CN108962336A - 一种基于压电驱动的二维并联柔性微动平台 - Google Patents
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 111
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 103
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims abstract description 40
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims abstract description 40
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims abstract description 40
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 40
- 241000638935 Senecio crassissimus Species 0.000 claims description 18
- 230000036316 preload Effects 0.000 claims description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 5
- 238000006880 cross-coupling reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000000686 essence Substances 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000001808 coupling effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
Classifications
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- G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Claims (7)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810493167.4A CN108962336B (zh) | 2018-05-22 | 2018-05-22 | 一种基于压电驱动的二维并联柔性微动平台 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810493167.4A CN108962336B (zh) | 2018-05-22 | 2018-05-22 | 一种基于压电驱动的二维并联柔性微动平台 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN108962336A true CN108962336A (zh) | 2018-12-07 |
CN108962336B CN108962336B (zh) | 2021-01-05 |
Family
ID=64499390
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201810493167.4A Active CN108962336B (zh) | 2018-05-22 | 2018-05-22 | 一种基于压电驱动的二维并联柔性微动平台 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN108962336B (zh) |
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PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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GR01 | Patent grant | ||
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