CN109283224A - 一种mems湿度传感器及其操作方法 - Google Patents

一种mems湿度传感器及其操作方法 Download PDF

Info

Publication number
CN109283224A
CN109283224A CN201811366146.2A CN201811366146A CN109283224A CN 109283224 A CN109283224 A CN 109283224A CN 201811366146 A CN201811366146 A CN 201811366146A CN 109283224 A CN109283224 A CN 109283224A
Authority
CN
China
Prior art keywords
piezoelectric
electrode
switch
unit
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201811366146.2A
Other languages
English (en)
Inventor
黄晓东
李帆
黄见秋
黄庆安
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Southeast University
Original Assignee
Southeast University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Southeast University filed Critical Southeast University
Priority to CN201811366146.2A priority Critical patent/CN109283224A/zh
Publication of CN109283224A publication Critical patent/CN109283224A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)

Abstract

本发明涉及传感器技术领域，公开了一种MEMS湿度传感器及其操作方法，该湿度传感器包括衬底、位于衬底上方的第一绝缘层，位于第一绝缘层上方且间隔设置的压电传感器单元与电致变色单元，压电传感器单元与电致变色单元的一侧之间通过显示开关单元相连，电致变色单元的另一侧设置有重置开关单元，当显示开关单元闭合且重置开关单元断开时，压电传感器单元吸湿后发生形变并产生压电电压，在压电电压作用下电致变色单元发生反应以通过颜色变化显示湿度信息。上述MEMS湿度传感器无需额外增加复杂的接口电路，通过人眼即可直接快速获得当前环境的湿度信息，具有设计和制备简单、成本低、体积小、功耗低等优点。

Description

一种MEMS湿度传感器及其操作方法
技术领域
本发明属于传感器技术领域，特别涉及一种通过颜色显示湿度的MEMS湿度传感器及其操作方法。
背景技术
湿度传感器用于对环境湿度进行测量，在气象监测、工农业生产以及医疗诊断等国计民生领域应用广泛。相比于传统的湿度传感器(如干湿球)，MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微机电系统)湿度传感器具有体积小、功耗低、一致性好、易于集成及易于实现智能化等特点，因此，是湿度传感器发展的重要方向之一。
现有的MEMS湿度传感器主要基于敏感结构(或敏感材料)将环境的湿度参量转化为电学参量(如电压、电阻或电容等)，再利用接口电路对电学参量进行检测和显示(或读出)，最终实现对环境湿度的测量。然而，接口电路的使用一方面有助于提高传感器的测量精度；另一方面，却也增加了传感器的设计与制备的难度和成本，而且增加了传感器的功耗，对于一些对传感器成本和功耗有严格要求而对其精度无高要求的领域(如智能手机等便携式消费类电子产品)，上述方案越来越难以满足技术发展的需求。
因此，如何在不增加传感器成本与功耗的前提下直接快速获得当前环境的湿度信息是急需解决的问题。
发明内容
针对现有技术存在的问题，本发明提出一种MEMS湿度显示器及其操作方法，通过压电传感器单元吸湿后发生形变并产生压电电压以将湿度信息转化为电信号，电致变色单元接收电信号并通过颜色变化来显示湿度信息，从而无需额外增加复杂的接口电路，通过人眼即可直接快速获得当前环境的湿度信息。
为了实现上述技术目的，一方面本发明实施例采用如下技术方案：
一种MEMS湿度传感器，该湿度传感器包括衬底、位于衬底上方的第一绝缘层，位于第一绝缘层上方且间隔设置的压电传感器单元与电致变色单元，压电传感器单元与电致变色单元的一侧之间通过显示开关单元相连，电致变色单元的另一侧设置有重置开关单元，当显示开关单元闭合且重置开关单元断开时，压电传感器单元吸湿后发生形变并产生压电电压，在压电电压作用下电致变色单元发生反应以通过颜色变化显示湿度信息。
进一步的，压电传感器单元包括自下而上依次设置于第一绝缘层上方的第一压电电极、压电层、第二压电电极与吸湿层。
进一步的，吸湿层的上方还设置有第二绝缘层。
进一步的，电致变色单元包括自下而上依次设置于第一绝缘层上方的第一电极、离子存储层、电解质层、电致变色层与第二电极。
进一步的，第一电极为对电极且第二电极为工作电极；或者，第一电极为工作电极且第二电极为对电极。
进一步的，显示开关单元与重置开关单元的工作状态相反。
进一步的，显示开关单元包括第一开关与第二开关，第一开关的一端与第一压电电极相连，第一开关的另一端与第一电极相连，第二开关的一端与第二压电电极相连，第二开关的另一端与第二电极相连；重置开关单元包括第三开关与第四开关，第三开关的一端与第一电极相连，第三开关的另一端与电源的一端相连；第四开关的一端与第二电极相连，第四开关的另一端与电源的另一端相连。
为了实现上述技术目的，另一方面本发明实施例还采用如下技术方案：
一种MEMS湿度传感器的操作方法，采用如上的湿度传感器，通过电致变色单元中电致变色层的颜色变化显示湿度信息，包括如下步骤：
S11、重置阶段，断开显示开关单元，闭合重置开关单元，在电源作用下电致变色单元在第一预设时间内发生反应，使电致变色层的颜色恢复到初始状态；
S12、显示阶段，断开重置开关单元，闭合显示开关单元，压电传感器单元吸湿后发生形变并产生压电电压，在压电电压作用下电致变色单元在第二预设时间内发生反应，电致变色层的颜色从初始状态变化到显示状态，电致变色层的显示状态显示湿度信息。
进一步的，步骤S11还包括：第一预设时间不小于电致变色层的颜色完全恢复到初始状态所需的时间。
进一步的，步骤S12还包括：第二预设时间不小于电致变色层的颜色维持在显示状态所需的时间。
相较于现有技术，本发明具有如下技术效果：
本发明提出了一种MEMS湿度传感器及其操作方法，该湿度传感器包括衬底、位于衬底上方的第一绝缘层，位于第一绝缘层上方且间隔设置的压电传感器单元与电致变色单元，压电传感器单元与电致变色单元的一侧之间通过显示开关单元相连，电致变色单元的另一侧设置有重置开关单元，当显示开关单元闭合且重置开关单元断开时，压电传感器单元吸湿后发生形变并产生压电电压，在压电电压作用下电致变色单元发生反应以通过颜色变化显示湿度信息。上述MEMS湿度传感器通过压电传感器单元吸湿后发生形变并产生压电电压以将湿度信息转化为电信号，电致变色单元接收电信号并通过颜色变化来显示湿度信息，从而无需额外增加复杂的接口电路，通过人眼即可直接快速获得当前环境的湿度信息，具有设计和制备简单、成本低、体积小、功耗低等优点。
附图说明
图1为本发明实施例提出的一种MEMS湿度传感器的示意图；
图2为本发明实施例提出的一种MEMS湿度传感器的电致变色单元的剖面结构示意图；
图3为本发明实施例提出的一种MEMS湿度传感器的操作方法的流程图；
图4为本发明实施例提出的又一种MEMS湿度传感器的操作方法的流程图；
其中：1、衬底；2、第一绝缘层；3、压电传感器单元；31、第一压电电极；32、压电层；33、第二压电电极；34、吸湿层；4、第二绝缘层；5、电致变色单元；51、第一电极；52、离子存储层；53、电解质层；54、电致变色层；55、第二电极；6、显示开关单元；61、第一开关；62、第二开关；7、重置开关单元；71、第三开关；72、第四开关；8、电源。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
另外，本文中术语“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
如图1所示，本发明实施例提出了一种MEMS湿度传感器，其包括：包括衬底1、位于衬底1上方的第一绝缘层2，位于第一绝缘层2上方且间隔设置的压电传感器单元3与电致变色单元5，压电传感器单元3与电致变色单元5的一侧之间通过显示开关单元6相连，电致变色单元5的另一侧设置有重置开关单元7，当显示开关单元6闭合且重置开关单元7断开时，压电传感器单元3吸湿后发生形变并产生压电电压，在压电电压作用下电致变色单元5发生反应以通过颜色变化显示湿度信息。
其中，衬底1为刚性衬底，例如硅或玻璃衬底。其形状为呈悬臂梁结构，压电传感器单元3与电致变色单元5设置在同一衬底1上有助于提高集成度、减小体积，从而满足一些对传感器集成度和体积有严格要求的领域，例如智能手机等消费类电子产品。
优选的，压电传感器单元3位于悬臂梁正上方的位置，电致变色单元5位于悬臂梁周侧的位置，可防止悬臂梁弯曲形变产生的应力对电致变色单元造成损伤，有效提高电致变色器件的寿命和可靠性。
第一绝缘层2设置于整个衬底1的上方，为厚度在100-1000nm的绝缘层，实现对压电传感器单元3的第一电极31、电致变色单元5的第一电极51与衬底1的电隔离，材质为SiO2、Si3N4、Al2O3的至少一种。
压电传感器单元3包括自下而上依次设置于第一绝缘层2上方的第一压电电极31、压电层32、第二压电电极33与吸湿层34，吸湿层34在吸湿后体积膨胀会使得吸湿层下方的各层薄膜发生形变，根据压电效应，压电层32由于形变引起的应变产生压电电压，不同的形变会产生大小不同的压电电压，从而将湿度信息转化为电信号。
具体的，第一压电电极(即下压电电极)31与第二压电电极(即上压电电极)33为厚度在50-200nm的电极层，材质为Al、Ti、TiN、Pt、Au、ITO(氧化铟锡)的至少一种。
压电层32为厚度在100-2000nm的具有压电效应的材料，优选为PZT(leadzirconate titanate，锆钛酸铅)、ZnO、AlN或聚偏氟乙烯(PVDF)。
吸湿层34为具有强吸湿能力的介质层，以进一步提高传感器单元3对环境湿度的灵敏度，优选为聚酰亚胺或氧化石墨烯。
第二绝缘层4设置于吸湿层34上方，为厚度在100-1000nm的绝缘层，实现对压电传感器单元3的第二电极33与吸湿层34的电隔离，并抑制环境湿度扩散进入压电层32以提高传感器的可靠性，材质为SiO2、Si3N4、Al2O3的至少一种。
电致变色单元5接收电信号并在压电电压的驱动下还原(或氧化)反应，并引起电致变色层发生褪色(或着色)，从而导致电致变色层的颜色改变，压电电压不同，电致变色层颜色改变的程度也不同，因此，可以根据电致变色层的颜色指示当前环境的湿度信息。
显示开关单元6包括第一开关61与第二开关62，第一开关61的一端与第一压电电极31相连，第一开关61的另一端与第一电极51相连，第二开关62的一端与第二压电电极33相连，第二开关62的另一端与第二电极52相连；
重置开关单元7包括第三开关71与第四开关72，第三开关71的一端与第一电极51相连，第三开关71的另一端与电源8的一端相连；第四开关72的一端与第二电极52相连，第四开关72的另一端与电源8的另一端相连。
显示开关单元6与重置开关单元7的工作状态相反，即如果前者闭合或断开，则后者断开或闭合。具体工作时，第一开关61与第二开关62处在相同状态，即同时闭合或断开；第三开关71与第四开关72处在相同状态，即同时断开或闭合。
第一开关61、第二开关62、第三开关71与第四开关72均为无极性开关。
电源8为恒定电压源或恒定电流源，以为电致变色单元提供恒定电压使电致变色层发生氧化(或还原)反应，使得电致变色层的颜色恢复初始状态。具体的，电源8的极性与压电传感器单元产生的压电电压的极性相反，即压电层产生的电压为正向电压，则电源8设置为反向电压，反之，如果压电传感器单元产生的压电电压为反向电压，则电源8设置为正向电压。其中，反向电压是指加在第二电极55的电势相对于对第一电极51上的电势为负，所谓正向电压则与之相反。
上述MEMS湿度传感器通过压电传感器单元吸湿后发生形变并产生压电电压以将湿度信息转化为电信号，电致变色单元接收电信号并通过颜色变化来显示湿度信息，从而无需额外增加复杂的接口电路，通过人眼即可直接快速获得当前环境的湿度信息，具有设计和制备简单、成本低、体积小、功耗低等优点。
优选的，如图2所示，电致变色单元5包括自下而上依次设置在衬底上的第一电极51、离子存储层52、电解质层53、电致变色层54、第二电极55。电致变色单元5接收电信号并通过在该电信号的驱动下发生氧化还原反应而产生对光谱吸收能带的变化，进而改变自身颜色(如从透明到非透明，或者从非透明到透明)，通过颜色变化来显示湿度信息。
优选的，电致变色层54的厚度为50nm-500nm，如果电致变色层54的厚度太薄，则颜色变化不显著，导致肉眼难以分辨颜色变化；如果电致变色层54的厚度太厚，则颜色变化或响应的时间过长，导致本发明的传感器难以在实际中应用电致变色层54的材料包括WO3、V2O5、NiO、聚苯胺或聚噻吩中的任意一种。
优选的，第一电极51为对电极且第二电极55为工作电极；或第一电极51为工作电极且第二电极55为对电极。
优选的，第二电极55为透明电极，其设置在靠近人眼观察的一侧，以便于人眼直接快速的观察到颜色变化。具体的透明电极包括氧化铟锡(ITO)、掺铝氧化锌(AZO)、掺氟氧化锡(FTO)中的任意一种。
另一方面，如图3所示，本发明实施例提出了一种MEMS湿度传感器的操作方法，采用如上的湿度传感器，通过电致变色单元5中电致变色层的颜色变化显示湿度信息，包括如下步骤：
S11、重置阶段，断开显示开关单元6，闭合重置开关单元7，在电源8作用下电致变色单元5在第一预设时间内发生反应，使电致变色层的颜色恢复到初始状态；
具体的，在电源8的作用下，电致变色单元5中的电致变色层54发生还原(或氧化)反应，并导致电致变色层54褪色(或着色)，电致变色层34的颜色被重置到初始状态。
S12、显示阶段，断开重置开关单元7，闭合显示开关单元6，压电传感器单元3吸湿后发生形变并产生压电电压，在压电电压作用下电致变色单元5在第二预设时间内发生反应，电致变色层的颜色从初始状态变化到显示状态，电致变色层的显示状态显示湿度信息。
具体的，压电传感器单元3的吸湿层34在吸湿后体积膨胀会使得吸湿层下方的各层薄膜发生形变，根据压电效应，压电层32由于形变引起的应变产生压电电压，不同的形变会产生大小不同的压电电压，在压电电压作用下，电致变色器件发生还原(或氧化)反应，并引起电致变色层发生褪色(或着色)，从而导致电致变色层的颜色改变，压电电压不同，电致变色层颜色改变的程度也不同，因此，可以根据电致变色层的颜色指示当前环境的湿度信息。
上述MEMS湿度传感器的操作方法，通过压电传感器单元吸湿后发生形变并产生压电电压以将湿度信息转化为电信号，电致变色单元接收电信号并通过颜色变化来显示湿度信息，从而无需额外增加复杂的接口电路，通过人眼即可直接快速获得当前环境的湿度信息，具有设计和制备简单、成本低、体积小、功耗低等优点。
优选的，如图4所示，在上述实施例的基础上，本发明提出的另一实施例中MEMS湿度传感器的操作方法，包括如下步骤：
S21、重置阶段，断开显示开关单元6，闭合重置开关单元7，在电源8作用下电致变色单元5在第一预设时间内发生反应，使电致变色层的颜色恢复到初始状态，第一预设时间不小于电致变色层的颜色完全恢复到初始状态所需的时间；
具体的，该阶段持续的时间不小于电致变色层54的颜色完全恢复到初始状态所需的时间。第一预设时间具体时间取决于电致变色单元所使用的材料和结构。例如，对于相同的电致变色层材料，电致变色层的厚度越薄，则颜色变化越快，相应的第一预设时间也越短；对于相同厚度的电致变色层，有机电致变色层材料(如聚苯胺)通常比无机电致变色层材料(如WO3)的颜色变化快，相应的第一预设时间也越短。
优选的，第一预设时间为1s-100s。对于WO3、V2O5、NiO、聚苯胺、聚噻吩等电致变色层材料，当其厚度在50nm–500nm时典型的颜色变化时间为1s-100s。这样既可保证电致变色层的颜色变化肉眼可以分辨，又使得颜色变化所需时间在合理范围，满足实际应用需求。
S22、显示阶段，断开重置开关单元7，闭合显示开关单元6，压电传感器单元3吸湿后发生形变并产生压电电压，在压电电压作用下电致变色单元5在第二预设时间内发生反应，电致变色层的颜色从初始状态变化到显示状态，电致变色层的显示状态显示湿度信息，第二预设时间不小于电致变色层的颜色维持在显示状态所需的时间。
具体的，该阶段持续的时间应不小于电致变色层54反应达到饱和所需的时间，以确保电致变色层54的颜色在特定湿度作用下不再发生改变。第二预设时间具体时间取决于电致变色单元所使用的材料和结构。例如，对于相同的电致变色层材料，电致变色层的厚度越薄，则颜色变化越快，相应的第二预设时间也越短；对于相同厚度的电致变色层，有机电致变色层材料(如聚苯胺)通常比无机电致变色层材料(如WO3)的颜色变化快，相应的第二预设时间也越短。
优选的，第二预设时间为1s-100s，这样设置的理由为：对于WO3、V2O5、NiO、聚苯胺、聚噻吩等电致变色层材料，当其厚度在50nm–500nm时典型的颜色变化时间为1s-100s。这样既可保证电致变色层的颜色变化肉眼可以分辨，又使得颜色变化所需时间在合理范围，满足实际应用需求。
综上，本发明提出了一种MEMS湿度传感器及其操作方法，该湿度传感器包括衬底、位于衬底上方的第一绝缘层，位于第一绝缘层上方且间隔设置的压电传感器单元与电致变色单元，压电传感器单元与电致变色单元的一侧之间通过显示开关单元相连，电致变色单元的另一侧设置有重置开关单元，当显示开关单元闭合且重置开关单元断开时，压电传感器单元吸湿后发生形变并产生压电电压，在压电电压作用下电致变色单元发生反应以通过颜色变化显示湿度信息。上述MEMS湿度传感器通过压电传感器单元吸湿后发生形变并产生压电电压以将湿度信息转化为电信号，电致变色单元接收电信号并通过颜色变化来显示湿度信息，从而无需额外增加复杂的接口电路，通过人眼即可直接快速获得当前环境的湿度信息，具有设计和制备简单、成本低、体积小、功耗低等优点。
通过以上的实施方式的描述，所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，仅以上述各功能单元的划分进行举例说明，实际应用中，可以根据需要而将上述功能分配由不同的功能单元完成，即将装置的内部结构划分成不同的功能单元，以完成以上描述的全部或者部分功能。上述描述的系统，装置和单元的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。
以上，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种MEMS湿度传感器，其特征在于，所述湿度传感器包括衬底、位于所述衬底上方的第一绝缘层，位于所述第一绝缘层上方且间隔设置的压电传感器单元与电致变色单元，所述压电传感器单元与所述电致变色单元的一侧之间通过显示开关单元相连，所述电致变色单元的另一侧设置有重置开关单元，当所述显示开关单元闭合且所述重置开关单元断开时，所述压电传感器单元吸湿后发生形变并产生压电电压，在所述压电电压作用下所述电致变色单元发生反应以通过颜色变化显示湿度信息。
2.如权利要求1所述的MEMS湿度传感器，其特征在于，所述压电传感器单元包括自下而上依次设置于所述第一绝缘层上方的第一压电电极、压电层、第二压电电极与吸湿层。
3.如权利要求2所述的MEMS湿度传感器，其特征在于，所述吸湿层的上方还设置有第二绝缘层。
4.如权利要求2所述的MEMS湿度传感器，其特征在于，所述电致变色单元包括自下而上依次设置于所述第一绝缘层上方的第一电极、离子存储层、电解质层、电致变色层与第二电极。
5.如权利要求4所述的MEMS湿度传感器，其特征在于，所述第一电极为对电极且所述第二电极为工作电极；或者，所述第一电极为工作电极且所述第二电极为对电极。
6.如权利要求5所述的MEMS湿度传感器，其特征在于，所述显示开关单元与所述重置开关单元的工作状态相反。
7.如权利要求6所述的MEMS湿度传感器，其特征在于，所述显示开关单元包括第一开关与第二开关，所述第一开关的一端与所述第一压电电极相连，所述第一开关的另一端与所述第一电极相连，所述第二开关的一端与所述第二压电电极相连，所述第二开关的另一端与所述第二电极相连；所述重置开关单元包括第三开关与第四开关，所述第三开关的一端与所述第一电极相连，所述第三开关的另一端与电源的一端相连；所述第四开关的一端与所述第二电极相连，所述第四开关的另一端与所述电源的另一端相连。
8.一种MEMS湿度传感器的操作方法，采用如权利要求1-7中任意一项所述的湿度传感器，通过所述电致变色单元中电致变色层的颜色变化显示湿度信息，包括如下步骤：
S11、重置阶段，断开所述显示开关单元，闭合所述重置开关单元，在所述电源作用下所述电致变色单元在第一预设时间内发生反应，使所述电致变色层的颜色恢复到初始状态；
S12、显示阶段，断开所述重置开关单元，闭合所述显示开关单元，所述压电传感器单元吸湿后发生形变并产生压电电压，在所述压电电压作用下所述电致变色单元在第二预设时间内发生反应，所述电致变色层的颜色从所述初始状态变化到显示状态，所述电致变色层的显示状态显示所述湿度信息。
9.如权利要求8所述的MEMS湿度传感器的操作方法，其特征在于，所述步骤S11还包括：所述第一预设时间不小于所述电致变色层的颜色完全恢复到所述初始状态所需的时间。
10.如权利要求8所述的MEMS湿度传感器的操作方法，其特征在于，所述步骤S12还包括：所述第二预设时间不小于所述电致变色层的颜色维持在所述显示状态所需的时间。
CN201811366146.2A 2018-11-16 2018-11-16 一种mems湿度传感器及其操作方法 Pending CN109283224A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811366146.2A CN109283224A (zh) 2018-11-16 2018-11-16 一种mems湿度传感器及其操作方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811366146.2A CN109283224A (zh) 2018-11-16 2018-11-16 一种mems湿度传感器及其操作方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN109283224A true CN109283224A (zh) 2019-01-29

Family

ID=65175841

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811366146.2A Pending CN109283224A (zh) 2018-11-16 2018-11-16 一种mems湿度传感器及其操作方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109283224A (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109793291A (zh) * 2019-02-19 2019-05-24 京东方科技集团股份有限公司 一种服装
CN109870482A (zh) * 2019-03-19 2019-06-11 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种气敏传感器及其制备方法
CN112683956A (zh) * 2021-01-13 2021-04-20 山东交通学院 基于电势差的气体湿度的探测系统
CN114034744A (zh) * 2021-11-05 2022-02-11 电子科技大学 一种高性能自驱动湿度传感器及其制备方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103630582A (zh) * 2013-12-11 2014-03-12 江苏物联网研究发展中心 一种mems湿度传感器及制备方法
CN104833710A (zh) * 2015-05-25 2015-08-12 东南大学 一种无线无源mems湿度传感器及其制备方法
CN105502282A (zh) * 2015-11-30 2016-04-20 上海集成电路研发中心有限公司 一种mems湿度传感器的制造方法
CN205786446U (zh) * 2016-07-07 2016-12-07 苏州能斯达电子科技有限公司 一种基于mems的压电式湿度传感器
CN207133149U (zh) * 2017-07-31 2018-03-23 成都信息工程大学 一种qcm湿度传感器
CN108534930A (zh) * 2018-03-23 2018-09-14 京东方科技集团股份有限公司 压力可视化装置及其制备方法、检测设备

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103630582A (zh) * 2013-12-11 2014-03-12 江苏物联网研究发展中心 一种mems湿度传感器及制备方法
CN104833710A (zh) * 2015-05-25 2015-08-12 东南大学 一种无线无源mems湿度传感器及其制备方法
CN105502282A (zh) * 2015-11-30 2016-04-20 上海集成电路研发中心有限公司 一种mems湿度传感器的制造方法
CN205786446U (zh) * 2016-07-07 2016-12-07 苏州能斯达电子科技有限公司 一种基于mems的压电式湿度传感器
CN207133149U (zh) * 2017-07-31 2018-03-23 成都信息工程大学 一种qcm湿度传感器
CN108534930A (zh) * 2018-03-23 2018-09-14 京东方科技集团股份有限公司 压力可视化装置及其制备方法、检测设备

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
姚素瑜: ""MEMS湿度传感器的研究"", 《东南大学硕士学位论文》 *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109793291A (zh) * 2019-02-19 2019-05-24 京东方科技集团股份有限公司 一种服装
CN109870482A (zh) * 2019-03-19 2019-06-11 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种气敏传感器及其制备方法
CN112683956A (zh) * 2021-01-13 2021-04-20 山东交通学院 基于电势差的气体湿度的探测系统
CN112683956B (zh) * 2021-01-13 2022-08-23 山东交通学院 基于电势差的气体湿度的探测系统
CN114034744A (zh) * 2021-11-05 2022-02-11 电子科技大学 一种高性能自驱动湿度传感器及其制备方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109283224A (zh) 一种mems湿度传感器及其操作方法
Kai et al. Intrinsically stretchable electrochromic display by a composite film of poly (3, 4-ethylenedioxythiophene) and polyurethane
Yun et al. Dual-function electrochromic supercapacitors displaying real-time capacity in color
CN108534930B (zh) 压力可视化装置及其制备方法、检测设备
CN105070720B (zh) 集成有传感器的显示面板及其制作方法和显示装置
US10216317B2 (en) Touch screen, display device and method of operating display device
EP1708016B1 (en) Electrochromic display device and method of making such a device
CN103780143B (zh) 一种压电纳米发电机、眼球移动监控传感器及其监控方法
CN202453619U (zh) 一种两个电极在同一基底材料上的电致变色显示器件
CN109031840B (zh) 电致变色组件及电子设备
CN1271468A (zh) 具有印制电子元件的电池测试器
CN107342308A (zh) 一种有机发光显示面板和电子设备
RU2008134910A (ru) Маломощный реконфигурируемый дисплей для мобильных устройств
CN110417397B (zh) 电致变色的柔性压阻电子开关
CN108681171A (zh) 光学元件、显示器件及电子设备
CN103778867B (zh) 一种自驱动可视化电子皮肤
ES2895181T3 (es) Método y sistema de controlador autónomo y autoalimentado
CN109612610A (zh) 一种基于水凝胶的可变色电子皮肤及其制备方法
TW200904116A (en) Mobile device
CN109272919A (zh) 像素驱动电路、显示基板、终端及其驱动方法
CN109520647A (zh) 一种通过颜色指示压力的mems压力传感器及其测量方法
CN107077584A (zh) 用于使能从触摸屏装置读取信息的装置和方法
US20140176615A1 (en) Transparent display using selective light filtering
CN107402488A (zh) 电致变色元件的驱动方法及决定褪色电压的方法
CN106845322A (zh) 触摸唤醒的指纹成像传感器和指纹成像模组

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20190129

RJ01 Rejection of invention patent application after publication