CN109357774A - 一种高速超导光子相机 - Google Patents
一种高速超导光子相机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109357774A CN109357774A CN201811128220.7A CN201811128220A CN109357774A CN 109357774 A CN109357774 A CN 109357774A CN 201811128220 A CN201811128220 A CN 201811128220A CN 109357774 A CN109357774 A CN 109357774A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- superconducting
- pixel
- photon
- speed
- array
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 claims abstract description 42
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 5
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 3
- 239000002120 nanofilm Substances 0.000 claims description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 11
- WYTGDNHDOZPMIW-RCBQFDQVSA-N alstonine Natural products C1=CC2=C3C=CC=CC3=NC2=C2N1C[C@H]1[C@H](C)OC=C(C(=O)OC)[C@H]1C2 WYTGDNHDOZPMIW-RCBQFDQVSA-N 0.000 abstract description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000004044 response Effects 0.000 description 5
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 241000209094 Oryza Species 0.000 description 2
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 235000012149 noodles Nutrition 0.000 description 2
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 2
- 108010076504 Protein Sorting Signals Proteins 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 210000001367 artery Anatomy 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229910002056 binary alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 210000003462 vein Anatomy 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J11/00—Measuring the characteristics of individual optical pulses or of optical pulse trains
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N69/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one superconducting element covered by group H10N60/00
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J11/00—Measuring the characteristics of individual optical pulses or of optical pulse trains
- G01J2011/005—Streak cameras
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
本发明公开了一种高速超导光子相机，包括：大量蜿蜒结构纳米线构成的像元、片上电路方案、光耦合方案和外部读出电路方案；像元之间用延迟线相互连接成为一行或多行，这中单行或多行结构阵列排列在共焦平面，构成大面阵相机光敏面，像素可以超过4‑1000000像素。本发明的相机帧率最高可达1000帧/秒，光子探测效率最高达到98.5％，工作波段为300nm‑10μm；能够实时同步探测大量光子时间和位置信息，能够直接捕捉到物体表面反射或直接发射的光学信息，还原出物体特有的光学分辨信息，实现主动或被动高灵敏高速光子成像。
Description
技术领域
本发明涉及超导单光子探测技术领域，尤其是一种高速超导光子相机。
背景技术
超导纳米线单光子探测器(SNSPD)可以应用在量子通讯、单光子源标定、长距离测距、无损集成电路检测、光纤时域反射计及其传感、时间飞行深度成像等多个涉及到单光子或者高速弱光检测的领域。通常使用热岛模型来唯像地解释超导单光子探测器的工作原理：1.纳米线在超导温度下被施加一个略低于超导转变电流Ic的偏置电流(比如0.9Ic)；2.当光子被纳米线吸收后，局部区域形成热岛，热岛部分电阻升高；3.电流在热岛及其附近传输时，热岛电阻区域在焦耳热效应的协助下持续增长，并导致了纳米线电流的下降；4.纳米线上电流降低的同时减弱了电阻区的焦耳热效应；5.同时，温度高的区域向周围环境散热，总效果是电阻区域逐渐缩小；6.当温度恢复到环境温度后，电阻区域消失，纳米线上的电流恢复到初始状态。纳米线吸收光子，导致了纳米线上传导电流的变化，并在外部电路上形成可供探测的电压脉冲信号。外部电路探测到的电压脉冲幅值Vp同探测器的偏置电流Ib的关系，可以简单描述如下：
Vp＝(Ib-I0)×R×G (1)
式中，R为外部电路放大器输入端的阻抗，G为放大器的增益，I0为探测器响应光子时，电流降低的最小值。从式中可以看出超导纳米线探测器输出的电压脉冲信号只与其偏置电流和电流降低幅值有关，无法反应出探测器接收光子的数量和能量等信息。
单个超导纳米探测器的探测效率已经高于半导体雪崩光电二极管(avalanchephotodiode，APD)，但SNSPD是一种“二进制”光子探测器，只能表征是否接收到光子，无法输出光子的数量和空间位置分布的信息。所以如何让超导纳米线探测器获取更多的光子信息，是超导单光子探测器领域的一大难点，同时也是激光雷达、量子成像等领域发展所亟待克服的问题。为进一步增加所能表征的光子信息，需要使用大规模的的纳米线单光子探测器阵列，但使用多个SNSPD组成阵列还存在难度，尤其是如何读取SNSPD阵列，目前还没有特别有效的方法。SNSPD的输出信号为非对称的脉冲，信号需要被放大后才能被读出电路鉴别。这就要求要么在低温下对SNSPD阵列中每一个像元的输出进行放大，要么将每一个像元的输出通过同轴线引出至外部读出电路。但是，常规的半导体放大器内部的载流子在低温下不发生迁移，失去了放大作用，本身的功耗又会提高环境温度，因此，在低温下使用已有的半导体射频放大器读出SNSPD阵列不可行。另外，使用多跟同轴线将SNSPD阵列中每一个像元的输出连接至室温电路也不可行，这是因为，过多的同轴线会从室温引入大量热量至冷却机内部，从而提高探测器的工作温度，且过密的同轴线排布造成制作工艺的难度增加，易相互间产生串扰，降低超导纳米线的探测灵敏度。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于，提供一种高速超导光子相机，能够直接捕捉到物体表面反射或直接发射的光学信息，还原出物体特有的光学分辨信息，实现目标的距离和位置的辨识。
为解决上述技术问题，本发明提供一种高速超导光子相机，包括：多个串联排列的单像元，单像元之间用超导延迟线相互连接成为一行，多行共面排列形成阵列排布；超导纳米线和延迟线交叠串联排列构成线阵列或面阵成像单元，多个这样的像单元构成了共焦面的大阵列相机感光面。
优选的，单像元中心位置采用超导纳米线与薄膜电阻并联结构，超导纳米线和薄膜电阻两端与共面超导延迟传输线相连接。
优选的，单像元中薄膜电阻使用金属材料或其他电阻材料，阻值在5Ω～10000Ω。
优选的，设置有透镜阵列，入射光被分束成与单像元数量相等的多光束，并各自汇聚到超导纳米线探测区域，提高光敏的填充率。
优选的，阵列每行左右两端都各连接一个外部读出电路，每个单像元光响应产生的电脉冲信号沿超导延迟线向末端移动，电脉冲信号匀速传输，并被外部读出电路读取。
优选的，外部读出电路包含时钟或者同步信号源、高速模数采集模块、高精度时间计时模块和信号高速处理模块，高精度记录输出脉冲信号的相对时间，可将两端输出信号做倒置、相干运算，高速重构出空间分布情况。
本发明的有益效果为：本发明像素可以超过4-1000000像素，帧率最高可达1000帧/秒，光子探测效率最高达到98.5％，工作波段为300nm-10μm；不仅具有光子探测功能，而且能够直接捕捉到物体表面反射或直接发射的光学信息，还原出物体特有的光学分辨信息，实现目标的距离和位置的辨识。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图2为本发明的内部结构示意图。
图3为本发明的单像元结构示意图。
图4为本发明阵列透镜下的单像元原理示意图。
图5为本发明阵列透镜下的阵列器件原理示意图。
图6为本发明的相机芯片示意图。
图7为本发明其中一行或几行读出电路示意图。
图8为本发明的外部电路读出电脉冲信号示意图。
图9为本发明的5×7矩阵实施例结构示意图。
图10为本发明的黑白“0”“1”编码图。
图11为本发明的统计1024次的灰度图。
图12为本发明的灰度直方统计示意图。
具体实施方式
如图1和2所示，一种高速超导光子相机，包括：多个串联排列的单像元，单像元之间用超导延迟线相互连接成为一行，多行共面排列形成阵列排布；超导纳米线和延迟线交叠串联排列构成线阵列或面阵成像单元，多个这样的像单元构成了共焦面的大阵列相机感光面。
本发明使用超导纳米线检测入射光子；使用超导延迟线将不同像元上超导纳米线探测产生的电脉冲传输信号延迟，使得像元输出电脉冲在时间上分开；使用超导纳米线并联匹配电阻结构释放纳米线超导电性扰动带来的临时电阻态，提高纳米线超导电流；通过透镜阵列提高相机光敏面填充率；通过两端对称读出电路读取纳米线阵列响应信号，通过两端信号的倒置和相干运算反演空间光子分布信息；通过多通道高速信号处理，快速重构光子空间分布，快速获得高帧率光子分布视频信息。
本发明超导相机中，单个像元中心位置采用超导纳米线与薄膜电阻并联结构，超导纳米线和薄膜电阻两端与共面超导延迟传输线相连接。其单个像元结构如下图3所示。
本发明中单像元工作原理为：1.超导温度下，单像元被施加一个偏置电流，该电流略小于纳米线超导临界电流Ic，此时并联的电阻视为短路，视电流只流过纳米线；2.当纳米线吸收光子后，探测区域内产生热岛形成电阻，此时的电路中将超导纳米线与电阻视为并联，整个电路的阻值发生变化；3.同时，电路中电流发生变化，产生一个电脉冲信号，该脉冲信号沿超导延迟线向电路两端传输，当超导延迟线足够长时，外部电路能读出可供时间分辨的延迟信号。
单像元中电阻使用金属材料或其他电阻材料，阻值在10Ω～10000Ω。像元里超导纳米线光响应后，纳米线电阻由超导态变为电阻态，电阻在kΩ到MΩ级别，此时可视纳米线被电阻短接，电阻能起到较好的分流效果，释放纳米线内部超导电性扰动形成的临时电阻态，从而防止纳米线处于闩锁状态，提高纳米线超导电流。同时，纳米线电流下降延迟时间减少，使纳米线更快的恢复到超导态。
各像元之间采用超导延迟线连接，从而在时间上隔离不同像元之间的光子响应信号。超导延迟线设计的路径足够长，保证脉冲信号可供时间分辨。
采用特殊的光学对位系统：透镜阵列，一束入射光可被分束成与像元数量相等的多光束，并各自汇聚到到超导纳米线探测区域，提高阵列器件的填充率。透镜阵列的原理如图4与图5所示。
以单像元结构为基础，多个像元串联排列，像元之间用超导延迟线相互连接成为一行，多行共面排列形成阵列排布，单像元之间串联数量不做限定，排列行数也不做限定，本专利将这种阵列结构称为超导相机，其示意图如图6所示。
阵列每行左右两端都各连接一个外部读出电路，每个单像元光响应产生的电脉冲信号沿超导延迟线向末端移动，电脉冲信号匀速传输。假设同行中的所有像元同时相应，左端读出电路最先收到左端第一个像元的光响应电脉冲，然后依次读出的是左端第二个，第三个直至最右端像元的电脉冲信号，而右端读出电路读出的电脉冲信号顺序则相反，且电脉冲极性也相反。
将n个单元探测器串联成一行，两端分别接入放大电路进行信号读出，电路示意图如图7。偏置电流Ibi +(Ib表示偏置电流；i表示第i行；“+”表示电流输入)从左端输入，从右端流出，最终流入偏置电源的负输入端。电压脉冲从左端读出为正脉冲，从右端输出为负脉冲。在光子被超导纳米线吸收后，不妨设在纳米线上产生相应的像元位置为xa，光子被吸收的时刻为ta，同时，会产生两个极性相反的电脉冲信号，V1和V2，两电脉冲信号在纳米线中以固定的速度v向纳米线两端传输，设分别到达纳米线两端的时间为t1和t2，如图7所示。
在单像元中，纳米线左右两端连接长度相等的延迟线，电信号在各段纳米线和延迟线中的传输时间相同。设电信号在纳米线中传输的时间为2Tn，在单个延迟线中的传输时间为Td，则在n个单元探测器串联成一行的情况下，第i行、j列位置上探测器光响应的电信号传输到这一行左端和右端的时间区间如下：
左端：[ta+(2j-1)Td+2(j-1)Tn，ta+(2j-1)Td+2jTn] (2)
右端：[ta+(2n-2j+1)Td+2(n-j)Tn，ta+(2n-2j+1)Td+2(n-j+1)Tn] (3)
产生时间区间的原因为光子照射在像元中纳米线上的位置不同。由于透镜的会聚作用，光子在纳米线上响应位置的分布并不是均匀分布，而是呈纳米线中心概率高、周围概率低的聚焦式分布。就统计结果而言，我们认为光子平均响应位置为纳米线的中心位置，因此(2)、(3)式简化为如下：
左端输出时间为：t1＝ta+(2j-1)(Td+Tn) (4)
右端输出时间为：t2＝ta+(2n-2j+1)(Td+Tn) (5)
根据(4)、(5)两式，吸收光子后的单像元位置和时间(j,ta)信息与读出时间关系分别为：
如图8所示，当同一行中有n个像元同时光响应，设光响应像元被左端放大电路读出时间为τ1，τ2，τ3......τn，被右端电路读出的时间依次分别为τn’......τ3’，τ2’，τ1’。设τ1与τ1’的时间和为T1，τ2与τ2’的时间和为T2，τ3与τ3’的时间和为T3......τn与τn’的时间和为Tn。左右两端读出信号的时间和T1，T2，T3......Tn理论上与电脉冲从左端到右端传输总时间T相等，但读出信号时间实际为一个离散值，相互之间存在几百纳秒到几皮秒的时间误差，从通过将左右两端读出信号中的其中一个进行倒置，如将右端信号转换为T-τ’的值，再与另一端的读出信号进行相干运算，通过对比可确定图5中光响应像元的位置。
将产生光响应的像元编码为“1”，未产生光响应的像元编码为“0”，一束脉冲光入射后，超导相机可生成一幅黑白“0”、“1”图像。将多束光脉冲响应生成的黑白图像叠加可生成一幅带有灰度的统计图，当叠加次数足够多时该灰度图能反应所辨识物体的特有光学信息。
使用脉冲式激光器，记录下每个光子的往返总时间tr，则可以得到物体的实际所处的位置距离p：
P＝c×tr/2 (8)
c为自由空间中的光速。获得了物体的空间位置信息后，可以重建出具有深度信息的物体三维图像。
如图9到图12所示，采用一种5×7矩阵的超导相机(专利中对矩阵大小不做限定)，对每一个像元进行编码，如第三行为i行，i行往上依次递加i+1、i+2，i行往下依次递减i-1、i-2，第4列为j列，j列往左依次递减j-1、j-2、j-3，j列往右依次递加j+1、j+2、j+3，则中心位置的像元编码为Di,j；对物体表面进行光学探测，物体表面反射的不同光脉冲信号通过光学对位系统(阵列透镜)射入超导相机内的像元探测区域；通过外部电路获得超导相机的不同行上的各像元光学响应的电脉冲信号；通过程序计算出光相应像元的位置，生成黑白编码图像；最后将不同入射光脉冲生成的黑白图像叠加生成探测物体特有的光学灰度图。
本发明公开了一种高速超导光子相机，包括：大量蜿蜒结构纳米线构成的像元、片上电路方案、光耦合方案和外部读出电路方案。像元之间用延迟线相互连接成为一行或多行，这中单行或多行结构阵列排列在共焦平面，构成大面阵相机光敏面，像素可以超过4-1000000像素。本相机帧率最高可达1000帧/秒，光子探测效率最高达到98.5％，工作波段为300nm-10μm；能够实时同步探测大量光子时间和位置信息，能够直接捕捉到物体表面反射或直接发射的光学信息，还原出物体特有的光学分辨信息，实现主动或被动高灵敏高速光子成像。
Claims (6)
1.一种高速超导光子相机，其特征在于，包括：多个串联排列的单像元，单像元之间用超导延迟线相互连接成为一行，多行共面排列形成阵列排布；超导纳米线和延迟线交叠串联排列构成线阵列或面阵成像单元，多个这样的像单元构成了共焦面的大阵列相机感光面。
2.如权利要求1所述的高速超导光子相机，其特征在于，单像元中心位置采用超导纳米线与薄膜电阻并联结构，超导纳米线和薄膜电阻两端与共面超导延迟传输线相连接。
3.如权利要求2所述的高速超导光子相机，其特征在于，单像元中薄膜电阻使用金属材料或其他电阻材料，阻值在5Ω～10000Ω。
4.如权利要求1所述的高速超导光子相机，其特征在于，设置有透镜阵列，入射光被分束成与单像元数量相等的多光束，并各自汇聚到超导纳米线探测区域。
5.如权利要求1所述的高速超导光子相机，其特征在于，阵列每行左右两端都各连接一个外部读出电路，每个单像元光响应产生的电脉冲信号沿超导延迟线向末端移动，电脉冲信号匀速传输，并被外部读出电路读取。
6.如权利要求5所述的高速超导光子相机，其特征在于，外部读出电路包含时钟或者同步信号源、高速模数采集模块、高精度时间计时模块和信号高速处理模块，高精度记录输出脉冲信号的相对时间，可将两端输出信号做倒置、相干运算，高速重构出空间分布情况。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811128220.7A CN109357774B (zh) | 2018-09-27 | 2018-09-27 | 一种高速超导光子相机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811128220.7A CN109357774B (zh) | 2018-09-27 | 2018-09-27 | 一种高速超导光子相机 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109357774A true CN109357774A (zh) | 2019-02-19 |
| CN109357774B CN109357774B (zh) | 2020-12-25 |
Family
ID=65347844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201811128220.7A Active CN109357774B (zh) | 2018-09-27 | 2018-09-27 | 一种高速超导光子相机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN109357774B (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110501066A (zh) * | 2019-08-15 | 2019-11-26 | 南京大学 | 一种基于雪崩纳米线结构的超导单光子成像器 |
| CN111694043A (zh) * | 2020-07-20 | 2020-09-22 | 中派科技（深圳）有限责任公司 | 光子测量装置及光子测量设备 |
| CN111721408A (zh) * | 2020-06-28 | 2020-09-29 | 南京大学 | 一种基于超导纳米光探测阵列的电荷积分成像方法 |
| RU2793744C1 (ru) * | 2022-04-22 | 2023-04-05 | Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России) | Однофотонная видеокамера видимого и инфракрасного диапазонов на основе сверхпроводящей линии |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102353464A (zh) * | 2011-07-14 | 2012-02-15 | 清华大学 | 一种能分辨光子数的超导纳米线单光子探测器及制备方法 |
| WO2017136585A1 (en) * | 2016-02-02 | 2017-08-10 | Massachusetts Institute Of Technology | Distributed nanowire sensor for single photon imaging |
-
2018
- 2018-09-27 CN CN201811128220.7A patent/CN109357774B/zh active Active
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102353464A (zh) * | 2011-07-14 | 2012-02-15 | 清华大学 | 一种能分辨光子数的超导纳米线单光子探测器及制备方法 |
| WO2017136585A1 (en) * | 2016-02-02 | 2017-08-10 | Massachusetts Institute Of Technology | Distributed nanowire sensor for single photon imaging |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| DI ZHU ET AL.: "A scalable multi-photon coincidence detector based on superconducting nanowires", 《NATURE NANOTECHNOLOGY》 * |
| S.JAHANMIRINEJAD ET AL.: "Photon-number resolving detector based on a series array of superconducting nanowires", 《APPLIED PHYSICS LETTERS》 * |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110501066A (zh) * | 2019-08-15 | 2019-11-26 | 南京大学 | 一种基于雪崩纳米线结构的超导单光子成像器 |
| CN111721408A (zh) * | 2020-06-28 | 2020-09-29 | 南京大学 | 一种基于超导纳米光探测阵列的电荷积分成像方法 |
| CN111721408B (zh) * | 2020-06-28 | 2021-06-22 | 南京大学 | 一种基于超导纳米线光子探测阵列的电荷积分成像方法 |
| EP3929615A1 (en) * | 2020-06-28 | 2021-12-29 | Nanjing University | Three-dimensional imaging method based on superconducting nanowire photon detection array |
| CN111694043A (zh) * | 2020-07-20 | 2020-09-22 | 中派科技（深圳）有限责任公司 | 光子测量装置及光子测量设备 |
| CN111694043B (zh) * | 2020-07-20 | 2023-09-12 | 中派科技（深圳）有限责任公司 | 光子测量装置及光子测量设备 |
| RU2793744C1 (ru) * | 2022-04-22 | 2023-04-05 | Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России) | Однофотонная видеокамера видимого и инфракрасного диапазонов на основе сверхпроводящей линии |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN109357774B (zh) | 2020-12-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108152830A (zh) | 一种激光雷达扫描成像系统及其测量方法 | |
| CN109357774A (zh) | 一种高速超导光子相机 | |
| Jahromi et al. | A 32× 128 SPAD-257 TDC receiver IC for pulsed TOF solid-state 3-D imaging | |
| CN105652259B (zh) | 基于盖革模式apd阵列的激光测距读出时序电路及方法 | |
| TWI524762B (zh) | 共用飛行時間像素 | |
| US20210126025A1 (en) | Imaging Method and Apparatus | |
| CN107505608B (zh) | 激光雷达阵列接收器前端读出集成电路 | |
| Beck et al. | A highly sensitive multi-element HgCdTe e-APD detector for IPDA lidar applications | |
| Entwistle et al. | Geiger-mode APD camera system for single-photon 3D LADAR imaging | |
| JP5211008B2 (ja) | 光電変換素子、受光装置、受光システム及び測距装置 | |
| CN101285709B (zh) | 基于哈特曼波前传感器的光力学红外成像仪 | |
| US20170350967A1 (en) | LiDAR SYSTEM AND METHOD | |
| CN208028993U (zh) | 像素单元、图像传感器芯片以及成像系统 | |
| CN104483676A (zh) | 一种3d/2d非扫描激光雷达复合成像装置 | |
| CN107422392A (zh) | 一种基于单光子探测的绕角定位与追踪系统及方法 | |
| CN106772426B (zh) | 实现远距离激光高灵敏单光子成像的系统 | |
| CN207833020U (zh) | 一种激光雷达扫描成像系统 | |
| JP2010216833A (ja) | 赤外線固体撮像素子 | |
| CN101210969A (zh) | 凝视型高分辨率三维成像探测器 | |
| De Borniol et al. | A 320x256 HgCdTe avalanche photodiode focal plane array for passive and active 2D and 3D imaging | |
| CN107861252A (zh) | 一种成像装置及方法 | |
| Fathipour et al. | On the sensitivity of electron-injection detectors at low light level | |
| CN104792413A (zh) | 激光功率计 | |
| CN102662165A (zh) | 主被动复合阵列式光电探测装置 | |
| CN111721408B (zh) | 一种基于超导纳米线光子探测阵列的电荷积分成像方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Address after: 210008 No. 22, Hankou Road, Gulou District, Jiangsu, Nanjing Applicant after: NANJING University Address before: 210023 163 Xianlin Road, Qixia District, Nanjing, Jiangsu Applicant before: NANJING University |
|
| CB02 | Change of applicant information | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |