CN108563040A - 基于石墨烯/金属混合结构的光开关 - Google Patents

基于石墨烯/金属混合结构的光开关 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种基于石墨烯/金属混合结构的光开关，包括衬底反射层，所述衬底反射层用于反射入射光；介质层，所述介质层设在所述衬底反射层上；石墨烯层，所述石墨烯层包括至少一层石墨烯，所述石墨烯层设在所述介质层上，所述衬底反射层、所述介质层和所述石墨烯层构成电容结构；金属结构层，所述金属结构层设在所述石墨烯层上；金属电极，所述金属电极分别设于所述衬底反射层和所述石墨烯层；以及电压源，所述电压源分别与所述石墨烯层和所述金属结构层连接，通过所述电压源向所述石墨烯层施加电压以影响所述金属结构层的等离子共振效应。根据本发明实施例的光开关，在石墨烯层上制作金属结构层，给石墨烯施加电压改变石墨烯光学性质，影响金属结构层的等离子共振效应，从而实现光开关的功能。

Description

基于石墨烯/金属混合结构的光开关
技术领域
本发明涉及光开关技术领域，更具体地，涉及一种基于石墨烯/金属混合结构的光开关。
背景技术
随着科技进步和现代化的发展，光电元件对尺寸的要求越来越精密，纳米光子学为光器件的集成化提供了可能。纳米光子学以光学近场为信息载体，通过微纳米尺寸的光学元件与近场之间的电磁相互作用，来实现对光的相位，振幅和偏振、透过率等参量进行调控。目前，对纳米尺度的光学操控主要通过两种途径，一是基于光子晶体，通过对光子晶体内部结构的控制来调控光学传输路径，从而实现光信息的传递、调制和光互连，其中典型代表有纳米微腔，光波导以及分光器件。光子晶体的结构大部分都是三维的，这对于光子晶体的设计和制作都具有很大的挑战。另一种调控光的方法是控制表面等离子激元(SurfacePlasmonPolarizations,SPP)的传播，表面等离子体激元产生于金属和介质的表面，是光和金属表面的自由电子共振所引发的混合激发态，也是一种电磁波。通过在介质上设计不同的金属结构，能够有效的激发表面等离子体波，实现等离子激元的共振效应，从而在二维平面上就能够实现对入射光的透过率、振幅、相位等参量的调控。由于设计金属和介质的结构能够实现入射光透过率的改变，我们可以设计结构来实现金属对入射光透过率的改变，当透过率分别为0和不为0时，结构对入射光能够形成光开关的作用。
石墨烯，一种由碳原子以sp2杂化方式形成的六元环平面薄膜，是一种只有一个原子层厚度的二维材料。石墨烯是一种新型纳米材料，由于它十分良好的强度，柔韧，导电，导热，光学性质，在物理学，材料学，电子信息，计算机，航空航天等领域都得到了长足的发展。在光学领域上，我们发现，石墨烯具有折射率可调的性质。具体来说，就是通过给石墨烯施加电压，来改变石墨烯的电导率，从而实现折射率的改变。石墨烯的电导率和石墨烯的费米能级相关，通过施加电压的方式(电掺杂)能够有效的改变石墨烯的费米能级。因此，石墨烯是一个优良的电压可调控的材料。
在本发明之前，中国发明专利(CN107121793A)一种基于周期性亚波长孔阵列的表面等离子体光开关。通过在介质基底上设计金属纳米孔阵列，实现等离子激元共振。通过设计固定的孔阵列的参数，实现在一个偏振方向的入射光能共振，其他入射偏振光无共振效应，从而通过改变入射光的偏振角来实现光开光的作用。该发明采用入射偏振角的改变来实现光开关的作用，未涉及针对同一偏振入射光的光开关。
中国发明专利(CN107329209A)M*N多播传送光开关，通过低折射率差的光分路器阵列与高折射率的光开关阵列的集成，利用不同材料的波导阵列得到了多播传送光开关。该发明采用多种波导来实现开关功能，未涉及到平面结构的光开关。
中国发明专利(CN106873082A)一种开口谐振环超材料光开关，结构为陶瓷材料的基底和开口谐振环，利用光激发能够引起陶瓷材料介电常数改变的特征，使开口谐振环的谐振频率或者谐振强度发生变化，实现光开关的功能。该发明利用了入射光引起材料特性的改变，不能实现实时的开关调控。
发明内容
本发明旨在至少在一定程度上解决上述技术问题之一。
为此，本发明的目的在于提出一种通过电压调控能够实时改变入射光透过率的基于石墨烯/金属混合结构的光开关。
根据本发明实施例的基于石墨烯/金属混合结构的光开关，包括：衬底反射层，所述衬底反射层用于反射入射光；介质层，所述介质层设在所述衬底反射层上；石墨烯层，所述石墨烯层包括至少一层石墨烯，所述石墨烯层设在所述介质层上，所述衬底反射层、所述介质层和所述石墨烯层构成电容结构；金属结构层，所述金属结构层设在所述石墨烯层上；金属电极，所述金属电极分别设于所述衬底反射层和所述石墨烯层；以及电压源，所述电压源与所述石墨烯层连接，通过所述电压源向所述石墨烯层施加电压以影响所述金属结构层的等离子共振效应。
根据本发明实施例的基于石墨烯/金属混合结构的光开关，通过衬底反射层、介质层和石墨烯层一起构成电容结构，并利用电压源向石墨烯层施加电压以影响金属结构层的等离子共振效应，进而能够实现通过改变外部的施加电压调控透过率，当外部电压为两个不同的数值时，器件对入射光呈现出“开”和“关”的状态。具体地，通过将金属结构和石墨烯结合，形成金属结构/石墨烯/介质的混合结构，来实现对入射光的调控功能。其中，金属结构层能够通过等离子激元共振效应来实现某一波长的入射光的透过率进行调控，通过电压调控石墨烯，使得石墨烯具有不同的折射率，从而改变金属结构等离子激元的共振波长，使得整个结构在同一入射光的条件下具有透过率为0和不为0的两种情况，由此来实现光开关的功能。
另外，根据本发明实施例的基于石墨烯/金属混合结构的光开关，还可以具有如下附加的技术特征：
根据本发明的一个实施例，所述衬底反射层为金属。
根据本发明的一个实施例，所述衬底反射层为金、银或铝。
根据本发明的一个实施例，所述介质层为氧化铝、氮化硼、氟化镁或二氧化硅，所述介质层的厚度为0-2um。
根据本发明的一个实施例，所述石墨烯层的层数为1-15层。
根据本发明的一个实施例，所述电压源施加的电压为0-200v。
根据本发明的一个实施例，所述金属结构层的材料为金、银、铝、镍、铬、钛和铜中的至少一个或者其合金。
根据本发明的一个实施例，所述金属结构层为金属光栅，所述金属光栅的周期为150nm-10μm，占宽比为0.2-0.9，高度为10nm-200nm。
根据本发明的一个实施例，所述金属光栅的形状为矩形，梯形和正三角形中的至少一个或者其组合。
根据本发明的一个实施例，所述石墨烯层平铺于所述介质层上。
本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1是根据本发明实施例的基于石墨烯/金属混合结构的光开关的结构示意图；
图2是石墨烯的费米能级图；
图3是根据本发明实施例的基于石墨烯/金属混合结构的光开关不具有石墨烯层时的不同费米能级下的反射率与波长关系图；
图4(a)是根据本发明实施例的基于石墨烯/金属混合结构的光开关的石墨烯层为单层时不同费米能级下的反射率与波长关系图；
图4(b)是根据本发明实施例的基于石墨烯/金属混合结构的光开关的石墨烯层为5层时不同费米能级下的反射率与波长关系图；
图4(c)是根据本发明实施例的基于石墨烯/金属混合结构的光开关的石墨烯层为10层时不同费米能级下的反射率与波长关系图。
附图标记：
基于石墨烯/金属混合结构的光开关100；
衬底反射层10；介质层20；石墨烯层30；金属结构层40；金属电极50。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面结合附图具体描述根据本发明实施例的基于石墨烯/金属混合结构的光开关100。
如图1所示，根据本发明实施例的基于石墨烯/金属混合结构的光开关100包括衬底反射层10、介质层20、石墨烯层30、金属结构层40和电压源。
具体地，衬底反射层10用于反射入射光，介质层20设在衬底反射层10上，石墨烯层30包括至少一层石墨烯，石墨烯层30设在介质层20上，衬底反射层10、介质层20和石墨烯层30构成电容结构，金属结构层40设在石墨烯层30上，金属电极50分别设于衬底反射层10和石墨烯层30，电压源与石墨烯层30连接，通过电压源向石墨烯层30施加电压以影响金属结构层40的等离子共振效应。
需要说明的是，电压源为可调谐电压源。
由此，根据本发明实施例的基于石墨烯/金属混合结构的光开关100，通过衬底反射层10、介质层20和石墨烯层30一起构成电容结构，并利用电压源向石墨烯层30施加电压以影响金属结构层40的等离子共振效应，进而能够实现通过改变外部的施加电压调控透过率，当外部电压为两个不同的数值时，器件对入射光呈现出“开”和“关”的状态，无需重新改变结构的参数，实现了实时调控的功能。
根据本发明的一个实施例，衬底反射层10为金属。
可选地，衬底反射层10可为金、银或铝等金属，衬底反射层10可以实现反光镜的功能，将入射光最多反射，一般可采用金属膜作为衬底反射层10。
根据本发明的一个实施例，介质层20可为氧化铝、氮化硼、氟化镁或二氧化硅等常用介质，介质层20的厚度可为0-2um，甚至可以为几十纳米。
可选地，石墨烯层30的层数为1-15层，石墨烯层30可以为单层，也可以为多层，石墨烯层30可平铺设介质层20上。
优选地，电压源施加的电压为0-200v，电压源可包括金属电极50，金属电极50分别置于衬底反射层10和石墨烯层30上。
根据本发明的一个实施例，金属结构层40的材料为金、银、铝、镍、铬、钛和铜中的至少一个或者其合金。
在本发明的一些具体实施方式中，金属结构层40为金属光栅，金属光栅的周期为150nm-10μm，占宽比为0.2-0.9，高度为10nm-200nm。
可选地，金属光栅的形状可为矩形、梯形和正三角形中的至少一个或者其组合。
根据本发明的一个实施例，石墨烯层30可平铺于介质层20上。
需要说明的是，根据本发明实施例的基于石墨烯/金属混合结构的光开关100的原理为：金属存在自由电子，特定的金属结构能够在特定的入射光频率下产生等离子激元共振效应，从而在相应的共振波长处能够实现一个超吸收，这个超吸收使得经过的光全部被吸收，呈现出“关”的状态。通过选择合适的金属，制造合适的金属微纳米结构，能够实现特定波段的超吸收，使入射光的透过率(或者反射率)为0，光路呈现“关”的状态。
石墨烯是一种由碳原子构成的二维平面薄膜，由于其特殊的能带结构，当给石墨烯施加不同的电压，石墨烯能够表现出不同的光学折射率。通过施加不同的电压，石墨烯可以认为是一个可调谐的材料。根据本发明实施例的基于石墨烯/金属混合结构的光开关100，将石墨烯层30置于金属结构层40的下方，可调谐的石墨烯能够对金属的等离子激元共振产生影响。施加不同的电压能够使金属等离子激元共振频率改变，当共振频率远离工作频率，不存在超吸收，呈现出“开”的状态。进而通过给石墨烯施加不同电压，得到了一个光电开关。
金属结构的形状、周期、占宽比、介质层的厚度根据所需的工作波长来进行理论计算，根据时域有限差分法或者严格耦合波理论等方法进行计算。在所需的工作波长处，得到透过(或者反射)最大和最小值时石墨烯所需的费米能级。
下面参照附图并结合具体实施例描述根据本发明的基于石墨烯/金属混合结构的光开关100。
如图1所示，采用金属银作为衬底反射层10，衬底反射层10的厚度设置为两个微米，保证反射率高。在衬底反射层10上设有氧化铝(Al2O3)作为介质层20，介质层20的厚度为21nm，在氧化铝上平铺有10层石墨烯作为石墨烯层30，在石墨烯层30上设有周期250nm,光栅宽度160nm，高度为10nm的银光栅作为金属结构层40。
根据本发明实施例的基于石墨烯/金属混合结构的光开关100通过使用基于时域有限差分法的FDTD(Finite-DifferenceTime-DomainSolutions)软件进行仿真,以1550nm为工作波长，以TM偏振光为入射光，实现了基于石墨烯/金属混合结构的光开关的作用。
如图2所示，石墨烯的能带图是一个狄拉克锥，当对石墨烯施加电压时，能够改变石墨烯的费米能级。
如图3所示，当入射光进入金属结构层40时，能产生等离子激元共振，形成共振峰，但是由于金属结构层40制作好后，无法再去改变结构参数，所以不能达到实时开关的功能。
如图4(a)至4(c)所示，在引入石墨烯后，在不同的费米能级下，得到了不同的共振峰。而不同的共振峰位置调控能力和石墨烯的层数也有很大关系，分别比较了石墨烯单层(图4(a))，5层(图4(b))条件下的调控能力，在1550nm波长处，当石墨烯层数为10层时(图4(c))，费米能级为0.695eV时，基于石墨烯/金属混合结构的光开关100为关的状态，当费米能级为0.9eV时，基于石墨烯/金属混合结构的光开关100有很高的反射率，呈现出开的状态。
总而言之，根据本发明实施例的基于石墨烯/金属混合结构的光开关100与现有技术相比，具有如下优点：
(1)采用能够电调控的石墨烯，通过简单的调节外部施加的电压即能实现基于石墨烯/金属混合结构的光开关100器件开或者关的，而无需重新改变结构的参数，实现了实时调控的功能；
(2)石墨烯的调控范围广，通过电压调节能在一个基于石墨烯/金属混合结构的光开关100器件上能够实现多波长的开光作用；
(3)通过改变金属的结构，结合石墨烯的光性能可调谐性，能够达到近红外到中红外的开光功能(1000nm-10um)。
需要说明的是，与CN107121793A相比，本发明实施例的基于石墨烯/金属混合结构的光开关100是针对一种偏振光，通过电压调控改变石墨烯的费米能级，来实现光开关的功能。与CN107329209A相比，本发明实施例的基于石墨烯/金属混合结构的光开关100是利用平面结构来实现光开关的功能，而不是利用具有长度的波导结构，能够做到更薄，更有利于光芯片等器件的集成。与CN106873082A相比，本发明实施例的基于石墨烯/金属混合结构的光开关100是利用电压调控，能够实时的进行开或者关的功能。
根据本发明实施例的光开关的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种基于石墨烯/金属混合结构的光开关，其特征在于，包括：
衬底反射层，所述衬底反射层用于反射入射光；
介质层，所述介质层设在所述衬底反射层上；
石墨烯层，所述石墨烯层包括至少一层石墨烯，所述石墨烯层设在所述介质层上，所述衬底反射层、所述介质层和所述石墨烯层构成电容结构；
金属结构层，所述金属结构层设在所述石墨烯层上；
金属电极，所述金属电极分别设于所述衬底反射层和所述石墨烯层；以及
电压源，所述电压源与所述石墨烯层连接，通过所述电压源向所述石墨烯层施加电压以影响所述金属结构层的等离子共振效应。
2.根据权利要求1所述的基于石墨烯/金属混合结构的光开关，其特征在于，所述衬底反射层为金属。
3.根据权利要求2所述的基于石墨烯/金属混合结构的光开关，其特征在于，所述衬底反射层为金、银或铝。
4.根据权利要求1所述的基于石墨烯/金属混合结构的光开关，其特征在于，所述介质层为氧化铝、氮化硼、氟化镁或二氧化硅，所述介质层的厚度为0-2um。
5.根据权利要求1所述的基于石墨烯/金属混合结构的光开关，其特征在于，所述石墨烯层的层数为1-15层。
6.根据权利要求1所述的基于石墨烯/金属混合结构的光开关，其特征在于，所述电压源施加的电压为0-200v。
7.根据权利要求1所述的基于石墨烯/金属混合结构的光开关，其特征在于，所述金属结构层的材料为金、银、铝、镍、铬、钛和铜中的至少一个或者其合金。
8.根据权利要求7所述的基于石墨烯/金属混合结构的光开关，其特征在于，所述金属结构层为金属光栅，所述金属光栅的周期为150nm-10μm，占宽比为0.2-0.9，高度为10nm-200nm。
9.根据权利要求8所述的基于石墨烯/金属混合结构的光开关，其特征在于，其特征在于，所述金属光栅的形状为矩形，梯形和正三角形中的至少一个或者其组合。
10.根据权利要求1-9中任一所述的基于石墨烯/金属混合结构的光开关，其特征在于，所述石墨烯层平铺于所述介质层上。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110441861A (zh) * 2019-08-19 2019-11-12 吉林大学 石墨烯掺杂梯形包层的mzi型光波导混合集成热光开关及其制备方法
CN111413299A (zh) * 2019-08-21 2020-07-14 华南师范大学 一种金属-石墨烯混合结构超表面及传感器与光开关
WO2021004183A1 (zh) * 2019-07-08 2021-01-14 深圳大学 一种谐振腔型太赫兹器件及其制备方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104570402A (zh) * 2013-10-12 2015-04-29 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 基于超颖材料结构的空间光调制器及其制备方法
CN105022178A (zh) * 2015-08-18 2015-11-04 电子科技大学 基于平面波导的石墨烯相位型光调制器
CN105068278A (zh) * 2015-09-17 2015-11-18 厦门大学 基于石墨烯的空间电光调制器
CN205844667U (zh) * 2016-06-08 2016-12-28 安徽枫慧金属股份有限公司 基于石墨烯‑介质‑金属层状结构的纳米器件
CN107209436A (zh) * 2015-02-03 2017-09-26 三星电子株式会社 具有栅结构的光学调制装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104570402A (zh) * 2013-10-12 2015-04-29 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 基于超颖材料结构的空间光调制器及其制备方法
CN107209436A (zh) * 2015-02-03 2017-09-26 三星电子株式会社 具有栅结构的光学调制装置
CN105022178A (zh) * 2015-08-18 2015-11-04 电子科技大学 基于平面波导的石墨烯相位型光调制器
CN105068278A (zh) * 2015-09-17 2015-11-18 厦门大学 基于石墨烯的空间电光调制器
CN205844667U (zh) * 2016-06-08 2016-12-28 安徽枫慧金属股份有限公司 基于石墨烯‑介质‑金属层状结构的纳米器件

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
MING LIU ETC.: "A graphene-based broadband optical modulator", 《NATURE》 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021004183A1 (zh) * 2019-07-08 2021-01-14 深圳大学 一种谐振腔型太赫兹器件及其制备方法
CN110441861A (zh) * 2019-08-19 2019-11-12 吉林大学 石墨烯掺杂梯形包层的mzi型光波导混合集成热光开关及其制备方法
CN111413299A (zh) * 2019-08-21 2020-07-14 华南师范大学 一种金属-石墨烯混合结构超表面及传感器与光开关

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