CN109115363A - 一种基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器 - Google Patents
一种基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109115363A CN109115363A CN201811199498.3A CN201811199498A CN109115363A CN 109115363 A CN109115363 A CN 109115363A CN 201811199498 A CN201811199498 A CN 201811199498A CN 109115363 A CN109115363 A CN 109115363A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- medium
- surface plasma
- plasma body
- resonant vibration
- body resonant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K11/00—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00
- G01K11/32—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00 using changes in transmittance, scattering or luminescence in optical fibres
- G01K11/3206—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00 using changes in transmittance, scattering or luminescence in optical fibres at discrete locations in the fibre, e.g. using Bragg scattering
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
本发明属于光电检测技术领域,提出了一种基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器。该传感光纤为实心的光子晶体光纤,光子晶体光纤的介质孔以纤芯为中心呈正六边形多层排布,由纤芯向外的第二层六边形介质孔层的相对边中心位置的两个介质孔内壁分别镀有金属薄膜,所述金属薄膜采用能产生表面等离子体共振的金属材料;所述镀有金属薄膜的一个介质孔及同层相邻的两个介质孔中填充介质A,所述介质A的折射率与温度间为负相关关系;介质A未填充的所有介质孔中填充介质B,所述介质B的折射率不受温度影响。解决了温度传感中应变对测量结果准确性的影响问题。该温度传感器耐腐蚀,不易受电磁干扰,可以应用在苛刻的检测环境。
Description
技术领域
本发明属于光电检测技术领域,涉及一种基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器。
背景技术
在石油化工、钢铁、核电等工业领域的诸多生产环节中,对温度量值的准确测量不仅关系生产质量,更关系到生产的安全。由于在防爆要求较高、电磁干扰较强和强腐蚀环境中电子式温度传感设备无法使用,而光纤设备具有本征安全、抗电磁干扰、抗强腐蚀的特点,因此光纤温度传感技术成为温度传感的重要方向之一。目前光纤温度传感方法主要利用光纤光栅、光纤谐振腔作为传感器测量被测环境的温度。但是由于光纤光栅和光纤谐振腔对应力也敏感,因此在测量温度的同时,测量结果会受到应力的影响。此外,光纤光栅和光纤谐振腔的温度灵敏度不够高,例如,光纤光栅的温度灵敏度为0.01nm/℃,而目前通用的光谱仪的光波长分辨力只有0.02nm,因此无法实现高精度的温度测量。
表面等离子体共振现象是一种非线性光学现象,当满足一定条件的光透过光介质照射到金属表面时,会将光能传递给电子,形成等离子体,这一现象为表面等离子体共振,产生表面等离子体共振最强烈时所对应的光波长即为表面等离子体共振波长。由于表面等离子体共振波长对光介质折射率有较高的灵敏度,同时利用光子晶体光纤的结构特点,光纤表面等离子体技术广泛应用于高灵敏度介质折射率测量,进一步,利用介质的折射率与介质温度间的关系实现温度测量。由于光子晶体光纤和金属的几何尺寸和结构同样会影响共振波长,因此当光纤传感器收到应力影响产生应变时,会使温度的测量结果产生偏差。但是目前的基于表面等离子体共振技术的光纤传感器无法消除应变对测量结果的影响。
发明内容
为了克服现有光纤温度传感器的不足,本发明提出了一种基于表面等离子体共振技术且能实现应变补偿的光纤温度传感器。传感器两个产生表面等离子共振的介质孔中一个填充折射率不随温度变化的介质材料,一个填充折射率随温度变化的介质材料,由于填充介质的不同,产生的两个表面等离子体共振现象的共振波长位置、共振波长随温度和应变移动的特点均不相同。通过测量两个共振波长的移动量解算出应变,并进而计算出应变补偿后的温度值。
具体技术方案为:
一种基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器,主要结构为传感光纤,该传感光纤为实心的光子晶体光纤,光子晶体光纤的介质孔以纤芯为中心呈正六边形多层排布,介质孔排布层数至少两层,介质孔的直径与任意两个相邻的介质孔间距离的比值是3:5,由纤芯向外的第二层六边形介质孔层的相对边中心位置的两个介质孔内壁分别镀有金属薄膜,所述金属薄膜采用能产生表面等离子体共振的金属材料;所述镀有金属薄膜的一个介质孔及同层相邻的两个介质孔中填充介质A,所述介质A的折射率与温度间为负相关关系,即介质A的折射率随温度的升高而降低;介质A未填充的所有介质孔中填充介质B,所述介质B的折射率不受温度影响,即填充介质B的折射率不随温度发生变化。
进一步地,上述介质孔间距离为2μm。
进一步地,上述传感光纤外包裹保护套管。
进一步地,上述保护套管材料为石英或有机玻璃。
进一步地,上述金属薄膜厚度为20nm~60nm。
进一步地,上述金属薄膜的金属材料为金或银。
进一步地,上述介质A为二甘醇。
进一步地,上述介质B为空气。
上述基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器的测量原理是:由于介质A的折射率随温度发生变化,而介质B的折射率不随温度发生变化,为表述方便,令填充介质A的介质孔内镀的金属薄膜为金属薄膜A,未填充介质A的介质孔内镀的金属薄膜为金属薄膜B,因此,当环境温度发生变化时,金属薄膜A的表面等离子体共振波长由于填充介质A折射率变化而产生移动,而金属薄膜B的表面等离子体共振波长不发生变化;当传感器产生应变时,金属薄膜A和金属薄膜B的表面等离子共振波长分别以不同速率随应变产生移动,因此,通过观测金属薄膜B的表面等离子体共振波长移动量可测得应变值,结合观测到的金属薄膜A的表面等离子体共振波长移动总量,可以分别计算出金属薄膜A的表面等离子体共振波长受应变影响产生的移动量和受温度变化影响产生的移动量,进而求出温度值。
本发明具有以下有益效果:
本发明提出的基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器,解决了温度传感中应变对测量结果准确性的影响问题。该温度传感器耐腐蚀,不易受电磁干扰,可以应用在苛刻的检测环境。
附图说明
图1为本发明提供的基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器结构示意图;
图2为本发明提供的传感光纤结构示意图。
图3为本发明提供的基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器在不同温度下的光谱图;
图4为本发明提供的金属薄膜A的表面等离子共振波长随温度变化曲线图;
图5为本发明提供的金属薄膜A和金属薄膜B的表面等离子共振波长随应变变化曲线图。
图中:11保护套管;12传感光纤;131介质孔A;132介质孔B;133介质孔C;134介质孔D;141金属薄膜A;142金属薄膜B;15光子晶体光纤。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白,以下结合具体实施例,并参照附图,对本发明的具体结构、原理以及工作过程作进一步的详细说明。
如图1所示为本发明提出的基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器结构图。所述的基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器由保护套管11和传感光纤12组成。保护套管11外径为1mm,采用石英材质,用于保护传感光纤不受被测环境影响产生折断等损坏。如图2所示为传感光纤12的结构图。传感光纤12由光子晶体光纤15、金属薄膜A141、金属薄膜B142、填充介质A和填充介质B组成,在光子晶体光纤15的介质孔B132内表面镀有金属薄膜A141,介质孔D134的内表面镀有金属薄膜B142,金属薄膜A141和金属薄膜B142是可以产生表面等离子体共振现象的金属,选用金,厚度通常为40nm。介质孔A131、介质孔B132、介质孔C133中为介质A,其余所有介质孔中为介质B,其中,介质A的折射率随温度产生变化,介质B的折射率随温度不产生变化,在本发明的可行性验证中,介质A为二甘醇,介质B为空气。
本发明提出的基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器的工作原理是:当环境温度发生变化时,介质A的折射率同时发生变化,介质B的折射率不发生变化,由于共振波长与填充介质折射率有关,因此,金属薄膜A141的表面等离子体共振波长发生变化,金属薄膜B142的表面等离子体共振波长不发生变化,如图3所示,其中,金属薄膜A141的表面等离子体共振波长随温度呈现线性变化趋势,斜率为6.8nm/℃,如图4所示;当光纤收到外界力的作用时,光纤横截面由圆形变成椭圆形,受几何形状变化的影响,金属薄膜A141和金属薄膜B142的表面等离子体共振波长均发生变化,如图5所示,金属薄膜A141和金属薄膜B142的表面等离子体共振波长随应变呈现不同斜率的线性变化,斜率分别为1318nm/ε和190nm/ε。
Claims (10)
1.一种基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器,其特征在于,主要结构为传感光纤,该传感光纤为实心的光子晶体光纤,光子晶体光纤的介质孔以纤芯为中心呈正六边形多层排布,介质孔排布层数至少两层,介质孔的直径与任意两个相邻的介质孔间距离的比值是3:5,由纤芯向外的第二层六边形介质孔层的相对边中心位置的两个介质孔内壁分别镀有金属薄膜,所述金属薄膜采用能产生表面等离子体共振的金属材料;所述镀有金属薄膜的一个介质孔及同层相邻的两个介质孔中填充介质A,所述介质A的折射率与温度间为负相关关系;介质A未填充的所有介质孔中填充介质B,所述介质B的折射率不受温度影响。
2.根据权利要求1所述基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器,其特征在于,所述介质孔间距离为2μm。
3.根据权利要求1所述基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器,其特征在于,传感光纤外包裹保护套管。
4.根据权利要求3所述基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器,其特征在于,保护套管材料为石英或有机玻璃。
5.根据权利要求1或2或3或4所述基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器,其特征在于,所述金属薄膜厚度为20nm~60nm。
6.根据权利要求5所述基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器,其特征在于,所述金属薄膜的金属材料为金或银。
7.根据权利要求1或2或3或4或6所述基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器,其特征在于,介质A为二甘醇。
8.根据权利要求5所述基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器,其特征在于,介质A为二甘醇。
9.根据权利要求1或2或3或4或6或8所述基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器,其特征在于,介质B为空气。
10.根据权利要求5所述基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器,其特征在于,介质B为空气。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811199498.3A CN109115363B (zh) | 2018-10-15 | 2018-10-15 | 一种基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811199498.3A CN109115363B (zh) | 2018-10-15 | 2018-10-15 | 一种基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN109115363A true CN109115363A (zh) | 2019-01-01 |
CN109115363B CN109115363B (zh) | 2023-09-22 |
Family
ID=64854591
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201811199498.3A Active CN109115363B (zh) | 2018-10-15 | 2018-10-15 | 一种基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN109115363B (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111443420A (zh) * | 2020-04-16 | 2020-07-24 | 燕山大学 | 一种宽带微结构光纤偏振滤波器 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007263736A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Fdk Corp | 表面プラズモン共鳴センサを用いた測定システム |
CN105371981A (zh) * | 2015-11-23 | 2016-03-02 | 大连理工大学 | 内壁镀银液晶填充空心光纤表面等离子体共振温度传感器 |
CN105911025A (zh) * | 2016-06-27 | 2016-08-31 | 武汉理工大学 | 一种分布式螺旋芯光纤表面等离子体共振传感器及其测量方法 |
CN105911026A (zh) * | 2016-06-27 | 2016-08-31 | 武汉理工大学 | 一种终端反射型螺旋芯光纤表面等离子体共振传感器 |
CN107525605A (zh) * | 2017-10-26 | 2017-12-29 | 深圳大学 | 一种基于表面等离子体共振的温度传感器及其制备方法 |
CN107607217A (zh) * | 2017-08-22 | 2018-01-19 | 哈尔滨工程大学 | 基于高双折射光子晶体光纤表面等离子共振的温度压力一体化传感装置及测量方法 |
CN107860492A (zh) * | 2017-11-06 | 2018-03-30 | 北京科技大学 | 一种基于spr的光子晶体光纤温度传感器 |
CN107894292A (zh) * | 2017-11-17 | 2018-04-10 | 中国计量大学 | 基于光纤表面等离子体共振的折射率温度双参数测量方法及装置 |
CN208672179U (zh) * | 2018-10-15 | 2019-03-29 | 辽宁省计量科学研究院 | 一种基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器 |
-
2018
- 2018-10-15 CN CN201811199498.3A patent/CN109115363B/zh active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007263736A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Fdk Corp | 表面プラズモン共鳴センサを用いた測定システム |
CN105371981A (zh) * | 2015-11-23 | 2016-03-02 | 大连理工大学 | 内壁镀银液晶填充空心光纤表面等离子体共振温度传感器 |
CN105911025A (zh) * | 2016-06-27 | 2016-08-31 | 武汉理工大学 | 一种分布式螺旋芯光纤表面等离子体共振传感器及其测量方法 |
CN105911026A (zh) * | 2016-06-27 | 2016-08-31 | 武汉理工大学 | 一种终端反射型螺旋芯光纤表面等离子体共振传感器 |
CN107607217A (zh) * | 2017-08-22 | 2018-01-19 | 哈尔滨工程大学 | 基于高双折射光子晶体光纤表面等离子共振的温度压力一体化传感装置及测量方法 |
CN107525605A (zh) * | 2017-10-26 | 2017-12-29 | 深圳大学 | 一种基于表面等离子体共振的温度传感器及其制备方法 |
CN107860492A (zh) * | 2017-11-06 | 2018-03-30 | 北京科技大学 | 一种基于spr的光子晶体光纤温度传感器 |
CN107894292A (zh) * | 2017-11-17 | 2018-04-10 | 中国计量大学 | 基于光纤表面等离子体共振的折射率温度双参数测量方法及装置 |
CN208672179U (zh) * | 2018-10-15 | 2019-03-29 | 辽宁省计量科学研究院 | 一种基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111443420A (zh) * | 2020-04-16 | 2020-07-24 | 燕山大学 | 一种宽带微结构光纤偏振滤波器 |
CN111443420B (zh) * | 2020-04-16 | 2021-07-30 | 燕山大学 | 一种宽带微结构光纤偏振滤波器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN109115363B (zh) | 2023-09-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Kuang et al. | Packaging and temperature compensation of fiber Bragg grating for strain sensing: a survey | |
CN109029778B (zh) | 一种基于表面等离子体共振的温度测量装置及方法 | |
CN109142781B (zh) | 一种基于表面等离子体共振的风速测量装置及方法 | |
Zhao et al. | A practical FBG pressure sensor based on diaphragm-cantilever | |
CN105333833B (zh) | 温度无关的光纤光栅应变传感器 | |
CN104596435B (zh) | 一种基于mems工艺的腔长可调光纤f‑p应变计及成型方法 | |
CN104501729B (zh) | 一种基于mems工艺的光纤f-p应变计及成型方法 | |
CN208672179U (zh) | 一种基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器 | |
Xia et al. | A high-temperature resistant photonic crystal fiber sensor with single-side sliding Fabry-Perot cavity for super-large strain measurement | |
CN102944328B (zh) | 折射率不敏感的温度传感器的制备方法及测量装置 | |
CN110823121A (zh) | 一种f-p腔型高温大应变光纤传感器 | |
Shao et al. | Excellent repeatability, all-sapphire Fabry Perot optical Pressure sensor based on wet etching and direct bonding for Harsh Environment Applications | |
Zhao et al. | Shipborne expendable all-optical fiber ocean temperature-depth profile sensor | |
Chiang et al. | Enhanced sensitivity of bare FBG pressure sensor based on oval-shaped 3D printed structure | |
CN109115363A (zh) | 一种基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器 | |
Feng et al. | An FBG temperature–pressure sensor based on diaphragm and special-shaped bracket structure | |
Rana et al. | Differently Structured Fabry-Perot Interferometers for Gas Pressure Monitoring | |
CN208672180U (zh) | 一种基于表面等离子体共振的温度测量装置 | |
Huang et al. | Design and experimental study of a fiber Bragg grating pressure sensor | |
CN109631789B (zh) | 一种具有温度自补偿效应的高灵敏珐珀传感器 | |
CN110017925B (zh) | 一种基于m-z结构的波导压力传感器及检测方法 | |
CN208672668U (zh) | 一种基于表面等离子体共振的风速测量装置 | |
Du et al. | Seawater salinity sensor based on dual resonance peaks long period fiber grating and back propagation neural network | |
CN105371815A (zh) | 一种便携式岩石侧向变形测量装置 | |
Zhao et al. | Optical fiber Fabry-Perot pressure sensor with silver-coated surface |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |