CN108181784A - 光罩存储装置 - Google Patents

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CN108181784A CN201711456006.XA CN201711456006A CN108181784A CN 108181784 A CN108181784 A CN 108181784A CN 201711456006 A CN201711456006 A CN 201711456006A CN 108181784 A CN108181784 A CN 108181784A
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魏德萌
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
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Abstract

本发明提供一种光罩存储装置，所述光罩存储装置包括用于存储光罩的存储箱、驱动结构及检测器，所述存储箱包括箱体和箱门，所述箱门与所述箱体转动连接，所述驱动结构与所述箱门连接，所述箱门具有打开状态和闭合状态，所述驱动结构用于驱动所述箱门在打开状态或闭合状态之间转换，所述检测器用于检测所述箱门是处于打开状态还是处于闭合状态。本发明提出的光罩存储装置通过检测器可以检测所述箱门是出于打开状态还是处于闭合状态，从而可以对光罩的搬运过程进行监控，整个光罩存储装置结构简单、能够自动对光罩的搬运过程进行监控、不会造成设备停机、降低了光罩搬运的风险。

Description

光罩存储装置
技术领域
本发明涉及显示面板制造技术领域，尤其涉及一种光罩存储装置。
背景技术
在液晶显示面板的TFT阵列和彩色滤光片的生产过程中，通常需要利用光罩进行曝光处理。在显示面板生产产线中有专用的用于存储光罩的装置，光罩在使用后需要将其搬运至存储装置中进行存储，以便下次继续使用。在存储过程中，需要对光罩的搬运过程进行监控，现有的监控方法比较复杂，而且智能化程度比较低，在监控过程中经常造成设备停机，给光罩的搬运造成很大的风险。
发明内容
为了解决现有技术的不足，本发明提供一种光罩存储装置，能够自动对光罩的搬运过程进行监控，不会造成设备停机，降低了光罩搬运的风险。
本发明提出的具体技术方案为：提供一种光罩存储装置，所述光罩存储装置包括用于存储光罩的存储箱、驱动结构及检测器，所述存储箱包括箱体和箱门，所述箱门与所述箱体转动连接，所述驱动结构与所述箱门连接，所述箱门具有打开状态和闭合状态，所述驱动结构用于驱动所述箱门在打开状态或闭合状态之间转换，所述检测器用于检测所述箱门是处于打开状态还是处于闭合状态。
进一步地，所述检测器包括本体、发送端及接收端，所述发射端与所述接收端正对设置于所述本体上。
进一步地，所述本体固定于所述箱体上，所述光罩存储装置还包括设于所述箱门上的挡板，所述挡板在所述箱门处于闭合状态时位于所述发送端与所述接收端之间并遮挡所述接收端。
进一步地，所述本体固定于所述箱门上，所述光罩存储装置还包括设于所述箱体上的挡板，所述挡板在所述箱门处于闭合状态时位于所述发送端与所述接收端之间并遮挡所述接收端。
进一步地，所述挡板在所述箱门处于闭合状态时完全遮挡所述接收端。
进一步地，所述驱动结构包括转臂和气缸，所述气缸与所述转臂连接，所述转臂与所述箱门连接。
进一步地，所述转臂包括水平部及由所述水平部弯折延伸出的垂直部，所述水平部与所述气缸连接，所述垂直部与所述箱门连接。
进一步地，所述水平部与所述垂直部垂直。
进一步地，所述箱门处于打开状态时与所述箱体垂直。
本发明提出的光罩存储装置包括存储箱、驱动结构及检测器，所述存储箱包括箱体和箱门，所述箱门具有打开状态和闭合状态，所述驱动结构用于驱动所述箱门在打开状态或闭合状态之间转换，所述检测器可以检测所述箱门是出于打开状态还是处于闭合状态，从而可以对光罩的搬运过程进行监控，整个光罩存储装置结构简单、能够自动对光罩的搬运过程进行监控、不会造成设备停机、降低了光罩搬运的风险。
附图说明
下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式详细描述，将使本发明的技术方案及其它有益效果显而易见。
图1为光罩存储装置的结构示意图；
图2为光罩存储装置的另一结构示意图。
具体实施方式
以下，将参照附图来详细描述本发明的实施例。然而，可以以许多不同的形式来实施本发明，并且本发明不应该被解释为限制于这里阐述的具体实施例。相反，提供这些实施例是为了解释本发明的原理及其实际应用，从而使本领域的其他技术人员能够理解本发明的各种实施例和适合于特定预期应用的各种修改。在附图中，相同的标号将始终被用于表示相同的元件。
参照图1、图2，本实施例提供的光罩存储装置包括用于存储光罩1的存储箱2、驱动结构3及检测器4，存储箱2包括箱体21和箱门22，箱门22与箱体21转动连接，驱动结构3与箱门22连接，箱门22具有打开状态和闭合状态，驱动结构3用于驱动箱门22在打开状态或闭合状态之间转换，检测器4用于检测箱门22是处于打开状态还是处于闭合状态。
存储箱2为长方形，其尺寸与光罩的尺寸对应。当箱门22处于打开状态的时候，可以将光罩1存储至箱体21中或者将箱体21中的光罩取出，当光罩1存储至箱体21中时，驱动结构3固定箱门22并将箱门22抵靠于箱体21上，从而实现对光罩1的存储。
在本实施例的第一实施方式中，检测器4包括本体41、发送端42及接收端43，发射端42与接收端43正对设置于本体41上。发射端42用于发射信号，接收端43用于接收信号，通过接收端43是否接收到发送端42的信号来判断发射端42与接收端43之间是否存在障碍物，即若接收端43未接收到发射端42发送的信号，则接收端43被遮挡，若接收端43能够接收发射端42发送的信号，则接收端43未被遮挡。
较佳地，发射端42与接收端43平行，且发射端42发射的信号的方向与接收端43垂直，即发射端42发射的信号的方向与本体41平行，本体41中还设有控制芯片，用于对发射端42和接收端43的信号进行处理。本实施例中的发射端42发射的信号为红外光信号。
本体41固定于箱体21上，光罩存储装置还包括设于箱门22上的挡板5，挡板5在箱门22处于闭合状态时位于发送端42与接收端43之间并遮挡接收端43。
本体41固定于箱体21朝向箱门22的一面，其可以位于箱体21的上部，也可以位于箱体21的下部，或者位于箱体21的两个侧部，较佳地，箱体21上设有用于装设检测器4的收容部210，检测器4收容于收容部210中，当箱门22处于闭合状态时，挡板5恰好位于发射端42与接收端43之间且箱门22与箱体21的表面贴合，使得箱门22能够很好的与箱体21闭合。当然，也可以在箱门22上设置用于收容接收器4的容纳部(图未标)，在箱门22处于闭合状态时，接收器4刚好插入容纳部中且挡板5恰好位于发射端42与接收端43之间。
为了提升检测精度，挡板5在箱门22处于闭合状态时完全遮挡接收端43，即挡板5的尺寸要大于接收端43的尺寸，这样可以避免接收端43被部分遮挡而造成检测错误的现象。
驱动结构3包括转臂31和气缸32，气缸32与转臂31连接，转臂31与箱门22连接。气缸32驱动转臂31转动，进而带动箱门22在打开状态和闭合状态之间进行转换。
转臂31包括水平部311及由水平部311弯折延伸出的垂直部312，水平部311与气缸32连接，垂直部312与箱门22连接，水平部311与垂直部312垂直。气缸32驱动水平部311自转，水平部311在自转的过程中带动垂直部312绕水平部311旋转，从而带动箱门22绕水平部311转动。当箱门22处于打开状态时，垂直部312和箱门22均位于水平面内，即箱门22与箱体21垂直，当箱门22处于闭合状态时，垂直部312和箱门22均位于竖直平面内，即箱门22与箱体21平行。
在本实施例的另一实施方式中，本体41固定于箱门22上，挡板5设于箱体21上，挡板5在箱门22处于闭合状态时位于发送端42与接收端43之间并遮挡接收端43。
本体41固定于箱门22朝向箱体21的一面，其可以位于箱门22的上部，也可以位于箱门22的下部，或者位于箱门22的两个侧部，较佳地，箱门22上设有用于装设检测器4的收容部210，检测器4收容于收容部210中，当箱门22处于闭合状态时，挡板5恰好位于发射端42与接收端43之间且箱门22与箱体21的表面贴合，使得箱门22能够很好的与箱体21闭合。当然，也可以在箱体21上设置用于收容接收器4的容纳部，在箱门22处于闭合状态时，接收器4刚好插入容纳部中且挡板5恰好位于发射端42与接收端43之间。
以上所述仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (9)

1.一种光罩存储装置，其特征在于，包括用于存储光罩的存储箱、驱动结构及检测器，所述存储箱包括箱体和箱门，所述箱门与所述箱体转动连接，所述驱动结构与所述箱门连接，所述箱门具有打开状态和闭合状态，所述驱动结构用于驱动所述箱门在打开状态或闭合状态之间转换，所述检测器用于检测所述箱门是处于打开状态还是处于闭合状态。
2.根据权利要求1所述的光罩存储装置，其特征在于，所述检测器包括本体、发送端及接收端，所述发射端与所述接收端正对设置于所述本体上。
3.根据权利要求2所述的光罩存储装置，其特征在于，所述本体固定于所述箱体上，所述光罩存储装置还包括设于所述箱门上的挡板，所述挡板在所述箱门处于闭合状态时位于所述发送端与所述接收端之间并遮挡所述接收端。
4.根据权利要求2所述的光罩存储装置，其特征在于，所述本体固定于所述箱门上，所述光罩存储装置还包括设于所述箱体上的挡板，所述挡板在所述箱门处于闭合状态时位于所述发送端与所述接收端之间并遮挡所述接收端。
5.根据权利要求3或4所述的光罩存储装置，其特征在于，所述挡板在所述箱门处于闭合状态时完全遮挡所述接收端。
6.根据权利要求1所述的光罩存储装置，其特征在于，所述驱动结构包括转臂和气缸，所述气缸与所述转臂连接，所述转臂与所述箱门连接。
7.根据权利要求6所述的光罩存储装置，其特征在于，所述转臂包括水平部及由所述水平部弯折延伸出的垂直部，所述水平部与所述气缸连接，所述垂直部与所述箱门连接。
8.根据权利要求7所述的光罩存储装置，其特征在于，所述水平部与所述垂直部垂直。
9.根据权利要求1-8任一所述的光罩存储装置，其特征在于，所述箱门处于打开状态时与所述箱体垂直。
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