CN109142324A - 一种应用于电感耦合等离子体发射光谱仪的光源检测rf射频电源的保护方法 - Google Patents
一种应用于电感耦合等离子体发射光谱仪的光源检测rf射频电源的保护方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109142324A CN109142324A CN201810874438.0A CN201810874438A CN109142324A CN 109142324 A CN109142324 A CN 109142324A CN 201810874438 A CN201810874438 A CN 201810874438A CN 109142324 A CN109142324 A CN 109142324A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- power supply
- signal
- supply control
- radio
- control system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/71—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited
- G01N21/73—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited using plasma burners or torches
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
本发明公开了一种应用于电感耦合等离子体发射光谱仪的光源检测RF射频电源的保护方法,包括ICP火焰燃烧室、光信号采集系统、光电转换系统、状态判断系统、RF电源控制系统、RF频电源、匹配负载和上位机人机界面,所述光信号采集系统采集ICP火焰燃烧室内的火焰,该光信号采集系统输出端连接有光电转换系统,光电转换系统将信号传输出到状态判断系统,状态判断系统输出端连接有RF电源控制系统,该RF电源控制系统将状态信号传送至上位机人机界面,上位机人机界面输出端连接RF电源控制系统将控制信号传送至RF电源控制系统,RF电源控制系统将RF电源控制信号传输至RF射频电源,RF射频电源匹配负载,本装置用于ICP火焰的监测,将监测的反馈信号做高低电平信号反馈给主控系统,作为火焰有无的判断信号,且设计成本低,监测控制准确,安全性高。
Description
技术领域
本发明属于检测信号领域,尤其涉及一种应用于电感耦合等离子体发射光谱仪的光源检测RF射频电源的保护方法。
背景技术
火焰监测装置用于ICP火焰的监测,将监测的反馈信号做高低电平信号反馈给主控系统,作为火焰有无的判断信号,目前市场使用一般通过侧面现象来反应火焰的有无,不能直观的来监测,且设计成本高,不适宜推广。
发明内容
本发明的目的是提供一种应用于电感耦合等离子体发射光谱仪的光源检测RF射频电源的保护方法,解决现有技术中存在的无直观监测和反馈有无火焰,且本设计成本低,监测控制准确,安全性高。
为了达到上述目的,本发明采用以下技术方案实现:
一种应用于电感耦合等离子体发射光谱仪的光源检测RF射频电源的保护方法,包括ICP火焰燃烧室、光信号采集系统、光电转换系统、状态判断系统、RF电源控制系统、RF频电源、匹配负载和上位机人机界面,所述光信号采集系统采集ICP火焰燃烧室内的火焰,该光信号采集系统输出端连接有光电转换系统,光电转换系统将信号传输出到状态判断系统,状态判断系统输出端连接有RF电源控制系统,该RF电源控制系统将状态信号传送至上位机人机界面,上位机人机界面输出端连接RF电源控制系统将控制信号传送至RF电源控制系统, RF电源控制系统将RF电源控制信号传输至RF射频电源,RF射频电源匹配负载。
进一步的:所述光信号采集系统采用1mm直径的塑料光纤,有 0.2dB/m的常见衰减,波长范围在650nm±15nm。
进一步的:所述ICP火焰燃烧室采用密封设计,避免辐射泄漏。
更进一步的:所述光电转换系统采用光纤信号检测光源,将检测到的光信号连接到光纤收发器,光纤收发器可以选用波长为600nm的接收器,接收器工作电压+5V,当有相应波长信号输入时光纤接收器反馈高电平5V,无相应波长信号输出时输出电压0V,从而将收接收的光信号的有无,用高低电平来反馈。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
本装置用于ICP火焰的监测,将监测的反馈信号做高低电平信号反馈给主控系统,作为火焰有无的判断信号,且设计成本低,监测控制准确,安全性高。
附图说明:
图1为本发明的工作流程图;
图2为本发明实施例一的工作设计原理流程图;
图3为本发明实施例二的工作设计原理流程图。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明作进一步说明,以使本领域的技术人员可以更好的理解本发明予以实施,但所举实施例不作为本发明的限定。
一种应用于电感耦合等离子体发射光谱仪的光源检测RF射频电源的保护方法,包括ICP火焰燃烧室、光信号采集系统、光电转换系统、状态判断系统、RF电源控制系统、RF频电源、匹配负载和上位机人机界面,所述光信号采集系统采集ICP火焰燃烧室内的火焰,该光信号采集系统输出端连接有光电转换系统,光电转换系统将信号传输出到状态判断系统,状态判断系统输出端连接有RF电源控制系统,该RF电源控制系统将状态信号传送至上位机人机界面,上位机人机界面输出端连接RF电源控制系统将控制信号传送至RF电源控制系统, RF电源控制系统将RF电源控制信号传输至RF射频电源,RF射频电源匹配负载。
光信号采集系统:
采用1mm直径的塑料光纤,有0.2dB/m的常见衰减,波长范围在 650nm±15nm,由于光谱仪器在设计使用中,燃烧室部分都采用密封设计,主要是由于激发源发出的光具有较强的光辐射,目前市场使用工作频率一般是27.12MHz或者40.68MHz,为了避免辐射泄漏,密封设计是必须的。
光电转换系统:
检测信号为光信号,在实际使用中,需要就行光电信号转换,通常采用PMT对检测的光信号进行处理,但是由于PMT成本太高,方案设计复杂,本设计直接采用光纤信号检测光源,将检测到的光信号连接到光纤收发器,光纤收发器可以选用波长为600nm的接收器,接收器工作电压+5V,当有相应波长信号输入时光纤接收器反馈高电平5V,无相应波长信号输出时输出电压0V,从而将收接收的光信号的有无,用高低电平来反馈。
工作流程:
ICP火焰为仪器装置要检测的对象,火焰的光信号通过光信号采集系统传送到光电转化系统,然后将光信号转换为电信号,光电信号转化后通过状态转换系统,将检测信号转化为高低电平信号,高信号设置为有火焰,低信号设置为无火焰,然后将状态信号传送给RF电源控制系统,RF电源控制系统可以通过硬件保护实施,或者通过软件方式进行控制实施,当仪器工作过程中出现无火焰信号时,可以及时的通过硬件或者软件的保护方式进行保护。
实例一:
ICP单道仪器中设计的一款软件保护功能的火焰检测装置设置,工作设计原理:
整个检测保护系统由光纤、火焰检测板、RF控制板、上位机软件组成,光纤采用直径1mm的光纤组成,通过光的波长为600nm,火焰检测板由光纤接收器和逻辑判断电路,以及信号滤波电路组成,逻辑判断电路通过接收器的转化信号转换为高低电平信号,传送给主控系统,一般由FPGA作为主要信号处理芯片,通过网口通讯将信号传送至上位机软件,当仪器正常工作时,如果上位机软件接收到信号为高电平信号,判断为工作正常,不对RF电源做任何操作,如果上位机接收到信号为低电平,判断为无火焰,RF电源工作异常,上位机软件发送关闭电源控制信号,及时对电源进行保护。
实施例二:
ICP单道仪器中设计的一款硬件保护功能的火焰检测装置设置,工作设计原理:
火焰检测电源保护系统由光纤、火焰检测板、RF控制板组成。
和软件保护控制系统设计采用同样的光纤和火焰检测板,当火焰检测板测到无火焰信号时,反馈给RF电源控制系统,由控制系统板直接执行关闭RF电源,起到硬件及时保护的作用。同时将检测信号反馈给上位机软件作为状态异常检测信号显示的信号来源。
软件控制系统和硬件控制系统,主要的是光纤和火焰检测板组成,光信号采集和光接收装置,采用600nm的光纤和600nm的光纤接收器,保证采集火焰状态的准确性。
以上实例描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (4)
1.一种应用于电感耦合等离子体发射光谱仪的光源检测RF射频电源的保护方法,包括ICP火焰燃烧室、光信号采集系统、光电转换系统、状态判断系统、RF电源控制系统、RF频电源、匹配负载和上位机人机界面,所述光信号采集系统采集ICP火焰燃烧室内的火焰,该光信号采集系统输出端连接有光电转换系统,光电转换系统将信号传输出到状态判断系统,状态判断系统输出端连接有RF电源控制系统,该RF电源控制系统将状态信号传送至上位机人机界面,上位机人机界面输出端连接RF电源控制系统将控制信号传送至RF电源控制系统,RF电源控制系统将RF电源控制信号传输至RF射频电源,RF射频电源匹配负载。
2.根据权利要求1所述的一种应用于电感耦合等离子体发射光谱仪的光源检测RF射频电源的保护方法,其特征在于:所述光信号采集系统采用1mm直径的塑料光纤,有0.2dB/m的常见衰减,波长范围在650nm±15nm。
3.根据权利要求1所述的一种应用于电感耦合等离子体发射光谱仪的光源检测RF射频电源的保护方法,其特征在于:所述ICP火焰燃烧室采用密封设计,避免辐射泄漏。
4.如权利要求3所述的一种应用于电感耦合等离子体发射光谱仪的光源检测RF射频电源的保护方法,其特征在于:所述光电转换系统采用光纤信号检测光源,将检测到的光信号连接到光纤收发器,光纤收发器可以选用波长为600nm的接收器,接收器工作电压+5V,当有相应波长信号输入时光纤接收器反馈高电平5V,无相应波长信号输出时输出电压0V,从而将收接收的光信号的有无,用高低电平来反馈。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810874438.0A CN109142324A (zh) | 2018-08-03 | 2018-08-03 | 一种应用于电感耦合等离子体发射光谱仪的光源检测rf射频电源的保护方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810874438.0A CN109142324A (zh) | 2018-08-03 | 2018-08-03 | 一种应用于电感耦合等离子体发射光谱仪的光源检测rf射频电源的保护方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN109142324A true CN109142324A (zh) | 2019-01-04 |
Family
ID=64798822
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201810874438.0A Pending CN109142324A (zh) | 2018-08-03 | 2018-08-03 | 一种应用于电感耦合等离子体发射光谱仪的光源检测rf射频电源的保护方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN109142324A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110166131A (zh) * | 2019-06-28 | 2019-08-23 | 厦门佰顺兴自动化科技有限公司 | 一种等离子喷涂防烧枪方法及系统 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1987375A (zh) * | 2006-12-22 | 2007-06-27 | 上海神明控制工程有限公司 | 火检测试仪 |
CN102065623A (zh) * | 2010-10-21 | 2011-05-18 | 北京纳克分析仪器有限公司 | 全数字功率可调电感耦合等离子体射频光源 |
WO2011062630A1 (en) * | 2009-11-20 | 2011-05-26 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Photonic measurement instrument using non-solarizing uv grade fiber optics |
CN103630235A (zh) * | 2013-11-22 | 2014-03-12 | 中国地质大学(武汉) | 一种icp光源火焰状态检测装置及检测方法 |
CN104568801A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-04-29 | 重庆川仪自动化股份有限公司 | 紫外气体分析仪中的光源控制方法 |
CN104597785A (zh) * | 2014-12-09 | 2015-05-06 | 中国地质大学(武汉) | 一种icp离子源自动点火控制方法 |
CN105067595A (zh) * | 2015-07-24 | 2015-11-18 | 中国地质大学(武汉) | 一种icp离子源火焰检测位置的调整方法及调整装置 |
-
2018
- 2018-08-03 CN CN201810874438.0A patent/CN109142324A/zh active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1987375A (zh) * | 2006-12-22 | 2007-06-27 | 上海神明控制工程有限公司 | 火检测试仪 |
WO2011062630A1 (en) * | 2009-11-20 | 2011-05-26 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Photonic measurement instrument using non-solarizing uv grade fiber optics |
CN102065623A (zh) * | 2010-10-21 | 2011-05-18 | 北京纳克分析仪器有限公司 | 全数字功率可调电感耦合等离子体射频光源 |
CN103630235A (zh) * | 2013-11-22 | 2014-03-12 | 中国地质大学(武汉) | 一种icp光源火焰状态检测装置及检测方法 |
CN104597785A (zh) * | 2014-12-09 | 2015-05-06 | 中国地质大学(武汉) | 一种icp离子源自动点火控制方法 |
CN104568801A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-04-29 | 重庆川仪自动化股份有限公司 | 紫外气体分析仪中的光源控制方法 |
CN105067595A (zh) * | 2015-07-24 | 2015-11-18 | 中国地质大学(武汉) | 一种icp离子源火焰检测位置的调整方法及调整装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110166131A (zh) * | 2019-06-28 | 2019-08-23 | 厦门佰顺兴自动化科技有限公司 | 一种等离子喷涂防烧枪方法及系统 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN104122428A (zh) | 一种采用光纤传输模拟信号的电子式电流互感器 | |
CN109142324A (zh) | 一种应用于电感耦合等离子体发射光谱仪的光源检测rf射频电源的保护方法 | |
CN108375555A (zh) | 光纤甲烷传感模块、光纤多点光电式甲烷传感器及系统 | |
CN102244511A (zh) | 远距离红外光电开关专用集成电路及使用该集成电路的远距离红外光电开关 | |
CN105044482B (zh) | 具有温度测量功能的光纤电弧光传感装置及其测量方法 | |
CN105813344A (zh) | 一种光模块的光功率控制系统及其控制方法 | |
CN103575390B (zh) | 一种高精度的多通道火焰检测器 | |
WO2017031729A1 (zh) | 无反馈式通讯转换器及其通讯方法 | |
CN109802489B (zh) | 一种基于电力线载波的太阳能光伏板测控通信系统 | |
CN104748842A (zh) | 一种弧光传感器的在线检测方法和系统 | |
CN204789880U (zh) | 一种配电变压器局部放电定位检测装置 | |
CN104280598B (zh) | 一种微波炉的电源检测方法及其检测系统 | |
CN207336376U (zh) | 一种新型卷烟机水松纸接头检测装置 | |
CN107192715B (zh) | 一种新型卷烟机水松纸接头检测装置 | |
CN203069264U (zh) | 一种多探头光纤可见光传感器 | |
CN104135812A (zh) | 一种基于等离子体发光强度检测的射频离子源保护装置 | |
CN115420331A (zh) | 一种智能化固态功率源监控系统 | |
CN101325459A (zh) | 用于保护光无源网络的光纤线路保护仪 | |
CN111123297B (zh) | 一种适用于北斗卫星导航信号的拉远系统 | |
CN204301857U (zh) | 光功率计 | |
CN204886972U (zh) | 带射频检测功能的光纤放大器 | |
CN102521959B (zh) | 无反馈式通讯转换器及其通讯方法 | |
CN201965015U (zh) | 一种光学器件的测试系统 | |
CN204014245U (zh) | 一种基于等离子体发光强度检测的射频离子源保护装置 | |
CN205610841U (zh) | 数字电视发射机监控系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20190104 |
|
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |