CN108716885B - 柔性应变传感器及其制备方法和应用 - Google Patents

柔性应变传感器及其制备方法和应用 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种柔性应变传感器的制备方法：在聚合物底片的表面设置脱模剂层，然后在脱模剂层远离聚合物底片的一面上设置聚二甲基硅氧烷层；采用柔性导电液在聚二甲基硅氧烷层上设置第一柔性导电涂层，柔性导电液由炭黑和聚二甲基硅氧烷混匀后得来，炭黑和聚二甲基硅氧烷的质量比为1:4‑5；除去聚合物底片和脱模剂层，然后采用柔性导电液在聚二甲基硅氧烷层的另一面设置第二柔性导电涂层，在第一柔性导电涂层以及第二柔性导电涂层远离聚二甲基硅氧烷层的一面分别设置封装层，得到柔性应变传感器。本发明的方法工艺简单、成本低，导电涂层不易脱落，所制备的柔性应变传感器对力的响应具有高灵敏度。

Description

柔性应变传感器及其制备方法和应用
技术领域
本发明涉及半导体器件制备技术领域，尤其涉及一种柔性应变传感器及其制备方法和应用。
背景技术
随着科学技术的飞速发展，导电材料已经不局限于传统金属材料。非金属导电材料领域出现了导电碳黑、石墨烯、碳纳米管等新型碳材料。随着经济的发展，人民生活水平的提高，对于具有传感器的电子器件的需求与日俱增。可穿戴智能设备是一种固定在人体的某些部位，通过内置的传感器对人体的运动及变化进行感知，最后反馈到信号接收器上的一类设备。传统的可穿戴智能设备一般都是非柔性，应用仅局限于某些部位。随着柔性导电技术的发展，柔性可穿戴智能设备的出现成为了可能，柔性传感器是可穿戴智能设备的核心器件。通过柔性传感器我们可以对身体的某些运动关节进行监测。相较于传统材料，采用柔性PDMS能使传感器具有更大形变量和更持久的疲劳寿命。
现有的柔性传感器的制作工艺主要集中在柔性基材表面涂覆、真空溅射、气相沉积一层导电材料，尤其以碳材料居多。但是这种工艺制作的柔性导电层在使用过程中有脱落的隐患。因此，改善柔性导电层的稳定性，简化柔性传感器的制作工艺。在柔性可穿戴传感器这个广阔的领域具有现实意义。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明的目的是提供一种柔性应变传感器及其制备方法和应用，本发明的方法工艺简单、成本低，导电涂层不易脱落，所制备的柔性应变传感器对力的响应具有高灵敏度。
本发明提供了一种柔性应变传感器的制备方法，包括以下步骤：
(1)在聚合物底片的表面设置脱模剂层，然后在脱模剂层远离聚合物底片的一面上设置聚二甲基硅氧烷层(3)；
(2)采用柔性导电液在所述聚二甲基硅氧烷(PDMS)层(3)远离所述脱模剂层的一面设置第一柔性导电涂层(2)，柔性导电液由炭黑和聚二甲基硅氧烷混匀后得来，炭黑和聚二甲基硅氧烷的质量比为1:4-5，第一柔性导电涂层(2)的厚度为0.18-0.22mm；优选地，炭黑和聚二甲基硅氧烷的质量比为1:4，第一柔性导电层(2)的厚度为0.2mm；
(3)除去聚合物底片和脱模剂层，然后采用柔性导电液在聚二甲基硅氧烷层(3)远离第一柔性导电涂层(2)的一面设置第二柔性导电涂层(4)，第二柔性导电涂层(4)的厚度为0.18-0.22mm；优选地，第二柔性导电层(4)的厚度为0.2mm；
(4)在第一柔性导电涂层(2)远离所述聚二甲基硅氧烷层(3)的一面以及第二柔性导电涂层(4)远离聚二甲基硅氧烷层(3)的一面分别设置封装层(1)，得到柔性应变传感器。
进一步地，在步骤(1)中，聚合物底片为薄膜，用于支撑脱模剂层。
进一步地，在步骤(1)中，聚合物底片的材质为聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚碳酸酯或聚丙烯。
进一步地，在步骤(1)中，脱模剂层的材质为聚丙烯酸、聚乙烯醇和聚乙二醇中的一种或几种。
进一步地，在步骤(1)中，聚二甲基硅氧烷层(3)由PDMS的A、B组分按照1:1质量比混合后得来。具体的，A、B组分型号为PS6600A和PS6600B。
进一步地，在步骤(1)中，聚二甲基硅氧烷层(3)的厚度为0.15-0.4mm。优选地，聚二甲基硅氧烷层(3)的厚度为0.15mm、0.3mm或0.4mm。
进一步地，在步骤(2)中，柔性导电液的制备方法包括以下步骤：
将道康宁184硅橡胶(sylgard-184)和固化剂按照质量比为10-20:1(优选为20:1)混匀以制备聚二甲基硅氧烷，然后将聚二甲基硅氧烷与炭黑混匀。
进一步地，固化剂为(sylgard-184)。
进一步地，在步骤(2)中，炭黑购买自Carbot公司。炭黑在使用前需要在80-100℃下干燥，以除去其中的水分。
进一步地，在步骤(4)中，封装层(1)的材质为聚二甲基硅氧烷。
进一步地，在步骤(4)中，封装层(1)的厚度为0.1-0.2mm。优选地，封装层(1)的厚度为0.2mm。
进一步地，以上方法中，每设置新的一层材料，需要在70-80℃下烘干。设置方法可采用涂膜法。
本发明还要求保护种采用上述方法所制备的柔性应变传感器，包括依次设置的第一柔性导电涂层(2)、聚二甲基硅氧烷层(3)和第二柔性导电涂层(4)，第一柔性导电涂层(2)远离聚二甲基硅氧烷层(3)的一面以及第二柔性导电涂层(4)远离聚二甲基硅氧烷层(3)的一面分别设置有封装层(1)，第一柔性导电涂层(2)和第二柔性导电涂层(4)的厚度为0.18-0.22mm。
进一步地，聚二甲基硅氧烷层(3)的厚度为0.15-0.4mm，封装层(1)的厚度为0.1-0.2mm。
进一步地，柔性应变传感器用于响应压力和/或拉力。上述性质使得本发明的柔性应变传感器可用于检测人体运动状态。
进一步地，柔性应变传感器在50％形变范围内可响应的力的范围为0-5N，灵敏度0.4s。
借由上述方案，本发明至少具有以下优点：
1.本发明采用共混法制备了基于炭黑和PDMS的柔性导电液，并通过简单方法，如涂膜法制备了基于炭黑和PDMS的柔性导电涂层。与传统的CVD工艺相比，具有简化工艺，提高效率的优势，同时采用共混工艺，导电涂层不存在脱落风险。
2.由于本发明采用具有柔性的PDMS为主体材料，材料具有一定的耐压抗拉性，且在多次疲劳实验中均有良好表现，此外，由于采用PDMS为主体材料，其可酸/碱等腐蚀性条件下使用。
3.由于本发明采用是具有柔性的PDMS为主体材料，在可穿戴传感器应用方面，能更好的贴合人体，且对人体无害。由于采用基底材料，
4.本发明构建的应变传感器可在宏观条件下组装完成，不需要任何精密设备，降低生产成本。
5.本发明的柔性应变传感器具有高灵敏度，对人的肢体的活动及肢体运动的幅度都有较为快速的响应。
上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
图1是本发明实施例1制备的柔性应变传感器的结构示意图；
图2是本发明实施例1中柔性导电涂层的EDX能谱扫描电镜分析结果；
图3是本发明实施例1制备的柔性应变传感器的力学响应能力测试结果；
图4是本发明实施例3制备的柔性应变传感器的剖面结构的电镜照片；
图5是本发明实施例2制备的柔性应变传感器的8000次耐久性拉伸实验前后对比结果；
附图标记说明：
1-封装层；2-第一柔性导电涂层；3-聚二甲基硅氧烷层；4-第二柔性导电涂层。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
实施例1
(1)炭黑/PDMSb柔性导电液的配置
炭黑选用CarbotXC-72R，在真空干燥箱中80℃下干燥24小时，去除炭黑中含有的少量水分。将PDMSb(sylgard-184)和固化剂(sylgard-184)按照20:1的质量比混合，搅拌5min，使其充分混合均匀，然后将上述干燥好的炭黑粉末和与其按照1:4的质量比混合，搅拌3min，使其充分再次混合均匀，作为炭黑/PDMSb柔性导电液备用。
(2)柔性应变传感器的制备
a)选用PET作为聚合物底片，将PET用去离子水和无水乙醇分别冲洗干净，40℃烘干，然后在烘干的PET表面喷涂一层脱模剂(10％聚丙烯酸异丙醇溶液)，得到喷涂后的PET底片；
b)将PDMSa中A和B组分(PS6600A和PS6600B)按照1:1质量比混合，搅拌5min，使其充分混合均匀，然后用涂膜机将其涂覆到步骤a)制备的喷涂后的PET底片的表面，涂覆厚度为0.3mm，并在70℃下烘干，即形成聚二甲基硅氧烷层3；
c)在烘干的聚二甲基硅氧烷层3上涂覆步骤(1)制备的炭黑/PDMSb柔性导电液，厚度为0.2mm，并在70℃烘干，形成一层第一柔性导电涂层2；
d)把上述步骤中得到的带有第一柔性导电涂层2的聚二甲基硅氧烷层3从PET表面剥离，然后用去离子水和乙醇分别冲洗，洗净前面步骤喷涂的脱模剂；
e)在聚二甲基硅氧烷层3的另一面上涂覆步骤(1)制备的炭黑/PDMSb柔性导电液，厚度为0.2mm，并在70℃烘干，形成一层第二柔性导电涂层4；
f)封装，具体步骤如下：
将PDMSa中A和B组分(PS6600A和PS6600B)按照1:1质量比混合，搅拌5min，使其充分混合均匀，制备双组份硅胶。然后在第一柔性导电涂层2远离聚二甲基硅氧烷层3的一面用涂膜机涂覆上述双组份硅胶，厚度控制为0.2mm，并在70℃烘干，再在第二柔性导电涂层4远离聚二甲基硅氧烷层3的一面用涂膜机涂覆上述双组份硅胶，厚度控制为0.2mm，并在70℃烘干，完成柔性应变传感器的构建。
参见图1，本发明上述方法所制备的柔性应变传感器，包括自上而下依次设置的第一柔性导电涂层2、聚二甲基硅氧烷层3和第二柔性导电涂层4，第一柔性导电涂层2和第二柔性导电涂层4的外部连接有封装层1。
对上述制备的第一柔性导电涂层2或第二柔性导电涂层4进行EDX能谱扫描电镜分析，结果如图2所示，从图中可以看出炭黑(呈黄色亮点)均匀分布在PDMS中(呈黑色)，炭黑和PDMS的接触面在正面显示炭很聚集。从剖面看，碳元素在PDMS中分布也很均匀。这也说明了采用本发明的方法所制备的柔性导电涂层的均一性。
对上述制备的柔性应变传感器的力学响应能力作测试，将柔性应变传感器贴附在手肘外侧，然后弯曲手肘，改变手肘弯曲角度(30o、60o和90o)，柔性应变传感器随之弯曲，测试在上述情况下本发明的柔性应变传感器对外界运动的响应曲线。结果如图3所示，可以看出在一个运动周期，传感器所感应的信号具有良好的重复性，且运动幅度不同反应出来的波峰最高值也有所差异，能充分对一个运动过程进行完整的监测。
对比例1
(1)炭黑/PDMSb柔性导电液的配置
炭黑选用CarbotXC-72R，在真空干燥箱中90℃下干燥24小时，去除炭黑中含有的少量水分。将PDMSb(sylgard-184)和固化剂(sylgard-184)按照20:1的质量比混合，搅拌5min，使其充分混合均匀，然后将上述干燥好的炭黑粉末和与其按照1:5的质量比混合，搅拌3min，使其充分再次混合均匀，作为炭黑/PDMSb柔性导电液备用。
(2)柔性应变传感器的制备
a)选用PET作为聚合物底片，将PET用去离子水和无水乙醇分别冲洗干净，40℃烘干，然后在烘干的PET表面喷涂一层脱模剂(聚乙烯醇)，得到喷涂后的PET底片；
b)将PDMSa中A和B组分(PS6600A和PS6600B)按照1:1质量比混合，搅拌5min，使其充分混合均匀，然后用涂膜机将其涂覆到步骤a)制备的喷涂后的PET底片的表面，涂覆厚度为0.3mm，并在80℃下烘干，即形成聚二甲基硅氧烷层3；
c)在烘干的聚二甲基硅氧烷层3上涂覆步骤(1)制备的炭黑/PDMSb柔性导电液，厚度为0.2mm，并在75℃烘干，形成一层第一柔性导电涂层2；
d)把上述步骤中得到的带有第一柔性导电涂层2的聚二甲基硅氧烷层3从PET表面剥离，然后用去离子水和乙醇分别冲洗，洗净前面步骤喷涂的脱模剂；
e)在聚二甲基硅氧烷层3的另一面上涂覆步骤(1)制备的炭黑/PDMSb柔性导电液，厚度为0.2mm，并在80℃烘干，形成一层第二柔性导电涂层4；
f)封装，具体步骤如下：
将PDMSa中A和B组分(PS6600A和PS6600B)按照1:1质量比混合，搅拌5min，使其充分混合均匀，制备双组份硅胶。然后在第一柔性导电涂层2远离聚二甲基硅氧烷层3的一面用涂膜机涂覆上述双组份硅胶，厚度控制为0.2mm，并在80℃烘干，再在第二柔性导电涂层4远离聚二甲基硅氧烷层3的一面用涂膜机涂覆上述双组份硅胶，厚度控制为0.2mm，并在70℃烘干，完成柔性应变传感器的构建。
本实施例中，改变了步骤(1)中炭黑和PDMSb的质量比，制备的柔性导电液制备成柔性导电涂层，对最终所制备的柔性应变传感器进行力学响应测试，结果表明，该方法制备的柔性应变传感器不能满足运动监测需要，原因是炭的比例相对较少，被较多的硅橡胶包覆，不能形成连续的导电层。
实施例2
(1)炭黑/PDMSb柔性导电液的配置
炭黑选用CarbotXC-72R，在真空干燥箱中90℃下干燥24小时，去除炭黑中含有的少量水分。将PDMSb(sylgard-184)和固化剂(sylgard-184)按照10:1的质量比混合，搅拌5min，使其充分混合均匀，然后将上述干燥好的炭黑粉末和与其按照1:4的质量比混合，搅拌1min，使其充分再次混合均匀，作为炭黑/PDMSb柔性导电液备用。
(2)柔性应变传感器的制备
a)选用聚丙烯作为聚合物底片，将聚丙烯用去离子水和无水乙醇分别冲洗干净，40℃烘干，然后在烘干的聚丙烯表面喷涂一层脱模剂(聚乙烯醇)，得到喷涂后的聚丙烯底片；
b)将PDMSa中A和B组分(PS6600A和PS6600B)按照1:1质量比混合，搅拌5min，使其充分混合均匀，然后用涂膜机将其涂覆到步骤a)制备的喷涂后的聚丙烯底片的表面，涂覆厚度为0.4mm，并在70℃下烘干，即形成聚二甲基硅氧烷层3；
c)在烘干的聚二甲基硅氧烷层3上涂覆步骤(1)制备的炭黑/PDMSb柔性导电液，厚度为0.2mm，并在70℃烘干，形成一层第一柔性导电涂层2；
d)把上述步骤中得到的带有第一柔性导电涂层2的聚二甲基硅氧烷层3从聚丙烯表面剥离，然后用去离子水和乙醇分别冲洗，洗净前面步骤喷涂的脱模剂；
e)在聚二甲基硅氧烷层3的另一面上涂覆步骤(1)制备的炭黑/PDMSb柔性导电液，厚度为0.2mm，并在70℃烘干，形成一层第二柔性导电涂层4；
f)封装，具体步骤如下：
将PDMSa中A和B组分(PS6600A和PS6600B)按照1:1质量比混合，搅拌5min，使其充分混合均匀，制备双组份硅胶。然后在第一柔性导电涂层2远离聚二甲基硅氧烷层3的一面用涂膜机涂覆上述双组份硅胶，厚度控制为0.1mm，并在70℃烘干，再在第二柔性导电涂层4远离聚二甲基硅氧烷层3的一面用涂膜机涂覆上述双组份硅胶，厚度控制为0.1mm，并在70℃烘干，完成柔性应变传感器的构建。
对本实施所制备的柔性应变传感器进行耐久性重复50％形变拉伸测试，结果如图5所示，图中空心三角形代表拉伸前的电容值，实心圆代表拉伸后的电容值，表明拉伸8000次，该方法制备的柔性应变传感器最大值和最小值保持一致性，说明并没有在拉伸过程中损坏。
实施例3
(1)炭黑/PDMSb柔性导电液的配置
按照实施例1的方法配置，区别在于硅橡胶和固化剂的质量比为10:1，炭黑粉末和PDMS的质量比为1:4.5。
(2)柔性应变传感器的制备
a)选用聚碳酸酯作为聚合物底片，将聚碳酸酯用去离子水和无水乙醇分别冲洗干净，40℃烘干，然后在烘干的聚碳酸酯表面喷涂一层脱模剂(聚丙烯酸)，得到喷涂后的聚碳酸酯底片；
b)将PDMSa中A和B组分(PS6600A和PS6600B)按照1:1质量比混合，搅拌5min，使其充分混合均匀，然后用涂膜机将其涂覆到步骤a)制备的喷涂后的聚碳酸酯底片的表面，涂覆厚度为0.15mm，并在80℃下烘干，即形成聚二甲基硅氧烷层3；
c)在烘干的聚二甲基硅氧烷层3上涂覆步骤(1)制备的炭黑/PDMSb柔性导电液，厚度为0.18mm，并在75℃烘干，形成一层第一柔性导电涂层2；
d)把上述步骤中得到的带有第一柔性导电涂层2的聚二甲基硅氧烷层3从聚碳酸酯表面剥离，然后用去离子水和乙醇分别冲洗，洗净前面步骤喷涂的脱模剂；
e)在聚二甲基硅氧烷层3的另一面上涂覆步骤(1)制备的炭黑/PDMSb柔性导电液，厚度为0.18mm，并在70℃烘干，形成一层第二柔性导电涂层4；
f)封装，具体步骤如下：
将PDMSa中A和B组分(PS6600A和PS6600B)按照1:1质量比混合，搅拌5min，使其充分混合均匀，制备双组份硅胶。然后在第一柔性导电涂层2远离聚二甲基硅氧烷层3的一面用涂膜机涂覆上述双组份硅胶，厚度控制为0.15mm，并在70℃烘干，再在第二柔性导电涂层4远离聚二甲基硅氧烷层3的一面用涂膜机涂覆上述双组份硅胶，厚度控制为0.15mm，并在70℃烘干，完成柔性应变传感器的构建。
对本实施所制备的柔性应变传感器进行力学响应测试，结果表明，该方法制备的柔性应变传感器能感知触觉0.5N。
实施例4
(1)炭黑/PDMSb柔性导电液的配置
按照实施例1的方法配置，区别在于硅橡胶和固化剂的质量比为15:1。
(2)柔性应变传感器的制备
a)选用PET作为聚合物底片，将PET用去离子水和无水乙醇分别冲洗干净，40℃烘干，然后在烘干的PET表面喷涂一层脱模剂(聚乙二醇)，得到喷涂后的PET底片；
b)将PDMSa中A和B组分(PS6600A和PS6600B)按照1:1质量比混合，搅拌5min，使其充分混合均匀，然后用涂膜机将其涂覆到步骤a)制备的喷涂后的PET底片的表面，涂覆厚度为0.25mm，并在80℃下烘干，即形成聚二甲基硅氧烷层3；
c)在烘干的聚二甲基硅氧烷层3上涂覆步骤(1)制备的炭黑/PDMSb柔性导电液，厚度为0.22mm，并在75℃烘干，形成一层第一柔性导电涂层2；
d)把上述步骤中得到的带有第一柔性导电涂层2的聚二甲基硅氧烷层3从PET表面剥离，然后用去离子水和乙醇分别冲洗，洗净前面步骤喷涂的脱模剂；
e)在聚二甲基硅氧烷层3的另一面上涂覆步骤(1)制备的炭黑/PDMSb柔性导电液，厚度为0.22mm，并在80℃烘干，形成一层第二柔性导电涂层4；
f)封装，具体步骤如下：
将PDMSa中A和B组分(PS6600A和PS6600B)按照1:1质量比混合，搅拌5min，使其充分混合均匀，制备双组份硅胶。然后在第一柔性导电涂层2远离聚二甲基硅氧烷层3的一面用涂膜机涂覆上述双组份硅胶，厚度控制为0.2mm，并在80℃烘干，再在第二柔性导电涂层4远离聚二甲基硅氧烷层3的一面用涂膜机涂覆上述双组份硅胶，厚度控制为0.2mm，并在80℃烘干，完成柔性应变传感器的构建。
对本实施所制备的柔性应变传感器进行力学响应测试，结果表明，该方法制备的柔性应变传感器能有效的进行运动监测，在50％的最大形变量时力的响应范围为0-5.35N。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，并不用于限制本发明，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种柔性应变传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)在聚合物底片的表面设置脱模剂层，然后在所述脱模剂层远离所述聚合物底片的一面上设置聚二甲基硅氧烷层(3)；
(2)采用柔性导电液在烘干的聚二甲基硅氧烷层(3)远离所述脱模剂层的一面设置第一柔性导电涂层(2)，所述柔性导电液由炭黑和聚二甲基硅氧烷混匀后得来，所述炭黑和聚二甲基硅氧烷的质量比为1:4-5，所述第一柔性导电涂层(2)的厚度为0.18-0.22mm；
(3)除去所述聚合物底片和脱模剂层，然后采用所述柔性导电液在所述聚二甲基硅氧烷层(3)远离所述第一柔性导电涂层(2)的一面设置第二柔性导电涂层(4)，所述第二柔性导电涂层(4)的厚度为0.18-0.22mm；
(4)在所述第一柔性导电涂层(2)远离所述聚二甲基硅氧烷层(3)的一面以及所述第二柔性导电涂层(4)远离所述聚二甲基硅氧烷层(3)的一面分别设置封装层(1)，得到所述柔性应变传感器。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：在步骤(1)中，所述聚合物底片的材质为聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯或聚丙烯。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：在步骤(1)中，所述脱模剂层的材质为聚丙烯酸、聚乙烯醇和聚乙二醇中的一种或几种。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在步骤(2)中，所述柔性导电液的制备方法包括以下步骤：
将道康宁184硅橡胶和固化剂按照质量比为10-20:1混匀以制备聚二甲基硅氧烷，然后将所述聚二甲基硅氧烷与炭黑混匀。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：在步骤(1)中，所述聚二甲基硅氧烷层(3)的厚度为0.15-0.4mm。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：在步骤(4)中，所述封装层(1)的材质为聚二甲基硅氧烷。
7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：在步骤(4)中，所述封装层(1)的厚度为0.1-0.2mm。
8.一种权利要求1-7中任一项方法所制备的柔性应变传感器，其特征在于，包括依次设置的第一柔性导电涂层(2)、聚二甲基硅氧烷层(3)和第二柔性导电涂层(4)，所述第一柔性导电涂层(2)远离所述聚二甲基硅氧烷层(3)的一面和第二柔性导电涂层(4)远离所述聚二甲基硅氧烷层(3)的一面设置有封装层(1)，所述第一柔性导电涂层(2)和第二柔性导电涂层(4)的厚度为0.18-0.22mm。
9.根据权利要求8所述的柔性应变传感器，其特征在于：所述聚二甲基硅氧烷层(3)的厚度为0.15-0.4mm，所述封装层(1)的厚度为0.1-0.2mm。
10.权利要求8所述的柔性应变传感器的应用，其特征在于：所述柔性应变传感器用于响应压力和/或拉力。
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