CN108494285A - 一种精密放大柔性微动系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种精密放大柔性微动系统，涉及微操作技术领域。该系统包括：机构本体、驱动器以及十八个直圆型柔性铰链组成的柔性铰链机构。驱动器与机构本体的空心处顶部连接，并通过控制器与电源连接。且基于杠杆原理及柔性导向、传动原理，采用一部分柔性铰链用于保证驱动器在运动过程中不承受横向力及力矩，且不产生非运动方向的附加位移，确保机构本体运动的精密性及平稳性；采用另一部分柔性铰链用于将微动输入机构输入的运动Δμ进行精密传动以及放大，使得微动输出机构输出放大位移Δδ。该系统具备可将直线位移精确放大、可根据实际需要精确调整放大比例、不会产生非运动方向附加位移、结构简单、易于控制、运动精度高、性能优良等优点。

Description

一种精密放大柔性微动系统

技术领域

本发明涉及微操作技术领域，具体而言，涉及一种精密放大柔性微动系统。

背景技术

随着微纳米技术的快速发展，在微机械系统中，微电子加工、生物工程、生命医学、航空航天和光学等多个微操作领域，高定位精度、高运动分辨率的精密定位技术发挥着重要的作用。如何设计集成得到具有高精度、大行程、快速响应的精密定位平台已成为国内外研究领域的热点。

目前对柔性位移放大系统的研究主要集中在其位移放大比、输入刚度等静力学性能的建模及优化设计，系统中大多采用切口形式单一的圆弧型柔性铰链；多数集中于放大型微动机构研究，对位移输出放大型微动系统研究较少。同时，放大微动系统可将输入位移按一定比例放大，即可获得较大的输出位移，可提高机械运动行程。因此，对精密放大柔性微动系统方面研究具有实际意义。

发明内容

本发明的目的在于提供一种精密放大柔性微动系统，该精密放大柔性微动系统可将直线位移精确放大，并不会产生非运动方向附加位移，且可根据实际需求调整放大比例。并且该精密放大柔性微动系统最大定位误差值为4.67％，其强度满足设计要求，具有优良的动态性能，具有较高的精确性及有效性。

本发明是这样实现的：

一种精密放大柔性微动系统，包括：

机构本体，机构本体具有微动输入机构以及微动输出机构，微动输入机构用于输入运动Δμ，微动输出机构用于输出放大位移Δδ；

驱动器，驱动器设置于机构本体，且用于为微动输入机构提供运动位移，微动输入机构在驱动器的驱动作用下用于输入运动Δμ；

多个直圆型柔性铰链组成的柔性铰链机构，多个直圆型柔性铰链对称设置于机构本体，且多个直圆型柔性铰链包括第一组柔性铰链与第二组柔性铰链，第一组柔性铰链用于保证驱动器在运动过程中不承受横向力及力矩，且不产生非运动方向的附加位移，确保机构本体运动的精密性及平稳性；第二组柔性铰链用于将微动输入机构输入的运动Δμ进行精密传动以及放大，使得微动输出机构用于输出放大位移Δδ。

进一步地，在本发明的较佳实施例中，多个直圆型柔性铰链的数量为十八个，且第一组柔性铰链具有八个直圆型柔性铰链，第二组柔性铰链具有十个直圆型柔性铰链。

进一步地，在本发明的较佳实施例中，第一组柔性铰链的八个直圆型柔性铰链对称分布于驱动器两侧。

进一步地，在本发明的较佳实施例中，机构本体具有对称设置的第一本体与第二本体，且第一本体上设置有九个直圆型柔性铰链，第二本体上设置有九个直圆型柔性铰链，对称分布的直圆型柔性铰链用于组成双轴柔性铰链，双轴柔性铰链用于保证驱动器不承受非运动的方向的力。

进一步地，在本发明的较佳实施例中，第一组柔性铰链的八个直圆型柔性铰链中，其中四个设置于第一本体，另外四个设置于第二本体；第二组柔性铰链的十个直圆型柔性铰链中，其中五个设置于第一本体，另外五个设置于第二本体。

进一步地，在本发明的较佳实施例中，第一本体与第二本体上均间隔设置有多个固定组件，且第一本体与第二本体上的多个固定组件对称设置。

进一步地，在本发明的较佳实施例中，固定组件为沉头螺钉，固定组件的个数为六个，其中三个沉头螺钉设置于第一本体，另外三个沉头螺钉对称设置于第二本体。

进一步地，在本发明的较佳实施例中，沉头螺钉为M4沉头螺钉。

进一步地，在本发明的较佳实施例中，驱动器为压电陶瓷致动器。

进一步地，在本发明的较佳实施例中，直圆型柔性铰链的半径均为3mm，且最小距离均为1mm。

上述方案的有益效果：

本发明提供了一种精密放大柔性微动系统，包括机构本体、驱动器以及多个直圆型柔性铰链组成的柔性铰链机构。其中，机构本体为各部件的运动与安装提供了基础与保证，机构本体具有微动输入机构以及微动输出机构，微动输入机构用于输入运动Δμ，微动输出机构用于输出放大位移Δδ。同时，驱动器设置于机构本体，且用于为微动输入机构提供运动位移，微动输入机构在驱动器的驱动作用下用于输入运动Δμ。驱动器主要用于为微动输入机构提供驱动力，使得微动输出机构可以输出放大后的运动Δδ。并且，多个直圆型柔性铰链对称设置于机构本体，且多个直圆型柔性铰链包括第一组柔性铰链与第二组柔性铰链，第一组柔性铰链用于保证驱动器在运动过程中不承受横向力及力矩，且不产生非运动方向的附加位移，确保机构本体运动的精密性及平稳性；第二组柔性铰链用于将微动输入机构输入的运动Δμ进行精密传动以及放大，使得微动输出机构用于输出放大位移Δδ。第一组柔性铰链充分保证了机构本体的运动平稳性，同时确保驱动器在运动过程中不承受横向力及力矩，且不产生非运动方向的附加位移。第二组柔性铰链结构在第一组柔性铰链机构的基础之上进行位移的传动与放大，最终输出放大位移Δδ。

综上所述，该精密放大柔性微动系统可将直线位移精确放大，并不会产生非运动方向附加位移，且可根据实际需求调整放大比例。并且该精密放大柔性微动系统强度满足设计要求，具有优良的动态性能，具有较高的精确性及有效性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明的实施例提供的精密放大柔性微动系统在第一视角下的结构示意图；

图2为本发明的实施例提供的精密放大柔性微动系统在第二视角下的结构示意图；

图3为本发明的实施例提供的精密放大柔性微动系统的运动学有限元分析图；

图4为本发明的实施例提供的精密放大柔性微动系统的有限元分析与理论分析结构对比图；

图5为本发明的实施例提供的精密放大柔性微动系统的最大模拟应力分析图；

图6为本发明的实施例提供的精密放大柔性微动系统的前6阶固有频率模态分析图。

图标：100-精密放大柔性微动系统；101-机构本体；102-微动输出机构；103-驱动器；104-微动输入机构；107-第一组柔性铰链；109-第二组柔性铰链；111-沉头螺钉；113-第一本体；115-第二本体。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本发明实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之上或之下可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征之上、上方和上面包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征之下、下方和下面包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

图1为本实施例提供的精密放大柔性微动系统100在第一视角下的结构示意图；图2为本实施例提供的精密放大柔性微动系统100在第二视角下的结构示意图。请参阅图1与图2，本实施例提供了一种精密放大柔性微动系统100。该精密放大柔性微动系统100的外形尺寸为160mm×196mm×50mm(长×宽×高)。同时，该精密放大柔性微动系统100包括：机构本体101、驱动器103以及多个直圆型柔性铰链组成的柔性铰链机构。

具体地，请再次参阅图1与图2，在本实施例中，机构本体101为各部件的运动与安装提供了基础与保证，机构本体101具有微动输入机构104以及微动输出机构102，微动输入机构104用于输入运动Δμ，微动输出机构102用于输出放大位移Δδ。

具体地，请再次参阅图1与图2，在本实施例中，驱动器103设置于机构本体101，且用于为微动输入机构104提供动力，微动输入机构104在驱动器103的驱动作用下用于输入运动Δμ。驱动器103主要用于为微动输入机构104提供驱动力，使得微动输出机构102可以输出放大后的运动Δδ。

同时，需要说明的是，在本发明的实施例中，精密放大柔性微动系统100还包括与驱动器103连接的控制器，控制器用于控制驱动器103运动。

具体地，请再次参阅图1与图2，在本实施例中，多个直圆型柔性铰链对称设置于机构本体101组成柔性铰链机构。柔性铰链机构的柔性铰链利用其结构薄弱部分材料的可塑性形变来传递能量以及位移，具有很好的传动和导向作用，可以应用于许多精密及超精密运动的高科技领域。根据柔性铰链的薄弱部位的组成形状不同，常见的柔性铰链可分为：直圆型柔性铰链、圆弧型柔性铰链、抛物线型柔性铰链、矩形型柔性铰链等。不同类型柔性铰链的柔度、传动精度以及所能承受最大应力等性能不同：矩形型柔性铰链具有最好的柔度和旋转范围，但是传动精度不高、转动中心在转动过程中有移动；圆弧型柔性铰链具有很高的运动精度，然而它的柔性非常差，其运动范围比较小，局限于小范围内运动；直圆型柔性铰链和抛物线型柔性铰链的数据介于以上两种类型的铰链之间，在一定程度上可以兼顾运动精度和运动范围两方面的需求，其中具有结构简单、易于加工等优点的直圆型柔性铰链是柔性铰链最常使用的一种类型。

详细地，在本实施例中，多个直圆型柔性铰链包括第一组柔性铰链107与第二组柔性铰链109，第一组柔性铰链107用于保证驱动器103在运动过程中不承受横向力及力矩，且不产生非运动方向的附加位移，确保机构本体101运动的精密性及平稳性；第二组柔性铰链109用于将微动输入机构104输入的运动Δμ进行精密传动以及放大，使得微动输出机构102用于输出放大位移Δδ。第一组柔性铰链107充分保证了机构本体101的运动平稳性，同时确保驱动器103在运动过程中不承受横向力及力矩，且不产生非运动方向的附加位移。第二组柔性铰链109结构在第一组柔性铰链107的基础之上进行位移的传动与放大，最终输出放大位移Δδ。

详细地，请再次参阅图1与图2，在本实施例中，多个直圆型柔性铰链的数量为十八个，且第一组柔性铰链107具有八个直圆型柔性铰链，第二组柔性铰链109具有十个直圆型柔性铰链。

其中，第一组柔性铰链107分别包括柔性铰链K、柔性铰链L、柔性铰链O、柔性铰链P、柔性铰链M、柔性铰链N、柔性铰链Q、柔性铰链R。第二组柔性铰链109包括柔性铰链A、柔性铰链B、柔性铰链C、柔性铰链D、柔性铰链E、柔性铰链F、柔性铰链G、柔性铰链H、柔性铰链I、柔性铰链J。

并且，柔性铰链K与柔性铰链L相对设置，柔性铰链O与柔性铰链P相对设置于柔性铰链K与柔性铰链L的下方。柔性铰链M与柔性铰链N相对设置于柔性铰链K与柔性铰链L的另一侧。柔性铰链Q与柔性铰链R相对设置于柔性铰链M与柔性铰链N的下方，且位于柔性铰链O与柔性铰链P的另一侧。柔性铰链G与柔性铰链F相对设置，且柔性铰链E设置于柔性铰链F的左方。柔性铰链H与柔性铰链J相对设置，且柔性铰链I设置于柔性铰链H的右方。柔性铰链A与柔性铰链C相对设置，柔性铰链B与柔性铰链D相对设置且位于柔性铰链A与柔性铰链C的对侧。

柔性铰链K、柔性铰链L、柔性铰链O、柔性铰链P、柔性铰链M、柔性铰链N、柔性铰链Q、柔性铰链R用于保证驱动器103在运动过程中不承受横向力及力矩，且不产生非运动方向的附加位移，确保机构本体101运动的精密性及平稳性。柔性铰链A、柔性铰链B、柔性铰链C、柔性铰链D、柔性铰链E、柔性铰链F、柔性铰链G、柔性铰链H、柔性铰链I、柔性铰链J用于将微动输入机构104输入的运动Δμ进行精密传动以及放大，使得微动输出机构102用于输出放大位移Δδ。

具体地，柔性铰链K、柔性铰链L、柔性铰链O、柔性铰链P、柔性铰链M、柔性铰链N、柔性铰链Q、柔性铰链R对称分布于驱动器103两侧。其中柔性铰链K、柔性铰链L、柔性铰链O、柔性铰链P设置于驱动器103的左侧，柔性铰链M、柔性铰链N、柔性铰链Q、柔性铰链R设置于驱动器103的右侧。由于柔性铰链的导向作用及机构的对称原理，保证驱动器103在运动过程中不承受横向力及力矩，且不产生非运动方向(y向为运动方向)的附加位移，从而确保机构运动的精密性及平稳性。

进一步详细地，在本实施例中，机构本体101具有对称设置的第一本体113与第二本体115，且第一本体113上设置有九个直圆型柔性铰链，第二本体115上设置有九个直圆型柔性铰链。其中，柔性铰链A、柔性铰链C、柔性铰链E、柔性铰链F、柔性铰链G、柔性铰链K、柔性铰链L、柔性铰链O以及柔性铰链P依次设置于第一本体113；柔性铰链B、柔性铰链D、柔性铰链H、柔性铰链I、柔性铰链J、柔性铰链M、柔性铰链N、柔性铰链Q以及柔性铰链R设置于第二本体115，第一本体113与第二本体115上的柔性铰链对称分布的直圆型柔性铰链用于组成双轴柔性铰链，双轴柔性铰链用于保证驱动器103不承受非运动的方向的力。

请再次参阅图1与图2，在本实施例中，第一本体113与第二本体115上均间隔设置有多个固定组件，且第一本体113与第二本体115上的多个固定组件对称设置。固定组件为沉头螺钉111，固定组件的个数为六个，其中三个沉头螺钉111设置于第一本体113，另外三个沉头螺钉111对称设置于第二本体115。

作为优选的方案，在本实施例中，沉头螺钉111为M4沉头螺钉111。驱动器103为压电陶瓷致动器。且直圆型柔性铰链的半径均为3mm，且最小距离均为1mm。

同时，需要说明的是，微动系统利用柔性铰链可以通过薄弱部分材料的可逆弹性形变来产生运动或者传递能量、可以提供绕铰链中心转动的有限角位移，具有很好的导向、传动及转换功能，材料的弹性、塑性性能对实现以上功能具有决定性作用，所以材料的选择对于柔性铰链的导向、传动及转换功能实现具有重要影响。

微动系统包含18个对称分布的柔性链接，因此选用材料时应考虑在不大于材料的塑性变形极限的前提下得到最大的变形，还需考虑柔性铰链机构的加工问题，因此在选用弹性铰链的材料上时要进行综合考虑。现有研究认为QBe2、60Si2Mn、65Mn是柔性铰链较为理想的材料，这几种材料的材料参数见表1。综合考虑材料各参数以及国内外柔性铰链材料使用的经验，采用弹簧钢材料60Si2Mn作为微动系统的加工材料，并采用线切割方法进行加工以保证机构的精密加工。

表1柔性铰链材料参数

同时，需要说明的是，在本实施例中，为了确定该精密放大柔性微动系统100的精确性与合理性。对该精密放大柔性微动系统100进行了运动学分析。该精密放大柔性微动系统100可根据实际需要自主设计放大比，在此根据本次设计实际情况计算放大比。微型放大系统运动示意图如图1与图2所示，当输入位移Δμ由V面传递到柔性铰链G、J时，经过A-J(A、B、C、D、E、F、G、H、I、J)十个柔性铰链放大和位移传递，使得W面相对于其初始位置沿竖直方向上有了一定放大比例的输出位移Δδ。由于机构具有对称结构，只对机构的左半边进行分析。当输入位移Δμ由点G传递到点C时，由杠杆原理及平行四边形放大原理可以得出在机构上点E的位移Δδ与点C的位移Δμ之间的比值等于EC的长度与EF的长度之比，即为：由此可知E点的输出位移为：而在微动精密机构设计中L_EC＝45mm，L_EF＝15mm，根据上述公式，得Δδ＝3Δμ。

根据柔性铰链的传导和传递作用以及在机构中对称分布的关系可知，本实施例提供的精密放大柔性微动系统100的输出端面的输出位移在竖直方向为Δδ＝3Δμ，且在水平方向上位移为零。因此，得出该微型精密放大系统的理论设计放大倍数为3，且无非运动方向的附加位移产生。同时，本实施例提供的精密放大柔性微动系统100可根据需要调整结构设计实现放大比的变换，本发明的实施例不做限定。

图3为本实施例提供的精密放大柔性微动系统100的运动学有限元分析图。请参阅图3，在本实施例中，采用静力学模块对机构进行分析，将材料属性定义为60Si2Mn的材料属性，将微动系统三维模型导入有限元软件中。首先对机构进行单元尺寸为2mm的自由网格划分，再对机构的36个柔性铰链圆柱面进行0.5mm的单元进行细化，划分后得到模型的节点数是1465330、网格个数为930746，网格划分后的模型如图3，由图可见在柔性铰链的圆弧部分网格划分细密，且无断裂，网格划分质量良好。

同时，进行条件约束时，对机构的6个螺纹孔圆柱面施加固定约束，在v面位置处的y轴正方向上施加位移条件，每次在输入机构施加位移后可在输出机构获得一次输出位移。设置输入位移为1μm-15μm，每间隔1μm计算一次，采用探针功能可以检测出输出机构W中心位置的输出位移，从而得到15组求解运算数据如表2所示。

表2微动系统运动学分析

图4为本实施例提供的精密放大柔性微动系统100的有限元分析与理论分析结构对比图。请参阅图4，将有限元分析及理论分析结果进行对比，对所设计的精密放大柔性微动系统100进行分析考查，有限元仿真及理论分析结果如表2所示，仿真结果及理论最大输出位移分别为45μm、43.047μm，将有限元仿真及理论分析结果分别用MATLAB对微动回转机构进行输入值△μ与输出值△δ拟合成线性方程式，输入值△μ与输出值△δ的关系线性拟合图如图4所示。

根据图4的结果，对运动学理论分析拟合的线性方程为Δδ＝3Δμ，其线性度为1。对运动学有限元分析拟合的线性方程式为Δδ＝2.86Δμ-0.0007467，其线性度为1。由上述公式可得出本实施例提供的精密放大柔性微动系统100的运动误差为4.67％。且运动理论分析与有限元分析拟合曲线非常接近且线性度很好，因此，机构运动具有很高的精确性和线性度。

图5为本实施例提供的精密放大柔性微动系统100的最大模拟应力分析图。请参阅图5，本实施例提供的精密放大柔性微动系统100的强度分析主要分析微动系统在微驱动器103驱动下是否会发生破坏，因此需要计算在压电致动器最大驱动位移下微动系统运动的最大模拟应力，从而确定该机构是否满足材料校核强度的要求。

采用有限元法对机构进行强度分析，有限元前期处理与运动学分析相似，与本机构配套使用的微驱动器103最大伸长量为15μm，因此，微动系统最大模拟应力发生在微动系统输入机构W处承受y正向最大位移15μm时，此时微动系统最大模拟应力如图5所示，可见其最大应力为80.196MPa。

同时，60Si2Mn材料的许用应力为：60Si2Mn的屈服极限为1176MPa，安全系数λ取值为1.5，带入上述公式，得出材料许用应力为784MPa。而该放大结构的最大模拟应力为80.196MPa，其远小于材料许用应力。由静力学有限元分析可知该微动系统在运动过程中，其最大应力远小于材料许用应力，说明结构设计合理、符合校核强度要求。

图6为本实施例提供的精密放大柔性微动系统100的前6阶固有频率模态分析图。请参阅图6，为了判断系统在运动过程中是否会发生共振，需要对微动系统的固有频率进行分析，以完成系统的动态性能分析。采用有限元软件Modal分析模块对该微动系统进行模态分析，模型网格划分与运动学分析相同，对模块6个限位孔进行固定后进行模态分析，可得到系统的固有频率，其前6阶固有频率如图6所示。

该系统采用P225.10该型号的压电陶瓷致动器，该致动器的最大转速为2r/s，即最大振动频率为2Hz，由微动放大系统前6阶固有频率最小一阶频率为333.12Hz。所以，该微动放大系统在工作中不会发生共振。因此，系统在运动过程中不会发生共振，系统具有优良的动态性能。

综上所述，本发明的实施例提供的精密放大柔性微动系统100是基于平行四边形放大原理及柔性铰链导向、传动原理，设计的一种精密放大微动系统，并对系统的运动性能、强度性能、模态性能进行了分析，研究得出如下结论：

(1)基于平行四边形放大原理及柔性铰链导向、传动原理提出了精密柔性放大微动系统的设计方案，该系统可将直线位移精确放大，并不会产生非运动方向附加位移，且可根据实际需要调整放大比例。

(2)利用有限元分析法对该系统分别进行了运动性能、强度性能、动态性能分析，分析显示系统最大定位误差值为4.67％、强度满足设计要求、具有优良的动态性能，分析结果证明了系统设计精确性及有效性。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种精密放大柔性微动系统，其特征在于，包括：

机构本体，所述机构本体具有微动输入机构以及微动输出机构，所述微动输入机构用于输入运动Δμ，所述微动输出机构用于输出放大位移Δδ；

驱动器，所述驱动器设置于所述机构本体，且用于为所述微动输入机构提供运动位移，所述微动输入机构在所述驱动器的驱动作用下用于输入运动Δμ；

多个直圆型柔性铰链组成的柔性铰链机构，多个所述直圆型柔性铰链对称设置于所述机构本体，且多个直圆型柔性铰链包括第一组柔性铰链与第二组柔性铰链，所述第一组柔性铰链用于保证驱动器在运动过程中不承受横向力及力矩，且不产生非运动方向的附加位移，确保所述机构本体运动的精密性及平稳性；所述第二组柔性铰链用于将所述微动输入机构输入的运动Δμ进行精密传动以及放大，使得所述微动输出机构用于输出放大位移Δδ。

2.根据权利要求1所述的精密放大柔性微动系统，其特征在于：

多个所述直圆型柔性铰链的数量为十八个，且所述第一组柔性铰链具有八个所述直圆型柔性铰链，所述第二组柔性铰链具有十个所述直圆型柔性铰链。

3.根据权利要求2所述的精密放大柔性微动系统，其特征在于：

所述第一组柔性铰链的八个所述直圆型柔性铰链对称分布于所述驱动器两侧。

4.根据权利要求2所述的精密放大柔性微动系统，其特征在于：

所述机构本体具有对称设置的第一本体与第二本体，且所述第一本体上设置有九个所述直圆型柔性铰链，所述第二本体上设置有九个所述直圆型柔性铰链，对称分布的直圆型柔性铰链用于组成双轴柔性铰链，所述双轴柔性铰链用于保证驱动器不承受非运动的方向的力。

5.根据权利要求4所述的精密放大柔性微动系统，其特征在于：

所述第一组柔性铰链的八个所述直圆型柔性铰链中，其中四个设置于所述第一本体，另外四个设置于所述第二本体；所述第二组柔性铰链的十个所述直圆型柔性铰链中，其中五个设置于所述第一本体，另外五个设置于所述第二本体。

6.根据权利要求5所述的精密放大柔性微动系统，其特征在于：

所述第一本体与所述第二本体上均间隔设置有多个固定组件，且所述第一本体与所述第二本体上的多个固定组件对称设置。

7.根据权利要求6所述的精密放大柔性微动系统，其特征在于：

所述固定组件为沉头螺钉，所述固定组件的个数为六个，其中三个所述沉头螺钉设置于所述第一本体，另外三个所述沉头螺钉对称设置于所述第二本体。

8.根据权利要求7所述的精密放大柔性微动系统，其特征在于：

所述沉头螺钉为M4沉头螺钉。

9.根据权利要求1所述的精密放大柔性微动系统，其特征在于：

所述驱动器为压电陶瓷致动器。

10.根据权利要求1所述的精密放大柔性微动系统，其特征在于：

所述直圆型柔性铰链的半径均为3mm，且最小距离均为1mm。