平行性。
现有调试方法主要分为两类,一种为光学测试,通过用自准直平行光管测试,光管发射平行光到被测平板玻璃,并通过接收被测玻璃前后面反射回的光进行成像,利用前后两个面反射回的像之间的角度差来计算两个面之间的平行度,但要求玻璃可透射光线,对于不透明和红外材料元件无法采用此种方法。
另一种为机械式测试,如专利CN86209969,通过千分尺测量被测平面不同位置的厚度差,以此来计算平面平行度。
两种测试方法都有局限性,光学测试对于不透光的零件无法测试,机械式测试为接触式测量,对于某些精密光学元件不适合,且对于不规则零件有时无法测量。
还有一种为公开的专利CN201710809704.7,通过两台平行光管对支架上的被测元件进行测量,调整步骤多,费时较长,不适合批量化检测使用。
发明内容
为解决现有技术存在的问题,本发明提出一种平面平行度批量测量方法。
本发明的技术方案为:
所述一种平面平行度批量测量方法,其特征在于:包括以下步骤:
步骤1:准备一台带十字目标源的自准直平行光管,将其固定在垂直调节支架上,调整自准直平行光管相对位置,使其出光口向下;
步骤2:在自准直平行光管出光口下方的光滑平台上放置平面反射镜,所述平面反射镜上下两个面的平行度在10”以内;
步骤3:调整自准直平行光管相对平面反射镜的位置和方向,使自准直平行光管出射的光束经平面反射镜反射回来成像,并显示在与自准直平行光管相连的显示器上;调整光滑平台以及自准直平行光管的位置,使反射成像位于显示器屏幕中心,并以此作为基准位置;
步骤4:当被测元件为可反光的被测元件,则将该被测元件放置在平面反射镜上面,观察自准直平行光管出射的光束经被测元件反射回来的成像位置,根据该位置与基准位置的偏差值计算得到被测元件上下两平面的平行度;
当被测元件为不反光的被测元件,则将该被测元件放置在平面反射镜下面,观察自准直平行光管出射的光束经平面反射镜反射回来的成像位置,根据该位置与基准位置的偏差值计算得到被测元件上下两平面的平行度。
有益效果
本发明提供的平面平行度的快速批量测试方法适用于所有的需要测试平面平行度的元件,无材料限制,所需设备简单,前期调整建立好基准位置后,测量过程不需要调整,直接放置被测元件,实时测量,将零件测量时间由小时缩短到秒,本方法应用广泛,实用性强,非接触式测量,能实现平行度的快速精确的批量化检测。
本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本发明的实践了解到。
附图说明
本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
图1发明实施例中平面平行度的快速测试方法使用的装置的结构示意图;
图2发明实施例中反光元件测试光路示意图;
图3发明实施例中不反光元件测试光路示意图;
图4在显示器上显示的十字像图像。
其中:1、自准直平行光管;2、垂直调节支架;3、光滑平台;4、平面反射镜;5、显示器;6、可反光的被测元件;7、不反光的被测元件。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例,所述实施例是示例性的,旨在用于解释本发明,而不能理解为对本发明的限制。
本实施例提供的平面平行度的快速批量测试方法其中用到的设备有:一台自准直平行光管其显示设备、一个垂直调节支架,一个光滑平台,一块上下两个面的平行度在10”以内的平面反射镜。平面平行度的批量测试方法使用的装置的结构示意图如图1所示,反光元件测试光路示意图如图2所示,不反光元件测试光路如图3所示,十字像位置关系如图4所示。平面平行度的快速测试方法具体步骤如下:
步骤1:准备一台带十字目标源的自准直平行光管,将其固定在垂直调节支架上,调整自准直平行光管相对位置,如图1所示,使其出光口向下,大致垂直即可。
步骤2:在自准直平行光管出光口下方的光滑平台上放置平面反射镜,所述平面反射镜上下两个面的平行度在10”以内。
步骤3:调整自准直平行光管相对平面反射镜的位置和方向,使自准直平行光管出射的光束经平面反射镜反射回来成像,并显示在与自准直平行光管相连的显示器上;调整光滑平台以及自准直平行光管的位置,使反射成像大致位于显示器屏幕中心即可,并以此作为基准位置A;成像光路图如图2所示。
步骤4:当被测元件为可反光的被测元件,则将该被测元件放置在平面反射镜上面,可反光的被测元件下被测面贴合平面反射镜面,可反光的被测元件上被测面反射自准直平行光管出射的光束,观察自准直平行光管出射的光束经被测元件反射回来的成像位置B,根据该位置B与基准位置A的偏差值计算得到被测元件上下两平面的平行度。
当被测元件为不反光的被测元件,则将该被测元件放置在平面反射镜下面,不反光的被测元件上被测面贴合平面反射镜背面,不反光的被测元件下被测面贴紧光滑平台,观察自准直平行光管出射的光束经平面反射镜反射回来的成像位置B,根据该位置B与基准位置A的偏差值计算得到被测元件上下两平面的平行度。
本发明提供的平面平行度的快速批量测试方法通过一台自准直平行光管和被测元件之间的位置关系,能实现平行度的快速精确测定,适用于所有的需要测试平面平行度的元件,无材料限制,所需设备简单,前期调整建立好基准位置后,测量过程不需要调整,每次测量时,被测元件仅靠自身重力保证自身位置,使其中一面紧贴基准面,无需调整,大大提高了测量效率,将零件测量时间由小时缩短到秒,本方法应用广泛,实用性强,非接触式测量,能实现平行度的快速精确的批量化检测。
尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例,可以理解的是,上述实施例是示例性的,不能理解为对本发明的限制,本领域的普通技术人员在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (1)

1.一种平面平行度批量测量方法,其特征在于:包括以下步骤:
步骤1:准备一台带十字目标源的自准直平行光管,将其固定在垂直调节支架上,调整自准直平行光管相对位置,使其出光口向下;
步骤2:在自准直平行光管出光口下方的光滑平台上放置平面反射镜,所述平面反射镜上下两个面的平行度在10”以内;
步骤3:调整自准直平行光管相对平面反射镜的位置和方向,使自准直平行光管出射的光束经平面反射镜反射回来成像,并显示在与自准直平行光管相连的显示器上;调整光滑平台以及自准直平行光管的位置,使反射成像位于显示器屏幕中心,并以此作为基准位置;
步骤4:当被测元件为可反光的被测元件,则将该被测元件放置在平面反射镜上面,观察自准直平行光管出射的光束经被测元件反射回来的成像位置,根据该位置与基准位置的偏差值计算得到被测元件上下两平面的平行度;
当被测元件为不反光的被测元件,则将该被测元件放置在平面反射镜下面,观察自准直平行光管出射的光束经平面反射镜反射回来的成像位置,根据该位置与基准位置的偏差值计算得到被测元件上下两平面的平行度。
CN201811498736.0A 2018-12-08 2018-12-08 一种平面平行度批量测量方法 Pending CN109387162A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811498736.0A CN109387162A (zh) 2018-12-08 2018-12-08 一种平面平行度批量测量方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811498736.0A CN109387162A (zh) 2018-12-08 2018-12-08 一种平面平行度批量测量方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN109387162A true CN109387162A (zh) 2019-02-26

Family

ID=65429076

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811498736.0A Pending CN109387162A (zh) 2018-12-08 2018-12-08 一种平面平行度批量测量方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109387162A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110207623A (zh) * 2019-06-27 2019-09-06 东莞市宇瞳光学科技股份有限公司 平行度测量装置及方法、打压机平行度测量系统及方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN86209969U (zh) * 1986-12-06 1987-11-11 解德元 千分尺平面平行性检查仪
TW272255B (zh) * 1993-06-28 1996-03-11 American Telephone & Telegraph
JP2005241607A (ja) * 2004-02-27 2005-09-08 Sunx Ltd 角度測定装置
CN106323200A (zh) * 2016-08-07 2017-01-11 哈尔滨工业大学 自准直装置一种激光大工作距自准直装置与方法
CN106840044A (zh) * 2017-01-06 2017-06-13 中国科学院光电研究院 一种双面反射镜平行度测量装置及其测量方法
CN107677219A (zh) * 2017-09-11 2018-02-09 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种平面平行度测量装置及测量方法
CN207472216U (zh) * 2017-10-09 2018-06-08 茂莱(南京)仪器有限公司 一种金工件平行度光学法测试系统

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN86209969U (zh) * 1986-12-06 1987-11-11 解德元 千分尺平面平行性检查仪
TW272255B (zh) * 1993-06-28 1996-03-11 American Telephone & Telegraph
JP2005241607A (ja) * 2004-02-27 2005-09-08 Sunx Ltd 角度測定装置
CN106323200A (zh) * 2016-08-07 2017-01-11 哈尔滨工业大学 自准直装置一种激光大工作距自准直装置与方法
CN106840044A (zh) * 2017-01-06 2017-06-13 中国科学院光电研究院 一种双面反射镜平行度测量装置及其测量方法
CN107677219A (zh) * 2017-09-11 2018-02-09 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种平面平行度测量装置及测量方法
CN207472216U (zh) * 2017-10-09 2018-06-08 茂莱(南京)仪器有限公司 一种金工件平行度光学法测试系统

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110207623A (zh) * 2019-06-27 2019-09-06 东莞市宇瞳光学科技股份有限公司 平行度测量装置及方法、打压机平行度测量系统及方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101718534B (zh) 多光学系统光轴平行性检测仪
US7298468B2 (en) Method and measuring device for contactless measurement of angles or angle changes on objects
US8844367B2 (en) Micromaterial strain measurement apparatus and method therefor
CN109406105B (zh) 虚像检测方法及检测系统
CN111174733B (zh) 一种基于自准直仪的微小角度检测装置及方法
US10330461B2 (en) Calibration of an interferometer
CN106094234A (zh) 一种带有偏振分束元件的自准光路系统
CN102607472A (zh) 一种大范围平面度的测量装置及其测量方法
US3523736A (en) Method of and means for surface measurement
CN111238408A (zh) 一种快速测量平行平板平行度的装置和方法
CN109387162A (zh) 一种平面平行度批量测量方法
CN101986097A (zh) 在球面面形干涉检测中高精度消除离焦误差及倾斜误差的方法
CN107677219B (zh) 一种平面平行度测量装置及测量方法
CN107024751B (zh) 一种高精度对准光学元件和玻璃平板的装置与方法
US9671602B2 (en) Measurement method for height profiles of surfaces using a differential interference contrast image
CN108061527A (zh) 一种抗空气扰动的二维激光自准直仪
CN1542401A (zh) 光轴与安装基面平行度的检验方法
CN105092212B (zh) 阵列角反射器指向精度测量系统及方法
CN109544637A (zh) 双目标定验证装置
CN207585551U (zh) 一种玻璃平板或结构件平面平行度测量装置
CN114088017A (zh) 一种定制光纤端面角度和平面度检测装置和检测方法
CN106066529A (zh) 一种大视场折反式测量光学系统
EP3861279B1 (en) Laser triangulation apparatus and calibration method
EP1805482B1 (en) Method and system for determining the properties of a surface of revolution
CN202471022U (zh) 一种大范围平面度的测量装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20190226

WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication