CN108194777A - 一种光栅尺的安装装置 - Google Patents
一种光栅尺的安装装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN108194777A CN108194777A CN201711463151.0A CN201711463151A CN108194777A CN 108194777 A CN108194777 A CN 108194777A CN 201711463151 A CN201711463151 A CN 201711463151A CN 108194777 A CN108194777 A CN 108194777A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- grating ruler
- grating
- pressing block
- flexible element
- bolt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 8
- 241000886545 Leptodea leptodon Species 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- RYZCLUQMCYZBJQ-UHFFFAOYSA-H lead(2+);dicarbonate;dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Pb+2].[Pb+2].[Pb+2].[O-]C([O-])=O.[O-]C([O-])=O RYZCLUQMCYZBJQ-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
- F16M11/00—Stands or trestles as supports for apparatus or articles placed thereon ; Stands for scientific apparatus such as gravitational force meters
- F16M11/02—Heads
- F16M11/04—Means for attachment of apparatus; Means allowing adjustment of the apparatus relatively to the stand
- F16M11/043—Allowing translations
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
- F16M11/00—Stands or trestles as supports for apparatus or articles placed thereon ; Stands for scientific apparatus such as gravitational force meters
- F16M11/02—Heads
- F16M11/18—Heads with mechanism for moving the apparatus relatively to the stand
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
- F16M13/00—Other supports for positioning apparatus or articles; Means for steadying hand-held apparatus or articles
- F16M13/02—Other supports for positioning apparatus or articles; Means for steadying hand-held apparatus or articles for supporting on, or attaching to, an object, e.g. tree, gate, window-frame, cycle
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
本申请公开一种光栅尺的安装装置，包括用于固定光栅尺的安装板和穿过光栅尺下表面，并通过光栅尺的端盖进行密封的移动装置；其中，安装板包括设在其长度方向的柔性元件、板弹簧、位于板弹簧上表面并带孔的压块、螺栓以及用于固定光栅尺的斜槽；其中，柔性元件设有定位孔；移动装置包括平行光源、玻璃光栅和光电传感器。可见，本申请通过利用设置于安装板的斜槽，与光栅尺外壳上的斜槽进行贴合，接着利用板弹簧、压块和螺栓进行固定，使光栅尺外壳长度方向的表面与安装板的基准面紧密贴合；此外，通过安装板的柔性元件与其上的定位孔，将安装板固定在机床上，并利用柔性元件随温度变化的胀缩性能，实现光栅尺的精确安装。
Description
技术领域
本发明涉及机械技术领域，特别涉及一种光栅尺的安装装置。
背景技术
在精密测量与自动控制领域，采用光栅尺做为基准，该方法在国际上被公认为是获取高精度的数据最实用、最经济、最可靠的技术解决方案。光栅尺测量机构是实现这一途径的代表性产品，被广泛应用于各种数控机床、机电设备、自动化测量设备中。
在现有技术中，通常将光栅尺的刻度尺固定于机床的光滑平面上，读数头固定于光栅尺上，并且读数头的感应区位于刻度尺的正上方。通常固定光栅尺的做法是，根据利用螺钉穿过光栅尺上的定位孔，加工一个长基准板，沿着基准板进行光栅尺的固定。这种方法需要安装不便，而且与设备刚性连接，连接的部位不能随设备温度变化而自适应形变，使测量精度降低。
因此，如何实现光栅尺的精确安装是本领域技术人员亟待解决的问题。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在于提供一种光栅尺的安装装置，实现光栅尺的精确安装。其具体方案如下：
一种光栅尺的安装装置，包括用于固定光栅尺的安装板和穿过所述光栅尺下表面，并通过所述光栅尺的端盖进行密封，用于带动所述光栅尺移动的移动装置；其中，
所述安装板包括设在其长度方向的柔性元件、板弹簧、位于所述板弹簧上表面并带孔的压块、穿过所述压块并用于固定所述压块的螺栓以及用于固定所述光栅尺的斜槽；其中，所述柔性元件设有定位孔；
所述移动装置包括平行光源、用于调制平行光的玻璃光栅和用于处理经所述玻璃光栅调制后得到的光信号的光电传感器。
优选的，所述压块包括铝合金压块。
优选的，所述螺栓包括两端设有内六角凹槽的螺栓。
优选的，所述的光栅尺的安装装置，还包括穿过所述柔性元件的定位孔，用于将所述安装板固定于机床的螺钉。
优选的，所述螺钉包括内六角螺钉。
优选的，所述柔性元件包括通过铝材料制备的柔性元件。
优选的，所述柔性元件的数量为N个；其中，N为大于1的整数。
本发明公开的一种光栅尺的安装装置，包括用于固定光栅尺的安装板和穿过光栅尺下表面，并通过光栅尺的端盖进行密封，用于带动光栅尺移动的移动装置；其中，安装板包括设在其长度方向的柔性元件、板弹簧、位于板弹簧上表面并带孔的压块、穿过压块并用于固定压块的螺栓以及用于固定光栅尺的斜槽；其中，柔性元件设有定位孔；移动装置包括平行光源、用于调制平行光的玻璃光栅和用于处理经玻璃光栅调制后得到的光信号的光电传感器。可见，本发明通过利用设置于安装板的斜槽，与光栅尺外壳上的斜槽进行贴合，接着利用板弹簧、压块和螺栓进行固定，使光栅尺外壳的长度方向的表面与安装板的基准面紧密贴合，进而保证了光栅尺外壳与安装板的平行度；此外，通过安装板的柔性元件与其上的定位孔，将安装板固定在机床上，并利用柔性元件随温度变化自适应的胀缩性能，保证测量的精度，进而实现光栅尺的精确安装。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的一种光栅尺的安装装置的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的一种光栅尺的安装装置的安装板与光栅尺的连接示意图；
图3为本发明实施例提供的一种光栅尺的安装装置的安装板的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明实施例公开了一种光栅尺的安装装置，具体的结构示意图如图1至图3所示，包括：
用于固定光栅尺3的安装板1和穿过光栅尺3下表面，并通过光栅尺3的端盖进行密封，用于带动光栅尺3移动的移动装置2；其中，
安装板1包括设在其长度方向的柔性元件104、板弹簧101、位于板弹簧101上表面并带孔的压块102、穿过压块102并用于固定压块102的螺栓103以及用于固定光栅尺的斜槽；其中，柔性元件104设有定位孔105；移动装置2包括平行光源、用于调制平行光的玻璃光栅和用于处理经玻璃光栅调制后得到的光信号的光电传感器。
需要进行说明的是，安装板与光栅尺外壳的固定结构与方法如图2所示，将光栅尺尺3外壳上的斜槽d沿安装板1的斜槽c插入，再通过板弹簧101、位于板弹簧101上表面并带孔的压块102、穿过压块102并用于固定压块102的螺栓103沿顺时针方向，将光栅尺3的外壳紧定，紧定过程是通过压块102的斜槽a与光栅尺的斜槽b贴合，这样，保证了光栅尺3外壳的e面与安装板1的A基准面的平行度。可见，安装光栅尺与安装板的过程方便、快捷、有效。
需要进一步说明的是，安装板1包括的压块102通常是铝合金压块，当然必要情况下也可以是其他材料制成的压块，这均在本发明的保护范围之内。本发明实施例中，穿过压块102并用于固定压块102的螺栓103通常为内六角凹槽的螺栓，螺栓103使用内六角凹槽螺栓的优势是实现螺栓103的两个方向都可以固定，使安装板1安装的光栅尺3拆卸方便，便于更换和检修。
安装板1与机床床身的固定如图3所示，利用安装板1沿长度方向设置的柔性元件104和位于柔性元件104上的定位孔105，将安装板1固定在机床上，并利用柔性元件104随温度变化自适应地产生相应的胀缩的性能，有效地解决了温度过高时时因光栅尺外壳刚度不够而导致的变形严重问题，从而保证光栅尺3的测量精度。
需要进行补充说明的是，上述柔性元件104可以是铝材料制备的柔性元件104，如图3所示。铝的颜色是银白色的轻金属，有延展性。当然，上述柔性元件104也可以使用金、银材料制成，当然考虑到材料的成本，上述柔性元件104通常是采用铝材料进行制备，可以理解的是，金银等柔性金属材料制备的柔性元件均在本发明的保护范围之内；而且，柔性元件104的个数至少一个，柔性元件具体的数目设置可以根据用户的需要进行设置。此外，也可以使用螺钉将安装板1固定在机床上，螺钉可以是内六角螺钉，当然，必要情况下也可以是其他种类的螺钉，这均在本发明的保护范围之内。
本发明实施例中，移动装置2也可以称为“小车装置”，包括平行光源、用于调制平行光的玻璃光栅和用于处理经玻璃光栅调制后得到的光信号的光电传感器。移动装置2内各部件的工作过程为：当移动工作台带动移动装置2相对于光栅尺外壳内固定装配的玻璃光栅移动时，移动装置2内的平行光源发射的平行光经过玻璃光栅调制后，由光电传感器转化成电信号并输出给信号处理单元，实现光栅尺的直线测量。
本发明实施例公开的一种光栅尺的安装装置，包括用于固定光栅尺的安装板和穿过光栅尺下表面，并通过光栅尺的端盖进行密封，用于带动光栅尺移动的移动装置；其中，安装板包括设在其长度方向的柔性元件、板弹簧、位于板弹簧上表面并带孔的压块、穿过压块并用于固定压块的螺栓以及用于固定光栅尺的斜槽；其中，柔性元件设有定位孔；移动装置包括平行光源、用于调制平行光的玻璃光栅和用于处理经玻璃光栅调制后得到的光信号的光电传感器。可见，本发明实施例通过利用设置于安装板的斜槽，与光栅尺外壳上的斜槽进行贴合，接着利用板弹簧、压块和螺栓进行固定，使光栅尺外壳的长度方向的表面与安装板的基准面紧密贴合，进而保证了光栅尺外壳与安装板的平行度；此外，通过安装板的柔性元件与其上的定位孔，将安装板固定在机床上，并利用柔性元件随温度变化自适应的胀缩性能，保证测量的精度，进而实现光栅尺的精确安装。
最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上对本发明所提供的光栅尺的安装装置进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
Claims (7)
1.一种光栅尺的安装装置，其特征在于，包括用于固定光栅尺的安装板和穿过所述光栅尺下表面，并通过所述光栅尺的端盖进行密封，用于带动所述光栅尺移动的移动装置；其中，
所述安装板包括设在其长度方向的柔性元件、板弹簧、位于所述板弹簧上表面并带孔的压块、穿过所述压块并用于固定所述压块的螺栓以及用于固定所述光栅尺的斜槽；其中，所述柔性元件设有定位孔；
所述移动装置包括平行光源、用于调制平行光的玻璃光栅和用于处理经所述玻璃光栅调制后得到的光信号的光电传感器。
2.根据权利要求1所述的光栅尺的安装装置，其特征在于，所述压块包括铝合金压块。
3.根据权利要求1所述的光栅尺的安装装置，其特征在于，所述螺栓包括两端设有内六角凹槽的螺栓。
4.根据权利要求1所述的光栅尺的安装装置，其特征在于，还包括穿过所述柔性元件的定位孔，用于将所述安装板固定于机床的螺钉。
5.根据权利要求4所述的光栅尺的安装装置，其特征在于，所述螺钉包括内六角螺钉。
6.根据权利要求1至5任一项所述的光栅尺的安装装置，其特征在于，所述柔性元件包括通过铝材料制备的柔性元件。
7.根据权利要求6所述的光栅尺的安装装置，其特征在于，所述柔性元件的数量为N个；其中，N为大于1的整数。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201711463151.0A CN108194777A (zh) | 2017-12-28 | 2017-12-28 | 一种光栅尺的安装装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201711463151.0A CN108194777A (zh) | 2017-12-28 | 2017-12-28 | 一种光栅尺的安装装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN108194777A true CN108194777A (zh) | 2018-06-22 |
Family
ID=62585110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201711463151.0A Pending CN108194777A (zh) | 2017-12-28 | 2017-12-28 | 一种光栅尺的安装装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN108194777A (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109579710A (zh) * | 2018-12-26 | 2019-04-05 | 中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所 | 一种具有热稳定性的柔性光栅安装机构 |
| CN110186377A (zh) * | 2019-07-03 | 2019-08-30 | 长春禹衡光学有限公司 | 一种光栅尺及其尺壳 |
| CN111380464A (zh) * | 2018-12-28 | 2020-07-07 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种光栅尺的安装装置、安装方法、光栅测量系统及光刻机 |
Citations (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4869378A (en) * | 1988-08-29 | 1989-09-26 | Hospital Systems, Inc. | Mounting rail for hospital appliances and bracket |
| JPH08201020A (ja) * | 1995-01-23 | 1996-08-09 | Nikon Corp | 測定機の移動量読み取り装置 |
| CN2390214Y (zh) * | 1999-09-23 | 2000-08-02 | 时代集团公司 | 信号线可伸缩定位的光栅尺 |
| CN1693842A (zh) * | 2005-06-10 | 2005-11-09 | 北京工业大学 | 纸杯测量仪 |
| CN1826507A (zh) * | 2003-07-24 | 2006-08-30 | 李锦锡 | 用于光纤布拉格光栅传感器的固定器 |
| CN1827297A (zh) * | 2006-02-13 | 2006-09-06 | 广州市诺信数字测控设备有限公司 | 接长光栅尺的对接机构 |
| CN1858557A (zh) * | 2006-02-13 | 2006-11-08 | 广州市诺信数字测控设备有限公司 | 一种光栅尺及其读数方法 |
| CN200939564Y (zh) * | 2006-08-16 | 2007-08-29 | 佘根生 | 一种水晶磨面机的工件夹紧机构的固定装置 |
| CN100401445C (zh) * | 2004-09-30 | 2008-07-09 | 欧姆龙株式会社 | 多光轴光电传感器的安装结构 |
| CN101288937A (zh) * | 2008-05-27 | 2008-10-22 | 深圳市木森科技有限公司 | 一种数控机床、光栅尺系统及光栅尺固定方法 |
| CN102538676A (zh) * | 2011-12-26 | 2012-07-04 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种光栅尺的尺壳固定装置 |
| CN202388047U (zh) * | 2011-12-28 | 2012-08-22 | 美塞斯（珠海保税区）工业自动化设备有限公司 | 联体式气动切刀 |
| CN202780212U (zh) * | 2012-07-05 | 2013-03-13 | 浙江双鸟锚链有限公司 | 焊机电极压紧机构 |
| CN202964408U (zh) * | 2012-12-14 | 2013-06-05 | 天津精诚机床股份有限公司 | 一种砂轮组件 |
| CN103737435A (zh) * | 2013-12-04 | 2014-04-23 | 安徽理工大学 | 一种提高数控机床光栅测量系统测量精度的方法 |
| CN204287121U (zh) * | 2014-12-30 | 2015-04-22 | 株洲时代电子技术有限公司 | 一种探轮调零架及其调零系统 |
| CN103339704B (zh) * | 2010-11-22 | 2015-11-25 | 欧姆龙株式会社 | 多光轴光电传感器的固定结构 |
| CN205120044U (zh) * | 2015-09-08 | 2016-03-30 | 东莞市普迈精密测量科技有限公司 | 一种光栅尺的滑动机构 |
| CN205425974U (zh) * | 2016-03-16 | 2016-08-03 | 珠海市敏夫光学仪器有限公司 | 一种88式狙击步枪瞄准器 |
| CN106482769A (zh) * | 2016-11-23 | 2017-03-08 | 广州市精谷智能科技有限公司 | 一种直线编码器外壳在热胀冷缩条件下保持直线度的结构 |
| CN106597564A (zh) * | 2017-01-20 | 2017-04-26 | 广州松兴电气股份有限公司 | 一种检测光栅装置 |
-
2017
- 2017-12-28 CN CN201711463151.0A patent/CN108194777A/zh active Pending
Patent Citations (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4869378A (en) * | 1988-08-29 | 1989-09-26 | Hospital Systems, Inc. | Mounting rail for hospital appliances and bracket |
| JPH08201020A (ja) * | 1995-01-23 | 1996-08-09 | Nikon Corp | 測定機の移動量読み取り装置 |
| CN2390214Y (zh) * | 1999-09-23 | 2000-08-02 | 时代集团公司 | 信号线可伸缩定位的光栅尺 |
| CN1826507A (zh) * | 2003-07-24 | 2006-08-30 | 李锦锡 | 用于光纤布拉格光栅传感器的固定器 |
| CN100401445C (zh) * | 2004-09-30 | 2008-07-09 | 欧姆龙株式会社 | 多光轴光电传感器的安装结构 |
| CN1693842A (zh) * | 2005-06-10 | 2005-11-09 | 北京工业大学 | 纸杯测量仪 |
| CN1827297A (zh) * | 2006-02-13 | 2006-09-06 | 广州市诺信数字测控设备有限公司 | 接长光栅尺的对接机构 |
| CN1858557A (zh) * | 2006-02-13 | 2006-11-08 | 广州市诺信数字测控设备有限公司 | 一种光栅尺及其读数方法 |
| CN200939564Y (zh) * | 2006-08-16 | 2007-08-29 | 佘根生 | 一种水晶磨面机的工件夹紧机构的固定装置 |
| CN101288937A (zh) * | 2008-05-27 | 2008-10-22 | 深圳市木森科技有限公司 | 一种数控机床、光栅尺系统及光栅尺固定方法 |
| CN103339704B (zh) * | 2010-11-22 | 2015-11-25 | 欧姆龙株式会社 | 多光轴光电传感器的固定结构 |
| CN102538676A (zh) * | 2011-12-26 | 2012-07-04 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种光栅尺的尺壳固定装置 |
| CN202388047U (zh) * | 2011-12-28 | 2012-08-22 | 美塞斯（珠海保税区）工业自动化设备有限公司 | 联体式气动切刀 |
| CN202780212U (zh) * | 2012-07-05 | 2013-03-13 | 浙江双鸟锚链有限公司 | 焊机电极压紧机构 |
| CN202964408U (zh) * | 2012-12-14 | 2013-06-05 | 天津精诚机床股份有限公司 | 一种砂轮组件 |
| CN103737435A (zh) * | 2013-12-04 | 2014-04-23 | 安徽理工大学 | 一种提高数控机床光栅测量系统测量精度的方法 |
| CN204287121U (zh) * | 2014-12-30 | 2015-04-22 | 株洲时代电子技术有限公司 | 一种探轮调零架及其调零系统 |
| CN205120044U (zh) * | 2015-09-08 | 2016-03-30 | 东莞市普迈精密测量科技有限公司 | 一种光栅尺的滑动机构 |
| CN205425974U (zh) * | 2016-03-16 | 2016-08-03 | 珠海市敏夫光学仪器有限公司 | 一种88式狙击步枪瞄准器 |
| CN106482769A (zh) * | 2016-11-23 | 2017-03-08 | 广州市精谷智能科技有限公司 | 一种直线编码器外壳在热胀冷缩条件下保持直线度的结构 |
| CN106597564A (zh) * | 2017-01-20 | 2017-04-26 | 广州松兴电气股份有限公司 | 一种检测光栅装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109579710A (zh) * | 2018-12-26 | 2019-04-05 | 中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所 | 一种具有热稳定性的柔性光栅安装机构 |
| CN111380464A (zh) * | 2018-12-28 | 2020-07-07 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种光栅尺的安装装置、安装方法、光栅测量系统及光刻机 |
| CN111380464B (zh) * | 2018-12-28 | 2021-05-07 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种光栅尺的安装装置、安装方法、光栅测量系统及光刻机 |
| CN110186377A (zh) * | 2019-07-03 | 2019-08-30 | 长春禹衡光学有限公司 | 一种光栅尺及其尺壳 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108194777A (zh) | 一种光栅尺的安装装置 | |
| JP3351938B2 (ja) | 静電容量型ノギス | |
| JPS5994012A (ja) | 位置測定方法及びこの方法を実施するための装置 | |
| CN101451822B (zh) | 位置测量装置的扫描单元 | |
| CN201373734Y (zh) | 分辨率可调通用游标式光栅读数头 | |
| CN205703515U (zh) | 应用于光栅尺的精确安装结构 | |
| CN108362206B (zh) | 一种基于容栅的非接触式位移传感器 | |
| BR8403768A (pt) | Aparelho e processo de medicao de deslocamento | |
| EP2781890A1 (en) | Linear encoder and method of adjusting linear encoder | |
| JPS6166936A (ja) | 物理パラメータ測定用の光・電気・機械的装置 | |
| US5760392A (en) | Scale for use with a displacement sensor | |
| CN103759753B (zh) | 一种光栅光电信号速度测试装置 | |
| JP2524390B2 (ja) | 直線変位検出器 | |
| EP1445584B1 (en) | Scale device | |
| US7525113B2 (en) | Optical scanning unit and method for mounting the same | |
| CN216717286U (zh) | 一种基于珐珀腔的高温应变传感片 | |
| CN108151673B (zh) | 一种光电成像扫描装置 | |
| EP3713721B1 (en) | Monolithic flexure based, triaxial dynamometer using photointerrupters | |
| CN109352357B (zh) | 基于直线电机驱动的模具切削加工中心 | |
| JPH08201020A (ja) | 測定機の移動量読み取り装置 | |
| CN203337108U (zh) | 一种小型化大应变范围光纤光栅传感器 | |
| CN212305039U (zh) | 一种光编码器及电机 | |
| JP2017167016A (ja) | 光学スケールを有する測長器およびタッチ・プローブ | |
| JP2010249602A (ja) | リニアエンコーダおよびエンコーダヘッドの交換方法 | |
| JP6161501B2 (ja) | リニアゲージセンサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20180622 |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |